[0001] 本发明涉及太阳能光伏电池片制造技术领域，具体为一种多腔室的异质结电池烧结炉装置及其运行方法。

[0002] 异质结电池是一种新型高效太阳能电池，其具有高转换效率、低温度系数和可实现超薄片化、无光致衰减和电致衰减等优势成为太阳能行业的新技术趋势，例如异质结叠加BC技术、无主栅技术、电镀技术，随着新技术突破以及成本的降低，异质结电池将进一步提升市场占有率，具有更广阔的应用前景；

[0003] 根据公开号为CN217953012U的中国专利公开了一种太阳能硅片的微波干燥加热装置，其采用微波加热代替传统的红外加热方式，加热腔体较长占地面积大，在非密闭腔体中进行烘干，表面TCO透明氧化薄膜以及表面金属栅线容易进一步发生氧化降低电池片性能，单片传输进腔体进行加工模式，烘干效率低，不能满足高产量的生产需求；

[0004] 根据公开号为CN111634116A的中国专利公开了一种太阳能电池硅片干燥或固化用烘箱，其通过多层硅片平躺式放置加热烘干，且双面同时加热可以确保硅片均匀加热而实现快速干燥，但采用载板放置若干张电池进入烘箱中，载板上方下方设置加热灯管进行加热，此方法难以保障中间载板的烘干效果、以及每个载板中间位置电池片的烘干效果，整个传动机构设置于腔体内，烘箱内有机物沉积速率比较快，易造成油污的滴落从而影响良率，设备维护难度较大，生产产能偏低；

[0005] 现有异质结金属化工艺所使用烘干炉、固化炉炉主流为单轨单腔室，由电机带动链条从而驱使金属网带进行转动，烘干炉整体长度较长、占地面积大，烘干固化时间较长，无法满足高产能的生产需求，为此，提出一种多腔室的异质结电池烧结炉装置及其运行方法。

[0041] 下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

[0042] 实施例

[0043] 请参阅图1‑图7，本发明提供一种技术方案：一种多腔室的异质结电池烧结炉装置，包括运行工作台1，运行工作台1上分别安装有框架腔体2、烘干腔体3和传动设备4，烘干腔体3与传动设备4均至少设置两个，且两个烘干腔体3对称设于框架腔体2内，两个传动设备4分别位于两个烘干腔体3内；

[0044] 其中，传动设备4上安装有多个承载板5，承载板5上安装有花篮6，传动设备4通过承载板5与花篮6构成输送运行机构；

[0045] 其中，烘干腔体3两侧对称安装有两组升降组件7，且烘干腔体3上安装有多组真空组件8。

[0046] 本实施例中，具体的：设置的传动设备4可采用传送带或电动滑轨等传输设备，而安装的承载板5则作为传动设备4与花篮6两者的衔接构件，同时，花篮6的设置可根据实际生产需求制造，且花篮6每层为拆卸式构造，进而可以根据实际使用需求进行调节。

[0047] 本实施例中，具体的：至少设置两个的烘干腔体3其每个腔体是独立的，可以单独运行完成加工，两个及两个以上的腔体交替完成工艺加工，可以有效提升产能，并按不同需求设置调整工艺配方，从而提高装置整体的适用性与实用性。

[0048] 本实施例中，具体的：烘干腔体3上对称安装有多个氮气管道31，烘干腔体3内对称安装有多个红外加热灯管32，烘干腔体3内且位于两组升降组件7相邻一侧对称一体成型有两个挡板，且烘干腔体3内且位于两个挡板相斥一侧相互对称一体成型有四个导向板33，通过设置的氮氧管道31用于向烘干腔体3内稳定且持续的输送氮气，而利用安装的红外加热灯管32用于对烘干腔体3内进行加热升温，从而完成对电池片的烘干工作，与此同时，设置的导向板33，一方面用于限定及规划升降组件7的运行轨迹，另一方面可以有效防止升降组件7在运行过程中产生偏离或出现运行干扰，以此来保障升降组件7运行的稳定性和精准性；

[0049] 其中，氮气管道31远离烘干腔体3一端贯穿于运行工作台1内。

[0050] 本实施例中，具体的：升降组件7包括气缸71，气缸71活塞杆安装有升降板72，升降板72两侧对称开设有两个滑槽73，借由设置的气缸71利用其上的活塞杆带动与其连接的升降板72实现垂直运行；

[0051] 其中，气缸71安装于烘干腔体3上，且气缸71活塞杆贯穿于烘干腔体3内，滑槽73安装于导向板33上，借以滑槽73与导向板33间的相互协作，保障升降组件7的稳定运行。

[0052] 本实施例中，具体的：真空组件8包括抽气泵81，抽气泵81两端分别连通有进气管82和排气管83，排气管83上安装有控制阀84，通过设置的抽气泵81借由各管道，一方面使烘干腔体3内产生负压制造真空环境，另一方面向烘干腔体3内输送CDA气体冲扫腔体，而控制阀84的设置用以控制气体的排放与关闭；

[0053] 其中，抽气泵81安装于烘干腔体3上，进气管82贯穿于烘干腔体3内，排气管83贯穿于框架腔体2内。

[0054] 本实施例中，具体的：框架腔体2底部对称开设有多个对接槽22，且框架腔体2底部对称安装有两个密封垫21，密封垫21上开设有多个对接槽22，框架腔体2一侧安装有控制面板23，通过设置的密封垫21用于填补框架腔体2与运行工作台1两者间的缝隙，且利用密封垫21还可以起到防尘、减震、缓冲和保温的作用，从而有助于提高装置整体的使用寿命和可靠性；

[0055] 其中，运行工作台1上且位于两个传动设备4相斥一侧对称一体成型有多个卡板11，卡板11与对接槽22相适配，借以运行工作台1上设置的卡板11承接框架腔体2。

[0056] 本实施例中，具体的：通过设置的控制面板23用于操控红外加热灯管32、传动设备4和各组件的运行启动及关闭。

[0057] 一种多腔室的异质结电池烧结炉装置的运行方法，包括以下步骤：

[0058] S1、将待烘干的电池片放置到花篮6上；

[0059] S2、通过控制面板23依次启动升降组件7和传动设备4，升降组件7运行带动升降板72打开腔门，传动设备4运行通过承载板5将带有电池片的花篮6送入烘干腔体3内；

[0060] S3、通过升降组件7关闭腔门的同时关闭进气，再通过控制面板23启动真空组件8，对烘干腔体3内进行真空抽气；

[0061] S4、通过运行控制面板23充入氮气，并开启红外加热灯管32对烘干腔体3内加热升温进行烘干工作；

[0062] S5、经S4运行完成后，同S2运行方式将带有电池片的花篮6送出烘干腔体3；

[0063] S6、完成S1‑S5运行后，通过控制面板23启动真空组件8，真空组件8运行通入CDA气体冲扫腔体并在清理完成后对烘干腔体3内进行排废工作。

[0064] 工作原理：使用时，先将待烘干的电池片放置到花篮6上，再通过控制面板23依次启动升降组件7和传动设备4，升降组件7运行带动升降板72打开腔门，传动设备4运行通过承载板5将带有电池片的花篮6送入烘干腔体3内，之后通过升降组件7关闭腔门的同时关闭进气，再通过控制面板23启动真空组件8，对烘干腔体3内进行真空抽气，通过运行控制面板23充入氮气，并开启红外加热灯管32对烘干腔体3内加热升温进行烘干工作，上述运行完成后，同上述输入运行方式将带有电池片的花篮6送出烘干腔体3，而整体运行完成后，通过控制面板23启动真空组件8，真空组件8运行通入CDA气体冲扫腔体并在清理完成后对烘干腔体3内进行排废工作。

[0065] 尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。