技术领域
[0001] 本发明主要涉及太阳能电池的制造设备，尤其涉及一种扩散炉炉门装置。
相关背景技术
[0002] 扩散是太阳能电池制造过程中至关重要的一步，故提高扩散炉的可靠性已刻不容缓，现有扩散炉炉门为旋转运动方式，由炉门、炉门固定板、旋转运动副、开关气缸、安装板、进退气缸、厢式直线轴承等部件构成。炉门通过炉门固定板与安装板组成一个旋转运动副，由安装在安装板上的开关气缸推动炉门围绕旋转运动副旋转来实现炉门的开关。
[0003] 现有扩散炉旋转式炉门在开启或闭合时，需要气缸推动炉门围绕支撑点旋转到合适位置，在这个过程中，需要很大空间来实现炉门的旋转运动，在废气室上需要预留一个较大的连接孔来满足炉门的旋转运动，会造成工艺废气的泄露。
具体实施方式
[0018] 以下将结合说明书附图和具体实施例对本发明做进一步详细说明。
[0019] 图1至图3示出了本发明扩散炉炉门装置的一种实施例，该炉门装置包括门体1、底板2、进退驱动组件3和平移驱动组件4，进退驱动组件3滑设于底板2上，平移驱动组件4滑设于进退驱动组件3上，门体1与平移驱动组件4连接。当门体1由开启状态变为闭合状态时，本装置的运行方式是：首先，进退驱动组件3启动，此时，进退驱动组件3会通过平移驱动组件4带动门体1向炉管方向动动，然后平移驱动组件4启动，此时平移驱动组件4带动门体1平移至与炉管对准的位置，最后，再一次启动进退驱动组件3，使门体1与炉管完全贴合；当门体1由闭合状态变为开启状态时，运动方式则是将上述方式反向运行即可。该装置中，整个开启或闭合过程均为直线型运动，使得只需要在废气室侧板上冲出一个较小的连接孔来满足该直线型运动，该孔直径会远小于废气室的排废孔，使该孔周围气压大于排废空周围的气压，废气室内的废气会直接从排废空排出，而不会由该孔进入炉门驱动装置安装处，故采用本装置时，可以有效缓解废气室废气对炉门驱动装置的腐蚀作用，起到很好的保护作用，而且，其结构也更为简单紧凑。
[0020] 本实施例中，进退驱动组件3包括进退驱动气缸31、气缸安装座32和支撑板33，进退驱动气缸31装设于气缸安装座32上，支撑板33与进退驱动气缸31连接，平移驱动组件4滑设于支撑板33上，支撑板33滑设底板2上。该结构中，通过进退驱动气缸31驱动支撑板33作进退移动，从而实现带动门体1进退移动，其结构简单可靠。
[0021] 本实施例中，支撑板33上装设有平移导向轴331，平移驱动组件4滑设于平移导向轴331上。通过该平移导向轴331可以保证平移驱动组件4移动的顺畅和平稳性。
[0022] 本实施例中，支撑板33上还装设有平移行程开关安装座34，平移行程开关安装座34上装设有用于控制平移驱动组件4移动行程的平移行程开关。平移运动的运动行程由安装在平移行程开关安装座34上面的微动平移行程开关控制，此过程分为高速与低速两级，保证了移动的可控性和精确性。
[0023] 本实施例中，平移驱动组件4包括平移驱动气缸41和支撑部件42，平移驱动气缸41滑设于平移导向轴331上，支撑部件42一端与门体1固接，另一端与平移驱动气缸41连接。该结构中，通过平移驱动气缸41带动支撑部件42作平移运动，从而实现带动门体1平移运动移动，其结构简单可靠。
[0024] 本实施例中，支撑部件42包括固定板组421和支撑杆422，固定板组421与平移驱动气缸41连接，支撑杆422一端与门体1固接，另一端与固定板组421连接。该固定板组421可保证门体1与平移驱动气缸41运动的同步性；而支撑杆422使废气室侧板上的连接孔的孔径只需跟支撑杆422直径相等即可，支撑杆422直径会远小于废气室的排废孔，使该孔周围气压大于排废空周围的气压，废气室内的废气会直接从排废空排出。
[0025] 本实施例中，底板2上装设有进退导向轴21，进退驱动组件3滑设于进退导向轴21上。通过该进退导向轴21可以保证进退驱动组件3移动的顺畅和平稳性。
[0026] 本实施例中，底板2上还装设有进退行程开关安装座5，进退行程开关安装座5上装设有用于控制进退驱动组件3移动行程的进退行程开关。进退运动的运动行程由安装在进退行程开关安装座5上面的微动进退行程开关控制，此过程分为高速与低速两级，保证了移动的可控性和精确性。
[0027] 虽然本发明已以较佳实施例揭示如上，然而并非用以限定本发明。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围的情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均应落在本发明技术方案保护的范围内。
