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一种带有突出P阱的UMOSFET器件及其制备方法公开 发明

技术总结

本发明公开了一种带有突出P阱的UMOSFET器件及其制备方法,包括:漂移区,以及位于漂移区上方的沟道区;沟道区包括沟槽,沟槽的底部设置有第一电流传输层、以及位于第一电流传输层两侧的角落堆积区;第一电流传输层的下方设置有第二电流传输层,第二电流传输层与第一电流传输层层叠设置,第二电流传输层由第一电流传输层的下表面延伸至所述漂移区,沿垂直于漂移区的方向,第二电流传输层的正投影位于第一电流传输层的正投影的中间,第二电流传输层的掺杂浓度小于第一电流传输层的掺杂浓度;第一电流传输层和角落堆积区的上方设置有栅介质层,栅介质层呈U型结构,栅介质层内设置有栅电极。本发明能够改善器件的性能。

技术研发人员:

何晓宁; 肖雨佳; 李思政; 李钊君; 李阳善; 高俊泽

受保护的技术研发主体:

陕西半导体先导技术中心有限公司

技术申请主体:

陕西半导体先导技术中心有限公司

技术研发申请日期:

2024-09-11

技术被公开/公告日期:

2024-10-18