[0001] 本发明涉及半导体自动化机械人技术领域，尤其涉及炉管半自动拆装设备。

[0002] 现有的半导体和光伏行业化学沉积炉（CVD）、扩散炉等大部分采用的石英玻璃炉管，由于玻璃炉管在使用一段时间后，管内壁会受到炉管内反应气体的化学污染，加上反应温度变化造成玻璃炉管出现裂纹等原因，使得化学沉积炉（CVD）、扩散炉内的炉管，需要频繁的拆装更换；已有技术是通过人工进行石英玻璃炉管的更换和拆装的，由于炉管的尺寸长、重量大，且更换位置比较高，需要6‑8名工人抬上抬下的拆装更换，费时费力、效率低；并且人工拆装搬运石英玻璃炉管时，有裂纹的炉管会很容易破碎，这对装卸工人会造成人生安全隐患，另外，用于装载炉管的炉体也要进行维修更换，维修更换过程也需要从基座上拆卸取下来，已有技术的这种工作也是人工抬上抬下，不仅耗费大量的人力，而且效率低，维修更换困难。

[0021] 现结合附图和实施例对本发明炉管半自动装卸设备做进一步详细描述：实施例1：如图1、2、3所示，本发明炉管半自动装卸设备包括带有刹车机构1的车子
2、设置在车子2上的升降动力机构D、由升降动力机构D带动的前后移动机构24、由前后移动机构24带动的左右微调移动机构7、由左右微调移动机构7带动的带有转动台11的角度微调转动机构8、设置在转动台11上面的V形辊轮组14；
升降动力机构D包括设置在车子2上的粗升降动力机构3（可采用剪叉式电动动力
升降机构，以便能快速进行升降）、由粗升降动力机构3带动升降的升降基座4、设置在升降基座4上的微调升降机构5（包括第一手轮501、由第一手轮501、主变速箱502、一对第一次变速箱503、一对第二次变速箱504，第一手轮501、主变速箱502、一对第一次变速箱503、一对第二次变速箱504通过传动轴联动，带动垂直于一对第一次变速箱503、一对第二次变速箱
504上的丝杆同步转动，丝杆则通过固定在升降台6上螺母带动升降台6升降）、由微调升降机构5带动升降的升降台6，左右微调移动机构7（包括第二手轮701、第一变速箱702、丝杆、螺母，第二手轮701通过转轴与第一变速箱702连接，第一变速箱702输出轴带动丝杆转动，丝杆则通过固定在水平移动台8上的螺母带动水平移动台10水平横向移动）设置在升降台6上，角度微调转动机构8设置在升降台6上，设置有由左右微调移动机构7带动的沿升降台6上的轨道9移动的水平移动台10，转动台11设置在水平移动台10上并由角度微调转动机构8带动，在转动台11上面设置有定位结构12，在转动台11上设置有被定位结构12所定位的管架车13，V形辊轮组14（包括转动设置在活动架13上的数根水平平行设置的底辊1401、转动设置在底辊1401两侧的呈V形设置的数对侧辊1402）设置在管架车13上。

[0022] 优选地，活动架13底部设置有万向轮15，以便顺畅地将装载有炉管B的管架车13推移到车子2的旁边，这样搬运者就能就近将装载有炉管B的管架车13搬上水平移动台10上。

[0023] 优选地，管架车13两端设置有活动栏杆16，当搬运装载有炉管B的管架车13时，可将活动栏杆16放下，将炉管B的两端拦住，避免炉管B滑出管架车13外，当需要将炉管B推入化学气相沉积炉A时，打开活动栏杆16即可。

[0024] 优选地，如图2、3所示，角度微调转动机构8包括由第三手轮801带动转动的转轴802、由转轴802带动的软轴或者可伸缩的万向联轴器803、动力输入轴与软轴或者可伸缩的万向联轴器803连接的第二变速箱804，垂直于动力输入轴的第二变速箱804的输出轴805转动穿过水平移动台10后固定在转动台11的底面，围绕输出轴805的四周的水平移动台10与转动台11之间设置有三个以上万向滚轮17。

[0025] 优选地，设置有车子定位机构18，车子定位机构18包括固定在化学气相沉积炉A的炉管装设入口19处正下方的位置上的带有卡口1801的座1802、与卡口1801匹配的设置在车子2前端的定位辊1803。

[0026] 卡口1801上设置有锁1804，以便将定位辊1803锁紧在卡口1801内。

[0027] 使用时，将炉管B置于V形辊轮组14上，然后通过车子2将炉管B送到化学气相沉积炉A的炉管装设入口19处，通过粗升降动力机构3升起升降基座4，使炉管B升至炉管装设入口19处附近，然后通过微调升降机构5来调节升降台6，使炉管B与炉管装设入口19处于精确的同一水平线上，通过左右微调移动机构7调节水平移动台10的左右位置，使炉管B正对着炉管装设入口19，通过角度微调转动机构8调节转动台11的角度，使炉管B的轴线与炉管装设入口19轴线重合，这样，就可以人工沿炉管装设入口19将炉管B推入化学气相沉积炉A的炉管装设处，采用V形辊轮组14，使炉管B顺滑地沿轴线精确地直线移动。

[0028] 实施例2：如图4、5所示，本实施例是在实施例1的基础上，转动台11两侧设置有数个支撑架20，支撑架20包括一对相对平行设置的竖板2001、连接在两竖板2001之间的连接块2002，连接块2002置于转动台11台面上，竖板2001顶端设置有与炉体C底脚23匹配的V形凹口2004，竖板2001顶端高于V形辊轮组14，当炉体C置于支撑架20后，炉体C不会碰着V形辊轮组14，转动台11上设置有与一对竖板2001匹配的一对穿槽21，当支撑架20倒置于一对穿槽21上，使竖板2001插进穿槽21且连接块2002靠在转动台11后，支撑架20最高处不高于V形辊轮组14，以保证炉管B在V形辊轮组14导向下移动。

[0029] 优选地，数个支撑架20分成两排，对称设置在转动台11台面的两边。

[0030] 优选地，连接块2002呈方条形，方条形连接块2002上旋接有两根螺杆2003，与螺杆2003匹配的转动台11上设置有穿孔22。

[0031] 使用时，当需要装设、提取炉管B时，将支撑架20倒置于一对穿槽21上，使支撑架20不影响炉管B的传输，需要传送炉体C时，将支撑架20正放置在转动台11台面上，炉体C底部两边的底脚23就能定位在V形凹口2004上，以便能顺畅地传送炉体C。

[0032] 螺杆2003插入穿孔22内，使支撑架20定位在转动台11上，使支撑架20的姿态稳定，从而保证支撑的稳定，采用螺杆2003，通过往连接块2002两边穿接螺杆2003，就能根据使用要求，采用正反两种形式放置定位支撑架20，以适应不同构件的传送，采用方条形连接块2002，不管正反那种形式，支撑架20都能紧靠在转动台11上，保证支撑架20置于转动台11上的稳定。

[0033] 优选地，前后移动机构24包括设置在升降动力机构D（可采用剪叉式电动动力升降机构，既能快速进行升降，也可以通过点动的方式，进行微调升降）的升降基座4上的纵向轨道2401、滑动设置在纵向轨道2401上的纵向滑块2402，左右微调移动机构7的左右移动基座703固定在纵向滑块2402上，左右微调移动机构7包括左右移动基座703、设置在左右移动基座703上的横向轨道704、滑动设置在横向轨道704上的横向滑块705，角度微调转动机构8的转动基座806固定在横向滑块705上，角度微调转动机构8包括转动基座806、固定在转动基座806中部的转轴807、转动设置在转轴807上的转动台11、设置在转动台11下面的数个滚轮
808，数个滚轮808围绕转轴807四周设置。

[0034] 优选地，设置有车子固定架25，车子固定架25包括分别横向固定在车子2前后两端的两方形的套筒2501、穿接在方形的套筒2501左右两端的方形的活动杆2502、连接在方形的活动杆2502上的带有支撑底座2503的支撑杆2504，支撑杆2504通过旋接在支撑杆2504上的螺母上下调节固定在活动杆2502上。

[0035] 优选地，在转动台11上设置有穿接在转动台11侧板上的辊轮刹车杆26，通过辊轮刹车杆26（如螺纹旋接进给的方式）靠在V形辊轮组14上，使V形辊轮组14不能转动而起到刹车的作用，以防止炉管B沿V形辊轮组14自行移动。

[0036] 优选地，设置有插在转动台11飘出的飘板及转动基座806的飘板之间的防转动插销（图上没有显示），以防止车子2运行过程中转动台11自由转动。

[0037] 优选地，设置有插在左右移动基座703飘出的飘板及转动基座806的飘板之间的防左右移动插销27，以防止车子2运行过程中转动基座806自由左右移动。

[0038] 优选地，设置有插在左右移动基座703飘出的飘板及升降基座4的飘板之间的防前后移动插销28，以防止车子2运行过程中左右移动基座703自由前后移动。