技术领域
[0001] 本发明涉及高精密测量设备的样品承载技术领域，尤其是涉及一种承载装置的使用方法及承载装置。
相关背景技术
[0002] 重型半球壳属于高精密设备或仪器所使用的高精密部件，半球壳投入使用之前，需要对其内外表面及开口边缘进行扫描及成像检查，扫描及成像采用扫描电子显微镜或者其他扫描设备处理，确定其所有的面是否有瑕疵、损伤、暗裂等影响质量的因素，避免投入到高精密设备或仪器，导致产品性能不达标的现象发生。
[0003] 现有技术中，半球壳的重量非常重，体积小，密度大，难以人工搬运或操作，故采用机械设备进行抓取并转移到扫描设备中进行扫描，但是直接抓取容易造成半球壳表面损伤，导致半球壳报废。
[0004] 另外，使用机械设备进行抓取并转移到扫描设备中，不能确保半球壳处于水平位置，容易产生歪斜，导致扫描设备不能有效扫描，影响扫描数据的有效性、稳定性及正确性，从而影响检测结果。
具体实施方式
[0029] 下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
[0030] 由于半球壳样品结构的特殊性，半球壳样品在扫描电镜的样品仓内必须处于水平位置，不能产生歪斜，才能有效的进行扫描，确保数据的稳定及正确性，也就是说，半球壳样品的中轴线需处于竖直线上，开口边缘处于水平面上，否则难以有效扫描，影响检测结果。但是由于半球壳样品的体积、密度、重量等因素，如果仅通过承载装置承载，在操作过程中，需要采用机械设备将半球壳样品放置到承载装置上，然后放置在样品仓内，难以保证既不损伤半球壳样品，又能将半球壳样品水平放置在样品仓内，因此，本申请提供了对承载装置针对性的使用方法，以在不损伤半球壳样品的情况下，将半球壳样品水平放置在样品仓内。
[0031] 下面参考图1‑图13描述根据本发明实施例的承载装置的使用方法。
[0032] 如图1所示，根据本发明实施例的一种承载装置的使用方法，承载装置用于承载半球壳样品，使半球壳样品的内、外表面和开口边缘都能够被扫描，包括以下步骤：步骤一：将半球壳样品的外表面放置到承载装置的第一承载件中，使半球壳样品的中轴线处于竖直线上，且其开口边缘处于水平面上；
其中，将半球壳样品放入第一承载件时，第一承载件承载半球壳样品的外表面，通过将半球壳样品的外表面与第一承载件抵接，可以使半球壳样品的内表面和开口边缘暴露，也就是说，第一承载件用于暴露和被扫描半球壳样品的内表面和开口边缘。
[0033] 步骤二：将第一承载件转移至第一目标位置，并保持半球壳样品的中轴线处于竖直线上，其开口边缘处于水平面上，以扫描半球壳样品的内表面及开口边缘；其中，将第一承载件转移至第一目标位置，即用于扫描半球壳样品的扫描电镜处，并保持半球壳样品的中轴线处于竖直线上，以使半球壳样品的开口边缘处于水平面上，以扫描半球壳样品的内表面及开口边缘。通过使半球壳样品的中轴线处于竖直线上，且半球壳样品的开口边缘处于水平面上，可以准确扫描半球壳样品的内表面及开口边缘，从而提高半球壳样品内表面及开口边缘处检测结果的可靠性。
[0034] 步骤三：使半球壳样品从第一承载件上转移至承载装置的第二承载件上，并使半球壳样品的开口边缘置于第二承载件上，使半球壳样品的中轴线处于竖直线上；其中，将半球壳样品放入第二承载件时，第二承载件承载半球壳样品的内表面和开口边缘，通过将半球壳样品的内表面、开口边缘与第二承载件抵接，可以使半球壳样品的外表面暴露，也就是说，第二承载件用于暴露和被扫描半球壳样品的外表面。
[0035] 步骤四：将第二承载件转移至第二目标位置，并保持半球壳样品的中轴线处于竖直线上，以扫描半球壳样品的外表面。
[0036] 其中，将半球壳样品从第一承载件上转移至第二承载件上，使半球壳样品的开口边缘置于第二承载件上，此时第二承载件用于承载半球壳样品的内表面及开口边缘，并且，使半球壳样品的中轴线处于竖直线上，使半球壳样品的外表面暴露。将第二承载件转移至第二目标位置，即用于扫描半球壳样品的扫描电镜处，并保持半球壳样品的中轴线处于竖直线上，以扫描半球壳样品的外表面。通过使半球壳样品的中轴线处于竖直线上，可以准确扫描半球壳样品的外表面，从而提高半球壳样品外表面检测结果的可靠性。
[0037] 具体地，先将半球壳样品装配于第一承载件，此时第一承载件承载半球壳样品的外表面，将第一承载件转移至第一目标位置，并保持半球壳样品的中轴线处于竖直线上，以使半球壳样品的开口边缘处于水平面上，从而使扫描电镜准确扫描半球壳样品的内表面及开口边缘。半球壳样品的内表面及开口边缘扫描完成后，将半球壳样品装配于第二承载件，第二承载件承载半球壳样品的开口边缘，并保持半球壳样品的中轴线处于竖直线上，以使扫描电镜准确扫描半球壳样品的外表面。
[0038] 通过设置承载装置承载半球壳样品，并通过本申请的承载装置的使用方法，降低半球壳样品产生歪斜风险，使半球壳样品有效被扫描，提升扫描数据的有效性、稳定性及正确性，从而提升检测结果的精度。
[0039] 在本发明的一些实施例中，如图2‑图4所示，在步骤一中，“将半球壳样品的外表面放置到承载装置的第一承载件中”的方法包括：采用夹具贴合在半球壳样品的外表面，使半球壳样品承载在夹具上，通过转移夹具使半球壳样品的外表面放置到第一承载件中。
[0040] 其中，夹具可以用于夹持半球壳样品。作为本申请的一些实施例，夹具可以设置有孔结构，通过将半球壳样品设置在孔结构内，以使夹具贴合在半球壳样品的外表面，从而实现夹具夹持半球壳样品的效果，也就是说，实现将半球壳样品承载在夹具上的效果。通过转移夹具可以实现可靠移动半球壳样品的效果，以使半球壳样品的外表面放置到第一承载件中。有利于将半球壳样品正确摆放于第一承载件内，便于后续对半球壳样品的检查。
[0041] 在本发明的一些实施例中，夹具与半球壳样品的外表面之间设置一层保护层（图中未示出），避免夹具损伤半球壳样品。
[0042] 其中，作为本申请的一些实施例，夹具可以设置有保护层，保护层可以设置于夹具与半球壳外表面贴合的面上，以使夹具与半球壳外表面之间设置一层保护层。作为本申请的一些实施例，保护层可以单独设置，当半球壳样品承载在夹具上时，可以将保护层装配于夹具与半球壳外表面之间，以使夹具与半球壳外表面之间设置一层保护层。作为本申请的一些实施例，保护层可以构造为有弹性的橡胶材质。但本申请不限于此，通过在夹具与半球壳外表面之间设置一层保护层，可以降低夹具与半球壳样品直接接触的风险，从而降低夹具损伤半球壳样品风险，有利于提高半球壳样品的品质。
[0043] 作为本申请的一些实施例，夹具可以直接构造为橡胶材质，此时无需在夹具与半球壳外表面之间额外设置一层保护层，即可降低夹具损伤半球壳样品风险。
[0044] 在本发明的一些实施例中，如图3‑图6所示，在步骤一中，“使半球壳样品的中轴线处于竖直线上，且其开口边缘处于水平面上”的方法包括：第一承载件包括底座、导向支撑杆、承载结构、调节件、调节机构；
底座的底面为平面；
承载结构通过导向支撑杆固定在底座上，用于承载半球壳样品；
调节件的上端设有能够容纳半球壳样品的容纳腔，且其上端面为平面，与底座的底面平行，底座处于调节件的下方，导向支撑杆贯穿调节件，调节件相对于导向支撑杆可自由上下移动，且导向支撑杆能够保持调节件的上端面与底座的底面始终平行，承载结构处于容纳腔内；
将半球壳样品的放置到承载结构上，其外表面与承载结构接触，使用平面板盖在半球壳样品的开口边缘上，移动调节件沿着导向支撑杆自下而上运动，使调节件与平面板固定，且调节件的上端面与平面板精密贴合；
通过调节机构使调节件沿着导向支撑杆向底座移动，承载结构承载半球壳样品，使其开口边缘全部贴合到平面板上，使半球壳样品的开口边缘所处的平面与底座的底面平行；
将底座的底面设于水平面，使半球壳样品的中轴线处于竖直线上，且其开口边缘处于水平面上。
[0045] 其中，底座的底面为平面，可以提高第一承载件的稳定性，以使第一承载件可以通过底座稳定设置于第一目标位置，从而提高半球壳样品的稳定性，进而提高半球壳样品检测结果的可靠性。
[0046] 承载结构通过导向支撑杆固定在底座上。作为本申请的一些实施例，导向支撑杆和底座可以一体成型。作为本申请的一些实施例，导向支撑杆和底座可以卡接连接。但本申请不限于此。承载结构可以和导向支撑杆抵接，以使承载结构可以通过导向支撑杆固定在底座上，从而使承载结构稳定承载半球壳样品。
[0047] 调节件的上端设有容纳腔，容纳腔可以为半球壳样品提供装配位置，以使容纳腔能够容纳半球壳样品。调节件的上端面为平面，与底座的底面平行。当半球壳样品装配于容纳腔时，调节件的上端面设置为与底座的底面平行的平面，有利于使半球壳样品的开口边缘处于水平面上。
[0048] 沿第一承载件的高度方向，调节件朝向上端敞开，半球壳样品可以从敞开端装配于容纳腔内。沿第一承载件的高度方向，底座处于调节件的下方，如此设置可以使第一承载件的结构布置合理，使第一承载件可以通过底座稳定设置于第一目标位置。
[0049] 作为本申请的一些实施例，调节件朝向底座方向的底壁设置有通孔，导向支撑杆可以穿设于通孔，以使导向支撑杆贯穿调节件。调节件相对于导向支撑杆可自由上下移动，作为本申请的一些实施例，调节件相对于导向支撑杆可向上移动，调节件相对于导向支撑杆也可向下移动。作为本申请的一些实施例，导向支撑杆可以设置为多个，多个导向支撑杆可以分别支撑在调节件的不同位置，以使导向支撑杆能够保持调节件的上端面与底座的底面始终平行。
[0050] 承载结构处于容纳腔内，承载结构可以从调节件的敞开端装配于容纳腔内。当半球壳样品从敞开端装配于容纳腔内时，半球壳样品的外表面与承载结构接触，降低半球壳样品的外表面与调节件直接抵接风险，从而降低半球壳样品的外表面损坏风险。
[0051] 第一承载件还可以包括平面板，平面板可以覆盖在半球壳样品的开口边缘上，且平面板与调节件可拆卸连接。作为本申请的一些实施例，平面板与调节件可以通过螺栓可拆卸连接。作为本申请的一些实施例，平面板与调节件可以卡接连接，以使平面板与调节件可拆卸连接。
[0052] 调节机构用于调节调节件沿着导向支撑杆上下移动，以使调节件内的半球壳样品在调节件内移动至合适位置，即半球壳样品的中轴线处于竖直线上，且半球壳样品的开口边缘处于水平面上。
[0053] 作为本申请的一些实施例，先将半球壳样品从敞开端装配于容纳腔内，使承载结构承载半球壳样品，将平面板覆盖在半球壳样品的开口边缘上。在导向支撑杆对调节件的导向作用下，移动调节件使调节件相对于导向支撑杆自下而上运动，以使平面板与调节件接触。进一步地，使平面板朝向调节件的表面与调节件的上端面精密贴合。
[0054] 通过调节件相对于导向支撑杆自下而上运动，且平面板与调节件精密贴合，可以使容纳腔内的半球壳样品的开口边缘全部贴合到平面板上。由于调节件的上端面为平面，且调节件的上端面与底座的底面平行，平面板朝向调节件的表面与调节件的上端面精密贴合，可以使半球壳样品的开口边缘所处的平面与底座的底面平行。若将底座的底面设于水平面，例如：将底座放置于水平面上，可以使底座的底面处于水平位置，从而使半球壳样品的中轴线处于竖直线上，且半球壳样品的开口边缘处于水平面上。
[0055] 在本发明的一些实施例中，如图3‑图6所示，调节机构包括楔形调节块和调节螺栓，调节件上设有与调节螺栓相配合的螺纹孔；使楔形调节块设于调节件与承载结构之间，调节螺栓与楔形调节块连接，楔形调节块通过调节螺栓的正反向调节进行前后移动，调节件底部内壁与承载结构之间的距离通过楔形调节块的前后移动而增加和减小；
调节件底部内壁与承载结构之间的距离增加时，调节件沿着导向支撑杆向底座移动，带动平面板向底座方向下压半球壳样品，半球壳样品与承载结构之间产生移动，使半球壳样品开口边缘全部贴合到平面板上，使半球壳样品的开口边缘所处的平面与底座的底面平行。
[0056] 其中，调节件上设有螺纹孔，螺纹孔与调节螺栓适配，以使螺纹孔可以与调节螺栓配合。楔形调节块设于容纳腔内，且楔形调节块设于调节件与承载结构之间。调节螺栓与楔形调节块连接。作为本申请的一些实施例，调节螺栓与楔形调节块可以枢转连接。作为本申请的一些实施例，调节螺栓与楔形调节块可以通过轴承连接。
[0057] 楔形调节块可以通过调节螺栓的正反向调节来进行前后移动，以使调节件底部内壁与承载结构之间的距离通过楔形调节块的前后移动而增加和减小。当需要调节件底部内壁与承载结构之间的距离增大时，转动调节螺栓，调节螺栓向容纳腔内移动并推动楔形调节块移动，从而实现调节件底部内壁与承载结构之间的距离增大的效果。当需要调节件底部内壁与承载结构之间的距离减小时，反向转动调节件，调节螺栓向容纳腔外移动并拉动楔形调节块移动，从而实现调节件底部内壁与承载结构之间的距离减小的效果。
[0058] 当调节件底部内壁与承载结构之间的距离增加时，调节件沿着导向支撑杆向底座移动，由于调节件与平面板连接，调节件可以带动平面板向底座方向下压半球壳样品，以使半球壳样品与承载结构之间产生移动，有利于使半球壳样品开口边缘全部贴合到平面板上，从而使半球壳样品的中轴线处于竖直线上，且半球壳样品的开口边缘所处的平面与底座的底面平行。
[0059] 在本发明的一些实施例中，如图3‑图6所示，在调节件上设置至少3个调节机构，沿轴线呈放射状均匀分布。
[0060] 其中，作为本申请的一些实施例，调节件上设置3个调节机构，且3个调节机构沿调节件的轴线呈放射状均匀分布。作为本申请的一些实施例，调节件上设置4个调节机构，且4个调节机构沿调节件的轴线呈放射状均匀分布。但本申请不限于此。如此设置可以使调节机构的设置合理，有利于调节机构沿调节件的轴向均匀调节调节件底部内壁与承载结构之间的距离，沿半球壳样品与承载结构的周向，可以使半球壳样品与承载结构之间产生均匀移动，有利于使半球壳样品开口边缘全部贴合到平面板上，从而使半球壳样品的中轴线处于竖直线上，且半球壳样品的开口边缘所处的平面与底座的底面平行。
[0061] 在本发明的一些实施例中，如图6‑图7所示，在步骤二中，“将第一承载件转移至第一目标位置，并保持半球壳样品的中轴线处于竖直线上，其开口边缘处于水平面上，以扫描半球壳样品的内表面及开口边缘”的方法包括：通过外力设备移动第一承载件至第一目标位置，使第一目标位置处于水平面上，底座直接设于第一目标位置上，使半球壳样品的中轴线处于竖直线上，且其开口边缘处于水平面上，拆卸掉平面板，再通过扫描设备扫描半球壳样品的内表面及开口边缘。
[0062] 其中，通过外力设备移动第一承载件，以使第一承载件和半球壳样品移动至第一目标位置，第一目标位置即用于扫描半球壳样品的扫描电镜处。使第一目标位置处于水平面上，将底座直接设于第一目标位置上，可以使底座处于水平状态。由于调节件的上端面设置为与底座的底面平行的平面，底座处于水平状态可以使半球壳样品的开口边缘处于水平面上。
[0063] 也就是说，处于第一目标位置的半球壳样品的中轴线处于竖直线上，且其开口边缘处于水平面上，将平面板拆下，以使半球壳样品的内表面和开口边缘暴露，再通过扫描设备扫描半球壳样品的内表面及开口边缘，可以准确扫描半球壳样品的内表面及开口边缘品质，从而提高半球壳样品检测的可靠性。
[0064] 在本发明的一些实施例中，如图8‑图12所示，在步骤三中，“使半球壳样品从第一承载件上转移至承载装置的第二承载件上，并使半球壳样品的开口边缘置于第二承载件上，使半球壳样品的中轴线处于竖直线上”的方法包括：第二承载件上的靠近半球壳样品的一面设有与半球壳样品开口边缘的口径相匹配的凸台和台阶槽，将凸台伸入到半球壳样品内腔中，且凸台与半球壳样品的内壁相互紧密贴合，半球壳样品的开口边缘限位在台阶槽内；
将第二承载件与调节件固定；
使第二承载件上的远离半球壳样品的一面为平面；
将第二承载件、半球壳样品、调节件进行整体翻转，使半球壳样品承载在第二承载件上；
将第二承载件上远离半球壳样品的一面置于水平面上，使半球壳样品的中轴线处于竖直线上。
[0065] 其中，第二承载件上设有凸台和台阶槽，凸台和台阶槽的尺寸形状与半球壳样品开口边缘的口径适配，以使凸台可以伸入到半球壳样品内腔中，便于第二承载件与半球壳样品装配。凸台与半球壳样品的内壁相互紧密贴合，有利于提高凸台与半球壳样品的装配可靠性，从而提高半球壳样品的稳定性和安全性。半球壳样品的开口边缘与台阶槽抵接，以使半球壳样品的开口边缘承载在台阶槽上，降低第二承载件与半球壳样品过度装配造成半球壳样品损伤风险。
[0066] 第二承载件上远离半球壳样品的一面为平面。具体地，对半球壳样品的内表面及开口边缘检测完成后，将第二承载件的部分装配于半球壳样品内。作为本申请的一些实施例，将凸台从半球壳样品的敞开端伸入到半球壳样品的内腔中，且凸台与半球壳样品的内壁相互紧密贴合，半球壳样品的开口边缘承载在台阶槽上，并将第二承载件与调节件固定。
[0067] 作为本申请的一些实施例，将第二承载件、半球壳样品、调节件均放置在翻转台上，以使第二承载件、半球壳样品、调节件进行整体翻转，从而使半球壳样品和第二承载件翻转，进而使半球壳样品承载在第二承载件上。
[0068] 由于第二承载件上远离半球壳样品的一面为平面，且半球壳样品的开口边缘承载在台阶槽上，将第二承载件远离半球壳样品的一面置于水平面上，可以使半球壳样品的中轴线处于竖直线上，并且，此时半球壳样品的敞开端朝下，拆下调节件，可以使半球壳样品的外表面暴露，便于扫描电镜可以准确扫描半球壳样品的外表面。
[0069] 在本发明的一些实施例中，如图8‑图10所示，凸台与半球壳样品之间设有第二保护层，避免第二承载件损伤半球壳样品。
[0070] 其中，作为本申请的一些实施例，凸台可以设置有第二保护层，第二保护层可以设置于凸台与半球壳样品内表面贴合的面上，以使凸台与半球壳样品内表面之间设置有第二保护层。作为本申请的一些实施例，第二保护层可以单独设置，当半球壳样品承载在凸台上时，可以将第二保护层装配于凸台与半球壳样品的内表面之间，以使凸台与半球壳样品的内表面之间设置一层第二保护层。作为本申请的一些实施例，第二保护层可以构造为有弹性的橡胶材质。但本申请不限于此，通过在凸台与半球壳内表面之间设置一层第二保护层，可以降低凸台与半球壳样品直接接触的风险，从而降低第二承载件损伤半球壳样品风险，有利于提高半球壳样品的品质。
[0071] 作为本申请的一些实施例，凸台可以直接构造为橡胶材质，此时无需在凸台与半球壳内表面之间额外设置一层第二保护层，即可降低第二承载件损伤半球壳样品风险。
[0072] 在本发明的一些实施例中，如图10‑图12所示，在步骤三中，“使半球壳样品的中轴线处于竖直线上”的方法包括：第二承载件远离半球壳样品的一面为平面结构，将半球壳样品的开口边缘扣在第二承载件上，将第二承载件置于水平面上，使半球壳样品的中轴线处于竖直线上。
[0073] 其中，当半球壳样品的内表面及开口边缘检测完成，且第二承载件和半球壳样品装配完成后，可以将第二承载件、半球壳样品、调节件均放置在翻转台上，以使第二承载件、半球壳样品、调节件进行整体翻转，从而使半球壳样品和第二承载件翻转，进而使半球壳样品承载在第二承载件上，此时半球壳样品的开口边缘扣在第二承载件上。
[0074] 由于第二承载件背离半球壳样品的表面构造为平面结构，且半球壳样品的开口边缘承载在台阶槽上，将第二承载件远离半球壳样品的一面置于水平面上，可以使半球壳样品的中轴线处于竖直线上。
[0075] 在本发明的一些实施例中，如图13所示，在步骤四中，“将第二承载件转移至第二目标位置，并保持半球壳样品的中轴线处于竖直线上，以扫描半球壳样品的外表面”的方法包括：将第二承载件移动到第二目标位置，使第二目标位置处于水平面上，扣在第二承载件上的半球壳样品的开口边缘处于水平面上，保持半球壳样品的中轴线处于竖直线上，用于扫描设备扫描半球壳样品的外表面。
[0076] 其中，通过外力设备移动第二承载件，将第二承载件移动到第二目标位置。第二目标位置处于水平面上，有利于第二承载件背离半球壳样品的平面处于水平面上。由于半球壳样品扣在第二承载件上，半球壳样品的开口边缘也处于水平面上，并且，此时半球壳样品的敞开端朝下，半球壳样品的中轴线处于竖直线上。拆下调节件，可以使半球壳样品的外表面暴露，用于扫描设备（例如：扫描电镜等）准确扫描半球壳样品的外表面。
[0077] 如图3‑图13所示，根据本发明实施例的承载装置，用于承载待扫描的半球壳样品200，包括第一承载件1和第二承载件2，第一承载件1承载半球壳样品200的外表面202，用于暴露和被扫描半球壳样品200的内表面201和开口边缘203，第二承载件2承载半球壳样品
200的开口边缘203，用于暴露和被扫描半球壳样品200的外表面202。
[0078] 其中，第一承载件1和第二承载件2均可以承载半球壳样品200，将半球壳样品200放入第一承载件1时，第一承载件1承载半球壳样品200的外表面202，通过将半球壳样品200的外表面202与第一承载件1抵接，可以使半球壳样品200的内表面201和开口边缘203暴露，也就是说，第一承载件1用于暴露和被扫描半球壳样品200的内表面201和开口边缘203。将半球壳样品200放入第二承载件2时，第二承载件2承载半球壳样品200的内表面201和开口边缘203，通过将半球壳样品200的内表面201、开口边缘203与第二承载件2抵接，可以使半球壳样品200的外表面202暴露，也就是说，第二承载件2用于暴露和被扫描半球壳样品200的外表面202。
[0079] 作为本申请的一些实施例，在使用本申请的承载装置时，可以将半球壳样品200的外表面202放置到第一承载件1中，此时第一承载件1用于承载半球壳样品200的外表面202，并且，使半球壳样品200的中轴线处于竖直线上，且其开口边缘203处于水平面上，此时半球壳样品200的内表面201和开口边缘203暴露。将第一承载件1转移至第一目标位置，即用于扫描半球壳样品200的扫描电镜处，并保持半球壳样品200的中轴线处于竖直线上，以使半球壳样品200的开口边缘203处于水平面上，以便于扫描半球壳样品200的内表面201及开口边缘203。通过使半球壳样品200的中轴线处于竖直线上，且半球壳样品200的开口边缘203处于水平面上，可以准确扫描半球壳样品200的内表面201及开口边缘203，从而提高半球壳样品200内表面201及开口边缘203处检测结果的可靠性。
[0080] 半球壳样品200的内表面201及开口边缘203处扫描完成后，将半球壳样品200从第一承载件1上转移至第二承载件2上，使半球壳样品200的开口边缘203置于第二承载件2上，此时第二承载件2用于承载半球壳样品200的内表面201及开口边缘203，并且，使半球壳样品200的中轴线处于竖直线上，此时半球壳样品200的外表面202暴露。将第二承载件2转移至第二目标位置，即用于扫描半球壳样品200的扫描电镜处，并保持半球壳样品200的中轴线处于竖直线上，以扫描半球壳样品200的外表面202。通过使半球壳样品200的中轴线处于竖直线上，可以准确扫描半球壳样品200的外表面202，从而提高半球壳样品200的外表面202检测结果的可靠性。
[0081] 具体地，先将半球壳样品200装配于第一承载件1，此时第一承载件1承载半球壳样品200的外表面202，将第一承载件1转移至第一目标位置，并保持半球壳样品200的中轴线处于竖直线上，以使半球壳样品200的开口边缘203处于水平面上，从而使扫描电镜准确扫描半球壳样品200的内表面201及开口边缘203。半球壳样品200的内表面201及开口边缘203扫描完成后，将半球壳样品200装配于第二承载件2，第二承载件2承载半球壳样品200的开口边缘203，并保持半球壳样品200的中轴线处于竖直线上，以使扫描电镜准确扫描半球壳样品200的外表面202。
[0082] 由此，通过设置承载装置承载半球壳样品200，并通过本申请的承载装置的使用方法，降低半球壳样品200产生歪斜风险，使半球壳样品200有效被扫描，提升扫描数据的有效性、稳定性及正确性，从而提升检测结果的精度。
[0083] 作为本申请的一些实施例，如图2‑图3所示，采用夹具3贴合在半球壳样品200的外表面202，使半球壳样品200承载在夹具3上，通过转移夹具3使半球壳样品200的外表面202放置到第一承载件1中。具体地，夹具3可以用于夹持半球壳样品200。作为本申请的一些实施例，夹具3可以设置有孔结构，通过将半球壳样品200设置在孔结构内，以使夹具3贴合在半球壳样品200的外表面202，从而实现夹具3夹持半球壳样品200的效果，也就是说，实现将半球壳样品200承载在夹具3上的效果。通过转移夹具3可以移动半球壳样品200，以使半球壳样品200的外表面202放置到第一承载件1中。有利于将半球壳样品200正确摆放于第一承载件1内，便于后续对半球壳样品200的检查。
[0084] 作为本申请的一些实施例，夹具3可以设置有保护层，保护层可以设置于夹具3与半球壳外表面202贴合的面上，以使夹具3与半球壳外表面202之间设置一层保护层。作为本申请的一些实施例，保护层可以单独设置，当半球壳样品200承载在夹具3上时，可以将保护层装配于夹具3与半球壳外表面202之间，以使夹具3与半球壳外表面202之间设置一层保护层。作为本申请的一些实施例，保护层可以构造为有弹性的橡胶材质。但本申请不限于此，通过在夹具3与半球壳外表面202之间设置一层保护层，可以降低夹具3与半球壳样品200直接接触的风险，从而降低夹具3损伤半球壳样品200风险，有利于提高半球壳样品200的品质。
[0085] 作为本申请的一些实施例，夹具3可以直接构造为橡胶材质，此时无需在夹具3与半球壳外表面202之间额外设置一层保护层，即可降低夹具3损伤半球壳样品200风险。
[0086] 在本发明的一些实施例中，如图3‑图7所示，第一承载件1包括底座11、导向支撑杆12、承载结构13、调节件14、调节机构15；
底座11的底面为平面；
承载结构13通过导向支撑杆12固定在底座11上，用于承载半球壳样品200；
调节件14的上端设有能够容纳半球壳样品200的容纳腔141，且其上端面为平面，与底座11的底面平行，底座11处于调节件14的下方，导向支撑杆12贯穿调节件14，调节件14相对于导向支撑杆12可自由上下移动，且导向支撑杆12能够保持调节件14的上端面与底座
11的底面始终平行，承载结构13处于容纳腔141内；
第一承载件1还包括平面板5，平面板5覆盖在半球壳样品200的开口边缘203上，平面板5与调节件14可拆卸连接；
调节机构15用于调节调节件14沿着导向支撑杆12上下移动。
[0087] 其中，底座11的底面为平面，可以提高第一承载件1的稳定性，以使第一承载件1可以通过底座11稳定设置于第一目标位置，从而提高半球壳样品200的稳定性，进而提高半球壳样品200检测结果的可靠性。
[0088] 承载结构13通过导向支撑杆12固定在底座11上。作为本申请的一些实施例，导向支撑杆12和底座11可以一体成型。作为本申请的一些实施例，导向支撑杆12和底座11可以卡接连接。但本申请不限于此。承载结构13可以和导向支撑杆12抵接，以使承载结构13可以通过导向支撑杆12固定在底座11上，从而使承载结构13稳定承载半球壳样品200。
[0089] 调节件14的上端设有容纳腔141，容纳腔141可以为半球壳样品200提供装配位置，以使容纳腔141能够容纳半球壳样品200。调节件14的上端面为平面，与底座11的底面平行。当半球壳样品200装配于容纳腔141时，调节件14的上端面设置为与底座11的底面平行的平面，有利于使半球壳样品200的开口边缘203处于水平面上。
[0090] 沿第一承载件1的高度方向，调节件14朝向上端敞开，半球壳样品200可以从敞开端装配于容纳腔141内。沿第一承载件1的高度方向，底座11处于调节件14的下方，如此设置可以使第一承载件1的结构布置合理，使第一承载件1可以通过底座11稳定设置于第一目标位置。
[0091] 作为本申请的一些实施例，调节件14朝向底座11方向的底壁设置有通孔，导向支撑杆12可以穿设于通孔，以使导向支撑杆12贯穿调节件14。调节件14相对于导向支撑杆12可自由上下移动，作为本申请的一些实施例，调节件14相对于导向支撑杆12可向上移动，调节件14相对于导向支撑杆12也可向下移动。作为本申请的一些实施例，导向支撑杆12可以设置为多个，多个导向支撑杆12可以分别支撑在调节件14的不同位置，以使导向支撑杆12能够保持调节件14的上端面与底座11的底面始终平行。
[0092] 承载结构13处于容纳腔141内，承载结构13可以从调节件14的敞开端装配于容纳腔141内。当半球壳样品200从敞开端装配于容纳腔141内时，半球壳样品200的外表面202与承载结构13接触，降低半球壳样品200的外表面202与调节件14直接抵接风险，从而降低半球壳样品200的外表面202损坏风险。
[0093] 第一承载件1还可以包括平面板5，平面板5可以覆盖在半球壳样品200的开口边缘203上，且平面板5与调节件14可拆卸连接。作为本申请的一些实施例，平面板5与调节件14可以通过螺栓可拆卸连接。作为本申请的一些实施例，平面板5与调节件14可以卡接连接，以使平面板5与调节件14可拆卸连接。
[0094] 调节机构15用于调节调节件14沿着导向支撑杆12上下移动，以使调节件14内的半球壳样品200在调节件14内移动至合适位置，即半球壳样品200的中轴线处于竖直线上，且半球壳样品200的开口边缘203处于水平面上。
[0095] 作为本申请的一些实施例，先将半球壳样品200从敞开端装配于容纳腔141内，使承载结构13承载半球壳样品200，将平面板5覆盖在半球壳样品200的开口边缘203上。在导向支撑杆12对调节件14的导向作用下，移动调节件14使调节件14相对于导向支撑杆12自下而上运动，以使平面板5与调节件14接触。进一步地，使平面板5朝向调节件14的表面与调节件14的上端面精密贴合。
[0096] 通过调节件14相对于导向支撑杆12自下而上运动，且平面板5与调节件14精密贴合，可以使容纳腔141内的半球壳样品200的开口边缘203全部贴合到平面板5上。由于调节件14的上端面为平面，且调节件14的上端面与底座11的底面平行，平面板5朝向调节件14的表面与调节件14的上端面精密贴合，可以使半球壳样品200的开口边缘203所处的平面与底座11的底面平行。若将底座11的底面设于水平面，例如：将底座11放置于水平面上，可以使底座11的底面处于水平位置，从而使半球壳样品200的中轴线处于竖直线上，且半球壳样品200的开口边缘203处于水平面上。
[0097] 在本发明的一些实施例中，如图3‑图7所示，调节机构15可以包括楔形调节块151和调节螺栓，调节件14上设有与调节螺栓相配合的螺纹孔142；楔形调节块151设于调节件14与承载结构13之间，调节螺栓与楔形调节块151连接，楔形调节块151通过调节螺栓的正反向调节来进行前后移动，调节件14底部内壁与承载结构13之间的距离通过楔形调节块151的前后移动而增加和减小；
调节件14底部内壁与承载装置之间的距离增加时，调节件14沿着导向支撑杆12向底座11移动，带动平面板5向底座11方向下压半球壳样品200，半球壳样品200与承载装置之间产生移动，使半球壳样品200开口边缘203全部贴合到平面板5上，使半球壳样品200的开口边缘203所处的平面与底座11的底面平行。
[0098] 其中，调节件14上设有螺纹孔142，螺纹孔142与调节螺栓适配，以使螺纹孔142可以与调节螺栓配合。楔形调节块151设于容纳腔141内，且楔形调节块151设于调节件14与承载结构13之间。调节螺栓与楔形调节块151连接。作为本申请的一些实施例，调节螺栓与楔形调节块151可以枢转连接。作为本申请的一些实施例，调节螺栓与楔形调节块151可以通过轴承连接。
[0099] 楔形调节块151可以通过调节螺栓的正反向调节来进行前后移动，以使调节件14底部内壁与承载结构13之间的距离通过楔形调节块151的前后移动而增加和减小。当需要调节件14底部内壁与承载结构13之间的距离增大时，转动调节螺栓，调节螺栓向容纳腔141内移动并推动楔形调节块151移动，从而实现调节件14底部内壁与承载结构13之间的距离增大的效果。当需要调节件14底部内壁与承载结构13之间的距离减小时，反向转动调节件14，调节螺栓向容纳腔141外移动并拉动楔形调节块151移动，从而实现调节件14底部内壁与承载结构13之间的距离减小的效果。
[0100] 当调节件14底部内壁与承载结构13之间的距离增加时，调节件14沿着导向支撑杆12向底座11移动，由于调节件14与平面板5连接，调节件14可以带动平面板5向底座11方向下压半球壳样品200，以使半球壳样品200与承载装置之间产生移动，有利于使半球壳样品
200开口边缘203全部贴合到平面板5上，从而使半球壳样品200的中轴线处于竖直线上，且半球壳样品200的开口边缘203所处的平面与底座11的底面平行。
[0101] 在本发明的一些实施例中，如图3‑图7所示，在调节件14上设置至少3个调节机构15，并沿调节件14的轴线呈放射状均匀分布。
[0102] 其中，作为本申请的一些实施例，调节件14上设置3个调节机构15，且3个调节机构15沿调节件14的轴线呈放射状均匀分布。作为本申请的一些实施例，调节件14上设置4个调节机构15，且4个调节机构15沿调节件14的轴线呈放射状均匀分布。但本申请不限于此。如此设置可以使调节机构15的设置合理，有利于调节机构15沿调节件14的轴向均匀调节调节件14底部内壁与承载结构13之间的距离，沿半球壳样品200与承载结构13的周向，可以使半球壳样品200与承载结构13之间产生均匀移动，有利于使半球壳样品200开口边缘203全部贴合到平面板5上，从而使半球壳样品200的中轴线处于竖直线上，且半球壳样品200的开口边缘203所处的平面与底座11的底面平行。
[0103] 在本发明的一些实施例中，如图8‑图9所示，第二承载件2上设有与半球壳样品200开口边缘203的口径相匹配的凸台21和台阶槽22，凸台21伸入到半球壳样品200内腔中，且凸台21与半球壳样品200的内壁相互紧密贴合，半球壳样品200的开口边缘203承载在台阶槽22上；第二承载件2上的远离半球壳样品200的一面为平面。
[0104] 其中，第二承载件2上设有凸台21和台阶槽22，凸台21和台阶槽22的尺寸形状与半球壳样品200开口边缘203的口径适配，以使凸台21可以伸入到半球壳样品200内腔中，便于第二承载件2与半球壳样品200装配。凸台21与半球壳样品200的内壁相互紧密贴合，有利于提高凸台21与半球壳样品200的装配可靠性，从而提高半球壳样品200的稳定性和安全性。半球壳样品200的开口边缘203与台阶槽22抵接，以使半球壳样品200的开口边缘203承载在台阶槽22上，降低第二承载件2与半球壳样品200过度装配造成半球壳样品200损伤风险。
[0105] 第二承载件2上远离半球壳样品200的一面为平面。具体地，对半球壳样品200的内表面201及开口边缘203检测完成后，将第二承载件2的部分装配于半球壳样品200内。作为本申请的一些实施例，将凸台21从半球壳样品200的敞开端伸入到半球壳样品200的内腔中，且凸台21与半球壳样品200的内壁相互紧密贴合，半球壳样品200的开口边缘203承载在台阶槽22上，并将第二承载件2与调节件14固定。
[0106] 作为本申请的一些实施例，将第二承载件2、半球壳样品200、调节件14均放置在翻转台41上，以使第二承载件2、半球壳样品200、调节件14进行整体翻转，从而使半球壳样品200和第二承载件2翻转，进而使半球壳样品200承载在第二承载件2上。
[0107] 由于第二承载件2上远离半球壳样品200的一面为平面，且半球壳样品200的开口边缘203承载在台阶槽22上，将第二承载件2远离半球壳样品200的一面置于水平面上，可以使半球壳样品200的中轴线处于竖直线上，并且，此时半球壳样品200的敞开端朝下，拆下调节件14，可以使半球壳样品200的外表面202暴露，便于扫描电镜可以准确扫描半球壳样品200的外表面202。
[0108] 作为本发明的一些实施例，如图10‑图12所示，将第二承载件2转移至第二目标位置前，先将第二承载件2、半球壳样品200、调节件14均放置在翻转台41上，以使第二承载件2、半球壳样品200、调节件14进行整体翻转，从而使半球壳样品200和第二承载件2翻转，进而使半球壳样品200承载在第二承载件2上。
[0109] 作为本发明的一些实施例，如图10‑图12所示，翻转工装4可以包括翻转台41。进一步地，翻转台41相对于翻转工装4可以沿转动轴线转动，转动轴线沿水平方向延伸。翻转台41形成有通孔结构，将第二承载件2、半球壳样品200、调节件14均装配于通孔结构，且第二承载件2与翻转台41的上表面抵接，可以降低第二承载件2从通孔结构内脱落风险。
[0110] 作为本申请的一些实施例，第二承载件2可以包括翻转辅助盖板6，将翻转辅助盖板6与调节件14可拆卸连接，第二承载件2装配于通孔结构内时，连接翻转辅助盖板6与翻转台41。作为本申请的一些实施例，第二承载件2与翻转台41可以通过螺栓连接。作为本申请的一些实施例，第二承载件2与翻转台41也可以通过卡接连接，但本申请不限于此。如此设置可以降低翻转翻转台41时第二承载件2掉落导致半球壳样品200受损风险，提高了半球壳样品200检测过程中的安全性。
[0111] 翻转工装4还可以具有支撑架42，支撑架42可以具有四条纵梁421和支撑横梁422，每两条纵梁421均连接在支撑横梁422的两端，支撑横梁422可以设置在纵梁421的端部，以使支撑架42形成完整的框架结构。支撑架42还可以具有四条加强梁423，加强梁423可以分别连接在相邻两条纵梁421之间，有利于提高支撑架42的结构强度和工作稳定性。翻转台41可转动地安装于支撑架42。具体地，任意一对相对设置的支撑横梁422上可以具有通孔，翻转台41可以设置有两个转轴411，两个转轴411分别位于翻转台41的两侧并装配于支撑横梁422上的通孔内。通过转动转轴411带动翻转台41翻转，可以实现将半球壳样品200倒置的效果。将翻转后的第二承载件2和半球壳样品200搬运至第二目标位置时，可以对半球壳样品
200的外表面202进行检测，进而实现对半球壳样品200的内表面201、外表面202及开口边缘
203均进行准确检测效果。
[0112] 作为本申请的一些实施例，如图8‑图9所示，凸台21可以设置有第二保护层23，第二保护层23可以设置于凸台21与半球壳样品200内表面201贴合的面上，以使凸台21与半球壳样品200内表面201之间设置有第二保护层23。作为本申请的一些实施例，第二保护层23可以单独设置，当半球壳样品200承载在凸台21上时，可以将第二保护层23装配于凸台21与半球壳样品200的内表面201之间，以使凸台21与半球壳样品200的内表面201之间设置一层第二保护层23。作为本申请的一些实施例，第二保护层23可以构造为有弹性的橡胶材质。但本申请不限于此，通过在凸台21与半球壳内表面201之间设置一层第二保护层23，可以降低凸台21与半球壳样品200直接接触的风险，从而降低第二承载件2损伤半球壳样品200风险，有利于提高半球壳样品200的品质。
[0113] 作为本申请的一些实施例，凸台21可以直接构造为橡胶材质，此时无需在凸台21与半球壳内表面201之间额外设置一层第二保护层23，即可降低第二承载件2损伤半球壳样品200风险。
[0114] 在本发明的一些实施例中，如图3‑图6所示，调节件14内壁上设有第三保护层143，第三保护层143是保护半球壳样品200的外表面202与调节件14内壁之间相互移动时，避免损伤半球壳样品200的外表面202。
[0115] 其中，调节件14可以设有第三保护层143，第三保护层143可以设置于调节件14的内壁上。当半球壳样品200装配于调节件14的容纳腔141内时，第三保护层143设置于半球壳样品200和调节件14内壁之间。当调节件14与平面板5配合，以使半球壳样品200移动至半球壳样品200的中轴线处于竖直线上的过程中，半球壳样品200的外表面202与调节件14内壁之间会相互移动。作为本申请的一些实施例，第三保护层143可以为一层润滑油。作为本申请的一些实施例，第三保护层143可以为具有润滑作用的橡胶层、橡胶圈。但本申请不限于此。半球壳样品200移动过程中，如此设置可以降低调节件14内壁损伤半球壳样品200的外表面202风险，从而提高半球壳样品200的品质。
[0116] 在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
[0117] 尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。
