本发明专利公开了一种二氧化氮循环利用的工艺及其装置,该工艺以脱气后的粗品二甲基亚砜为原料,经两级粗二甲基亚砜吸收二氧化氮,进入微通道反应器用作二甲基硫醚氧化的催化剂,实现循环利用。该装置包含尾气吸收单元、微反应器单元、换热器单元、分离器单元;技术采用二甲基亚砜低温吸收技术,将氮氧化物循环利用,节能减排,操作便捷、绿色高效等优点。