本发明涉及石英涂炭技术领域，具体涉及一种环保型石英表面涂炭装置及方法，包括以下步骤：S1.石英容器表面处理；S2.除去石英容器内的空气，使石英容器置于真空环境；S3.在真空状态下预热；S4.碳源旋转溅射；S5.高温煅烧，煅烧完成后，在常温环境中进行急速降温，完成涂炭。本发明装置和方法采用了真空碳源溅射的方法，碳源均匀溅至石英表面，形成的碳层均匀致密，附着力强，不易脱落。碳层隔离试料与石英，降低合成时炸裂的风险，石英容器可多次重复使用，降低成本。
