[0001] 本发明属于钢铁材料分析检测技术领域，尤其涉及一种利用OTS连续检测不同高度钢样中非金属夹杂物的方法。

[0002] OTS全自动钢中非金属夹杂物分析系统是一套集扫描电子显微镜、大面积高速能谱探测器、夹杂物自动分析软件以及样品洁净度评价及建议为一体的综合性分析系统。

[0003] OTS全自动钢中非金属夹杂物分析系统具有很多优点：

[0004] (1)可以定量进行夹杂物分析。

[0005] (2)分析速度快，并自动存储所有夹杂物颗粒的照片、位置、大小和形貌等信息。

[0006] (3)可以对某种尺寸或成分的夹杂物进行有选择的检测分析。

[0007] (4)自动生成报告的功能。它不但可以根据夹杂物的大小和化学组成进行统计报告，更是将所有夹杂物的组成分布体现在自定义的三元分布图上，让使用者对夹杂物的成分分布情况一目了然。

[0008] 尽管OTS全自动钢中非金属夹杂物分析系统存在很多优点，但也存在着一定的缺点。其中，我们在制样过程中需要线切割机切割、砂轮机打磨、金相磨样机打磨、抛光剂抛光等工序。此过程需要人工参与，这样就不可能将试样制成完全一样平的。此时，如果为了提高检测效率，利用OTS全自动钢中非金属夹杂物分析系统需要对不同高度的试样进行连续检测是不可能的，这是因为不同高度试样在电镜下成像的清晰度和分辨率不同使得非金属夹杂物检测存在较大偏差。实现连续检测的试样高度差要小于0.1mm，这样才能聚焦清晰，否则不能实现同步检测。

[0028] 为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合具体实施例及附图，对本发明作进一步详细的说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

[0029] 如图1‑5所示，一种利用OTS连续检测不同高度钢样中非金属夹杂物的方法，包括依次进行：

[0030] (1)制备补偿片：加工或购买若干厚度不同的不锈钢片，不锈钢片的厚度从0.1mm开始以0.1mm的厚度差递增。也即是准备0.1mm、0.2mm、0.3mm，……，Nmm的不锈钢片，N为最厚的不锈钢片的厚度，N的数值根据平时加工金相样的实际情况来确定，因此未进行限定。比如说平时加工金相样时，金相样的最大高度差(高度最低和高度最高的金相样之间的高度差值)为4mm，偶尔出现最大高度差大于4mm的情况，那么我们在准备补偿片时，可以将4mm及以下厚度规格的不锈钢片准备好，裁切成补偿片。

[0031] 偶尔出现最大高度差大于4mm的情况时，当时加工或者单独对该金相样检测即可，具体的措施可以根据实际情况来选择，如果加工方便，那么就选择当时加工；如果加工不方便或者加工费时，那么就单独对该金相样检测以节省时间。也就是说把常用厚度规格的补偿片制作好备用，其他规格当时加工或单独检测，这样可以提高检测的效率。

[0032] 由于各钢厂对于金相样的尺寸要求不一，因此不对金相样、补偿片的尺寸进行限定，本实施例中的金相样的尺寸要求以20mm×20mm×20mm的正方体型为例，因此将补偿片裁切成边长为2mm的正方形。

[0033] (2)筛选偏差样组：将待检测的试样经过线切割、砂轮机打磨、金相磨样机打磨、抛光剂抛光，最终得到若干金相样，用游标卡尺测量每个金相样高度，并按照标准高度差、最大进样数将若干金相样分成若干正常样组和偏差样组。

[0034] 最大进样数为，OTS系统的电子显微镜样品台每次检测所能承载的金相样的最大数量；标准高度差为，同时检测多个金相样时，各金相样之间的高度的差值，标准高度差为0.1mm；正常样组为，组内的金相样的数量为最大进样数，组内的各个金相样之间的高度差小于等于标准高度差；偏差样组为，组内的金相样的数量小于等于最大进样数，组内至少有两个金相样之间的高度差大于标准高度差。

[0035] 本实施例对金相样的尺寸要求下，OTS系统的电子显微镜样品台每次检测最多能放置4个金相样。由于处理待检测的试样时需要保证金相样的表面满足检测要求，因此无法保证所有金相样的高度均为20mm，总有一些金相样的高度偏差过大，因此需要进行筛选。

[0036] 如图1所示，筛选出的一个偏差样组中高度偏差较大，其中的金相样高度由低到高进行排列并分别编号1#、2#、3#、4#，高度分别为17.6mm、18.3mm、19.4mm、20.5mm，[0037] (3)高度补偿：以每个偏差样组中最高的金相样为标准，计算每个剩余的金相样与最高金相样的高度差，根据计算出的高度差选择对应的补偿片，并将补偿片通过导电胶粘贴在对应的金相样上，使同一个偏差样组中的各个金相样之间的高度差小于等于标准高度差。

[0038] 步骤(2)中的4#金相样的高度最高为20.5mm，1#、2#、3#与4#的高度差分别为2.9mm、2.2mm、1.1mm。

[0039] 如图2‑3所示，从补偿片中分别找出厚度分别为2.9mm、2.2mm、1.1mm的三个补偿片，并将厚度为2.9mm、2.2mm、1.1mm的三个补偿片通过导电胶分别粘贴在1#、2#、3#金相样的底部，这样1#、2#、3#金相样与4#金相样的高度差均小于标准高度差。

[0040] (4)试样检测：如图4‑5所示，将一个偏差样组中的各个金相样用导电胶粘在OTS系统的电子显微镜样品台上，带有补偿片的金相样粘贴时，将补偿片一端用导电胶粘在OTS系统的电子显微镜样品台上，抽真空，打开高压，调整电子显微镜的焦距及亮度对比度，调其灰度使夹杂物和基体能够很好的分辨出来，打开OTS软件，对四个样品进行同步检测。

[0041] 上面所述的实施例仅仅是对本发明的优选实施方式进行描述，并非对本发明的构思和范围进行限定。在不脱离本发明设计构思的前提下，本领域普通人员对本发明的技术方案做出的各种变型和改进，均应落入到本发明的保护范围。

[0042] 本发明未详细描述的技术、形状、构造部分均为公知技术。