技术领域
[0001] 本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种半导体器件制造用化学产品生产过滤装置。
相关背景技术
[0002] 半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。
[0003] 在半导体生产过程中，需要利用化学产品对晶圆进行蚀刻和清洗等处理，在进行蚀刻处理前，通常需要对化学产品进行过滤，去除化学产品中的杂质，避免对晶圆的蚀刻造成影响。
[0004] 基于现有的化学产品过滤装置，在对化学产品进行过滤时，存在以下问题：
[0005] 1、不便于清理过滤下来的杂质，导致杂质容易造成滤网堵塞，实用性低。
[0006] 2、在对化学产品进行过滤时，没有对化学产品自身的异味进行净化处理，造成异味飘散在外界空气中，对人体健康不利，环保性差。
具体实施方式
[0030] 下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0031] 实施例1，参照图1‑4，一种半导体器件制造用化学产品生产过滤装置，包括外壳1，外壳1包括底框101、安装筒102和顶盖103，安装筒102固设于底框101顶部内壁上，顶盖103通过螺栓连接于安装筒102顶部外壁上，外壳1内设有过滤机构2，过滤机构2包括四个连接块201、过滤筒202和盖板203，四个连接块201分别固设于安装筒102下部内壁上，过滤筒202下部分别固设于四个连接块201一端外壁上，盖板203顶部外壁上开有若干个通风孔，盖板203固设于过滤筒202顶部外壁上，安装筒102一侧贯穿并固设有进液管204，进液管204一端固设于过滤筒202一边内壁上，底框101内设有密封机构3，密封机构3包括底盖301、挡板
304、支撑柱305和六角柱306，底盖301通过螺栓连接于底框101内壁上，底盖301底部内壁上固设有排液管302，底盖301底部内壁上固设有四个支撑杆303，挡板304底部分别固设于四个支撑杆303顶端外壁上，支撑柱305通过轴承连接于挡板304顶部外壁上，六角柱306固设于支撑柱305顶部外壁上，其中安装筒102一边位于盖板203底部的内壁上固设有单向进气阀，取下固定底盖301的螺栓，即可将底盖301和挡板304取下，进而对过滤筒202和挡板304进行清理。
[0032] 实施例2，参照图1‑2和图5‑6，一种半导体器件制造用化学产品生产过滤装置，还包括了动力机构4，动力机构4包括伺服电机401、旋转轴402、主动锥齿轮403和主动齿轮404，伺服电机401通过螺栓连接于顶盖103顶部外壁上，旋转轴402通过联轴器连接于伺服电机401输出轴底端外壁上，主动锥齿轮403和主动齿轮404分别固设于旋转轴402下部外壁上，过滤筒202内设有离心组件5，离心组件5包括离心轴501、若干个刮板502、传动轴503和从动齿轮504，离心轴501底端外壁上开有卡槽51，卡槽51卡接于六角柱306外壁上，刮板502固设于离心轴501外壁上，刮板502一边抵接于过滤筒202内壁上，传动轴503固设于离心轴
501顶端外壁上，传动轴503贯穿并通过轴承连接于盖板203顶部外壁上，从动齿轮504固设于传动轴503下部外壁上，从动齿轮504与主动齿轮404相互啮合形成传动配合，在适当的离心力作用下，使得化学产品不会发生分层，只能对化学产品和杂质进行分离。
[0033] 实施例3，参照图1‑2和图5‑6，一种半导体器件制造用化学产品生产过滤装置，还包括了扇风组件6，扇风组件6包括固定板601、传动杆602、从动锥齿轮603和扇叶604，固定板601两端分别固设于安装筒102两边的上部内壁上，传动杆602贯穿并通过轴承连接于固定板601一侧外壁上，其中传动轴503顶端通过轴承连接于固定板601的底部外壁上，从动锥齿轮603固设于传动杆602一端外壁上，从动锥齿轮603与主动锥齿轮403相互啮合形成传动配合，扇叶604固设于传动杆602一端外壁上，安装筒102内设有输送机构7，输送机构7包括引风罩701、输送管702和安装箱703，引风罩701通过螺栓连接于固定板601一侧外壁上，扇叶604位于引风罩701内，输送管702固设于引风罩701一端外壁上，安装箱703通过螺栓连接于顶盖103顶部外壁上，输送管702一端固设于安装箱703一侧内壁上，安装箱703一侧的上部外壁上开有出风口，出风口处固设有防尘网704，安装箱703内设有若干个净化组件8，净化组件8包括活性炭过滤板801和限位板802，安装箱703顶部外壁上开有若干个固定口，活性炭过滤板801插接于固定口内，限位板802固设于活性炭过滤板801顶部外壁上，限位板802抵接于安装箱703顶部外壁上。
[0034] 化学产品从进液管204处进入到过滤筒202内，并在过滤筒202内以螺旋下降的方式沿着过滤筒202的内壁移动，伺服电机401输出轴转动，带动旋转轴402和主动齿轮404转动，进而带动从动齿轮504、传动轴503、离心轴501和刮板502转动，刮板502对过滤筒202的内壁进行清理，同时将液相的化学产品甩出过滤筒202，实现液相的化学产品与固相的杂质分离，化学产品在安装筒102内落在底盖301内，随后由排液管302排出，伺服电机401输出轴转动时带动主动锥齿轮403转动，进而带动从动锥齿轮603、传动杆602和扇叶604转动，扇叶604将化学产品散发出的异味输送到安装箱703内，随后在多个活性炭过滤板801的作用下对异味进行吸附净化处理，净化后的气体从防尘网704处排出，对伺服电机401产生的热量输送到远处，取下固定底盖301的螺栓，即可将底盖301和挡板304取出，随后对挡板304和过滤筒202上的杂质进行清理即可。
[0035] 本发明并不限于上述的实施方式，在本领域技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本发明宗旨的前提下做出各种变化，变化后的内容仍属于本发明的保护范围。
