[0001] 本发明涉及传感器，尤其涉及一种平膜压力传感器。

[0002] 压力传感器是用于检测管道内介质压力的装置，扩散硅MEMS充油芯体传感器是一种压力传感器，内部设置波纹隔膜，压力作用在隔膜上，隔膜变形，由于液体(硅油)不可被压缩，液体作用在硅杯上，使硅杯变形，达到传感器检测压力的效果，但是这种传感器的封装工艺比较复杂，充入硅油时必须要在真空环境下进行。

[0015] 下面结合附图，说明本实施例的具体实施方式。

[0016] 如图1、图2所示，实施例一的平膜压力传感器，包括第一外壳1和第二外壳2，第一外壳1下端安装在第二外壳2上端，且第一外壳1下端设置安装腔11，安装腔11内安装压力检测单元3，第二外壳2内位于压力检测单元3下方焊接有金属平膜隔膜4，压力检测单元3下端设置压力感应膜片31，压力感应膜片31紧贴金属平膜隔膜4，且金属平膜隔膜4面积远大于压力感应膜片31的面积，第一外壳1和第二外壳2之间通过金属平膜隔膜4密封，第二外壳2位于金属平膜隔膜4下端开设连通至外侧的通孔21，金属平膜隔膜4采用不锈钢制成，厚度为0.05mm。

[0017] 实施例二的平膜压力传感器的金属平膜隔膜4采用铜制成，厚度为0.07mm。

[0018] 实施例三的平膜压力传感器的的金属平膜隔膜4采用铜制成，厚度为0.1mm。

[0019] 实施例一、二和三的平膜压力传感器安装时，将压力检测单元3的压力感应膜片31向下安装在第一外壳1的安装腔11内，再将金属平膜隔膜4焊接固定到第二外壳2内部，然后将第一外壳1安装到第二外壳2上端，使压力检测单元3的压力感应膜片31紧贴金属平膜隔膜4，并使第一外壳1紧贴金属平膜隔膜4，通过金属平膜隔膜4密封第一外壳1和第二外壳2，即完成传感器装配，装配完成后，通过第二外壳2将传感器连接到管路上，管路内的压力经过穿过第二外壳2上的通孔21，作用于金属平膜隔膜4上，造成金属平膜隔膜4变形，金属平膜隔膜4作用在压力感应膜片31，造成压力感应膜片31变形，即可通过压力感应膜片31感应检测管道内的压力。

[0020] 以上描述是对本发明的解释，不是对发明的限定，本发明所限定的范围参见权利要求，在不违背本发明的基本结构的情况下，本发明可以作任何形式的修改。