本发明提供了一种卡盘及承载装置。本发明提供的卡盘，用于与压环配合实现固定基片，其包括基体，所述基体的上表面上设置有用于承载基片的凸台，所述基体和所述凸台均采用导电材料制成，且与偏压电源电联接，用于向所述基片提供负偏压，还包括采用导电材料制成且与所述偏压电源电联接的辅助件，所述辅助件设置在所述凸台的侧壁外侧且贴近所述凸台的位置处，并且，所述辅助件的上表面不低于所述凸台的上表面。该卡盘及承载装置，可以减轻或甚至消除TILT刻蚀现象，从而可以提高刻蚀均匀性。
