具体技术细节
[0006] 本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种卡盘及承载装置，可以减轻或甚至消除TILT刻蚀现象，从而可以提高刻蚀均匀性。
[0007] 为解决上述问题之一，本发明提供了一种卡盘，用于与压环配合实现固定基片，所述卡盘包括基体，所述基体的上表面上设置有用于承载基片的凸台，所述基体和所述凸台均采用导电材料制成，且与偏压电源电联接，用于向所述基片提供负偏压，所述卡盘还包括采用导电材料制成且与所述偏压电源电联接的辅助件，所述辅助件设置在所述凸台的侧壁外侧且贴近所述凸台的位置处，并且，所述辅助件的上表面不低于所述凸台的上表面。
[0008] 具体地，所述压环包括环体，所述环体内圈的下表面叠压在所述基片的边缘区域，用以将所述基片固定在所述凸台上；所述辅助件为环形辅助件。
[0009] 具体地，所述压环包括环体和沿所述环体的周向间隔设置的多个压爪，每个所述压爪用于叠压在所述基片的边缘区域，用以将所述基片固定在所述凸台上；所述辅助件为环形辅助件，或者，所述辅助件包括多个子辅助件，所述子辅助件与所述压爪一一对应设置。
[0010] 具体地，所述辅助件的上表面高于所述凸台的上表面，用以形成限定所述凸台上的基片的挡墙。
[0011] 具体地，所述辅助件、所述基体和所述凸台为一体式结构；或者，所述辅助件、所述基体和所述凸台中至少两个为分体式结构。
[0012] 具体地，所述辅助件、所述基体和所述凸台采用的导电材料相同。
[0013] 具体地，所述辅助件的上表面上的靠近凸台的位置处形成有下凹的台阶，所述台阶的台阶面低于所述凸台的上表面。
[0014] 具体地，所述环形辅助件和所述凸台的横截面的轮廓形状与所述基片的横截面的轮廓形状相似，且为具有拐角的图形。
[0015] 本发明还提供一种承载装置，包括卡盘和压环，所述卡盘用于承载基片，所述压环用于叠压在所述基片的边缘区域，以将基片固定在所述卡盘上，所述卡盘本发明提供的卡盘。
[0016] 具体地，还包括绝缘环，用于覆盖所述卡盘的基体的位于所述凸台侧壁外侧的外露上表面。
[0017] 本发明具有以下有益效果：
[0018] 本发明提供的卡盘，其在凸台的侧壁外侧且贴近凸台的位置处增设了一个与偏压电源电联接且导电材料制成的辅助件，这与现有技术的卡盘相比，贴近凸台的辅助件会向接近凸台上基片的部分压环提供负偏压，这样可以减少甚至消除该部分压环上累积的正电荷，因而可以减弱甚至消除基片边缘区域的畸变区，而位于远离基片边缘区域的位置的畸变区对刻蚀的影响较小，可忽略不计，从而可以减轻或甚至消除TILT刻蚀现象，提高刻蚀均匀性。
[0019] 本发明提供的承载装置，其采用本发明另一技术方案提供的卡盘，可以减轻或甚至消除TILT刻蚀现象，从而可以提高刻蚀均匀性。
法律保护范围
涉及权利要求数量10：其中独权2项，从权-2项
1.一种卡盘，用于与压环配合实现固定基片，所述卡盘包括基体，所述基体的上表面上设置有用于承载基片的凸台，所述基体和所述凸台均采用导电材料制成，且与偏压电源电联接，用于向所述基片提供负偏压，其特征在于，所述卡盘还包括采用导电材料制成且与所述偏压电源电联接的辅助件，所述辅助件设置在所述凸台的侧壁外侧且贴近所述凸台的位置处，并且，所述辅助件的上表面不低于所述凸台的上表面。
2.根据权利要求1所述的卡盘，其特征在于，所述压环包括环体，所述环体内圈的下表面叠压在所述基片的边缘区域，用以将所述基片固定在所述凸台上；
所述辅助件为环形辅助件。
3.根据权利要求1所述的卡盘，其特征在于，所述压环包括环体和沿所述环体的周向间隔设置的多个压爪，每个所述压爪用于叠压在所述基片的边缘区域，用以将所述基片固定在所述凸台上；
所述辅助件为环形辅助件，或者，所述辅助件包括多个子辅助件，所述子辅助件与所述压爪一一对应设置。
4.根据权利要求1-3任意一项所述的卡盘，其特征在于，所述辅助件的上表面高于所述凸台的上表面，用以形成限定所述凸台上的基片的挡墙。
5.根据权利要求4所述的卡盘，其特征在于，所述辅助件、所述基体和所述凸台为一体式结构；或者
所述辅助件、所述基体和所述凸台中至少两个为分体式结构。
6.根据权利要求1所述的卡盘，其特征在于，所述辅助件、所述基体和所述凸台采用的导电材料相同。
7.根据权利要求4所述的卡盘，其特征在于，所述辅助件的上表面上的靠近凸台的位置处形成有下凹的台阶，所述台阶的台阶面低于所述凸台的上表面。
8.根据权利要求2或3所述的卡盘，其特征在于，所述环形辅助件和所述凸台的横截面的轮廓形状与所述基片的横截面的轮廓形状相似，且为具有拐角的图形。
9.一种承载装置，包括卡盘和压环，所述卡盘用于承载基片，所述压环用于叠压在所述基片的边缘区域，以将基片固定在所述卡盘上，其特征在于，所述卡盘采用上述权利要求
1-8任意一项所述的卡盘。
10.根据权利要求9所述的承载装置，其特征在于，还包括绝缘环，用于覆盖所述卡盘的基体的位于所述凸台侧壁外侧的外露上表面。
