[0001] 本实用新型涉及识别码识别产品制作技术领域，尤其涉及一种识别码识别装置。

[0002] 在半导体硅片制造领域中，在不同工艺端、不同设备所上载的载具规格不同，因此载具所贴附的识别码的规格、位置等都不径相同。

[0003] 现有技术中的读码器处于固定状态，其位置不能调节，扫描范围比较小，扫描范围无法覆盖所有类型的载具上的识别码的位置，导致部分载具上的识别码读取失败。频繁读码失败会导致设备无法正常开始作业，造成设备利用率下降。在自动化生产时，读码失败需人为处理，降低设备稼动率。在手动生产状态下，读码失败会造成操作者的错误判断，严重情况可能造成机械硬件的损坏、设备内环境颗粒污染和金属污染等，短时间不能恢复生产。实用新型内容

[0004] 为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种识别码识别装置，解决由于读码器位置无法调节而导致识别码识别失败的问题。

[0005] 为了达到上述目的，本实用新型实施例采用的技术方案是：一种识别码识别装置，用于识别待识别结构上的识别码，包括：

[0006] 识别部分，用于识别待识别结构上的识别码；

[0007] 识别码信息获取部分，用于获取待识别结构上的识别码的参数信息，所述参数信息包括识别码的位置信息和识别码的尺寸；

[0008] 移动部分，用于根据所述识别码的参数信息，控制所述识别部分移动至待识别结构上的识别码的位置，以进行识别。

[0009] 可选的，所述识别码信息获取部分包括基板和设置于所述基板上的多个压力传感器；

[0010] 所述待识别结构为用于装载硅片的多种类型的载具，不同类型的载具的底部设置不同的镂空图案，以使得多个所述压力传感器发出不同的信号。

[0011] 可选的，所述镂空图案包括至少一个通孔，在所述载具压接于所述基板上时，每个所述通孔完全覆盖对应的所述压力传感器；

[0012] 其中，不同类型的所述载具所包括的通孔的数量或位置不同。

[0013] 可选的，所述识别码信息获取部分还包括处理单元，用于根据多个所述压力传感器传输的信号获取载具的类型，并获取该载具的识别码的参数信息。

[0014] 可选的，多个所述压力传感器包括对应于所述镂空图案的镂空区域的第一子压力传感器，以及对应所述镂空图案的实体区域的第二子压力传感器，所述第一子压力传感器感应的压力大于所述第二子压力传感器感应的压力。

[0015] 可选的，所述移动部分包括水平移动单元，所述水平移动单元包括沿水平方向延伸设置的第一导轨，所述识别部分包括可移动的设置于所述第一导轨上的识别传感器。

[0016] 可选的，所述移动部分还包括升降移动单元，所述升降移动单元包括沿竖直方向延伸设置的第二导轨，所述第二导轨的第一端可移动的设置于所述第一导轨上，所述识别传感器可移动的设置于所述第二导轨上。

[0017] 可选的，所述移动部分还包括：旋转移动单元，包括通过第一旋转轴旋转设置于所述第二导轨远离所述第一导轨的第二端的旋转连接板，所述识别传感器设置于所述旋转连接板上。

[0018] 可选的，所述旋转连接板可绕所述第二端进行360度旋转。

[0019] 可选的，所述第一导轨通过第二旋转轴连接于所述识别码信息获取部分的一侧，使得所述第一导轨可绕所述旋转轴在水平面内旋转。

[0020] 本实用新型的有益效果是：通过识别码信息获取部分和移动部分的相互配合，实现所述识别部分的位置可调，从而扩大识别部分的识别范围，且可以使得识别部分准确的移动至待识别结构的识别码的贴付位置，以进行识别。

[0025] 为使本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例的附图，对本公开实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本公开的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。

[0026] 除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”、“一”或者“该”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

[0027] 参考图1‑图4，本实施例提供一种识别码识别装置，用于识别待识别结构上的识别码，包括：

[0028] 识别部分，用于识别待识别结构上的识别码；

[0029] 识别码信息获取部分，用于获取待识别结构上的识别码的参数信息，所述参数信息包括识别码的位置信息和识别码的尺寸；

[0030] 移动部分，用于根据所述感应部分获得的识别码的参数信息，控制所述识别部分移动至待识别结构上的识别码的位置，以进行识别。

[0031] 通过移动部分的设置，实现所述识别部分的位置可调，从而扩大识别部分的识别范围，通过所述识别码信息获取部分的设置可以精确的获取不同待识别结构的识别码的贴付位置、尺寸大小等识别码的参数信息，所述识别码信息获取部分和所述移动部分相互配合，可以使得识别部分准确的移动至待识别结构的识别码的贴付位置，并对识别码进行全方位的扫描识别。

[0032] 以下以待识别结构为用于装载硅片的载具为例对本实施例中的识别码识别装置进行具体说明，但识别结构并不限制为用于装载硅片的载具。

[0033] 示例性的实施方式中，参考图2，所述识别码信息获取部分包括基板1和设置于所述基板1上的多个压力传感器11；

[0034] 所述待识别结构为用于装载硅片的多种类型的载具，不同类型的载具的底部设置不同的镂空图案，以使得多个所述压力传感器11发出不同的信号。

[0035] 在载具压接于所述基板1上是，对应于镂空图案的镂空区域的压力传感器11输出的信号，和对应于镂空图案的实体区域的压力传感器11输出的信号是不同的，依据于此，可以判断对应的载具的类型，从而获取对应的载具的识别码的参数信息。

[0036] 示例性的，所述镂空图案包括至少一个通孔，在所述载具压接于所述基板1上时，每个所述通孔完全覆盖对应的所述压力传感器11；

[0037] 其中，不同类型的所述载具所包括的通孔的数量或位置不同。

[0038] 需要说明的是，在不同工艺端、不同设备所上载的载具规格不同(载具的尺寸、重量、使用场景等不同)，载具上贴付的识别码的位置、识别码的大小等不同，但是同种类的载具上的识别码是相同的(包括贴付位置和尺寸大小)，根据此特性，根据所述压力传感器11发出的信号对载具的类型进行识别，然后对应确定相应类型的载具的识别码的参数信息，从而所述移动部分可以控制所述识别部分移动，以准确的识别相应的载具上的识别码。

[0039] 在所有的载具的底部均设置通孔，但是不同类型的所述载具设置不同的通孔，例如不同类型的所述载具的底部设置的通孔的数量不同，和/或，不同类型的所述载具的底部设置的通孔的位置不同。

[0040] 所有的载具的底部的通孔是根据所述压力传感器11的位置和大小设置的，参考图2，图2中分散设置了7个压力传感器，可分别对其进行标号1、2、3、4、5、6、7，对应于7个压力传感器的设置，第一种类型的载具的底部可以仅设置与1号压力传感器相对应的通孔，即在载具压接于所述基板1上时，由于通孔的设置，1号压力传感器可插入到对应的通孔内，因此感应的压力相对于其他的压力传感器较小，第二种类型的载具的底部可以仅设置与2号压力传感器相对应的通孔，以与第一种类型的载具进行区分，载具的底部可以设置一个通孔，也可以设置多个通孔，例如一种类型的载具的底部可以设置对应于3号压力传感器和4号压力传感器的两个通孔，只要载具的底部的通孔的设置与多个所述压力触感器相配合，使得相应的载具具有唯一识别性即可。

[0041] 需要说明的是，所述压力传感器的数量和分布，以及不同的载具的底部的镂空图案的设置均可以根据实际需要设定，并不限于图2中所示。

[0042] 示例性的，所述识别码识别装置还包括存储部分，用于存储，所述镂空图案的参数信息与载具的类型的对应关系，以及载具的类型与相应的识别码的参数信息的对应关系，这样在载具压接于所述基板上时，多个所述压力传感器会根据自身感应的压力发出相应的脉冲信号，由于不同载具上的镂空图案不同，这样对应于不同的载具，多个所述压力传感器所发出的脉冲信号不同，这样就可以根据多个所述压力传感器发出的信号识别载具的类型，并对应相应的载具的识别码的参数信息，从而所述移动部分可以根据该识别码的参数信息控制所述识别部分移动，以对相应的载具的识别码进行全方位精确的扫描识别，快速高效，降低读码失败频率，减少在手动上载时操作者的失误，满足更多种类载具上的识别码的读取，全面实现工厂自动化生产。

[0043] 需要说明的是，所述识别码可以为条形码或二维码，在此并不做限制。

[0044] 需要说明的是，为了提高所述压力传感器的感应的准确性，所述压力传感器的尺寸小于所述通孔的尺寸，即在载具承载于所述基板上时，所述通孔在所述基板上的正投影完全覆盖对应的压力传感器，在一些实施方式中，所述通孔在所述基板上的正投影的面积大于所述压力传感器在所述基板上的正投影的面积，以保证在载具承载于所述基板上时，对于所述镂空图案的镂空区域(即所述通孔)，对应的压力传感器可插入到通孔内。

[0045] 示例性的实施方式中，所述识别码信息获取部分包括存储单元，用于存储，所述镂空图案的参数信息与压力传感器的信号的对应关系，所述镂空图案的参数信息与载具的类型的对应关系，以及载具的类型与相应的识别码的参数信息的对应关系，所述识别码信息获取部分还包括处理单元，用于获取所述压力传感器发送的信号，并根据该信号以及所述存储单元中存储的上述对应关系获取该载具的识别码的参数信息。

[0046] 示例性的实施方式中，多个所述压力传感器包括对应于所述通孔(即所述镂空图案的镂空区域)的第一子压力传感器，以及对应所述通孔之外的区域(即所述镂空图案的实体区域)的第二子压力传感器，所述第一子压力传感器感应的压力大于所述第二子压力传感器感应的压力。

[0047] 在载具承载于所述基板上时，不同的载具的重力不同，且对于所述镂空图案的镂空区域，第二子压力传感器可插入相应的通孔内，对于所述镂空图案的实体区域，是直接压接于所述第一子压力传感器的，因此，所述第一子压力传感器感应的压力大于所述第二子压力传感器感应的压力。不同的载具上的通孔的数量和/或位置是不同的，这样对应于不同类型的载具，多个所述压力传感器发出的信号也是不同的，因此可以通过此方式识别不同类型的载具，进而获得不同类型的载具的识别码的参数信息。

[0048] 所述移动部分的具体结构形式可以有多种，只要可以控制所述识别部分的移动，使得所述识别部分的位置可调即可。

[0049] 示例性的实施方式中，所述移动部分包括：

[0050] 水平移动单元，包括沿水平方向延伸设置的第一导轨3，所述识别部分包括可移动的设置于所述第一导轨3上的识别传感器6。

[0051] 所述第一导轨3的一端可以连接于所述基板1的一侧，所述第一导轨3沿着远离所述基板1的方向水平延伸设置，所述识别传感器通过一滑块4可移动的设置于所述第一导轨3上，以实现所述识别传感器在所述第一导轨3的延伸方向上的移动。

[0052] 示例性的，所述第一导轨3可以为一丝杠，所述滑块4套设在所述丝杠上，但并不以此为限。

[0053] 示例性的，所述第一导轨3包括交叉设置的多个子导轨，所述识别传感器可沿着多个子导轨在多个方向移动，增加所述识别传感器6的移动范围。

[0054] 示例性的，所述第一导轨3包括相垂直设置的第一子导轨和第二子导轨，且所述第一子导轨的延伸方向和所述第二子导轨的延伸方向均与水平方向相平行，均所述第一子导轨可移动的设置于所述第二子导轨上，进一步的提升所述识别传感器的移动范围。

[0055] 示例性的，所述移动部分还包括升降移动单元，所述升降移动单元包括沿竖直方向延伸设置的第二导轨5，所述第二导轨5的第一端可移动的设置于所述第一导轨3上，所述识别传感器6可移动的设置于第二导轨5上。

[0056] 所述第二导轨5可为一丝杠，所述第二导轨5通过滑块4可移动的设置于所述第一导轨3上，所述识别传感器6可以通过滑块可移动的设置于所述第二导轨5上。

[0057] 示例性的，所述移动部分还包括旋转移动单元，所述旋转移动单元包括通过第一旋转轴旋转设置于所述第二导轨5远离所述第一导轨3的第二端的旋转连接板，所述识别传感器6设置于所述旋转连接板上。

[0058] 示例性的，所述旋转连接板可在垂直于水平面的一个竖直平面内进行旋转。

[0059] 示例性的，所述旋转连接板可绕所述第二端进行360度旋转，从而使得所述识别传感器6可绕所述第一旋转轴进行360度旋转。

[0060] 示例性的，所述第一导轨3通过第二旋转轴连接于所述基板1的一侧，使得所述第一导轨3可绕所述第二旋转轴在水平面内旋转。

[0061] 参考图3，在一些具体实施方式中，所述移动部分包括水平移动单元，所述水平移动单元包括作为所述第一导轨3的丝杠，和通过滑块4可移动的设置于所述第一导轨3上的第二导轨5，所述第二导轨5远离所述第一导轨3的一端通过第一旋转轴旋转连接所述识别传感器6，所述第一导轨3通过第二旋转轴旋转连接于所述基板1的一侧，所述第一旋转轴与旋转驱动部2连接。

[0062] 图4为本实施例的识别码识别装置的使用状态示意图，所述识别码识别装置30放置于一个工艺端的上载台20上，且所述识别码信号获取部分的基板1位于所述上载台20上，载具10放置于所述基板1上，通过所述基板1上的压力传感器进行识别，以获得载具10上的识别码的参数信息，从而所述移动部分通过控制所述识别部分进行移动以对载具上的识别码进行全方位精确的扫描识别。

[0063] 图4中的虚线为识别部分的扫描线，识别部分的扫描范围可以是在竖直方向上的90度的范围内，和/或在水平方向上的90度的范围内，和/或在360度的扫描范围内，扩大识别部分的扫描范围，减少读码失败频率。

[0064] 可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。