[0001] 本实用新型涉及薄膜材料制备技术领域，具体为一种薄膜材料制备装置。

[0002] 薄膜旋涂制膜法可以制备有机和无机薄膜，其主要特点是成膜面积大且膜厚高度可控和再生。

[0003] 在传统薄膜制备装置中，如申请号：202121238194.0；名为：一种晶圆表面薄膜制备装置。该装置包括：薄膜制备固定台板，薄膜制备固定台板的上方固定连接有多通道气滑环，多通道气滑环包括气滑环外壳。通过排气吸附顶盘、泄气管和电磁阀的配合设置，使该晶圆表面薄膜制备装置具备了避免晶圆与工装表面产生空气薄膜提高排气速度进而提高工作效率的效果，通过排气吸附底盘、排气吸附顶盘和抽真空气管的配合设置，使该晶圆表面薄膜制备装置具备了避免硬度高的夹具直接作用在晶圆上且作用力均匀进而避免晶圆破损的效果。

[0004] 但是，该薄膜材料制备装置，因为离心式薄膜制备用到的滴管滴液过程会出现液滴落在离心盘飞溅和滴液量控制较难现象，造成薄膜制备难度大、产品制备精度低的问题；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种薄膜材料制备装置。
实用新型内容

[0005] 本实用新型的目的在于提供一种薄膜材料制备装置，以解决上述背景技术中提出的现有薄膜材料制备装置，因为离心式薄膜制备用到的滴管滴液过程会出现液滴落在离心盘飞溅和滴液量控制较难现象，造成薄膜制备难度大、产品制备精度低的问题。

[0006] 为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种薄膜材料制备装置，包括转盘、滴管、转盘驱动电机，其特征在于：所述转盘设置在转盘驱动电机的上方，且转盘驱动电机的上方输出端与转盘传动连接，所述滴管设置在转盘的圆心正上方，所述滴管的内部由制膜液储藏仓和制膜液排出仓组成，且制膜液储藏仓与制膜液排出仓上下排列组合设置，所述滴管的上端设置有球阀控制器。

[0007] 进一步，所述球阀控制器的内部设置有球阀控制电机，所述制膜液排出仓的内部设置有球阀，且球阀的直径大于滴管下端面洞口的直径，所述滴管的后端设置有制膜液管道，且制膜液管道与制膜液储藏仓的内部管道连接，所述球阀控制器的上端设置有外部连接杆，且外部连接杆与球阀控制器的上端面螺栓固定连接，所述球阀的下端设置有硬质金属丝，且硬质金属丝与球阀固定连接。

[0008] 进一步，所述球阀的上端设置有复位弹簧，且复位弹簧的两端分别于制膜液排出仓的内壁、球阀的上端面固定连接。

[0009] 进一步，所述球阀与球阀控制电机的输出端之间设置有牵引线，牵引线贯穿球阀控制器、制膜液储藏仓、制膜液排出仓设置，且牵引线的两端分别于球阀的上端面牵引固定连接、牵引线的输出端卷绕连接设置。

[0010] 进一步，所述转盘的上端面设置有离心制膜盘，所述转盘的内部设置有电辅热层，且电辅热层设置在离心制膜盘的下方。

[0011] 进一步，所述滴管的前端设置有通气管，且通气管与制膜液储藏仓的内部管道连接。

[0012] 与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

[0013] 1、本实用新型通过转盘、滴管、转盘驱动电机的设置，制膜液管道先为制膜液储藏仓的内部注入制膜的滴液，滴液将制膜液排出仓充满并且滴液的液面低于通气管的通气口，之后转盘驱动电机驱动转盘缓慢旋转，球阀控制电机驱动牵引线牵引球阀上升，由于球阀上升的过程中球阀不再对滴管下端面孔洞堵塞，利用液滴自身的表面张力作用，从而使得制膜液排出仓内部的液滴沿着球阀的表面缓慢下落，并沿着硬质金属丝精准地缓慢滴落在离心制膜盘的上端面圆心处，从而避免了液滴飞溅的问题，当球阀控制电机松弛牵引线时，由于复位弹簧的回弹使得球阀能够快速精准地将滴管下端面孔洞密封，从而实现对液滴量的精准控制，液滴落在离心制膜盘上端面圆形处后，随着离心制膜盘的旋转，使之形成一层液膜，然后将转盘快速加速至旋涂速度，在勃性力和离心力的共同作用下大部分溶液沿径向流动，在转盘上形成薄膜，解决了现有薄膜材料制备装置，因为离心式薄膜制备用到的滴管滴液过程会出现液滴落在离心盘飞溅和滴液量控制较难现象，造成薄膜制备难度大、产品制备精度低的问题。

[0014] 2、通过通气管、电辅热层的设置，通气管能有效避免球阀开启时外部空气从滴管的下端面孔洞中进入，防止制膜液排出仓内部的滴液混入空气气泡，提高滴液的精度，电辅热层加速了液态薄膜中水分的蒸发，从而加速了固态薄膜的形成。

[0019] 下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

[0020] 请参阅图1‑3，本实用新型提供的一种实施例：一种薄膜材料制备装置，包括转盘1、滴管2、转盘驱动电机3，其特征在于：转盘1设置在转盘驱动电机3的上方，且转盘驱动电机3的上方输出端与转盘1传动连接，滴管2设置在转盘1的圆心正上方，滴管2的内部由制膜液储藏仓11和制膜液排出仓12组成，且制膜液储藏仓11与制膜液排出仓12上下排列组合设置，滴管2的上端设置有球阀控制器5，滴管2的前端设置有通气管8，且通气管8与制膜液储藏仓11的内部管道连接，通气管8能有效避免球阀9开启时外部空气从滴管2的下端面孔洞中进入，防止制膜液排出仓12内部的滴液混入空气气泡。

[0021] 制膜液管道7先为制膜液储藏仓11的内部注入制膜的滴液，滴液将制膜液排出仓12充满并且滴液的液面低于通气管8的通气口，之后转盘驱动电机3驱动转盘1缓慢旋转，球阀控制电机13驱动牵引线14牵引球阀9上升，由于球阀9上升的过程中球阀9不再对滴管2下端面孔洞堵塞，利用液滴自身的表面张力作用，从而使得制膜液排出仓12内部的液滴沿着球阀9的表面缓慢下落，并沿着硬质金属丝10精准地缓慢滴落在离心制膜盘4的上端面圆心处，从而避免了液滴飞溅的问题，当球阀控制电机13松弛牵引线14时，由于复位弹簧15的回弹使得球阀9能够快速精准地将滴管2下端面孔洞密封，从而实现对液滴量的精准控制，液滴落在离心制膜盘4上端面圆形处后，随着离心制膜盘4的旋转，使之形成一层液膜，然后将转盘快速加速至旋涂速度，在勃性力和离心力的共同作用下大部分溶液沿径向流动，在转盘上形成薄膜，解决了现有薄膜材料制备装置，因为离心式薄膜制备用到的滴管滴液过程会出现液滴落在离心盘飞溅和滴液量控制较难现象，造成薄膜制备难度大、产品制备精度低的问题。

[0022] 其中，球阀控制器5的内部设置有球阀控制电机13，制膜液排出仓12的内部设置有球阀9，且球阀9的直径大于滴管2下端面洞口的直径，滴管2的后端设置有制膜液管道7，且制膜液管道7与制膜液储藏仓11的内部管道连接，球阀控制器5的上端设置有外部连接杆6，且外部连接杆6与球阀控制器5的上端面螺栓固定连接，球阀9的下端设置有硬质金属丝10，且硬质金属丝10与球阀9固定连接。

[0023] 此外，球阀9的上端设置有复位弹簧15，且复位弹簧15的两端分别于制膜液排出仓12的内壁、球阀9的上端面固定连接，球阀9与球阀控制电机13的输出端之间设置有牵引线
14，牵引线14贯穿球阀控制器5、制膜液储藏仓11、制膜液排出仓12设置，且牵引线14的两端分别于球阀9的上端面牵引固定连接、牵引线14的输出端卷绕连接设置。

[0024] 转盘1的上端面设置有离心制膜盘4，转盘1的内部设置有电辅热层16，且电辅热层16设置在离心制膜盘4的下方，提高滴液的精度，电辅热层16加速了液态薄膜中水分的蒸发，从而加速了固态薄膜的形成。

[0025] 工作原理：使用时，制膜液管道7先为制膜液储藏仓11的内部注入制膜的滴液，滴液将制膜液排出仓12充满并且滴液的液面低于通气管8的通气口，之后转盘驱动电机3驱动转盘1缓慢旋转，球阀控制电机13驱动牵引线14牵引球阀9上升，由于球阀9上升的过程中球阀9不再对滴管2下端面孔洞堵塞，利用液滴自身的表面张力作用，从而使得制膜液排出仓12内部的液滴沿着球阀9的表面缓慢下落，并沿着硬质金属丝10精准地缓慢滴落在离心制膜盘4的上端面圆心处，从而避免了液滴飞溅的问题，当球阀控制电机13松弛牵引线14时，由于复位弹簧15的回弹使得球阀9能够快速精准地将滴管2下端面孔洞密封，从而实现对液滴量的精准控制，液滴落在离心制膜盘4上端面圆形处后，随着离心制膜盘4的旋转，使之形成一层液膜，然后将转盘快速加速至旋涂速度，在勃性力和离心力的共同作用下大部分溶液沿径向流动，在转盘上形成薄膜，解决了现有薄膜材料制备装置，因为离心式薄膜制备用到的滴管滴液过程会出现液滴落在离心盘飞溅和滴液量控制较难现象，造成薄膜制备难度大、产品制备精度低的问题，通气管8能有效避免球阀9开启时外部空气从滴管2的下端面孔洞中进入，防止制膜液排出仓12内部的滴液混入空气气泡，提高滴液的精度，电辅热层16加速了液态薄膜中水分的蒸发，从而加速了固态薄膜的形成。

[0026] 对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。