技术领域 本发明涉及一种通过使用螺线管而能够形成与润滑通道的外 部完全隔离的润滑通道的液泵，并涉及具有多个可沿轴线相对运 动的活塞和缸内腔的液泵，以及具有所述液泵的装置。 背景技术 目前已有多种泵用于将液体从一部分输送到另一部分。上述 泵需要在液体被操作时不发生泄漏。而且，还需要液体以恒定流 速从一部分输送到另一部分。 例如，有一种泵采用旋转泵机构作为润滑装置来供应液体。 旋转泵是通过叶片来输送液体的泵，其类似于风扇或配有电机的 螺旋浆的功能。此处，“叶片”形成为具有角度的翼片，其紧密装 配在泵中。通过使叶片以恒定方向在液体中旋转，产生恒定方向 的液体流，使得液体以恒定方向在管道中流动。 还有一种采用螺旋式叶片的轴旋转型泵。并且，还有一种液 泵，其采用在钻孔中使用的长螺旋形的搅龙叶片，以取代相对小 的叶片。根据螺旋式轴旋转泵，其螺杆以高速旋转。根据实现上 述旋转泵的方法，液泵3通过轴密封件2被安装在液体存储箱1 的外部，如图12所示。图12示出叶片型液泵，以及通过电机6 驱动叶片4的旋转轴5旋转使液体从输送口7输送。 而且，根据旋转真空泵，轴承或齿轮的润滑液被装入到设置 齿轮的空间中，并通过提供用于将润滑液引导到齿轮或轴承的装 置(例如，溅液板)，或将齿轮一部分浸入在润滑液中，利用齿轮 旋转将润滑液提供给轴承或齿轮。 但是，当使用具有上述结构的液泵时，存在下述问题，即， 由于在旋转运动中轴密封件2滑动，液体从旋转轴和轴密封件之 间泄漏造成污染。而且，当密封件的磨损加剧时，泄漏量也增大， 构成电驱动的泵驱动部的电机会被损坏。 而且，当具有上述旋转部的液泵被用于使具有下述结构的旋 转真空泵的润滑液循环时，所述结构即，需要被润滑的轴承或齿 轮安装在真空中，尽管不仅要防止安置在真空室内部的轴承或齿 轮用润滑液泄漏到真空泵的外部，而且要防止外部空气进入泵中， 但是仍然可能出现密封轴由于驱动旋转而磨损的情况，空气进入 真空室或润滑液泄漏到外部的可能性增加。例如，当真空泵被用 在半导体制造装置中时，清洁室有可能被油污染而严重破坏半导 体车间的生产。而且，当大量润滑液泄漏时，不能供给足够的润 滑液，有可能损坏轴承、齿轮等部件。 还存在其它问题，当轴承部的压力由于输送大量润滑液而增 加时，润滑液或油分子有可能泄漏进入排液室，并进入禁止被油 污染的真空室中。而且，当油在真空中循环时，存在这样的问题， 即，不仅外部空气进入润滑通道内部，对真空泵的抽吸操作起负 面影响，而且由于与空气混合而不能输送润滑液。另外，当增加 输送的润滑液的量时，有可能在轴承部或齿轮等处形成阻力，从 而增加泵的能耗，轴承部产生的热量也增加，轴承会被损坏。而 当润滑液的量非常小时，又不能实现充分润滑。 而且，背景技术中的旋转泵需要高速旋转以将液体从一部分 输送到另一部分，因此不能控制驱动旋转泵以实现下述目的：输 送少量液体，精确控制输送量，中止旋转泵以中止液体流，为输 送液体而快速增大转数，或间歇性输送液体；此外，为解决上述 问题而精确控制流速也是困难的。 当液体被供给多个部分时，仍然存在一个问题，即，由于只 在一个部分分流液体供给通道，所以液体流到容易流到的部分， 不能可靠供给到各个部分。因此，尽管可以设想增加将供给液体 分流给多个液体供给部的装置，但这将使机构变得更加复杂，昂 贵，而且还需要安装位置。另外，根据一种通用的上述分流装置， 还存在这样一个问题，即，当润滑通道引入真空中时，很难进行 分流。 而且，根据现有技术中润滑真空泵的轴承或齿轮的装置，其 存在这样一个问题，即，旋转轴或齿轮被浸入到油中，因此，在 旋转中产生阻力，增加了能耗。 发明内容 本发明提供一种液泵，其用于将液体从液体储放部输送到至 少一个部位的预定位置处，其中，形成有至少一个用于从液体储 放部引入液体的缸内腔，所述缸内腔中安置着活塞，所述缸内腔 形成有液体输送口，所述活塞包括用于在所述缸内腔中沿轴向驱 动缸体的驱动装置。所述缸内腔的活塞可以竖直安置，也可以水 平安置。另外，所述活塞和缸内腔可以布置在液体储放部的内部。 本发明的特征在于，所述活塞从所述缸内腔的一端插入，所 述缸内腔的另一端部设有所述液体输送口。尽管输送口可以被设 置在最端部，但是，通过在缸内腔侧面稍靠近缸内腔最端部附近 处开输送口，在利用活塞关闭缸内腔的输送口后，储放在缸内腔 端部的液体起到垫子的作用，可以防止活塞的端部和缸内腔彼此 接触而被破坏或产生灰尘。 本发明的特征在于，所述活塞的两端设置有一对缸内腔，所 述活塞从每个缸内腔的一端插入，并且，每个所述缸内腔的另一 端部开有液体输送口。尽管当缸内腔水平布置时，重力难以对喷 射力产生影响，但是如果必要，该对缸内腔可以改变一定角度。 本发明的特征在于，在所述活塞和所述缸内腔中，所述活塞 和所述缸内腔的截面形状和/或长度根据供给液体的量而进行优 化。另外，通过沿轴向将缸内腔分隔成多个腔，并且根据布置成 多个腔的缸内腔的形状设置活塞和各腔的喷射口，可以更精确地 控制供给液体的量。 本发明的特征在于，所述活塞插入到所述缸内腔中，并且所 述缸内腔形成有单个或多个液体输送口。还可以沿轴向以固定间 隔设置多个横截面积加大的部分来实现上述结构。 本发明的特征在于，缸内腔形成单段或多段台阶部的结构， 所述活塞的形状与所述缸内腔的形状基本相同，以及，所述液体 输送口被安置在形成于所述缸内腔上的各台阶部的单段或多段 上。 本发明的特征在于，所述缸内腔的单段或多段台阶部形成为 沿轴向基本对称，所述活塞的形状与所述基本对称的台阶部的形 状基本相同，以及，形成于所述缸内腔上的各台阶部的单段或多 段上形成有液体输送口。 本发明的特征在于，所述缸内腔设置有用于形成所述基本对 称的单段或多段台阶部的部件。 本发明的特征在于，所述缸内腔和活塞之间的液体储放空间 被以下述方式构造其形状，即所述缸内腔和活塞的轴向相对长度 和/或与轴线垂直的横截面积被根据所供给的液体量而进行优 化。另外，通过沿轴向将缸内腔分隔成多个腔，并且根据布置成 多个腔的缸内腔的形状设置活塞和各腔的喷射口，可以更精确地 控制供给液体的量。 本发明的特征在于，所述缸内腔具有液体抽取孔。尽管所述 液体抽取孔连接到液体储放箱，但是所述液体抽取孔可以构成液 体输送孔。 本发明的特征在于，将缸内腔形成有单段或多段台阶部的多 个这种结构串接起来。 本发明的特征在于，所述多个活塞和缸内腔被配备单一的驱 动装置。 本发明的特征在于，所述驱动装置由螺线管构成，螺线管包 括整体或部分具有铁磁性物质的轴部和电磁线圈，所述轴部和电 磁线圈可相互运动，被所述轴部和电磁线圈之间的间壁隔离开的 所述轴部和电磁线圈彼此不接触，所述轴部和活塞通过预定的连 接装置协同动作。 本发明的特征在于，所述间壁由包括非磁性部件的间壁形成， 形成间壁的材料可以是铜、铝、不锈钢、陶瓷以及塑料树脂等。 本发明的特征在于一种真空泵，其使用螺线管作为驱动装置， 使用所述液泵用作润滑液循环或润滑液供给泵，以及，需要被润 滑的部分和用于为润滑液循环或润滑液供给泵输送润滑液的必要 部分的润滑通道被密封。 本发明的特征在于一种具有旋转部的装置，其需要用润滑液 润滑所述旋转部，形成一用于储放润滑液的、与所述具有旋转部 的装置连通以使润滑液流到该处的润滑液储放箱，以及，设置润 滑液循环或润滑液供给泵和用于从润滑液储放箱将油供给到需要 被润滑的预定部分的供给通道。作为具有旋转部的装置，其具有 旋转型真空泵，减速机构等。 本发明的特征在于，用于为润滑液循环或润滑液供给泵输送 润滑液的必要部分一体形成在所述润滑液储放部的内部。 本发明的特征在于，所述润滑液储放箱布置在这样的位置， 在该位置，所述具有旋转部的装置的润滑液利用重力流动。 本发明的特征在于，所述液泵用作润滑或润滑液供给泵。 附图说明 图1是本发明第一实施例的液泵作为用于循环真空泵中的润 滑液或向其供应润滑液的泵的连接结构图。 图2是第一实施例的活塞部的另一实施例。 图3是本发明第二实施例的液泵作为用于循环真空泵中的润 滑液或向其供应润滑液的泵的连接结构图。 图4是沿与本发明第三实施例的液泵轴线平行的水平方向的 剖视图。 图5是沿与本发明第三实施例的液泵轴线平行的竖直方向的 剖视图。 图6是本发明第四实施例液泵的活塞和缸内腔的剖视图。 图7是本发明第五实施例液泵的活塞和缸内腔的剖视图。 图8是本发明第六实施例液泵的活塞和缸内腔的剖视图。 图9示出用于循环润滑液或将第一实施例中的润滑液供给到 螺杆式真空泵的油润滑循环系统的泵。 图10示出现有技术中的润滑液循环泵的示例。 具体实施方式 下面结合附图说明根据本发明的各种作为润滑液循环或润滑 液供给泵的液泵。 图1是本发明的润滑液循环或润滑液供给泵被连接到真空泵 的结构图。在图1中，附图标记100表示本发明的润滑液循环或 润滑液供给泵的第一实施例。 附图标记101表示壳体，其中充满液体103。附图标记102 表示包含磁性部件的柱塞，包含磁性部件的基部104设置在柱塞 102的下部。附图标记105表示电磁线圈。包含磁性部件的柱塞 102和电磁线圈105之间的间隙被壳体101和非磁性缸体(间壁) 109隔开。 另外，用于存放润滑液的空间被壳体101、非磁性缸体109 和基部104上的O型环密封，从而与外部空间完全隔离，以防止 润滑液流到外部和外部大气进入。在柱塞102和基部104之间设 置弹簧106，并且当磁力没有施加到柱塞102和基部104上时，柱 塞102和基部104彼此分开。当使电流流到电磁线圈105时，包 含被磁化的磁性部件的柱塞102和基部104之间被施加吸力，柱 塞102可以向下运动。因此，通过使流过电磁线圈的电流开启/ 关闭，柱塞可以沿上、下方向被连续驱动。柱塞102下端和基部 上端的接合部构成锥形以便实现不依赖于柱塞102位置的大的吸 力。另外，当柱塞102和基部104开始彼此接触时，吸力消失， 因此，为避免接触，在柱塞102和基部104之间设置防接触结构， 从而在它们之间可靠地产生小的间隙。在该实施例中，在柱塞上 部设置台阶部108，用于在柱塞102和基部104彼此接触之前使柱 塞102停止运动。与柱塞102一体的板122上固定有多个活塞110。 活塞110被设计为分别插入到多个缸内腔112中。而且，缸 内腔112被置于液体中。缸内腔112与输送液体的管道114、115 相连。管道114、115连接到真空泵130以将润滑液输送到真空泵 130。润滑液从真空泵130落到润滑液腔150(液体存放部)中。 因此，由于柱塞102和活塞110一体运动，所以通过使电磁线圈 的电源开启/关闭，活塞110在缸内腔112中往复运动，从而将 缸内腔112中的液体从管道114、115中连续排出。通过检测阀116、 117防止输送的液体返回到缸内腔中。因此，可以可靠地供给规定 量的润滑液。 另外，如图2所示，当活塞110的一部分上设置弹簧118时， 柱塞102仅挤压活塞110，且活塞通过弹簧118返回，没有必要将 活塞110固定连接到柱塞102上。 管道114、115与润滑液输送口111相连通。 本发明的特征在于，整体或部分具有铁磁性物质的轴部被分 开，在轴部的分开部之间形成弹簧106或类似的弹性装置。利用 该结构，通过使电磁线圈的电源开启/关闭，缸内腔可以运动。 铁、钴、镍等可用于铁磁性部件。另外，可以使用橡胶等代替弹 簧作为弹性装置。另外，铜、铝、不锈钢、陶瓷以及塑料树脂等 可用作非磁性部件。 尽管根据本示例已经解释了多个活塞的情况，本发明完全可 以只具有一个活塞。而且，供给各部分的所需润滑液的量可以通 过改变活塞和缸内腔的轴向长度和/或轴向横截面积来控制。在 该情况下，当轴向上构成部件的数量较多时，轴向上的尺寸误差 或安装误差会增大，因此，通过使活塞行程尽可能的长，使轴向 安装误差很难被影响，润滑液输送量的变化可以被更精确地限制 为所需要的量并用于多个活塞。尽管在本示例中，壳体和非磁性 缸体109之间以及非磁性缸体109和基部104之间用O形环密封， 可以理解，可以采用能够密封间隙的接合方法来密封，例如焊接、 粘接等。另外，还存在这样的情况，当柱塞以及与柱塞开始接触 的壳体部包括磁性部件时，柱塞和壳体部由于磁力而形成永久磁 铁，从而很难彼此分开，因此，优选在接触部件之间放入至少0.2 毫米或更大的磁性部件。 下面将参考图3说明本发明的润滑液循环或润滑液供给泵的 第二实施例。 图3是本发明的润滑液循环或润滑液供给泵的向真空泵上的 另一种连接结构图。 附图标记300表示本发明第二实施例的润滑液循环或润滑液 供给泵。 第二实施例的润滑液循环或润滑液供给泵与第一实施例的不 同在于多个活塞310对着真空泵320的侧面，其它结构与第一实 施例相同。另外，将第一实施例和第二实施例结合，可以得到这 样的结构，即，缸内腔可以安置在活塞的两端，并且当柱塞在任 一方向上运动时，润滑液可以均匀地输送。在该情况下，还可以 有这样的结构，即，缸内腔与活塞相对重力垂直运动，在该情况 下，重力对每个缸内腔的输送力的影响可以免除。 下面结合附图4和5说明本发明的第三实施例。 图4是沿与本发明第三实施例的液泵(润滑液循环或润滑液 供给泵)的轴线平行的水平方向的剖视图。图4示出电流被传导 到电磁线圈405，柱塞402和固定到其上的活塞410通过磁力运动 到最靠近基部一侧。图5是沿与本发明第三实施例的润滑液循环 或润滑液供给泵(液泵)的螺线管的轴线平行的竖直方向的剖视 图。图5示出电流没有流到电磁线圈405，柱塞402和固定到其上 的活塞410最远离基部的状态。 附图标记402表示包含在壳体401内部的具有磁性部件的柱 塞，在柱塞402的一端部具有包含磁性部件的基部404。附图标记 405表示电磁线圈。柱塞402和包含磁性部件的电磁线圈405之间 的间隙被非磁性缸体(间壁)419和基部404隔开。非磁性缸体 419和基部404之间的间隙被O形环403完全隔开，非磁性缸体 419和固定到壳体401上的部件409之间的间隙被O形环418完 全隔开。另外，储存在柱塞402和基部404之间的间隙中的润滑 液从排出口407返回到管道(未示出)，因此润滑液不构成柱塞402 摆动的阻力。通过设置检测阀和油引入口，由排出口407排出的 润滑液还可以供给到需要润滑液的部分。 在柱塞402相反一侧的端部具有圆盘形突出部413。 在突出部413和部件409之间具有弹簧406，当柱塞402和基 部404没有被施加磁性力时，柱塞402和基部404彼此分开。另 外，当磁性部件用于突出部413时，还存在这样的情况，即，当 与柱塞402开始接触的壳体部由磁性部件构成时，突出部413形 成永磁铁，并由于磁力而难以分开，因此，优选地，突出部413 由一个至少0.2毫米或更大的非磁性部件构成。当电流流到电磁线 圈405时，包含磁性部件的柱塞402和基部404被磁化，它们之 间被施加吸力，柱塞402可以朝向基部404运动。因此，通过使 流过电磁线圈405的电流开启/关闭，可以连续驱动柱塞402。柱 塞402端部和基部404端部的接合部形成为锥形，以便实现不依 赖于柱塞402位置的大的吸力。而且，当柱塞42和基部404开始 彼此接触时，吸力消失，因此，为避免接触，在柱塞402和基部 404之间设置防接触结构，从而在它们之间可靠地产生小的间隙。 在该实施例中，通过圆盘形的突出部413与部件409接触，在柱 塞402与基部404接触之前，柱塞402停止运动。 活塞410与柱塞402形成为一体。活塞在中间具有部分426 (粗部)，在端部具有部分427，其中，部分426的垂直于轴线的 横截面积加大，部分427的垂直于轴线的横截面积减小。活塞410 插入到形成在缸内腔部件423上的缸内腔部424中。缸内腔部424 由部分428(窄部)、部分429以及部分431构成，其中，部分428 的横截面积基本等于位于端部的、垂直于轴线的横截面积减小的 部分427(细部)的横截面积，部分429(宽部)的横截面积基本 等于垂直于轴线的横截面积加大的部分426的横截面积，部分431 中被插入一供给润滑液储放空间构成部件(供给液体储放空间构 成部件)430。另外，宽部429轴向长度设计得比粗部426轴向长 度长，并且，储放在活塞410和宽部429之间的空间434和440 中的润滑液从润滑液供给口432和433输送。附图标记441表示 用于防止所供给的润滑液倒流的检测阀。利用这种结构，通过使 活塞向轴向的任一方向运动都可以供给润滑液。而且，通过改变 空间434的大小或/以及缸内腔部424和活塞410的轴向相对空 间的宽度，可以控制供给润滑液的量。 另外，缸内腔部424的端部由润滑液抽取孔435朝向管道打 开，从而通过使活塞410运动到基部404的一侧，使得当活塞410 在远离基部404的方向上运动时，储放在窄部428中的润滑液不 构成阻力。另外，来自管道的润滑液从供给口436供应给液泵。 根据本实施例的液泵，充满润滑液的各部分通过O形环403、 418、437和438等密封，与外界大气完全隔离，可以防止润滑液 污染外面。另外，柱塞402、活塞410等的摆动部被完全充满润滑 液，因此，可以防止由于摩擦而导致的磨损所产生的金属粉末的 污染，减少由于金属粉末等造成的失效。因此，必须在摆动部使 用轴向密封，可以减少轴向密封磨损导致的失效。例如，当液泵 用作真空泵的轴承或齿轮部的润滑液循环或润滑液供给泵时，在 现有技术中存在泄漏润滑液等问题的包含泵驱动部的真空中的润 滑液循环部被通过密封完全密封，因此，润滑液的泄漏或大气进 入真空部的现象可以避免。 另外，通过以串接或并行方式将多个缸内腔部和活塞安置到 单螺线管上，润滑液可以供给到更多部分。 下面参考附图6简单介绍本发明的第四实施例。在图6中不 同于第三实施例中缸内腔和活塞具有两段如下部分，即垂直于轴 线的横截面较宽的部分，而是具有三段较宽的部分。另外，用于 润滑液管道的润滑液抽取孔还可设置润滑液供给口。附图标记601 表示缸内腔部，附图标记602表示活塞，附图标记603表示供给 润滑液储放空间构成部件，附图标记604表示用于防止所供给的 润滑液倒流的检测阀。通过这种结构，可以在六个位置设置润滑 液供给口605。 通过进一步增加段的数量，通过单螺线管，润滑液可以供给 到更多的部分。另外，通过并行方式将多个缸内腔部和活塞安置 到单螺线管上，润滑液可以供给到更多部分。 图7示出本发明的第五实施例。图7示出排列了多个第三实 施例结构的一种类型，其中，第三实施例中缸内腔和活塞具有两 段这样的部分，即垂直于轴线的横截面较宽的部分。附图标记701 表示缸内腔部，附图标记702表示活塞，附图标记703表示供给 润滑液储放空间构成部件，附图标记704表示用于防止所供给的 润滑液倒流的检测阀。通过这种结构，可以在六个位置设置润滑 液供给口705。 通过进一步增加段的数量，通过单螺线管，润滑液可以供给 到更多的部分。另外，通过并行方式将多个缸内腔部和活塞安置 到单螺线管上，润滑液可以供给到更多部分。 图8示出本发明的第六实施例。图7示出一种中间部较细的 类型，其与第四实施例相反。附图标记801表示缸内腔部，附图 标记802表示活塞，附图标记804表示用于防止所供给的润滑液 倒流的检测阀。通过这种结构，可以在六个位置设置润滑液供给 口805。另外，通过形成这种结构，活塞可以方便地安置在缸内腔 上，并方便地安装到柱塞上，并通过凸缘803覆盖端部而密封端 部，可以形成简单的结构。 图9示出本发明第一实施例的液泵用于真空泵之润滑液循环 系统的示例。 附图标记200表示螺杆式真空泵，附图标记250表示本发明 的润滑液循环或润滑液供给泵。螺杆式真空泵200具有一对螺杆 转子201和202。螺杆转子201和202被置于形成在壳体203内部 的排出侧转子容纳室中。具体而言，螺杆转子201通过轴承204 和206被壳体203可转动地支承，螺杆转子202通过轴承205和 207被壳体203可转动地支承。另外，密封件208、209、210和 211将轴承204、205、206和207与排出室210e隔离，防止轴承 204、205、206和207的润滑液漏入壳体203中，并防止外界物质 从壳体203的排出室210e进入轴承204、205、206和207。 另外，螺杆转子201和202一侧的端部与正时齿轮212和213 固定在一起，以根据螺杆转子201和202的其中一个的转动来转 动另一个的转动，以使正时齿轮212和213相互啮合。另外，螺 杆转子202的一端部与电机214一体地连接在一起。 润滑液217储放在润滑液循环或润滑液供给泵218中的润滑 液储放箱216的底部，靠近容纳正时齿轮212和213的齿轮箱215。 润滑液储放箱216安置在本发明的润滑液循环或润滑液供给泵 218中，并且通过将润滑液输送到润滑液供给通道221、222、223 和224而将润滑液供给到四个位置上的轴承204、205、206和207。 另外，根据具有结构是齿轮箱和轴承部都处于真空状态的真空泵， 通过使用这样的润滑液供给系统，即，其能够形成完全密封的空 间的、包含本发明之泵部的润滑液循环通道，可以防止润滑液从 润滑液循环泵驱动部向外部泄漏，并防止大气进入真空泵。另外， 通过使用本发明润滑液循环泵，供给液体的量可以容易地进行微 量控制。另外，通过构造成如下结构，即，润滑液储放箱216被 沿重力方向安置在齿轮箱215的下部，齿轮箱215的润滑液由于 重力自然地流到润滑液储放箱216，旋转轴和齿轮被安置成不浸入 到润滑液中，因此，消除了润滑液产生的阻力，降低了能耗。 另外，尽管根据本示例给出了螺杆式真空泵的一个示例，但 很显然本发明可以用于任何需要润滑轴承、齿轮等的真空泵中， 而与真空机构无关。 工业实用性 如上所述，本发明的液泵是用于将液体从液体储放部输送到 至少一个部位的预定位置处，并且被构造成如下结构，形成有至 少一个用于从液体储放部引入液体的缸内腔，所述缸内腔中安置 着活塞，所述缸内腔形成有液体输送口，以及设置有用于在所述 缸内腔中通过活塞沿轴向驱动缸体的驱动装置。因此，例如，轴 承、齿轮等所需的固定量或少量的润滑液可以得到可靠的供应。 供给润滑液的部位的发热量被抑止，装置的能耗可以限制得较低。 本发明的液泵被所述活塞从所述缸内腔的一端插入，所述缸 内腔的另一端部设有所述液体输送口。通过这种结构，有可能输 送少量液体，精确地控制所输送的液体量，瞬时停止液泵以中断 液体流，并控制驱动以间歇性地输送液体。 本发明的液泵在所述活塞的两端设置有一对缸内腔，所述活 塞从每个缸内腔的一端插入，并且，每个所述缸内腔的另一端部 开有液体输送口。 通过这种结构，利用一个活塞可以将液体供给到两个部位。 根据本发明的液泵，在所述活塞和所述缸内腔中，所述活塞 和所述缸内腔的截面形状和/或长度根据供给液体的量而进行优 化。通过这种结构，即使操作活塞的频率相同，供给油的量也可 以得到控制。另外，即使多个缸内腔和活塞以相同频率操作，供 给各缸内腔的油的量也可以变化。 本发明的液泵所述活塞插入到所述缸内腔中，并且所述缸内 腔形成有单个或多个液体输送口。通过这种结构，利用一个活塞 可以将液体供给到两个或更多部分的多个部分处。 本发明的液泵构造成如下结构，即，缸内腔形成单段或多段 台阶部的结构，所述活塞的形状与所述缸内腔的形状基本相同， 所述液体输送口被设置在形成于所述缸内腔上的单段或多段台阶 部上。通过这种结构，利用简单的结构就能通过一个活塞将液体 供给到两个或更多部分的多个部分处。 根据本发明的液泵，所述缸内腔的单段或多段台阶部形成为 沿轴向基本对称，所述活塞的形状与所述基本对称的台阶部的形 状基本相同，所述液体输送口被设置在形成于所述缸内腔上的单 段或多段台阶部上。通过这种结构，利用简单的结构就能通过一 个活塞将液体供给到两个或更多部分的多个部分处。 根据本发明的液泵，所述缸内腔设置有用于形成所述基本对 称的单段或多段台阶部的部件。通过这种结构，在具有对称台阶 部的活塞插入缸体后，通过设置所述部件，液泵可以容易地一体 形成基本对称的台阶部。 根据本发明的液泵，所述缸内腔和活塞之间的液体储放空间 被以下述方式构造其形状，即所述缸内腔和活塞的轴向相对长度 和/或与轴线垂直的横截面积被根据所供给的液体量而进行优 化。通过这种结构，即使操作活塞的频率相同，供给油的量也可 以得到控制。另外，即使多个缸内腔和活塞以相同频率操作，供 给各缸内腔的油的量也可以变化。 本发明的液泵在所述缸内腔上具有液体抽取孔。通过这种结 构，在通过活塞驱动储放于活塞端部和缸内腔之间的液体时，液 体可以被排出以使活塞不会被阻止运动。 本发明的液泵具有多个在缸内腔的中空部形成有单段或多段 台阶部的串接结构，沿着轴向垂直于台阶部的横截面积逐渐增加。 通过这种结构，利用简单的结构就能通过一个活塞将液体供给到 两个或更多部分的多个部分处。 根据本发明的液泵，所述多个活塞和缸内腔被配备单一的驱 动装置。通过这种结构，没有必要设置多个驱动装置来驱动多个 活塞和缸内腔，可以减少很多部件。 根据本发明的液泵，所述驱动装置由螺线管构成，螺线管包 括整体或部分具有铁磁性物质的轴部和电磁线圈，所述轴部和电 磁线圈可相互运动，被所述轴部和电磁线圈之间的间壁隔离开的 所述轴部和电磁线圈彼此不接触，所述轴部和活塞通过预定的连 接装置协同动作。通过这种结构，即使构成液泵驱动部的活塞和 轴部浸入在完全密封的空间中的液体中，轴部和活塞可以由电磁 线圈非接触地操作，因此，可以防止液体从液体活塞泵泄漏。也 就是说，通过本发明，在旋转泵中可以不需要旋转轴，没有必要 使旋转轴在用于将液体与外界隔开的O型环或轴密封部上旋转或 滑动，因此不会有液体从轴部泄漏，或当润滑通道是真空时，不 会有大气进入润滑通道。 根据本发明的液泵，所述间壁由包括非磁性部件的间壁形成。 通过该结构，电磁线圈产生的磁场可以只穿过由磁性部件形成的 柱塞，在柱塞和基部之间的吸力可以增加。 根据本发明的真空泵，螺线管被用作驱动装置。另外，上述 液泵用作润滑液循环或润滑液供给泵，以及，需要被润滑的部分 和用于为润滑液循环或润滑液供给泵输送润滑液的必要部分的润 滑通道被密封。通过该结构，被润滑液润滑的部分和构成润滑液 循环泵的摆动部的活塞以及驱动活塞的部分被密封，没有必要密 封摆动部或/和旋转部，润滑液泄漏的可能性降低。尤其是，当 润滑液循环部处于真空时，可以尽量减小外部空气从摆动部或/ 和旋转部的密封部进入而破坏真空程度的可能性。 根据本发明的润滑液循环或润滑液供给泵，在需要用润滑液 润滑轴承等部件的具有旋转部的装置中，形成一用于储放润滑液 的、与所述具有旋转部的装置连通以使润滑液流到该处的润滑液 储放箱，以及，设置润滑液循环或润滑液供给泵和用于从润滑液 储放箱将油供给到轴承、齿轮等预定部分的供给通道。通过该结 构，旋转轴、齿轮等不浸入到润滑液中，可以减小驱动阻力，可 以节约能耗。具有上述结构的装置，具有旋转型真空泵，减速机 构等。 根据本发明的具有旋转部的装置，其中，用于为润滑液循环 或润滑液供给泵输送润滑液的必要部分一体形成在所述润滑液储 放箱的内部。通过该结构，没有必要设置将油供给到润滑液循环 或润滑液供给泵的装置，并且可以减小布置润滑液循环或润滑液 供给泵的空间。 根据本发明的具有旋转部的装置，所述润滑液储放箱布置在 这样的位置，在该位置，所述具有旋转部的装置的润滑液利用重 力流动。通过该结构，没有必要设置复杂的装置来使润滑液返回 到润滑液储放箱。 根据本发明的具有旋转部的装置利用权利要求1-15中任一 所述的液泵作为润滑液循环或润滑液供给泵。通过该结构，可以 构造简单的结构。