[0001] 本发明涉及晶圆解胶加工技术领域，具体涉及一种便于LED紫外灯调节的晶圆充氮解胶机。

[0002] 在芯片等电子元件的生产过程中，晶圆片是重要的基础原料，对晶圆片进行加工时，为避免对晶圆片表面造成损伤，需要在晶圆片的表面粘接一层保护膜，随后将保护膜胶粘在晶圆环上，通过晶圆环进行支撑，随后通过移动晶圆环进行加工，而在加工完成后，粘接在晶圆环上的保护膜需要与晶圆环分离，同时保护膜需要从晶圆片上分离，在分离保护膜时，由于保护膜采用胶粘的方式固定在晶圆片上，保护膜被撕裂后，仍有部分胶块粘连在晶圆片上，为此，常采用光解胶粘接保护膜至晶圆片上，在撕裂保护膜前，将晶圆片放置到解胶机下进行曝光解胶。

[0003] 目前的解胶机在使用过程中，通常需要人工将粘有晶圆的晶圆环放入到解胶机内进行解胶，解胶完毕后人工进行去除，随后人工将保护膜从晶圆环上撕下，对晶圆环进行回收，随后有保护膜的晶圆放入到分离工序中进行分离，在整个解胶过程中，操作较为繁琐，自动化程度较低，导致对晶圆的解胶效率较低，同时在解胶过程中无法对解胶的光源进行调节，同时对晶圆和晶圆环照射的光照均匀度较低，导致解胶的效果较差的问题。

[0037] 下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

[0038] 实施例一

[0039] 请参阅图1‑图10所示，本发明为一种便于LED紫外灯调节的晶圆充氮解胶机，包括安装箱主体1，安装箱主体1内转动连接有安装轴2，安装轴2的一端通过联轴器固定连接有与安装箱主体1固定连接的第一传动电机3，第一传动电机3通过PLC编程程序控制，可控制第一传动电机3进行正反转动和转动角度，安装轴2上设置有晶圆环夹持取料机构，晶圆环夹持取料机构用于对晶圆环进行自动夹持取料，安装轴2上设置有LED紫外灯照射调节机构，LED紫外灯照射调节机构用于对晶圆环上的晶圆进行照射，同时对光照进行自动调节，安装箱主体1内设置有下料机构，下料机构用于对晶圆环合晶圆进行自动下料。

[0040] 安装箱主体1的一侧固定连接有充氮进气管81和充氮排气管82。

[0041] 通过第一传动电机3带动安装轴2进行转动，安装轴2带动晶圆环夹持取料机构进行转动，随后晶圆环夹持取料机构自动对胶粘有晶圆的晶圆环进行自动夹持上料，随后配合LED紫外灯照射调节机构对LED紫外灯进行自动调节光照距离，随后夹持上料的晶圆环进行照射解胶，当解胶完毕后，随后通过带动安装轴2转动到下料机构位置，随后下料机构对解胶后晶圆环上的晶圆进行自动下料，同时对晶圆环进行自动下料，从而实现对晶圆进行自动化解胶，大大提高了对晶圆的解胶效率。

[0042] 同时通过充氮机、充氮进气管81和充氮排气管82的配合对安装箱主体1内进行充入氮气，使其在氮气下进行光照解胶。

[0043] 实施例二

[0044] 在实施例一的基础上，请参阅图3‑图6、图8和图9所示，晶圆环夹持取料机构包括与安装轴2固定连接的多个连接柱11，连接柱11的一端固定连接有安装环12，安装环12内开设有安装槽13，安装槽13内转动连接有传动圈14，传动圈14内通过连接块固定连接有多个第一电动伸缩杆15，第一电动伸缩杆15的一端固定连接有夹持框16，夹持框16内固定连接有第二电动伸缩杆17，第二电动伸缩杆17的一端固定连接有夹持块18；

[0045] 传动圈14的一侧传动连接有与安装环12相连接的第一传动机构，第一传动机构用于带动传动圈14进行转动，第一传动机构包括与安装环12固定连接的第三传动电机31，第三传动电机31通过PLC编程程序控制，可控制第三传动电机31进行正反转动和转动角度，第三传动电机31的输出端通过联轴器固定连接有第二传动轴32，第二传动轴32的外表面固定套接有传动齿轮33，传动齿轮33的外表面啮合连接有与传动圈14固定连接的传动齿圈34，通过第三传动电机31带动第二传动轴32进行转动，第二传动轴32通过传动齿轮33带动传动齿圈34进行转动，传动齿圈34带动传动圈14进行转动；

[0046] 安装箱主体1内设置有供料机构，供料机构用于对通过保护膜粘有的晶圆环进行自动供料，供料机构包括与安装箱主体1滑动连接的第一抽屉21，第一抽屉21内转动连接有两个传动螺纹杆22，第一抽屉21内固定连接有第二传动电机23，第二传动电机23通过PLC编程程序控制，可控制第二传动电机23进行正反转动和转动角度，第二传动电机23的输出端通过联轴器固定连接有第一传动轴24，第一传动轴24与传动螺纹杆22的外表面通过传动轮和传动带传动连接，传动螺纹杆22的外表面螺纹配合有传动盘25，传动盘25的顶部通过定位槽滑动连接有第一放置盘26，第一放置盘26上滑动连接有第一放料杆27，第一放料杆27内放置有多个晶圆环主体28，晶圆环主体28上通过保护膜粘有晶圆，晶圆环主体28上固定连接有缓冲橡胶垫29，

[0047] 通过将第一抽屉21抽出，随后将多个粘有晶圆的晶圆环翻入到第一放置盘26上的第一放料杆27上，随后将第一抽屉21推入到安装箱主体1内，随后通过第二传动电机23带动第一传动轴24进行转动，第一传动轴24通过传动轮和传动带带动传动螺纹杆22进行转动，传动螺纹杆22带动传动盘25进行移动，传动盘25带动第一放置盘26向上移动，第一放置盘26带动第一放料杆27上的多个晶圆环向上移动，使顶部的晶圆环进入到安装环12内，随后通过第一电动伸缩杆15带动夹持框16进行移动，随后通过第二电动伸缩杆17带动夹持块18进行移动，夹持块18对晶圆环进行夹持固定，随后带动第一放置盘26向下移动，从而实现对不同大小的晶圆环的自动夹持取料，夹持取料完毕后，随后通过第一传动电机3带动安装轴
2进行转动，同时通过LED紫外灯照射调节机构对晶圆环进行照射解胶，在解胶过程中通过第一传动机构带动传动圈14进行转动，传动圈14带动第一电动伸缩杆15进行转动，第一电动伸缩杆15带动夹持框16进行转动，夹持框16带动晶圆环进行转动，使光照对晶圆环表面进行均匀的照射，从而使晶圆环保护膜合保护膜上的晶圆进行均匀的光照解胶，大大提高了对晶圆的解胶效果。

[0048] 实施例三

[0049] 在实施例二的基础上，请参阅图4和图7所示，LED紫外灯照射调节机构包括安装轴2上开设的功能腔41，功能腔41内滑动连接有多个传动柱42，传动柱42的一端固定连接有LED紫外灯盘主体43，传动柱42的外表面传动连接有与安装轴2相连接的调节机构，调节机构用于调节LED紫外灯盘主体43对晶圆的照射距离，调节机构包括与安装轴2固定连接的第四传动电机51，第四传动电机51通过PLC编程程序控制，可控制第四传动电机51进行正反转动和转动角度，第四传动电机51的输出端通过联轴器固定连接有与功能腔41转动连接的第三传动轴52，第三传动轴52的外表面固定套接有第一锥齿轮53，第一锥齿轮53的外表面啮合连接有第二锥齿轮54，第二锥齿轮54的中间固定套接有与功能腔41转动连接的调节螺纹杆55，调节螺纹杆55的外表面螺纹配合有传动框56，传动框56与传动柱42固定连接，传动框
56上滑动连接有与功能腔41固定连接的滑杆。

[0050] 根据晶圆环的大小，通过第四传动电机51带动第三传动轴52进行转动，第三传动轴52通过第一锥齿轮53和第二锥齿轮54带动调节螺纹杆55进行转动，调节螺纹杆55带动传动框56进行移动，传动框56带动传动柱42进行移动，传动柱42带动LED紫外灯盘主体43进行移动，使LED紫外灯盘主体43可以根据晶圆环的大小进行调节光照的范围，同时调节LED紫外灯盘主体43的照射强度，实现对不同大小的晶圆环进行照射解胶，同时通过在安装轴2的外表面设置多个LED紫外灯盘主体43，实现对晶圆环在夹持取料和下料的整个过程中都进行解胶，实现上下料和解胶同时进行，大大降低了解胶的时间，进一步提高了对晶圆的解胶效率。

[0051] 实施例四

[0052] 在实施例二的基础上请参阅图2、图4、图8、图9和图10所示，下料机构包括安装箱主体1固定连接的第三电动伸缩杆61，第三电动伸缩杆61的一端固定连接有传动板62，传动板62的底部固定连接有第四电动伸缩杆63，第四电动伸缩杆63的底端通过连接板固定连接有圈管64，圈管64的外表面固定连接有多个真空吸盘65，圈管64的外表面通过软管固定连接有与安装箱主体1固定连接的真空泵，安装箱主体1的一侧固定连接有接料抽屉66，安装箱主体1上设置有晶圆环下料机构，晶圆环下料机构用于对晶圆环进行下料，晶圆环下料机构包括与安装箱主体1滑动连接的第二抽屉71，第二抽屉71内固定连接有第二放置盘72第二放置盘72的一侧固定连接有第二放料杆73，第二放置盘72的一侧固定连接有第五电动伸缩杆74，第五电动伸缩杆74的一端通过连接块固定连接有两个第六电动伸缩杆75，第六电动伸缩杆75的一端通过连接块固定连接有电磁铁板76。

[0053] 通过第一传动电机3带动安装轴2进行转动，安装轴2带动晶圆环夹持取料机构转动到上方，此时夹持的晶圆环基本解胶完毕，随后通过第三电动伸缩杆61带动传动板62进行移动，传动板62带动第四电动伸缩杆63进行移动，第四电动伸缩杆63带动圈管64和真空吸盘65向下移动，随后真空吸盘65吸住晶圆环上的保护膜，随后通过第一传动机构带动传动圈14进行正反转动，传动圈14带动第一电动伸缩杆15和夹持框16进行转动，夹持框16带动晶圆环进行转动，使解胶后粘有晶圆的薄膜脱离晶圆环，随后第一电动伸缩杆15带动圈管64向上移动，同时通过第三电动伸缩杆61带动传动板62进行移动，使吸附的带有晶圆的保护膜放入到接料抽屉66中，实现对保护膜进行自动下料，下料完毕后，随后通过带动安装轴2进行转动，使其转动到晶圆环下料机构位置，随后通过第五电动伸缩杆74带动第六电动伸缩杆75进行移动，随后通过第六电动伸缩杆75带动电磁铁板76进行移动，随后电磁铁板76通电，电磁铁板76吸附柱晶圆环，随后夹持框16的夹持块18不再夹持晶圆环，随后第五电动伸缩杆74带动第六电动伸缩杆75进行移动，带动晶圆环插入到第二放料杆73内进行收集，随后电磁铁板76断电，随后第六电动伸缩杆75带动电磁铁板76向下移动，进行下一个晶圆环下料，实现对晶圆环进行自动下料，从而实现了对解胶后的晶圆和晶圆环进行自动下料和收集，无需人工操作，大大提高了对晶圆的解胶效率。

[0054] 本发明的工作原理：通过第一传动电机3带动安装轴2进行转动，安装轴2带动晶圆环夹持取料机构进行转动，随后晶圆环夹持取料机构自动对胶粘有晶圆的晶圆环进行自动夹持上料，随后配合LED紫外灯照射调节机构对LED紫外灯进行自动调节光照距离，随后夹持上料的晶圆环进行照射解胶，当解胶完毕后，随后通过带动安装轴2转动到下料机构位置，随后下料机构对解胶后晶圆环上的晶圆进行自动下料，同时对晶圆环进行自动下料，从而实现对晶圆进行自动化解胶，大大提高了对晶圆的解胶效。

[0055] 以上对本发明的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本发明的较佳实施例，不能被认为用于限定本发明的实施范围。凡依本发明申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本发明的专利涵盖范围之内。