[0001] 本发明涉及输送车。

[0002] 例如，在半导体制造工厂等，利用输送容纳晶圆或中间掩模等的容器的输送车。在日本特开2016‑163001号公报(专利文献1)中公开了这样的输送车的一个示例。专利文献1的输送车(输送装置100)是沿着设置于顶棚的轨道行驶的顶棚输送车，具备悬挂保持容器(收纳容器50)的保持装置(夹持器装置10)。保持装置成为如下的构成：在由按压部(中心锥体13)从上方按压设于容器的球面状的被按压部(插入孔51a)的状态下，由一对支撑部(抓握部20)支撑设于容器的一对被支撑部(凸缘部51)。

[0003] 可是，作为由输送车输送的输送对象的容器，有时使用被称为开放盒的不存在将开口部密封的盖体的开放型容器。而且，这样的开放型容器有时为了预防被容纳物的飞出而以存取用的开口朝向斜上方的状态被输送。专利文献1的输送车的保持装置所具备的一对支撑部成为朝向铅垂上方的水平支撑面，未考虑倾斜地输送容器。另外，在专利文献1的输送车的保持装置，仅通过使一对支撑部各自的支撑面倾斜，难以稳定地保持并输送容器。

[0009] 参照附图而对输送车的实施方式进行说明。为了例如在半导体制造工厂等输送容器7，利用本实施方式的输送车1。如图1和图2所示，输送车1具备沿着移动路径行驶的行驶部2和联接至行驶部2的移载机构3。在本实施方式中，输送车1的移动路径由被从顶棚91悬挂支撑的轨道92物理地形成。即，本实施方式的输送车1是沿着沿顶棚91形成的轨道92移动的顶棚输送车。

[0010] 行驶部2沿着一对轨道92行驶。行驶部2具备车身21、行驶驱动部22、车轮23以及引导轮24。车身21支撑行驶驱动部22、车轮23以及引导轮24等。行驶驱动部22具备例如伺服马达等电动马达，驱动至少1个车轮23。车轮23在轨道92的上表面滚动。行驶驱动部22所驱动联接的车轮23作为驱动轮起作用。引导轮24在轨道92的内侧面滚动。行驶部2在引导轮24被轨道92的内侧面接触引导的状态下，沿着轨道92在该轨道92上行驶。

[0011] 在以下的说明中，将沿着作为行驶部2行驶的方向的轨道92的延展方向的方向称为输送车1的前后方向X。另外，将沿着作为与前后方向X正交的方向且一对轨道92的并排方向的方向称为输送车1的宽度方向Y。另外，将与前后方向X和宽度方向Y两者正交的方向称为上下方向Z。此外，这些各方向是以输送车1为基准的方向，在从设备内的定点观察的情况下，前后方向X和宽度方向Y能够与沿着移动路径的输送车1的位置相应地不同。

[0012] 移载机构3配置于轨道92的下方，联接至行驶部2。移载机构3具备保持装置30、升降装置50以及罩体60。保持装置30是用于保持容器7的装置。升降装置50是用于使保持装置30升降的装置。升降装置50使保持装置30在图2中由假想线示出的上升位置与由实线示出的下降位置之间升降。罩体60容纳升降装置50和处于上升位置的保持装置30。关于罩体60的内部空间，前后方向X的两侧被遮蔽，并且宽度方向Y的至少一侧(在本示例中，两侧)开放。

[0013] 输送车1例如在保持装置30保持容器7的状态下，行驶部2行驶到目标处理装置94的位置，如图2所示，升降装置50使保持装置30下降到下降位置，从而将容器7输送到目标处理装置94。此外，在图2中，示出如下的示例：通过将容器7载置于与处理装置94邻接地配置的载置台95，将该容器7供给到目标处理装置94。另外，输送车1通过进行与上述相反的动作，能够将容器7从已处理结束的处理装置94运出。

[0014] 如图3和图4所示，作为由本实施方式的输送车1输送的输送对象物的容器7具备底板71、侧壁72以及倾斜顶板73。它们一体地形成。底板71是设于容器7的下端部的支撑板，在本实施方式中，以圆形状形成。侧壁72从底板71的外缘向上方延伸，在本实施方式中，以具有开口75的圆筒状形成。倾斜顶板73设于侧壁72的上端部，在本实施方式中，以与底板71同样的圆形状形成。在本实施方式中，倾斜顶板73与底板71不平行地设置，换而言之，相对于底板71倾斜。倾斜顶板73相对于底板71的倾斜程度可以是极其微小的，倾斜角度例如可以是1°至10°。

[0015] 在本实施方式中，在倾斜顶板73的外缘侧，形成有比侧壁72更向内侧凹陷的凹部73E。凹部73E形成在处于倾斜顶板73的周向方向的不同位置的2处(具体而言，处于夹着容器7的中心而完全相反的位置的2处)。容器7在倾斜顶板73的外缘侧的凹部73E由输送车1的保持装置30所具有的支撑部32从下方支撑。更具体而言，容器7在形成于倾斜顶板73的外缘侧的一对凹部73E由输送车1的保持装置30所具有的一对支撑部32从下方支撑。在本实施方式中，形成于倾斜顶板73的凹部73E相当于“被支撑部”。倾斜顶板73的凹部73E的内部的朝向下方的面成为由支撑部32实际支撑的被支撑面73f。在本实施方式中，凹部73E以其内部的被支撑面73f与上表面73a不平行的方式形成。

[0016] 另外，容器7在由设于保持装置30的按压部35按压倾斜顶板73的上表面73a的状态下，保持于保持装置30。在本实施方式中，倾斜顶板73相当于“被按压部”，倾斜顶板73的上表面73a相当于“被按压面”。

[0017] 如上述那样，本实施方式的容器7在侧壁72具有开口75。在本实施方式中，作为开口75，具有形成于正面侧的正面开口75a和形成于里侧的后部开口75b。关于正面开口75a，横宽形成得宽，至少比被容纳物8的最大宽度更宽幅地形成。关于后部开口75b，横宽形成得比正面开口75a更窄，比被容纳物8的最大宽度更窄幅地形成。在本实施方式中，3个后部开口75b隔开既定间隔地并排形成。

[0018] 容纳于容器7的被容纳物8从正面开口75a存取。即，形成于侧壁72的开口75中的正面开口75a成为被容纳物8的存取用的开口。此外，作为被容纳物8，例如例示半导体晶圆或中间掩模等。容器7以能够上下并排地容纳多片被容纳物8的方式构成。另外，本实施方式的容器7不具备将开口75封闭的盖，例如能够使用开放盒。

[0019] 返回至输送车1的说明，如图5至图10所示，构成移载机构3的保持装置30具备保持主体部31、支撑部32、保持驱动部33、按压部35以及按压支撑机构36。另外，保持装置30具备第1引导部41、第2引导部42、检测装置44以及遮蔽部件46。此外，图5至图7是主要着眼于支撑部32和遮蔽部件46的图，考虑到观察的容易性，适当省略其它零件的显示。另外，图8至图10是主要着眼于按压部35、第1引导部41以及第2引导部42的图，考虑到观察的容易性，适当省略其它零件的显示。

[0020] 保持主体部31是成为保持装置30的基台的部位。保持主体部31沿前后方向X滑动自如地支撑支撑部32和遮蔽部件46。另外，保持主体部31在其上表面侧固定地支撑保持驱动部33和检测装置44。另外，保持主体部31沿上下方向Z滑动自如地支撑按压部35。另外，保持主体部31在其下表面侧固定地支撑按压支撑机构36、第1引导部41以及第2引导部42。

[0021] 支撑部32支撑容器7的倾斜顶板73的凹部73E。在本实施方式中，以能够同时支撑处于倾斜顶板73的周向方向的不同位置的一对凹部73E的方式设有一对支撑部32。这一对支撑部32隔开既定间隔且同时沿前后方向X并排地设置。而且，一对支撑部32分别沿前后方向X滑动自如地构成，并且由保持驱动部33驱动，沿前后方向X相互接近移动，或沿前后方向X相互分离移动。

[0022] 在本实施方式中，在上下方向观察下，作为一对支撑部32并排的方向的前后方向X相当于“第1方向”。另外，在上下方向观察下，作为与作为第1方向的前后方向X正交的方向的宽度方向Y相当于“第2方向”。另外，在以下的说明中，将作为第2方向的宽度方向Y的一侧(例如，图2中的左侧)称为“宽度方向第1侧Y1”，将作为其相反侧的宽度方向Y的另一侧称为“宽度方向第2侧Y2”。在本实施方式中，宽度方向第1侧Y1相当于“第2方向第1侧”，宽度方向第2侧Y2相当于“第2方向第2侧”。

[0023] 在本实施方式中，支撑部32具有朝向斜上侧的倾斜支撑面32a。倾斜支撑面32a形成为平坦面，并且以与宽度方向第2侧Y2的端部相比而宽度方向第1侧Y1的端部位于上侧的方式配置。支撑部32能够利用倾斜支撑面32a从下侧支撑形成于容器7的倾斜顶板73的凹部73E的内部的被支撑面73f。

[0024] 保持驱动部33使一对支撑部32沿前后方向X移动。保持驱动部33例如包括保持用电动马达和将该保持用电动马达的旋转变换成前后方向X的推进力的机构(例如滚珠丝杠机构)而构成。保持驱动部33使一对支撑部32沿前后方向X接近移动或以沿前后方向X分离移动的方式相互反向地移动。此外，在保持驱动部33包括滚珠丝杠机构的情况下，通过将丝杠轴的螺旋的朝向以在前后方向X的一侧和另一侧成为相反朝向的方式形成，能够仅通过单个保持用电动马达来进行上述的接近移动和分离移动。

[0025] 保持驱动部33通过使一对支撑部32沿前后方向X接近移动，能够成为支撑倾斜顶板73的凹部73E而保持容器7的保持形态。另外，保持驱动部33通过使一对支撑部32沿前后方向X分离移动，能够成为从倾斜顶板73的凹部73E脱离而解除容器7的保持的保持解除形态。这样，保持驱动部33能够使一对支撑部32形态变化为保持形态和保持解除形态。

[0026] 按压部35按压容器7的倾斜顶板73。按压部35配置于前后方向X上的一对支撑部32之间。在本实施方式中，按压部35具有朝向斜下侧的倾斜按压面35a。倾斜按压面35a形成为平坦面，并且以与宽度方向第2侧Y2的端部相比而宽度方向第1侧Y1的端部位于上侧的方式配置。在本实施方式中，倾斜按压面35a与同样以与宽度方向第2侧Y2的端部相比而宽度方向第1侧Y1的端部位于上侧的方式倾斜的支撑部32的倾斜支撑面32a不平行地配置。

[0027] 按压部35利用倾斜按压面35a从上侧按压容器7的倾斜顶板73的上表面73a。如上述那样，容器7的倾斜顶板73的凹部73E以其内部的被支撑面73f与上表面73a不平行的方式形成。在本实施方式中，以按压部35的倾斜按压面35a相对于支撑部32的倾斜支撑面32a的倾斜角度与倾斜顶板73的上表面73a相对于容器7的凹部73E的被支撑面73f的倾斜角度相等的方式设置。由此，按压部35的倾斜按压面35a以与由支撑部32的倾斜支撑面32a支撑凹部73E的被支撑面73f的状态下的倾斜顶板73的上表面73a平行的方式设置。因此，倾斜按压面35a在由倾斜支撑面32a支撑倾斜顶板73的凹部73E的内部的被支撑面73f的状态下，以从上方与倾斜顶板73的上表面73a面接触的状态按压。

[0028] 按压支撑机构36(参照图11和图12)将按压部35相对于保持主体部31沿可动方向V移动自如地支撑。在本实施方式中，上下方向Z为可动方向V，按压支撑机构36将按压部35相对于保持主体部31沿上下方向Z移动自如地支撑。按压支撑机构36具有：轴部36A，其从按压部35沿着上下方向Z向上方延伸；以及弹性部件36B，其配设于保持主体部31与按压部35之间。

[0029] 轴部36A以能够滑动的状态插入贯通在形成于保持主体部31的沿着上下方向Z的贯通孔。轴部36A起到对按压部35沿着上下方向Z(可动方向V)的移动进行引导的作用。作为弹性部件36B，例如能够使用螺旋弹簧或板簧等。在本实施方式中，作为弹性部件36B，使用螺旋弹簧。该弹性部件36B在压缩状态下，通过弹性复原力对按压部35朝向下侧施力。这样，按压支撑机构36以对按压部35朝向下侧施力的方式支撑按压部35。在此，特别地，按压支撑机构36在倾斜支撑面32a抵接于由一对支撑部32支撑倾斜顶板73的凹部73E的状态下的上表面73a的状态下，成为弹性部件36B被压缩的状态，对按压部35朝向下侧施力。

[0030] 如图8至图10所示，第1引导部41固定于保持主体部31的宽度方向第1侧Y1的端部附近。在图8至图10中，考虑到观察的容易性，省略了支撑部32的显示，但如能够从图10容易地理解的，第1引导部41配置于比支撑容器7的倾斜顶板73的凹部73E的支撑部32更靠宽度方向第1侧Y1。另外，在本实施方式中，多个(在本示例中，2个)第1引导部41在上下方向观察下沿着圆弧状面分开设置。多个第1引导部41设于相对于保持装置30的前后方向X的中央部对称的位置。第1引导部41以能够相对于容器7的倾斜顶板73从宽度方向第1侧Y1抵接的方式配置，通过与第2引导部42的协作，将容器7沿宽度方向Y定位。

[0031] 第1引导部41在与容器7的倾斜顶板73对置的宽度方向第2侧Y2的侧面具有第1引导面41a。第1引导面41a以按随着朝向上侧而朝向宽度方向第2侧Y2的方式倾斜的渐缩状形成。第1引导部41具有这样的第1引导面41a，从而在当保持装置30下降时、保持装置30相对于容器7向宽度方向第2侧Y2偏移的情况下，能够将保持装置30的宽度方向Y的位置向宽度方向第1侧Y1矫正。

[0032] 第2引导部42固定于托架的末端部附近，该托架固定于保持主体部31的宽度方向第2侧Y2的端部，向宽度方向第2侧Y2延伸。第2引导部42配置于比支撑容器7的倾斜顶板73的凹部73E的支撑部32更靠宽度方向第2侧Y2。在本实施方式中，第2引导部42仅设有1个，配置于保持装置30的前后方向X的中央部。第2引导部42以能够相对于容器7的倾斜顶板73从宽度方向第2侧Y2抵接的方式配置，通过与第1引导部41的协作，将容器7沿宽度方向Y定位。

[0033] 第2引导部42在与容器7的倾斜顶板73对置的宽度方向第1侧Y1的侧面具有第2引导面42a。第2引导面42a以按随着朝向上侧而朝向宽度方向第1侧Y1的方式倾斜的渐缩状形成。第2引导部42具有这样的第2引导面42a，从而在当保持装置30下降时、保持装置30相对于容器7向宽度方向第1侧Y1偏移的情况下，能够将保持装置30的宽度方向Y的位置向宽度方向第2侧Y2矫正。

[0034] 这样，在使保持装置30下降而相对于容器7从上侧接近的情况下，第1引导部41的第1引导面41a和第2引导部42的第2引导面42a的任一个与容器7接触而矫正宽度方向Y的位置。此外，在保持装置30相对于容器7的宽度方向Y的位置不存在偏移的情况下，也存在第1引导面41a和第2引导面42a全都不与容器7接触的情况。

[0035] 第1引导部41和第2引导部42配置于上下方向Z上的不同位置。在本实施方式中，如图10所示，配置于宽度方向第1侧Y1的第1引导部41配置在比配置于宽度方向第2侧Y2的第2引导部42更靠上下方向Z的上侧。这样的构成适于保持装置30以被容纳物8的存取用的正面开口75a朝向斜上方的形态支撑容器7的构成。

[0036] 检测装置44基于按压部35的可动方向V(在本实施方式中，上下方向Z)的位置而检测保持装置30是否处于保持合理范围内。在此，保持合理范围是指通过一对支撑部32从保持解除形态变化成保持形态而能够支撑倾斜顶板73的凹部73E的、保持装置30的上下方向Z的位置的范围。在本实施方式中，一对支撑部32沿前后方向X滑动移动而从保持解除形态变化成保持形态，因而保持合理范围是支撑部32的整体纳于倾斜顶板73的凹部73E的、保持装置30的上下方向Z的位置的范围。

[0037] 如图11和图12所示，在本实施方式中，检测装置44具有配置于上下方向Z的不同位置的2个位置传感器、即第1位置传感器44A和第2位置传感器44B。第1位置传感器44A在按压支撑机构36的上方设置在相对于保持主体部31稍微向上方分离的位置。第2位置传感器44B在按压支撑机构36的上方设置在相对于第1位置传感器44A进一步向上方分离的位置。

[0038] 本实施方式的第1位置传感器44A和第2位置传感器44B由分别具有投光部和受光部的光传感器构成。在本实施方式中，被检测体45以从构成按压支撑机构36的轴部36A向上方延伸的方式一体地联接至轴部36A。被检测体45配置于第1位置传感器44A和第2位置传感器44B各自的前后方向X上的投光部与受光部之间。被检测体45与按压部35的上下方向Z的移动联动地沿上下方向Z移动。

[0039] 在本实施方式中，在保持装置30未保持容器7的状态下，按压部35被按压支撑机构36施力到可动范围内的下端侧，在该状态下，未由第1位置传感器44A和第2位置传感器44B检测到被检测体45。在保持装置30保持容器7的状态下，按压部35被按压支撑机构36朝向下方施力且同时向可动范围内的上侧移动，在该状态下，由第1位置传感器44A检测到被检测体45。因而，能够基于有无由第1位置传感器44A检测到被检测体45而检测保持装置30是否正保持容器7(即，在库状态)。

[0040] 另外，在本实施方式中，在使保持装置30下降而从上侧接近容器7时，在保持装置30相对于容器7过度降低而从上述的保持合理范围脱离的情况下，也由第2位置传感器44B检测到被检测体45。由此，能够基于有无由第2位置传感器44B检测到被检测体45而检测保持装置30是否位于保持合理范围内。

[0041] 此外，在判断为保持装置30并非位于保持合理范围内的情况下，能够驱动升降装置50而调整保持装置30的上下方向Z的位置。

[0042] 在保持装置30保持容器7的状态下，遮蔽部件46部分地覆盖容器7的正面开口75a。在本实施方式中，以部分地覆盖容器7的正面开口75a中的前后方向X的两侧的区域的方式设有一对遮蔽部件46。一对遮蔽部件46以形态变化为关门形态和开门形态的方式构成。在此，关门形态是一对遮蔽部件46与由一对支撑部32支撑倾斜顶板73的凹部73E的状态下的正面开口75a至少部分地对置的形态。开门形态是一对遮蔽部件46不与由一对支撑部32支撑倾斜顶板73的凹部73E的状态下的正面开口75a对置的形态。

[0043] 在本实施方式中，遮蔽部件46一体地联接至固定有支撑部32的支撑托架。一对遮蔽部件46的一个经由第1支撑托架联接至一对支撑部32的一个，它们能够联动地沿前后方向X移动。另外，一对遮蔽部件46的另一个经由第2支撑托架联接至一对支撑部32的另一个，它们能够联动地沿前后方向X移动。而且，一对遮蔽部件46以如下的方式构成：与一对支撑部32的形态变化联动，伴随着一对支撑部32成为保持形态而成为关门形态，伴随着一对支撑部32成为保持解除形态而成为开门形态。一对遮蔽部件46在关门形态下预防被容纳物8从容器7脱出。

[0044] 升降装置50使保持装置30升降。如图2所示，升降装置50具备升降主体部51、升降驱动部52以及线材53。升降主体部51是成为升降装置50的基台的部位。升降主体部51在其上表面侧固定地支撑升降驱动部52。升降驱动部52例如包括升降用电动马达和与该升降用电动马达一体地旋转的卷绕部而构成。关于线材53，一端联接至构成升降驱动部52的卷绕部，并且，另一端联接至保持装置30。升降装置50通过驱动升降驱动部52而将线材卷绕或放出，使保持装置30在上升位置与下降位置之间升降。

[0045] 【其它实施方式】(1)在上述的实施方式中，以如下的构成为示例而进行了说明：在使保持装置30下降而相对于容器7从上侧接近的情况下，除了不存在偏移的情况以外，仅第1引导部41的第1引导面41a和第2引导部42的第2引导面42a的任一个与容器7接触。可是，不限定于这样的构成，也可以是，第1引导部41的第1引导面41a和第2引导部42的第2引导面42a两者与容器7接触而将该容器7沿宽度方向Y定位。

[0046] (2)在上述的实施方式中，以保持装置30具备第1引导部41和第2引导部42的构成为示例而进行了说明。可是，不限定于这样的构成，保持装置30也可以不具备第1引导部41和第2引导部42。

[0047] (3)在上述的实施方式中，以按压支撑机构36将按压部35相对于保持主体部31沿上下方向Z移动自如地支撑(换而言之，上下方向Z是可动方向V)的构成为示例而进行了说明。可是，不限定于这样的构成，也可以以相对于上下方向Z略微倾斜的方向为可动方向V。例如，按压支撑机构36也可以将按压部35相对于保持主体部31沿相对于上下方向Z以10°以下的角度倾斜的可动方向V移动自如地支撑。

[0048] (4)在上述的实施方式中，以如下的构成为示例而进行了说明：保持装置30具备将按压部35相对于保持主体部31沿可动方向V移动自如地支撑的按压支撑机构36。可是，不限定于这样的构成，保持装置30也可以不具备按压支撑机构36。

[0049] (5)在上述的实施方式中，以检测装置44具有第1位置传感器44A和第2位置传感器44B的构成为示例而进行了说明。可是，不限定于这样的构成，也可以仅由第1位置传感器
44A和第2位置传感器44B的任一个构成检测装置44。或者，保持装置30也可以不具备检测装置44。

[0050] (6)在上述的实施方式中，以如下的构成为示例而进行了说明：一对遮蔽部件46与一对支撑部32的形态变化联动，伴随着一对支撑部32成为保持形态而成为关门形态，伴随着一对支撑部32成为保持解除形态而成为开门形态。可是，不限定于这样的构成，一对遮蔽部件46和一对支撑部32也可以分别被驱动而相互独立地进行形态变化。

[0051] (7)在上述的实施方式中，以保持装置30具备部分地覆盖容器7的正面开口75a的遮蔽部件46的构成为示例而进行了说明。可是，不限定于这样的构成，保持装置30也可以不具备遮蔽部件46。

[0052] (8)在上述的实施方式中，以一对支撑部32沿前后方向X并排地设置的构成为示例而进行了说明。可是，不限定于这样的构成，也可以是，一对支撑部32沿宽度方向Y并排地设置。在此情况下，宽度方向Y相当于“第1方向”，前后方向X相当于“第2方向”。第1引导部41和第2引导部42相对于一对支撑部32在前后方向X的两侧分开设置。或者，也可以是，一对支撑部32沿与前后方向X和宽度方向Y两者交叉的方向并排地设置。与一对支撑部32的并排方向相应地确定“第1方向”和“第2方向”或第1引导部41和第2引导部42的设置位置。

[0053] (9)在上述的实施方式中，以如下的构成为示例而进行了说明：保持驱动部33包括保持用电动马达和将该保持用电动马达的旋转变换成前后方向X的推进力的机构。可是，不限定于这样的构成，保持驱动部33也可以包括例如流体压力缸机构等直接产生前后方向X的推进力的机构而构成。

[0054] (10)在上述的实施方式中，以如下的构成为示例而进行了说明：保持装置30利用一对支撑部32支撑形成于容器7的倾斜顶板73的凹部73E。可是，不限定于这样的构成，例如，也可以是，容器7的倾斜顶板73从侧壁72向外侧以凸缘状突出形成，保持装置30利用一对支撑部32支撑该倾斜顶板73的凸缘状突出部。在此情况下，倾斜顶板73的凸缘状突出部的周向方向的不同的2处相当于“被支撑部”。另外，也可以在容器7的侧壁72，在与倾斜顶板73不同的上下方向的位置设有把手状的突出部，保持装置30利用一对支撑部32支撑该把手状突出部。在此情况下，把手状突出部相当于“被支撑部”。把手状突出部也可以与侧壁72一体地形成，也可以由与侧壁72不同的部件形成并固定于侧壁72。

[0055] (11)在上述的实施方式中，以如下的构成为示例而进行了说明：容器7的凹部73E的内部的被支撑面73f和倾斜顶板73的上表面73a不平行地形成。可是，不限定于这样的构成，也可以是，被支撑面73f和上表面73a平行地形成。在此情况下，在保持装置30侧，按压部35的倾斜按压面35a和支撑部32的倾斜支撑面32a平行地形成。总之，按压部35的倾斜按压面35a与由支撑部32的倾斜支撑面32a支撑凹部73E的被支撑面73f的状态下的倾斜顶板73的上表面73a平行。

[0056] (12)在上述的实施方式中，以使用不具备将开口75封闭的盖的开放盒作为容器7的构成为示例而进行了说明。可是，不限定于这样的构成，也可以使用具备将开口75封闭的盖的容器7(例如FOUP或中间掩模盒等)。

[0057] (13)上述的各实施方式(包括上述的实施方式及其它实施方式；以下同样)中所公开的构成只要不产生矛盾，就也能够与其它实施方式中所公开的构成组合而适用。关于其它构成，本说明书中所公开的实施方式也在所有方面都是例示，能够在不脱离本公开的主旨的范围内适当改变。

[0058] 【实施方式的总结】如果对以上进行总结，本公开所涉及的输送车合适地具备以下的各构成。

[0059] 一种输送车，其是输送具备一对被支撑部、和被按压部的容器的输送车，具备保持前述容器的保持装置，前述保持装置具备：
一对支撑部，其分别支撑一对前述被支撑部；
保持驱动部，其使一对前述支撑部形态变化为保持前述容器的保持形态和解除前述容器的保持的保持解除形态；以及
按压部，其按压前述被按压部，
前述支撑部具有倾斜支撑面，利用前述倾斜支撑面支撑前述被支撑部的被支撑面，
前述按压部具有倾斜按压面，利用前述倾斜按压面按压前述被按压部的被按压面，
前述倾斜按压面以与由前述倾斜支撑面支撑前述被支撑面的状态下的前述被按压面平行的方式设置。

[0060] 依据该构成，通过使一对支撑部为保持形态，能够利用一对倾斜支撑面支撑被支撑部的被支撑面，以被容纳物的存取用的开口朝向斜上方的形态支撑容器。此时，能够通过与由支撑部的倾斜支撑面支撑被支撑面的状态下的被按压面平行的倾斜按压面来从与被按压面正交的方向按压被按压面。由此，能够通过相互平行的倾斜支撑面和倾斜按压面来从上下两侧保持容器。因而，能够在容器的开口朝向斜上方的状态下稳定地保持并输送该容器。

[0061] 作为一个方案，优选的是，还具备使前述保持装置升降的升降装置，
在上下方向观察下，以一对前述支撑部并排的方向为第1方向，以与前述第1方向正交的方向为第2方向，以前述第2方向的一侧为第2方向第1侧，以前述第2方向的另一侧为第2方向第2侧，
前述保持装置还具备：
第1引导部，其具有与前述容器对置的第1引导面，相对于一对前述支撑部配置于前述第2方向第1侧；以及
第2引导部，其具有与前述容器对置的第2引导面，相对于一对前述支撑部配置于前述第2方向第2侧，
在通过前述升降装置使前述保持装置下降而使前述保持装置相对于前述容器从上侧接近的情况下，前述第1引导部和前述第2引导部以前述第1引导面和前述第2引导面的至少一个与前述容器接触的方式配置。

[0062] 依据该构成，在通过升降装置使保持装置下降而使保持装置相对于容器从上侧接近时，在假设保持装置相对于容器沿第2方向偏移的情况下，通过只有与偏移侧相反的一侧的引导部的引导面(第1引导面和第2引导面中的任一个)与容器接触，能够矫正保持装置的位置。因而，能够通过保持装置恰当地保持容器。

[0063] 作为一个方案，优选的是，前述第1引导面以随着朝向上侧而朝向前述第2方向第2侧的方式倾斜，
前述第2引导面以随着朝向上侧而朝向前述第2方向第1侧的方式倾斜。

[0064] 依据该构成，在通过升降装置使保持装置下降而使保持装置相对于容器从上侧接近时，即使假设保持装置相对于容器沿第2方向偏移，也能够将保持装置矫正至合理的位置。因而，能够通过保持装置将容器稳定地保持于恰当的位置。

[0065] 作为一个方案，优选的是，前述第1引导部和前述第2引导部配置于上下方向上的不同位置。

[0066] 依据该构成，即使在以被容纳物的存取用的开口朝向斜上方的形态支撑容器的情况下，也能够如上述那样矫正保持装置的位置并通过保持装置恰当地保持容器。

[0067] 作为一个方案，优选的是，在上下方向观察下，前述按压部配置于一对前述支撑部之间。

[0068] 依据该构成，通过从上方用按压部按压并且在夹着按压部的两侧从下方用支撑部支撑，能够更稳定地保持容器。

[0069] 作为一个方案，优选的是，前述保持装置还具备：
保持主体部，其支撑一对前述支撑部和前述保持驱动部；以及
按压支撑机构，其将前述按压部相对于前述保持主体部沿着上下方向移动自如地支撑，
前述按压支撑机构以在前述倾斜支撑面抵接于由一对前述支撑部支撑一对前述被支撑部的状态下的前述被按压面的状态下对前述按压部朝向下侧施力的方式支撑前述按压部。

[0070] 依据该构成，例如，即使在输送中容器相对于保持装置的上下方向的位置略微变动，也能够通过按压部朝向下侧的施力来恰当地维持由按压部从上方按压容器的状态。因而，能够更稳定地保持容器。

[0071] 作为一个方案，优选的是，以通过一对前述支撑部从前述保持解除形态变化成前述保持形态而能够支撑一对前述被支撑部的、前述保持装置的上下方向的位置的范围为保持合理范围，前述保持装置还具备基于前述按压部的位置而检测前述保持装置是否处于前述保持合理范围内的检测装置。

[0072] 依据该构成，能够基于沿着上下方向移动自如的按压部的位置而检测保持装置的上下方向的位置是否在保持合理范围内。因而，例如在保持装置的上下方向的位置从保持合理范围偏移的情况下，能够得到用于对其进行矫正的契机。其结果是，能够恰当地进行保持装置对容器的保持动作。

[0073] 作为一个方案，优选的是，前述容器在侧面具有被容纳物的存取用的开口，
前述保持装置还具备遮蔽部件，该遮蔽部件形态变化为与由一对前述支撑部支撑一对前述被支撑部的状态下的前述开口至少部分地对置的关门形态和不对置的开门形态，前述遮蔽部件以如下的方式构成：与一对前述支撑部的形态变化联动，伴随着一对前述支撑部成为前述保持形态而成为前述关门形态，伴随着一对前述支撑部成为前述保持解除形态而成为前述开门形态。

[0074] 依据该构成，通过使遮蔽部件为关门形态，能够利用该遮蔽部件至少部分地覆盖开口，能够限制被容纳物从容器飞出。另外，通过使遮蔽部件的关门形态和开门形态的形态变化与一对支撑部的保持形态和保持解除形态的形态变化联动，能够利用比较简单的构成来限制在由保持装置保持容器的状态下、被容纳物从容器飞出。

[0075] 本公开所涉及的输送车只要能够起到上述的各效果中的至少1个即可。符号说明

[0076] 1输送车7容器
8被容纳物
30保持装置
31保持主体部
32支撑部
32a倾斜支撑面
33保持驱动部
35按压部
35a倾斜按压面
36按压支撑机构
41第1引导部
41a第1引导面
42第2引导部
42a第2引导面
44检测装置
46遮蔽部件
50升降装置
73倾斜顶板(被按压部)
73a上表面(被按压面)
73E凹部(被支撑部)
73f被支撑面
75开口
75a正面开口
X前后方向(第1方向)
Y宽度方向(第2方向)
Y1宽度方向第1侧(第2方向第1侧)
Y2宽度方向第2侧(第2方向第2侧)
Z上下方向
V可动方向。