本发明属于光学电场测量技术领域，具体涉及到一种用于光学电场传感器的铌酸锂薄膜脊形波导及其制备方法，包括，复合层，包括有衬底、设置于所述衬底上的缓冲层和设置在所述缓冲层上的薄膜层；其中，所述薄膜层上设置有脊形凸起，相比于铌酸锂薄膜钛扩散波导，铌酸锂薄膜脊波导由于大幅提升了折射率差，从而大幅减小了模场直径，光模场大小减小了三倍以上，相比于体铌酸锂钛扩散波导，铌酸锂薄膜脊波导的光模场大小减小了两个数量级；铌酸锂薄膜脊波导具有最小的光模场，采用铌酸锂薄膜脊波导可以让传感器拥有最大的灵敏度。
