[0001] 本发明涉及柔性线路板制作领域，具体涉及一种柔性线路板蚀刻线路补偿方法、系统、装置及存储介质。

[0002] 在柔性电路板（Flexible Printed Circuit Board）制作领域，线路通常是采用在铜层上进行蚀刻来形成的。由于在蚀刻流程中，会因为蚀刻药水的侧蚀等原因造成蚀刻出来的线路与客户设计要求不一致，因此在生产之前会通过对蚀刻线路进行补偿设计，使得经过补偿设计的蚀刻线路与客户设计要求相匹配。

[0003] 随着柔性电路板的快速发展，柔性电路板图形越来越复杂，线路越来越细，对蚀刻线路的补偿匹配性要求越来越高。然而，由于目前的补偿程序分级较少、与蚀刻线体参数的匹配性差、不同间距情况下补偿参数接近等原因，导致分级补偿临界位置处的补偿差异较大，蚀刻后线路的线宽、线距不能满足客户设计要求，与原设计偏差较大，整个蚀刻线路的补偿匹配性较差，进而导致柔板蚀刻后的首件通过率降低。目前解决该类问题，通常采用调整线路工艺来满足客户设计要求，会导致生产线上的工作量增多，生产效率低下，沟通成本增加。

[0004] 因此，亟需新的蚀刻线路补偿技术来改善蚀刻线路的补偿匹配性和柔板蚀刻的首件通过率，以适应现阶段的高补偿匹配性要求。

[0028] 为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

[0029] 实施例一

[0030] 本实施例提供了一种柔性线路板蚀刻线路补偿方法，如图1所示，包括：S1：获取柔性线路板的历史蚀刻线路数据集；
S2：对所述历史蚀刻线路数据集进行分类分析，得到初始分级补偿规则；
S3：基于所述初始分级补偿规则，确定出蚀刻测试资料；并根据所述蚀刻测试资
料，设计测试线路板；
S4：对所述测试线路板进行线路蚀刻，并获取线路蚀刻后的所述测试线路板的蚀
刻数据；
S5：根据所述蚀刻测试资料和所述蚀刻数据，对所述初始分级补偿规则进行验证；
S6A：若验证通过，将所述初始分级补偿规则确定为目标分级补偿规则；
S6B：若验证不通过，对所述初始分级补偿规则进行优化，得到优化分级补偿规则，并重新基于所述优化分级补偿规则，得到更新蚀刻测试资料和更新测试线路板；重新获取基于所述更新测试线路板得到的更新蚀刻数据，并重新根据所述更新蚀刻数据和所述更新蚀刻测试资料对所述优化分级补偿规则进行验证，若验证不通过，则继续优化和验证，直至所述优化分级补偿规则验证通过，将所述优化分级补偿规则确定为所述目标分级补偿规则。

[0031] 在本实施例中，历史蚀刻线路数据集为历史时期内大量柔性线路板经过蚀刻流程之后的生产数据，这些数据能涵盖不同情况下柔性线路板的蚀刻数据，能反映柔性线路板真实的蚀刻情况；通过获取该历史蚀刻线路数据集，并进行后续的分类分析，既能从中模拟出符合柔性线路板生产实际的补偿规则，又能从大量的数据中对补偿规则进行更精细的分级，得到分级更多的初始分级补偿规则；当模拟出该初始分级补偿规则之后，基于该规则来确定蚀刻测试资料，该蚀刻测试资料包含大量不同线距、不同线宽、不同线路方向、不同线路位置等情况下的线路数据，利用这些数据一方面可以方便设计响应的测试线路板，以方便后续按照初始分级补偿规则中所涵盖的分级来进行蚀刻测试，得到真实生产环境下的蚀刻数据；另一方面可以便于后续与实际得到的蚀刻数据进行对比，进而便于利用蚀刻数据和蚀刻测试资料二者之间的对比情况来验证前续步骤中模拟出的初始分级补偿规则是否准确；当初始分级补偿规则验证通过，即将其确定最终的目标分级补偿规则，用于柔板产线上线路蚀刻的补偿；当初始分级补偿规则验证不通过，即对初始分级补偿规则进行优化，再重新设计、测试和验证，直至优化所得到的优化分级补偿规则验证通过，并将验证通过的优化分级补偿规则确定最终的目标分级补偿规则，用于柔板产线上线路蚀刻的补偿。

[0032] 本实施例的柔性线路板蚀刻线路补偿方法、系统、装置及存储介质，实现了分级更加精细的补偿规则的模拟、测试和验证，得到的目标分级补偿规则能够提供足够精细的分级补偿程序，有效避免了因补偿程序分级不足导致分级补偿临界位置处的补偿差异较大，进而与原设计偏差较大导致蚀刻后的线宽、线距不能满足客户设计要求，线路补偿匹配性较差等问题，无需通过调整线路工艺来解决，生产线上的工作量小，生产可控性和生产效率高，沟通成本低，能有效提升柔板蚀刻后的首件通过率。

[0033] 应理解，本实施例得到最终的目标分级补偿规则后，可以将该目标分级补偿规则直接用于柔性线路板的实际生产流程中，按照该规则，对蚀刻形成的线路进行补偿。

[0034] 进一步地，也可以：利用目标分级补偿规则进行柔性线路板生产，得到预设数量的柔板产品以及每个
柔板产品的生产数据；根据所有柔板产品的生产数据，对目标分级补偿规则进行补偿匹配性验证。

[0035] 例如，采用12μm铜厚的柔性线路板进行生产，利用该目标分级补偿规则对柔性线路板的蚀刻线路进行补偿，制作出10个柔板产品（该柔板产品既可以是仅完成蚀刻流程但未完成后续流程的半成品，也可以完成所有制作流程的成品），同时可得到该10个柔板产品的生产数据，将该10个柔板产品的生产数据与生产前的设计数据进行对比，比较两种数据中线路的线宽是否一致（当两种数据中的线宽之间的差值在预设范围内，则视为一致，否则视为不一致），若是，则该目标分级补偿规则的补偿匹配性较高，否则补偿匹配性较差。若补偿匹配性较差，可进一步对目标分级补偿规则进行优化，避免在正式投产时出现较多的不良品，确保柔板的生产良率。通过补偿匹配性验证，可以进一步验证目标分级补偿规则的准确性，对柔板线路蚀刻的管控更加完善。

[0036] 应理解，本实施例上述柔性线路板蚀刻线路补偿方法可适用于不同铜厚的柔性线路板，包括12μm、16μm、18μm、24μm、35μm、70μm等多种规格，每种铜厚的柔性线路板均可按照本实施例S1 S6B所述的方法进行蚀刻线路补偿，不同铜厚的柔性线路板所对应的目标分级~补偿规则可能有所不同。

[0037] 为便于说明，以下实施例以应用于12μm铜厚的柔性线路板为例，对柔性线路板蚀刻线路补偿方法的每个步骤进行详细说明。

[0038] 优选地，在本实施例S1中，所述历史蚀刻线路数据集包括在历史时期内，所述柔性线路板在多种线路规格下的历史线宽设计数据；还包括在所述历史时期内，所述柔性线路板经过蚀刻后在多种所述线路规格下的历史实际线宽数据；其中，所述线路规格包括线路间距。

[0039] 通过上述在历史时期内，多种线路规格下柔性线路板在蚀刻前后的线宽数据（即历史线宽设计数据和历史实际线宽数据）的收集，能涵盖不同情况下柔性线路板的蚀刻数据，能确保后续模拟出的初始分级补偿规则的准确性和可靠性。

[0040] 在蚀刻流程中，线路阻值、线路阻抗，蚀刻后的铜厚、线路宽度、线路间距、介质厚度等众多因素均会对蚀刻产生影响，其中线路宽度为最主要的因素。在相同的蚀刻液、蚀刻液温度、蚀刻喷压和使用同样的设备情况下，不同线路间距、线路排布方向和位置，蚀刻量均有明显差异，进而会导致生产出不同的线路宽度。进一步地，线路间距越大受蚀刻药水攻击后蚀刻量越大，蚀刻后线路宽度与设计值差异越大。因此，收集多种线路间距下的历史线宽设计数据和历史实际线宽数据，能便于分析出不同线距对线宽所产生的影响，进而分析出多线距分级下的初始分级补偿规则。

[0041] 具体地，所述线路规格还包括线路类型、线路数量、线路排布方向和线路形状。

[0042] 在线路间距的基础上，还收集不同线路类型（如线束线路、导电PAD线路）、不同线路数量、不同线路排布方向和不同线路形状（如矩形PAD、圆形PAD等）下的柔性线路板在蚀刻前后的线宽数据，能更全面地考虑对线路蚀刻产生影响的因素，进一步确保初始分级补偿规则的准确性和可靠性。

[0043] 优选地，如图2所示，本实施例S2包括：S21：按照所述线路间距，对所述历史蚀刻线路数据集进行分类分析，确定出所述柔性线路板在多个线距组别下的线路设计蚀刻量和线路实际蚀刻量；
S22：分别根据每个所述线距组别下的所述线路设计蚀刻量和所述线路实际蚀刻
量，计算出每个所述线距组别下的补偿量；
S23：分别根据每个所述线距组别下的所述补偿量进行拟合，得到每个所述线距组别下的补偿子规则；
S24：所述补偿子规则，得到所述初始分级补偿规则。

[0044] 由于线路间距越大受蚀刻药水攻击后蚀刻量越大，蚀刻后线路宽度与设计值差异越大，因此按照线路间距对历史蚀刻线路数据集进行分类分析，能更准确地掌握因线路间距所导致的蚀刻变化，得到多个线距组别下的线路设计蚀刻量（指蚀刻前预设的线路蚀刻量）和线路实际蚀刻量（指蚀刻前后实际的线路蚀刻量），便于后续从每个线距组别下的线路设计蚀刻量和线路实际蚀刻量的差异中分析出线路蚀刻需要补偿的量（即补偿量）；将线距作为输入变量，将补偿量作为输出变量，即可在每个线距组别下拟合出对应的补偿子规则，这些补偿子规则即构成了多分级的初始分级补偿规则，每个线距组别对应一个分级，实现了更精细的补偿规则的模拟，有效避免了因补偿程序分级不足导致分级补偿临界位置处的补偿差异较大，进而与原设计偏差较大导致蚀刻后的线宽、线距不能满足客户设计要求，线路补偿匹配性较差等问题。

[0045] 具体地，设线距组别总数为N，对于第i个所述线距组别，i满足1≤i≤N，第i个所述线距组别对应的所述补偿子规则的具体表达式为：Ci=a1i+2a2i×(x‑wmini)；
其中，Ci为第i个所述线距组别下的所述补偿量，wmini为第i个所述线距组别下的基准线距值，x为线距变量，a1i和a2i分别为第i个所述线距组别下的第一常量和第二常量。

[0046] 应理解，每个线距组别下的基准线距值通常取该线距组别的最小线距值。第一常量a1i和第二常量a2i均可以为0，也均可以为其他任意值，视具体拟合情况而定；不同线距组别下的第一常量和第二常量均有可能相同或不同。

[0047] 集合{Ci}即构成了初始分级补偿规则。

[0048] 优选地，在本实施例中，所述线路类型包括线束线路和导电PAD线路；在本实施例S3中，所述测试线路板包括多个测试单元，每个所述测试单元均包括
多个线束阵列单元和至少一个导电PAD阵列单元；
其中，每个所述线束阵列单元均由多种线束线路组成，每个所述导电PAD阵列单元均由多个导电PAD线路组成。

[0049] 在上述测试线路板中，通过设计包含有多个线束阵列单元和至少一个导电PAD阵列单元的多个测试单元，能通过后续的蚀刻测试，从不同线路类型、线路排布方向和线路位置等方面考虑线距对线路蚀刻的影响；进一步地，在每个线束阵列单元中，通过多种线束线路的设计，以及在每个导电PAD阵列单元中，通过多个导电PAD线路的设计，能通过后续的蚀刻测试进一步从线路类型、线路数量和线路形状等方面考虑线距对线路蚀刻的影响；基于上述测试线路板，能得到更全面的蚀刻数据，便于利用该全面的蚀刻数据来对初始分级补偿规则进行验证，确保验证的可靠性。

[0050] 具体地，所述线束线路包括单线束线路、双线束线路、三线束线路和五线束线路中的至少一种；和/或，所述导电PAD线路包括圆形PAD线路、方形PAD线路和异形PAD线路中的至少一种。

[0051] 上述线束线路和/或导电PAD线路涵盖了柔板领域中的常规线路，可以确保最终分级补偿规则的通用性。

[0052] 应理解，异形PAD线路是指非规则形状的PAD线路。其中，PAD线路是指用于焊接电子元件的焊盘，也通过蚀刻形成。

[0053] 优选地，在本实施例S3中，所述蚀刻测试资料包括每个所述线束阵列单元一一对应的第一测试资料以及每个所述导电PAD阵列单元一一对应的第二测试资料；其中，在每个所述线束阵列单元中，所述第一测试资料均包括每种所述线束线路
对应的第一线路设计间距和第一线路设计线宽；
在每个所述导电PAD阵列单元中，所述第二测试资料均包括每种所述导电PAD线路
对应的第二线路设计间距和第二线路设计线宽；
其中，所有所述线束线路所具有的所述第一线路设计间距以及所有所述导电PAD
线路所具有的所述第二线路设计间距涵盖了所述初始分级补偿规则中的所有所述线距组别。

[0054] 通过上述第一测试资料和第二测试资料，便于形成符合设计要求的测试线路板，进而便于全方位地对初始分级补偿规则进行验证，确保验证的可靠性。其中，上述所有线束阵列单元中所有线束线路所具有的第一线路设计间距以及所有导电PAD阵列单元中所有导电PAD线路所具有的第二线路设计间距涵盖初始分级补偿规则中的所有线距组别，能确保后续初始分级补偿规则中每个线距组别下的补偿子规则均被验证到。

[0055] 进一步地，在每个所述线束阵列单元中，所述第一测试资料还均包括线束线路数量、线束线路布设顺序以及每种所述线束线路对应的第一线路形状；和/或，在每个所述导电PAD阵列单元中，所述第二测试资料还均包括导电PAD线路数量和导电PAD线路布设顺序以及每种所述导电PAD线路对应的第二线路形状。

[0056] 进一步地，所述蚀刻测试资料还包括所述测试线路板对应的第四测试资料；所述第四测试资料包括所述测试线路板的测试单元数量和测试单元布设顺序。

[0057] 进一步地，所述蚀刻测试资料还包括每个所述测试单元一一对应的第三测试资料；在每个所述测试单元中，所述第三测试资料均包括每个所述线束阵列单元对应的
第一线路排布方向和每个所述导电PAD阵列单元对应的第二线路排布方向。

[0058] 进一步地，在每个所述测试单元的所述第三测试资料中，所有所述线束阵列单元的所述第一线路排布方向均相同，所有所述导电PAD阵列单元的所述第二线路排布方向也均相同；在每相邻两个所述测试单元的所述第三测试资料中，所述线束阵列单元的所述第
一线路排布方向不同，和/或，所述导电PAD阵列单元的所述第二线路排布方向不同。

[0059] 进一步地，在每个所述测试单元中，所述第三测试资料还均包括阵列布设顺序、线束阵列数量和导电PAD阵列数量。

[0060] 通过上述第一测试资料、第二测试资料以及第三测试资料和第四测试测量，能进一步从多方面设计测试线路板中的测试单元，进而实现对初始分级补偿规则的全面验证。

[0061] 应理解，在第一测试资料中，线束线路数量是指每种线束线路的数量，如单线束线路3条、双线束线路4条等；线束线路布设顺序是指所有线束线路的布设顺序，如按照单线束线路→双线束线路→单线束线路→双线束线路……的顺序依次布设；第一线路形状是指线束线路所形成的形状，如两组线束线路围成直角形状。在第二测试资料中，导电PAD线路数量是指每种导电PAD线路的数量，如方形PAD线路10个、圆形PAD线路10个等；导电PAD线路布设顺序是指所有导电PAD线路的布设顺序，如按照方形PAD线路→圆形PAD线路的顺序依次布设；第二线路形状是指导电PAD线路的形状，如方形、圆形等。

[0062] 在第三测试资料中，第一线路排布方向是指每个测试单元中，所有线束阵列单元的排布方向，如水平方向、竖直方向、45°角斜向等；第二线路排布方向是指每个测试单元中，所有导电PAD阵列单元的排布方向，同样如水平方向、竖直方向、45°角斜向等；阵列布设顺序是指每个测试单元中，所有线束阵列单元和所有导电PAD阵列单元的布设顺序，如19个线束阵列单元和1个导电PAD阵列单元形成5×4的矩阵，且1个导电PAD阵列单元布设于第5行第4列的位置；线束阵列数量和导电PAD阵列数量，则分别指在每个测试单元中，线束阵列单元和导电PAD阵列单元的数量，如线束阵列单元的数量为19个、导电PAD阵列单元的数量为1个。

[0063] 其中，在每个测试单元中，所有线束阵列单元的第一线路排布方向均相同，例如所有线束阵列单元均按照水平方向排布；所有导电PAD阵列单元的第二线路排布方向也均相同，例如所有导电PAD阵列单元均按照45°角斜向排布。

[0064] 而在每相邻两个测试单元中的线束阵列单元的第一线路排布方向不同，和/或，在每相邻两个测试单元中的导电PAD阵列单元的第二线路排布方向。例如依次布设的第1个测试单元、第2个测试单元和第3个测试单元，第1个测试单元中的线束阵列单元的第一线路排布方向为水平方向，第2个测试单元中的线束阵列单元的第一线路排布方向为45°角斜向，第3个测试单元中的线束阵列单元的第一线路排布方向为水平方向。再例如依次布设的第1个测试单元、第2个测试单元和第3个测试单元，第1个测试单元中的导电PAD阵列单元的第一线路排布方向为水平方向，第2个测试单元中的导电PAD阵列单元的第一线路排布方向为45°角斜向，第3个测试单元中的导电PAD阵列单元的第一线路排布方向为水平方向。

[0065] 通过上述第一线束排布方向和第二线束排布方向的设计，能便于后续从不同位置、不同方向等多方面对初始分级补偿规则进行验证。

[0066] 在第四测试资料中，测试单元数量是指整个测试线路板中测试单元的数量，如9个；测试单元布设顺序是指整个测试线路板中测试单元的布设顺序，如9个测试单元形成3×3的矩阵。

[0067] 在蚀刻制程中，需要应用到干膜，干膜上经过曝光显影所形成的干膜图案，即为最终蚀刻所形成的线路图案。对于线束线路，在蚀刻之前所设计的干膜图案的尺寸即为对应的第一线路设计线宽，干膜图案中图案与图案之间的间距即对应为第一线路设计间距；对于导电PAD线路，在蚀刻之前所设计的干膜图案的尺寸即为对应的第二线路设计线宽，干膜图案中图案与图案之间的间距即对应为第二线路设计间距。

[0068] 在一个具体实施方式中，由于计算机对干膜解析能力的最小间距（指计算机能识别到干膜图案中图案与图案之间间距的最小尺寸）为30μm，且由于该图案与图案之间的间距越小，对蚀刻的影响越大，因此为了实现对初始分级补偿规则更全面的验证，线束线路所对应的第一线路设计间距的设计如下表1所示。

[0069] 表1 线束线路所对应的第一线路设计间距

[0070] 上表1中，第一行的“1,2,……11”代表间距编号，第一列表示间距递增规则，其余部分表示每个间距编号下的第一线路设计间距。

[0071] 对于PAD线路，基于PAD线路的常规设计尺寸，不同导电PAD线路所对应的第二线路设计线宽的设计如下表2所示。

[0072] 表2 不同导电PAD线路所对应的第二线路设计线宽

[0073] 在上述表2中，第一行分别为几种方形PAD线路所对应的第二线路设计线宽（具体包括该类PAD的长和宽）；第二行分别为几种圆形PAD线路所对应的第二线路设计线宽（具体包括该类PAD的直径）；异形PAD线路通过形状补偿之后其形状可视为方形PAD线路，第三行即分别为几种经过形状补偿后的异形PAD线路所对应的第二线路设计线宽（具体包括该类PAD的长和宽）。

[0074] 应理解，对于上述表1所示的第一线路设计间距和表2所示的第二线路设计线宽，在实际设计过程中，既可以完全按照表格所示进行设计，也可以从中选取一些代表性的数据进行设计，这对于本领域技术人员而言是可以理解的。

[0075] 在本具体实施方式中，线束线路具体包括单线束线路、双线束线路、三线束线路和五线束线路；导电PAD线路具体包括圆形PAD线路、方形PAD线路和异形PAD线路（即非规则形状PAD线路）。

[0076] 对于本具体实施方式的单线束线路的设计，测试单元中单线束线路的第一线路设计线宽设计为35μm，但由于35μm线宽情况下蚀刻线路易发生变形或者部分线路被完全蚀刻而导致无法收集数据，因此在35μm线宽情况下增加三种线宽，即本实施例中共设计四种单线束线路的线宽规格，单线束线路对应的第一线路设计线宽分别为35μm、70μm、100μm和150μm。如图3所示，图3为本具体实施方式中第一种测试单元中的线束阵列单元的设计模型图，图3中的111为单线束线路（有3束），3束单线束线路111对应的第一线路设计线宽均为70μm，3束单线束线路111对应的第一线路设计间距依次为30μm、31μm和32μm。对于35μm、100μm和
150μm这三种第一线路设计线宽下的线束阵列单元中的单线束线路设计与图3类似，图示此处不再列举。在所有测试单元的线束阵列单元中，将所有单线束线路的第一线路设计间距按照表1所示的设计（或从表1中选取代表性的数据）进行递增，设计出30 260μm间距递增的~
单线束线路。

[0077] 应理解，图3仅示出了其中一种具体实施方式下的线束阵列单元的设计模型，其中的单线束线路的位置和数量均可根据实际情况选择和调整。

[0078] 对于本具体实施方式的双线束线路的设计，设计出两种线宽规格，即双线束线路对应的第一线路设计线宽分别为35μm和70μm，如图3所示，图3中的112为双线束线路（包括左边分布较为稀疏的3束双线束线路和右边分布较为密集的9束双线束线路，共12束），其中左边的3束双线束线路112对应的第一线路设计线宽均为35μm，右边的9束双线束线路112对应的第一线路设计线宽均为70μm，左边的3束双线束线路112对应的第一线路设计间距依次为30μm、31μm和32μm。其他第一线路设计间距下的线束阵列单元中的双线束线路设计与图3类似，图示此处不再列举。在所有测试单元的线束阵列单元中，按照图3中左边的3束双线束线路112类似的情况，将所有双线束线路的第一线路设计间距按照表1所示的设计（或从表1中选取代表性的数据）进行递增，设计出30 260μm间距递增的双线束线路。~

[0079] 同样地，图3仅示出了其中一种具体实施方式下的线束阵列单元的设计模型，其中的双线束线路的位置和数量均可根据实际情况选择和调整。

[0080] 对于本具体实施方式的三线束线路的设计，也设计出两种线宽规格，即三线束线路的第一线路设计线宽分别为35μm和70μm，如图4和图5所示。图4为本具体实施方式中第二种测试单元的线束阵列单元的设计模型图，图4中的113为三线束线路（有3束），3束三线束线路113对应的第一线路设计线宽均为35μm，3束三线束线路113对应的第一线路设计间距依次为44μm、46μm和48μm。图5为本具体实施方式中第三种测试单元的线束阵列单元的设计模型图，图5中的113为三线束线路（包括左边分布较为稀疏的3束三线束线路和右边分布较为密集的8束三线束线路，共11束），其中左边分布较为稀疏的3束三线束线路对应的第一线路设计线宽均为35μm，右边分布较为密集的8束三线束线路113对应的第一线路设计线宽均为70μm，左边分布较为稀疏的3束三线束线路对应的第一线路设计间距依次为120μm、125μm和130μm，8束三线束线路113对应的第一线路设计间距均为120μm。其他第一线路设计间距下的线束阵列单元中的三线束线路设计与图4或图5类似（可根据实际情况选择图4或图5的设计），图示此处不再列举。在所有测试单元的线束阵列单元中，将所有三线束线路的第一线路设计间距按照表1所示的设计（或从表1中选取代表性的数据）进行递增，设计出30 260~μm间距递增的三线束线路。

[0081] 同样地，图4和图5示出了其中两种具体实施方式下的线束阵列单元的设计模型，其中的三线束线路的位置和数量均可根据实际情况选择和调整。

[0082] 对于本具体实施方式的五线束线路的设计，设计一种线宽规格，即五线束线路对应的第一线路设计线宽为35μm，其由两部分呈90°角垂直设置的子线束线路组成，第一部分是水平方向排布，第二部分是竖直方向排布，如图6所示，图6为本具体实施方式中第四种测试单元的线束阵列单元的设计模型图，图6中的114为五线束线路（由两部分子线束线路组成），该五线束线路114中两部分子线束线路对应的第一线路设计线宽均为35μm，对应的第一线路设计间距均为30μm。其他第一线路设计间距下的线束阵列单元中的五线束线路设计与图6类似，图示此处不再列举。在所有测试单元的线束阵列单元中，将所有三线束线路的第一线路设计间距按照表1所示的设计（或从表1中选取代表性的数据）进行递增，设计出3075μm间距递增的五线束线路。
~

[0083] 同样地，图6仅示出了其中一种具体实施方式下的线束阵列单元的设计模型，其中的五线束线路的位置和数量均可根据实际情况选择和调整。

[0084] 对于导电PAD线路，如图7所示，图7为导电PAD阵列单元的设计模型图。依次设计400×400μm、350×260μm、250×250μm、200×200μm、180×180μm、150×150μm这几种第二线路设计线宽规格的矩形PAD线路，布设于整个导电PAD阵列单元的第一行，图7中121即为矩形PAD线路；还依次设计400×400μm、350×260μm、250×250μm、200×200μm、180×180μm、
150×150μm这几种第二线路设计线宽规格的异形PAD线路，布设于整个导电PAD阵列单元的第三行，图7中123即为异形PAD线路；还依次设计400μm、300μm、280μm、250μm、200μm、180μm这几种第二线路设计线宽规格的圆形PAD线路，布设于整个导电PAD阵列单元的第二行和第四行，图7中122即为圆形PAD线路。

[0085] 应理解，图7仅示出了其中一种具体实施方式下的导电PAD阵列单元的设计模型，其中各类型导电PAD线路的位置和数量均可根据实际情况选择和调整。

[0086] 上述设计的所有线束线路即形成一个线束阵列单元，上述设计的所有导电PAD线路即形成一个导电PAD阵列单元；在本具体实施方式中，线束阵列单元具体为19个，导电PAD阵列单元具体为1个，19个线束阵列单元和1个导电PAD阵列单元即形成一个具体的测试单元，如图8所示。在该图8所示的测试单元中，#1 #19号位均为线束阵列单元11，#20号位为导~电PAD阵列单元12（当然也可以是#1号位为导电PAD阵列单元12，#2 #20号位为线束阵列单~
元11）。在本实施方式中，测试单元中的#1 #20号位是按照从左至右、从上至下的顺序排序~
的。

[0087] 应理解，图8示出了其中一种具体实施方式下的测试单元的设计模型，其中的线束阵列单元和导电PAD阵列单元的位置和数量均可根据实际情况选择和调整。

[0088] 在本具体实施方式中，线束线路组成的线束阵列单元的第一线路排布方向和导电PAD线路组成的导电PAD阵列单元的第二线路排布方向均具体包括水平方向、竖直方向和45°角斜向。

[0089] 因此在本具体实施方式中，将图8所示的测试单元整体旋转（顺时针旋转或逆时针旋转均可）45°角后，即形成另一个具体的测试单元，如图9所示。在图8和图9中，1均指测试单元。

[0090] 在本具体实施方式中，设计5个如图8所示的测试单元以及4个如图9所示的测试单元，共计9个测试单元，按照3×3的矩阵进行布设，矩阵中的#1、#3、#5、#7和#9号位均放置图8所示的测试单元1，矩阵中的#2、#4、#6、#8号位均放置图9所示的测试单元1，得到的测试线路板如图10所示。在本具体实施方式中，测试线路板中的#1 #9号位按照从左至右、从上至~
下的顺序排序的。

[0091] 同样地，图10示出了其中一种具体实施方式下的测试线路板的设计模型，其中的测试单元的数量和布设规则均可根据实际情况选择和调整。

[0092] 在本实施例S4中，当设计好图10的测试线路板后，按照常规柔板线路蚀刻的制程对测试线路板进行线路蚀刻。

[0093] 优选地，本实施例S4中，获取线路蚀刻后的所述测试线路板的蚀刻数据之前，所述方法还包括：S41：分别设置所述测试线路板中所述线束阵列单元的第一测量编码规则和和所
述导电PAD阵列单元的第二测量编码规则；
S42：确定所述测试线路板中所有所述测试单元的测量顺序。

[0094] 通过分别设置线束阵列单元的第一测量编码规则和导电PAD阵列单元的第二测量编码规则，便于后续测量蚀刻数据后，将蚀刻数据与测量单元、线束阵列单元和导电PAD阵列单元一一对应起来，便于数据的整理、分析和管理，进而便于后续将蚀刻数据与蚀刻测试资料一一对应起来，实现初始分级补偿规则的验证，有效提高验证准确率和效率。通过确定测试单元的测量顺序，能实现按序测量，避免产生的大量数据发生错乱，确保初始分级补偿规则验证的准确率和效率。

[0095] 在一个具体实施方式中，对于图10所示的测试线路板，先按照#1→#3→#5→#7→#9的顺序进行测量，再按照#2→#4→#6→#8的顺序进行测量。

[0096] 在一个具体实施方式中，对于图10中的每个测试单元，线束阵列单元按照“XX‑X‑XX”三码进行编码。其中，第一码“XX”指测试单元中的测量位置，对于#1 #19号位的线束阵~列单元，分别编码为01、02、……19。第二码“X”指线束组别，以图3为例，从左下角开始，水平方向排布的五线束线路为第一个线束组别，编码为“1”；第一组竖直方向排布“单线束线路+双线束线路+三线束线路”为第二个线束组别，编码为“2”；第二组竖直方向排布“单线束线路+双线束线路+三线束线路”为第三个线束组别，编码为“3”；第三组竖直方向排布“单线束线路+双线束线路+三线束线路”为第四个线束组别，编码为“4”；竖直方向排布的五线束线路为第五个线束组别，编码为“5”；第三个线束组别的右边区域的线束线路属于第六个线束组别，编码为“6”。第三码“XX”指线束位置，在每个线束组别中，按照指定顺序（例如从下至上或从左至右），位于线束组别的第几个线束线路即为其对应的编码，以图3中第一个线束组别的五线束线路为例，从下至上的五个线束线路的第三码依次为01、02、03、04、05。

[0097] 对于图10中的每个测试单元，导电PAD阵列单元按照“YY‑YY‑Y”三码进行编码。其中，第一码“YY”指测试单元中的测量位置，对于#20号位的导电PAD阵列单元，其编码为20。第二码“YY”指导电PAD线路序号，以图7为例，按照从左至右、从上至下的顺序，导电PAD线路依次编码为01、02、……24。第三码“Y”指导电PAD线路尺寸所对应的方向，例如矩形PAD线路的长所在的方向编码为1，矩形PAD线路的宽所在的方向编码为2（应理解，圆形PAD线路的线路尺寸无方向，因而无第三码）。

[0098] 优选地，当分别确定好第一测量编码规则、第二测量编码规则和测量顺序后，本实施例S4中，获取线路蚀刻后的所述测试线路板的蚀刻数据，包括；S43：按照所述测量顺序，对线路蚀刻后的所述测试线路板进行测量，分别得到线路蚀刻后的所述测试线路板中每种所述线束线路对应的第一实际测量线宽以及每种所述导电PAD线路对应的第二实际测量线宽；
S44：按照所述第一测量编码规则，对每种所述线束线路对应的所述第一实际测量线宽进行编码和记录；并按照所述第二测量编码规则，对每个所述导电PAD线路对应的所述第二实际测量线宽进行编码和记录，得到所述蚀刻数据。

[0099] 按照上述方法进行测量，可以实现各规格下测试线路板中线束线路和导电PAD线路的有序测量和有序记录，得到的第一实际测量线宽和第二实际测量线宽可以有序地记录下来，一方面便于后续与蚀刻测试资料进行一一对比，实现初始分级补偿规则的准确验证，有效提高验证的效率；另一方面还便于对蚀刻数据进行统一管理，方便后期优化，同时还方便数据追溯。

[0100] 优选地，本实施例S5包括：在每个所述线束阵列单元中，将每种所述线束线路对应的所述第一线路设计线宽
与对应的所述第一实际测量线宽分别进行对比，并将每个所述导电PAD线路对应的所述第二线路设计线宽与对应的所述第二实际测量线宽分别进行对比；
若存在至少一项不一致，则确定所述初始分级补偿规则验证不通过；若所有项均
一致，确定所述初始分级补偿规则验证通过。

[0101] 对于每个线束线路，分别将蚀刻前的第一线路设计线宽与第一实际测量线宽进行对比；对于每个导电PAD线路，分别将蚀刻前的第二线路设计线宽与第二实际测量线宽进行对比；只要两种类型的对比中存在至少一项不一致，该项对应的蚀刻补偿出现较大偏差，则说明初始分级补偿规则不能满足所有情况下的蚀刻线路补偿，需要进一步优化，即确定初始分级补偿规则验证不通过；而若两种类型的对比中的所有项均一致，则说明初始分级补偿规则能满足所有情况下的蚀刻线路补偿，即确定该初始分级补偿规则为最终的目标分级补偿规则。本实施例通过上述线束线路和导电PAD线路的线宽在蚀刻前后的对比，能简单、高效地实现初始分级补偿规则的验证，得到精细的分级补偿程序，有效避免了因补偿程序分级不足导致分级补偿临界位置处的补偿差异较大，进而与原设计偏差较大导致蚀刻后的线宽、线距不能满足客户设计要求，线路补偿匹配性较差等问题，有效提升柔板蚀刻后的首件通过率。

[0102] 应理解，在第一线路设计线宽与第一实际测量线宽的对比过程中，若二者之间的差值在预设范围内，则视为二者一致，否则视为二者不一致。预设阈值可预先根据实际情况设置和调整，本实施例不作限制。第二线路设计线宽与第二实际测量线宽的对比过程与此相同，此处不再赘述。

[0103] 优选地，在本实施例S6B中，当初始分级补偿规则验证不通过时，对所述初始分级补偿规则进行优化，得到优化分级补偿规则，包括：S6B1 ：对每个所述补偿子规则的所述线距组别分别进行调整；
S6B2 ：基于每个所述补偿子规则中调整后的所述线距组别，对每个所述补偿子规则中的所述基准线距值、所述第一常量和所述第二常量分别进行调整，得到每个所述补偿子规则一一对应的更新补偿子规则；
S6B3：根据所有所述更新补偿子规则，得到所述优化分级补偿规则。

[0104] 当初始分级补偿规则验证不通过时，说明其线距组别的分级不够准确，对应拟合出的补偿子规则也不准确，因此在初始分级补偿规则的每个补偿子规则中，先将对应的线距组别进行调整，然后基于调整后的线距组别重新调整对应的补偿子规则中的基准线距值、第一常量和第二常量（即基于线距组别，对wmini、a1i和a2i分别进行调整），可以实现线距组别及其对应的补偿子规则的调整，进而实现整个初始分级补偿规则的优化。

[0105] 在一个具体实施方式中，经过优化后得到的目标分级补偿规则中包括9个补偿子规则，具体如下：（1）第1个线距组别为[30,48)（单位为μm），wmini、a1i和a2i分别为wmin1、a11和a21，具体数值分别为30、0和0.5，对应的补偿子规则的表达式为：C1=x‑30；
（2）第2个线距组别为[48,52]（单位为μm），wmini、a1i和a2i分别为wmin2、a12和a22，wmin2和a22的具体数值分别为48和0.25，对应的补偿子规则的表达式为：C2=a12+2×0.25×(x‑48)=a12+0.5×(x‑48)；
（3）第3个线距组别为(52,56]（单位为μm），wmini、a1i和a2i分别为wmin3、a13和a23，wmin3和a23的具体数值分别为52和0.15，对应的补偿子规则的表达式为：C3=a13+2×0.15×(x‑52)=a13+0.3×(x‑48)；
（4）第4个线距组别为(56,70]（单位为μm），wmini、a1i和a2i分别为wmin4、a14和a24，wmin4和a24的具体数值分别为56和0.1，对应的补偿子规则的表达式为：C4=a14+2×0.1×(x‑56)=a14+0.2×(x‑56)；
（5）第5个线距组别为(70,90]（单位为μm），wmini、a1i和a2i分别为wmin5、a15和a25，wmin5和a25的具体数值分别为70和0.075，对应的补偿子规则的表达式为：C5=a15+2×0.075×(x‑
70)=a15+0.15×(x‑70)；
（6）第6个线距组别为(90,120]（单位为μm），wmini、a1i和a2i分别为wmin6、a16和a26，wmin6和a26的具体数值分别为90和0.015，对应的补偿子规则的表达式为：C6=a16+2×0.015×(x‑90)=a16+0.03×(x‑90)；
（7）第7个线距组别为(120,175]（单位为μm），wmini、a1i和a2i分别为wmin7、a17和a27，wmin7和a27的具体数值分别为120和0.01，对应的补偿子规则的表达式为：C7=a17+2×0.01×(x‑120)=a17+0.02×(x‑120)；
（8）第8个线距组别为(175,275]（单位为μm），wmini、a1i和a2i分别为wmin8、a18和a28，wmin8和a28的具体数值分别为175和0.005，对应的补偿子规则的表达式为：C8=a18+2×0.005×(x‑175)=a18+0.01×(x‑175)；
（9）第9个线距组别为(275,+∞)（单位为μm），wmini、a1i和a2i分别为wmin9、a19和a29，wmin9和a29的具体数值分别为275和0，对应的补偿子规则的表达式为：C9=a19。

[0106] 实施例二

[0107] 一种柔性线路板蚀刻线路补偿系统，应用于实施例一的柔性线路板蚀刻线路补偿方法中，如图11所示，该系统包括：历史数据获取模块，用于获取柔性线路板的历史蚀刻线路数据集；
规则模拟模块，用于对所述历史蚀刻线路数据集进行分类分析，得到初始分级补
偿规则；
测试设计模块，用于基于所述初始分级补偿规则，确定出蚀刻测试资料；并根据所述蚀刻测试资料，设计测试线路板；
蚀刻数据获取模块，用于对所述测试线路板进行线路蚀刻，并获取线路蚀刻后的
所述测试线路板的蚀刻数据；
规则验证模块，用于根据所述蚀刻测试资料和所述蚀刻数据，对所述初始分级补
偿规则进行验证；
规则确定模块，用于当所述规则验证模块验证所述初始分级补偿规则通过时，将
所述初始分级补偿规则确定为目标分级补偿规则；
规则优化模块，用于当所述规则验证模块验证所述初始分级补偿规则不通过时，
对所述初始分级补偿规则进行优化，得到优化分级补偿规则，并返回所述测试设计模块，循环执行所述测试设计模块、所述蚀刻数据获取模块和所述规则验证模块的功能，直至所述优化分级补偿规则验证通过；
所述规则确定模块，还用于当所述规则验证模块验证所述优化分级补偿规则通过
时，将所述优化分级补偿规则确定为目标分级补偿规则。

[0108] 在本实施例中，历史蚀刻线路数据集为历史时期内大量柔性线路板经过蚀刻流程之后的生产数据，这些数据能涵盖不同情况下柔性线路板的蚀刻数据，能反映柔性线路板真实的蚀刻情况；通过历史数据获取模块获取该历史蚀刻线路数据集，并利用规则模拟模块进行后续的分类分析，既能从中模拟出符合柔性线路板生产实际的补偿规则，又能从大量的数据中对补偿规则进行更精细的分级，得到分级更多的初始分级补偿规则；当模拟出该初始分级补偿规则之后，利用测试设计模块基于该规则来确定蚀刻测试资料，该蚀刻测试资料包含大量不同线距、不同线宽、不同线路方向、不同线路位置等情况下的线路数据，利用这些数据一方面可以方便设计响应的测试线路板，以方便后续利用蚀刻数据获取模块，按照初始分级补偿规则中所涵盖的分级来进行蚀刻测试，得到真实生产环境下的蚀刻数据；另一方面可以便于后续与实际得到的蚀刻数据进行对比，进而便于通过规则验证模块，利用蚀刻数据和蚀刻测试资料二者之间的对比情况来验证前续步骤中模拟出的初始分级补偿规则是否准确；当初始分级补偿规则验证通过，即通过规则确定模块将其确定最终的目标分级补偿规则，用于柔板产线上线路蚀刻的补偿；当初始分级补偿规则验证不通过，即通过规则优化模块对初始分级补偿规则进行优化，再重新设计、测试和验证，直至优化所得到的优化分级补偿规则验证通过，并通过规则确定模块将验证通过的优化分级补偿规则确定最终的目标分级补偿规则，用于柔板产线上线路蚀刻的补偿。

[0109] 本实施例的柔性线路板蚀刻线路补偿系统，实现了分级更加精细的补偿规则的模拟、测试和验证，得到的目标分级补偿规则能够提供足够精细的分级补偿程序，有效避免了因补偿程序分级不足导致分级补偿临界位置处的补偿差异较大，进而与原设计偏差较大导致蚀刻后的线宽、线距不能满足客户设计要求，线路补偿匹配性较差等问题，无需通过调整线路工艺来解决，生产线上的工作量小，生产可控性和生产效率高，沟通成本低，能有效提升柔板蚀刻后的首件通过率。

[0110] 本实施例所述的柔性线路板蚀刻线路补偿系统中各模块的功能与实施例一所述的柔性线路板蚀刻线路补偿方法的方法步骤相同，因此本实施例中的未尽细节，详见实施例一及图1至图10的具体描述，此处不再赘述。

[0111] 实施例三

[0112] 一种柔性线路板蚀刻线路补偿装置，包括处理器、存储器和存储在所述存储器中且可运行在所述处理器上的计算机程序，所述计算机程序运行时实现实施例一的柔性线路板蚀刻线路补偿方法中的方法步骤。

[0113] 通过存储在存储器上的计算机程序，并运行在处理器上，实现了分级更加精细的补偿规则的模拟、测试和验证，得到的目标分级补偿规则能够提供足够精细的分级补偿程序，有效避免了因补偿程序分级不足导致分级补偿临界位置处的补偿差异较大，进而与原设计偏差较大导致蚀刻后的线宽、线距不能满足客户设计要求，线路补偿匹配性较差等问题，无需通过调整线路工艺来解决，生产线上的工作量小，生产可控性和生产效率高，沟通成本低，能有效提升柔板蚀刻后的首件通过率。

[0114] 所称处理器可以是中央处理单元（Central Processing Unit，CPU），还可以是其他通用处理器、数字信号处理器（Digital Signal Processor，DSP）、专用集成电路（Application Specific Integrated Circuit，ASIC）、现成可编程门阵列（Field‑Programmable Gate Array，FPGA）或者其他可编程逻辑器件、分立门或者晶体管逻辑器件、分立硬件组件等。通用处理器可以是微处理器或者该处理器也可以是任何常规的处理器等，处理器是计算机装置的控制中心，利用各种接口和线路连接整个计算机装置的各个部分。

[0115] 存储器可用于存储计算机程序和/或模型，处理器通过运行或执行存储在存储器内的计算机程序和/或模型，以及调用存储在存储器内的数据，实现计算机装置的各种功能。存储器可主要包括存储程序区和存储数据区，其中，存储程序区可存储操作系统、至少一个功能所需的应用程序（例如声音播放功能、图像播放功能等）；存储数据区可存储根据手机的使用所创建的数据（例如音频数据、视频数据等）。此外，存储器可以包括高速随机存取存储器，还可以包括非易失性存储器，例如硬盘、内存、插接式硬盘，智能存储卡（Smart Media Card，SMC），安全数字（Secure Digital，SD）卡，闪存卡（Flash Card）、至少一个磁盘存储器件、闪存器件、或其他易失性固态存储器件。

[0116] 应理解可由计算机程序实现流程图和/或方框图中的每一流程和/或方框、以及流程图和/或方框图中的流程和/或方框的结合。可提供这些计算机程序到通用计算机、专用计算机、嵌入式处理机或其他可编程数据处理设备的处理器以产生一个机器，使得通过计算机或其他可编程数据处理设备的处理器执行的指令产生用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的装置。

[0117] 这些计算机程序也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理设备以特定方式工作的计算机可读存储器中，使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品，该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能。

[0118] 这些计算机程序也可装载到计算机或其他可编程数据处理设备上，使得在计算机或其他可编程设备上执行一系列操作步骤以产生计算机实现的处理，从而在计算机或其他可编程设备上执行的指令提供用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的步骤。

[0119] 本实施例还提供一种计算机存储介质，所述计算机存储介质包括：至少一个指令，在所述指令被计算机执行时实现实施例一的柔性线路板蚀刻线路补偿方法中的方法步骤。

[0120] 通过执行包含至少一个指令的计算机存储介质，实现了分级更加精细的补偿规则的模拟、测试和验证，得到的目标分级补偿规则能够提供足够精细的分级补偿程序，有效避免了因补偿程序分级不足导致分级补偿临界位置处的补偿差异较大，进而与原设计偏差较大导致蚀刻后的线宽、线距不能满足客户设计要求，线路补偿匹配性较差等问题，无需通过调整线路工艺来解决，生产线上的工作量小，生产可控性和生产效率高，沟通成本低，能有效提升柔板蚀刻后的首件通过率。

[0121] 同理，本实施例的未尽细节，详见实施例一、实施例二及图1至图11的具体描述，此处不再赘述。

[0122] 虽然结合附图描述了本发明的实施例，但是本领域技术人员可以在不脱离本发明的精神和范围的情况下作出各种修改和变型，这样的修改和变型均落入由所附权利要求所限定的范围之内。