[0001] 本发明涉及检测技术领域，更具体地，涉及一种检测系统。

[0002] 相关技术中，在检测系统对待检测件检测时，图形探测器采集的杂光较多，易干扰接收的荧光信息，从而影响对检测结果的判断，造成错检、漏检等情况。

[0027] 下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附
图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

[0028] 在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必
须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

[0029] 在本发明的描述中，“第一特征”、“第二特征”可以包括一个或者更多个该特征，“多个”的含义是两个或两个以上，第一特征在第二特征“之上”或“之下”可以包括第一和第
二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特
征接触，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和
斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。

[0030] 下面参考附图描述根据本发明实施例的检测系统100。

[0031] 参照图1所示，根据本发明实施例的检测系统100可以包括：图形探测器10、聚焦组件20与光源发生器30。

[0032] 具体而言，聚焦组件20的一侧设有图形探测器10，且聚焦组件20的远离图形探测器10的一侧(例如图1中所示的下侧)设有待检测件200，光源发生器30发出的光线能够打到
待检测件200的朝向聚焦组件20的表面(例如图1中所示的上表面)，能够使得待检测件200
表面的缺陷激发出多种不同波长的荧光，荧光能够通过聚焦组件20被图形探测器10接收，
从而实现对待检测件200的缺陷的检验，满足所需的检测需求。例如，待检测件200为晶圆。

[0033] 相关技术中，光源发生器发出的光线经过待检测件的表面反射的反射光易与需要接收的荧光共轴，使得图形探测器接收到的信号中杂光较多，从而对图形探测器接收的荧
光信息进行干扰，易影响对待检测件缺陷的判断。

[0034] 因此，在本发明中，如图1所示，光源发生器30发出的光线与待检测件200的朝向聚焦组件20的表面形成的角度为锐角，光源发生器30发出的光线经待检测件200的朝向聚焦
组件20的表面的反射光能够与光源发生器30发出的光线对称，即光源发生器30发出的光线
经待检测件200的朝向聚焦组件20的表面的反射光与待检测件200产生的荧光不共轴，使得
光源发生器30发出的光线经待检测件200的朝向聚焦组件20的表面的反射光与待检测件
200发出的荧光分离，从而光源发生器30发出的光线不易通过聚焦组件20进入图形探测器
10，图形探测器10能够只吸收散射的荧光信息，减少了杂光信号，从而减少干扰信息，确保
检测更精确，减少错检、漏检的情况，有利于提高检测精度。

[0035] 同时，如图1所示，图形探测器10、聚焦组件20和待检测件200共轴，便于图形探测器10通过聚焦组件20对待检测件200进行检测，使得空间布置更方便，且能够减少所需的光
路元件，从而减小荧光传输过程中造成的能量损失。由此，在检测系统100能够减少能量损
失时，可以使用功率较小的光源发生器30和/或探测精度较低的图形探测器10，有利于降低
成本。

[0036] 根据本发明实施例的检测系统100，通过聚焦组件20的一侧设有图形探测器10，且聚焦组件20的远离图形探测器10的一侧设有待检测件200，光源发生器30发出的光线与待
检测件200的朝向聚焦组件20的表面形成的角度为锐角，使得光源发生器30发出的光线经
待检测件200的朝向聚焦组件20的表面的反射光与待检测件200发出的荧光分离，使得光源
发生器30发出的光线不易通过聚焦组件20进入图形探测器10，减少了杂光信号，确保检测
更精确，有利于提高检测精度。此外，图形探测器10、聚焦组件20和待检测件200共轴，便于
图形探测器10通过聚焦组件20对待检测件200进行检测，使得空间布置更方便，且能够减小
荧光传输过程中造成的能量损失，有利于降低成本。

[0037] 在本发明的一些实施例中，光源发生器30发出的光线与待检测件200的朝向聚焦组件20的表面之间形成的角度为30°‑60°，由此，能够使得光源发生器30发出的光线反射效
果好，避免光源发生器30发出的光线经待检测件200的朝向聚焦组件20的表面的反射光通
过聚焦组件20进入图形探测器10内，确保待检测件200检测更精准，有利于提高检测系统
100的检测精度。例如，在一些具体实施例中，光源发生器30发出的光线与待检测件200的朝
向聚焦组件20的表面之间形成的角度可以为30°、35°、40°、45°、50°、55°、60°等。

[0038] 根据本发明的一些实施例，光源发生器30发出的光线的波长可以为310nm‑360nm。在上述范围内，光源发生器30发出的光线打到待检测件200的朝向聚焦组件20的表面时，能
够增强待检测件200发出的荧光信号，使得图形探测器10接收的荧光信号更清楚，确保对待
检测件200检测更精准。例如，在一些具体实施例中，光源发生器30发出的光线的波长可以
为310nm、313nm、320nm、325nm、330nm、340nm、350nm、355nm、360nm等。

[0039] 在本发明的一些实施例中，如图1所示，检测系统100还包括光源调整组件40，光源调整组件40设于光源发生器30的光线路径上，且光源调整组件40位于待检测件200和光源
发生器30之间，通过光源调整组件40能够对光源发生器30发出的光线进行调节，使得打到
待检测件200上的光线更均匀，能够确保对待检测件200的检测更准确，提高检测系统100的
检测精度。

[0040] 在一些具体实施例中，如图1所示，光源调整组件40包括聚焦透镜41、准直透镜42与光纤扰模器43，聚焦透镜41和准直透镜42位于光源发生器30的光线路径上，且聚焦透镜
41和准直透镜42间隔设置，聚焦透镜41位于准直透镜42的靠近光源发生器30的一侧，光纤
扰模器43设于聚焦透镜41和准直透镜42之间，光纤扰模器43的朝向聚焦透镜41的一端设有
第一光纤，第一光纤与聚焦透镜41相对，光纤扰模器43的朝向准直透镜42的一端设有第二
光纤，第二光纤与准直透镜42相对。

[0041] 由此，光源发生器30发出的光线能够通过聚焦透镜41聚集，便于光线通过第一光纤进入光纤扰模器43内，且通过光纤扰模器43能够对光线进行调整，确保具有均匀的光斑，
并从第二光纤通过准直透镜42打到待检测件200上，在待检测件200上形成为均匀的光斑，
例如光斑能够形成直径为10mm的均匀光斑，从而能够确保对待检测件200的检测准确性，且
光源调整组件40的结构简单，有利于降低生产成本。

[0042] 根据本发明的一些实施例，如图1所示，聚焦组件20包括物镜21与筒镜22，物镜21和筒镜22沿待检测件200至图形探测器10的方向(例如图1中所示的上下方向)间隔，且物镜
21和筒镜22同轴设置，物镜21设于筒镜22的靠近待检测件200的一侧(例如图1中所示的下
侧)。

[0043] 由此，在光源发生器30发出的光线打到待检测件200表面时，能够使得待检测件200表面的缺陷激发出多种不同波长的荧光，荧光通过物镜21与筒镜22聚焦后，被图形探测
器10接收，实现对待检测件200的检测，聚焦组件20能够实现所需的聚焦需求，且结构简单，
有利于降低生产成本。

[0044] 在本发明的一些实施例中，如图1所示，检测系统100还包括滤光组件50，滤光组件50设于图形探测器10和待检测件200之间，通过滤光组件50能够对光源发生器30发出的光
线的散射光进行消除，使得图形探测器10能够只吸收散射的荧光信息，减少了杂光信号，从
而减少干扰信息，确保检测更精确，有利于提高检测精度。

[0045] 根据本发明的一些实施例，如图2所示，滤光组件50包括滤光转轮51与多个滤光片52，滤光转轮51可转动地设于图形探测器10和待检测件200之间，且滤光转轮51的轴线与聚
焦组件20的轴线(例如图1中所示的上下方向)平行，滤光转轮51上设有多个通孔，多个通孔
沿滤光转轮51的周向方向间隔设置，且通孔的轴线到滤光转轮51的轴线之间的距离与滤光
转轮51的轴线到聚焦组件20的轴线之间的距离相等，多个滤光片52一一对应地设于多个通
孔上，多个滤光片52中的至少两个滤光片52选取辐射波段不同。

[0046] 由此，通过对滤光转轮51进行转动，能够选择所需的滤光片52位于图形探测器10和待检测件200之间，使得此滤光片52能够对光源发生器30发出的光线的散射光进行消除，
能够满足图形探测器10接收不同波长的荧光信号的使用需求，即根据所需的波长的荧光信
号能够选择对应的选取辐射波段的滤光片52，满足不同的使用需求，实现检测系统100的通
用性。

[0047] 在本发明的实施例中，通孔的数量可以根据实际情况进行灵活的设置，例如，通孔可以如图2所示为四个，也可以为两个、三个、五个、六个或者更多个，这都在本发明的保护
范围之内。

[0048] 在本发明的实施例中，滤光片52的具体种类可以根据实际情况设置。

[0049] 例如，在一些实施例中，滤光片52可以为中心波长600nm的长波通滤光片52，能够获得待检测件200表面发出的620nm‑1500nm的荧光信号；或者，滤光片52可以为中心波长
500nm的短波通滤光片52，能够获得待检测件200表面发出的200nm‑480nm的荧光信号；再或
者，滤光片52可以为中心波长430nm的带通滤光片52，能够获得待检测件200表面发出的
400nm‑460nm的荧光信号；又或者，滤光片52可以为截止波长460nm‑620nm的陷波滤光片52，
能够获得待检测件200表面发出的200nm‑460nm和620nm‑1500nm的荧光信号。

[0050] 在一些实施例中，滤光组件50还包括驱动件，驱动件用于驱动滤光转轮51转动，使得对滤光转轮51的转动更方便，便于选择所需的滤光片52，使得调节更方便，有利于实现检
测系统100的自动化。例如，驱动件可以为电机。

[0051] 在聚焦组件20包括物镜21与筒镜22的一些实施例中，如图1所示，滤光组件50可以设于物镜21和筒镜22之间，物镜21和筒镜22之间具有较大的安装空间，能够满足滤光组件
50所需的放置需求，且使得结构紧凑。

[0052] 在本发明的一些实施例中，图形探测器10沿聚焦组件20的轴向方向可移动，便于对图形探测器10的位置进行调节，使得对图形探测器10与聚焦组件20之间的距离控制更方
便，能够满足不同的聚焦与使用需求，确保图形探测器10接收荧光信息更清晰，有利于提高
检测精确性。

[0053] 在滤光组件50包括滤光转轮51与多个滤光片52的一些实施例中，在选择不同的滤光片52位于图形探测器10和待检测件200之间时，由于不同的滤光片52会使得进入图形探
测器10的荧光信号存在波长不一致的情况，不同波长的荧光信号存在色差，即像面位置存
在前后的差异。由此，通过调节图形探测器10与聚焦组件20之间的距离，可以使得像面位置
与图形探测器10的感光平面重合，从而获得清晰的成像效果，有利于提高检测精确性，且能
够实现检测系统100的自动化。

[0054] 在一些实施例中，检测系统100还包括调节结构，调节机构用于驱动图形探测器10沿聚焦组件20的轴向方向移动，使得对图形探测器10的调节更方便。同时，在切换不同的滤
光片52位于图形探测器10和待检测件200之间时，控制调节结构调节对应的图形探测器10
的位置，满足图形探测器10所需的位置设置需求，便于进行控制，能够实现检测系统100的
自动化。

[0055] 在一些实施例中，光源发生器30可以为激光器，使得光线质量好，具有较好的单色性、方向性和稳定性，便于进行控制，有利于降低生产成本；或者，光源发生器30可以为汞氙
灯，能够具有较高的亮度和色彩还原性能，确保图形探测器10接收荧光信号更准确，且具有
较长的使用寿命和稳定性。

[0056] 在一些实施例中，图形探测器10可以为相机，便于对荧光信号进行接收，使得接收荧光信号更准确，且有利于降低生产成本。

[0057] 根据本发明实施例的检测系统100的其他构成以及操作对于本领域普通技术人员而言都是已知的，这里不再详细描述。

[0058] 在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可
以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是
两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本
发明中的具体含义。

[0059] 在本说明书的描述中，参考术语“实施例”、“具体实施例”、“示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例
或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而
且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适
的方式结合。

[0060] 尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本
发明的范围由权利要求及其等同物限定。