[0001] 本发明涉及电气元件组件的制造设备中关键部件的技术领域，尤其是涉及一种手动开关隔膜阀以及制造该手动开关隔膜阀的组装方法、半导体制造设备。

[0002] 实现半导体制造设备的全面国产化自制是我技术突破的方向，半导体制造设备需要各种管道的连接，要能够进行精密且稳定的气液流体供给，并且在紧急不需要使用该处理药剂或是去离子纯水时要能够确实地且迅速地关闭，故有手动开关隔膜阀的设置必要性。由于半导体工艺的复杂性和精密性，对于个别工艺对应的设备内涉及人工操作的紧急切断阀门需要设置手动开关隔膜阀，对于开关速度和显示状态有明确要求，一要能实现快速地开与关，二是开关状态要能明显区分。目前现有的角行程开关的球阀与螺旋开关的隔膜阀都不能满足此需求。

[0003] 发明专利申请号CN113983197A公开一种手动开关的隔膜阀，其包括阀杆和阀瓣，阀瓣套设在阀杆的下端，阀杆的上端通过定位销与手轮连接起来，转动手轮可带动阀杆的升降，进而控制阀瓣升降以带动隔膜的变形达到控制阀门开启和关闭的目的。隔膜阀关闭时，阀体密封面与隔膜接触挤压，使得阀体内腔分成两个空间；隔膜阀打开时，阀杆上提隔膜离开阀体，两个被分开的腔体相互连通。在相关现有技术中，若使用手轮作为开关阀明显会造成开关的缓慢切换，缓开与缓关不符合半导体制造设备对于供给流体速开与速关的要求。

[0004] 发明专利申请号CN106051187A公开一种手动阀，为一种操作性良好且能稳定密封的手动阀。手动阀具备阀座、阀芯、罩盖、捏手、螺旋弹簧，杆连结于阀芯，贯插于罩盖和捏手而被保持为可沿轴线方向移动，具有与螺旋弹簧的一端抵接的抵接部；卡合单元设于杆从捏手向外部突出的部分，在阀芯从阀座分离的情况下与捏手卡合，在阀芯与阀座抵接的情况下解除与捏手的卡合，罩盖的位于与阀座相反的一侧的端部开放，使螺旋弹簧的另一端与捏手抵接，在卡合单元与捏手卡合期间，螺旋弹簧的全长一定。在相关现有技术中，手动阀涉及通过使捏手（相当于手轮）转动而使阀芯相对于阀座移动来控制流体。以上可以证明以手轮（或捏手）作为手动阀的驱动触发件为固有思维，虽然可以关得紧，但是开关切换过慢，不符合半导体制造设备的手动阀对于快速开关的需求期待。

[0005] 发明专利申请号CN116066596A公开一种半导体制造装置用阀，其防止阀座的扩径，维持整体的紧凑性，且能够发挥为了防止高压流体的泄漏所必要的推力，确保闭阀时的密封性，且防止对于阀座的过大的面压来提高耐久性。通过在阀主体处设置的隔膜和阀座的接触和分离来开闭。由此可知，手动隔膜阀为本领域公知常识，区别在于手动模式。该现有专利技术进一步公开，在阀主体处，设置推压隔膜来闭阀的开闭机构，该开闭机构由设置于手柄的阀杆构成。阀杆通过将手柄转动操作，与该手柄一体地转动，相对于基体升降移动。将阀杆升降移动时，突部能够将隔膜件、隔膜推压或解除推压，能够使流路开闭。在阀门关的过程，借由手柄旋转而使阀杆下降时产生推力。相关现有技术中，虽然也是缓开缓关的旋转模式，但这是为了舒缓手动阀操作差异下对隔膜的应力作用，导致隔膜片容易损坏的问题。

[0006] 综上，尽管国内国外制造企业（主要是国外企业）都有人在研究手动隔膜阀，以适用于半导体制造设备，但如何让适用半导体制造设备的手动隔膜阀能符合快开快关的要求，又不会因为手动操作的冗余动作造成隔膜片容易破损，导致耐用度下降的问题，是需要突破的技术难点。在现有技术固有思维中，显然皆是以手轮旋转模式来减少手动开关操作中冗余动作对隔膜片的破坏，但这也表示已进入本领域技术人员的技术迷思，亟需要有突破性思维来解决此问题。

[0041] 下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是作为理解本发明的发明构思一部分实施例，而不能代表全部的实施例，也不作唯一实施例的解释。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在理解本发明的发明构思前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围内。

[0042] 需要说明，若本发明实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。为了更方便理解本发明的技术方案，以下将本发明的手动开关隔膜阀作进一步详细描述与解释，但不作为本发明限定的保护范围。

[0043] 文中所指“预曲折隆起形状”，是指隔膜片的软膜部在隔膜阀的安装时即具有预先曲折的隆起形状，是开模成形时即便有的隆起形状，并不是在使用阶段受到流体压力才隆起的形状。该隆起形状是沿着驱动轴心逐渐提高，即所述软膜部在其外围与周环翻边的连接高度是低于所述软膜部在其内圈与阀头的连接高度。基于该隆起形状，在阀门开启阶段时，所述软膜部的变形度小，故所述软膜部受到流体压力的应力变形量与所述“预曲折隆起形状”的变形差异相对较低。

[0044] 文中所指“直切驱柄”，是指排除旋转螺纹转动的手轮，能直接切换在阀门开启与阀门关闭之间的驱动手柄，指不需要调节功能实现更为单纯快开快关的手动开关柄。尽管没有旋转调节的功能而能快速切换开关，通常这种手动开关柄会有手动操作的的冗余动作或多余不当振动，若与传统结构的常规组合下，但直切驱柄会直接影响到阀体内的驱动组件，包括隔膜片，或导致隔膜片容易损伤。

[0045] 文中所指“竖立姿态”，是指直切驱柄在阀盖上的姿态为直立状，通常该竖立姿态的产生是直切驱柄的竖立面触压在阀盖上，直立姿态的直切驱柄具有在阀盖上的较高高度。

[0046] 文中所指“横卧姿态”，是指直切驱柄在阀盖上的姿态为横卧状，通常该横卧姿态的产生是直切驱柄的横卧面触压在阀盖上，横卧姿态的直切驱柄具有在阀盖上的较低高度。

[0047] 参阅图1至图4，本发明一些实施例首先提供一种手动开关隔膜阀；图1绘示手动开关隔膜阀的立体组立图，图中（A）的直切驱柄40为竖立姿态,图中（B）的直切驱柄40为横卧姿态，用于分别标示阀门的开与关，不同实施例中也可用于分别标示阀门的关与开；图2绘示手动开关隔膜阀的爆炸分解图；图3为手动开关隔膜阀在直切驱柄竖立姿态的截面图，图4为手动开关隔膜阀在在直切驱柄横卧姿态的截面图。一种手动开关隔膜阀主要包括：用以提供可开关流道的阀座10、用于设置驱动件的阀盖20、用于关闭阀座10内阀口11的隔膜片
30以及手动操作的直切驱柄40。如图1与图2所示，阀盖20结合于阀座10上，隔膜片30安装在阀座10与阀盖20的结合空间中，直切驱柄40设置在阀盖20上。

[0048] 参阅图3与图4，阀座10内形成有朝上的阀口11，能被隔膜片30的阀头31封闭。阀盖20结合于所述阀座10上，所述阀盖20内设有受到向下弹力的活塞杆21，活塞杆21的上端与直切驱柄40枢轴连接。隔膜片30设置于所述阀座10与所述阀盖20之间，所述隔膜片30具有阀头31，连接于所述活塞杆21的一端，用于向下封闭所述阀口11；所述隔膜片30还具有周环翻边32以及连接在所述阀头31与所述周环翻边32之间的软膜部33，所述软膜部33具有对应阀门开的预曲折隆起形状。所述直切驱柄40设置于所述阀盖20上，连动于所述活塞杆21，用以驱动阀门的开关，所述直切驱柄40能在竖立姿态与横卧姿态之间切换，用于分别标示阀门的开与关或者标示阀门的关与开。其中如图5所示，所述直切驱柄40在竖立姿态与横卧姿态之间的切换角幅度大于90度。

[0049] 在前述基础实施例的结构的使用方法中，如图3所示，所述直切驱柄40在竖立姿态，所述活塞杆21处于第一高度，例如较高的高度，则阀头31也处于较高的位置，相对远离阀口11，此时阀门为开启状态。手动操作方式非螺纹转动所述直切驱柄40，所述直切驱柄40处在竖立姿态，所述活塞杆21处于第二高度，例如较低的高度，第二高度小于第一高度，则阀头31也处于较低的位置，阀头31封闭了阀口11，此时阀门为关闭状态。故所述直切驱柄40能在竖立姿态与横卧姿态之间快速切换，切换角幅度大于90度，但小于180度，使得误操作或自动掉落的切换不会发生，所述直切驱柄40在竖立姿态与横卧姿态的视觉表现是明显的，能用于标示手动开关隔膜阀的开关状态。并且，所述隔膜片30的软膜部33具有对应阀门开的预曲折隆起形状，往阀头31的升降轴心隆起，即组装时所述隔膜片30便具有对应阀门开的预先模制形状，在阀门开时软膜部33能承受更多内应力而不破裂，以避免在阀门开状态下受到手动操作中冗余动作的影响，导致软膜部33受到内应力加大而破裂，以提高阀耐用度。

[0050] 关于阀座10，参阅图3与图4，在较佳示例中，所述阀座10内开设有一端连接所述阀口11的注入流道12以及能被所述阀头31阻断的输出流道13。更具体结构中，所述阀座10内还设有环形流道14，连通所述输出流道13，以扩大所述输出流道13在阀门处的流动空间，避免出现流动瓶颈。当所述阀口11被所述阀头31封闭，所述环形流道14与所述注入流道12之间为阻断状态。在所述阀头31封闭所述阀口11的阀关闭阶段时，所述隔膜片30的所述软膜部33处于所述输出流道13的较低流体压力下，所述软膜部有较好的耐用度；在所述阀头31上升而不封闭所述阀口11的阀开启阶段时，基于所述软膜部33具有对应阀门开的预曲折隆起形状，所述软膜部33承受较低内应力，经分析能承受百万次以上的阀门开关切换而不会有所述软膜部33的破损，提高了手动隔膜阀的整体耐用度。

[0051] 关于阀盖20，再参阅图3与图4，所述阀盖20内安装的活塞杆21的中部为活塞盘，能在所述阀盖20内带动整个活塞杆21纵向升降移动。该活塞盘的上方杆身套设有弹性件23，具体为压缩弹簧，该弹性件23的上下两端分别弹性抵触所述阀盖20的内顶壁与该活塞盘，以对所述活塞杆21提供向下以封闭所述阀口11的弹力。所述活塞杆21的上方还具有受到所述阀盖20轴孔导引的上杆身，所述活塞杆21的上端枢轴连接于所述直切驱柄40的枢接轴41。所述活塞杆21的下方还具有能受到所述阀盖20或所述阀盖20内特定组件导引的下杆身，所述活塞杆21的下端连接于所述隔膜片30的阀头31，具体为螺纹连接。因此，在此具体但非限定的机械结构中，所述直切驱柄40在竖立姿态与横卧姿态的切换能够改变所述活塞杆21与所述隔膜片30的阀头31的相对高度位置。在较佳示例中，所述阀盖20具有第一通气孔22，以将所述阀盖20内机械驱动空间的气压与外部大气压力导通，所述机械驱动空间的部分边界包括所述隔膜片30的所述软膜部33的上表面。

[0052] 关于隔膜片30的阀头31，除了图2至图4，还可配合参阅图6，在较佳示例中，所述阀头31具有直径大于所述阀口11的阻塞部31a以及位于所述阻塞部31a上且直径小于所述阻塞部31a的连接部31b（如图6(A)所示），所述连接部31b供所述活塞杆21的一端连接，具体在所述连接部31b的上端面开设有螺孔，以供所述活塞杆21的下端螺接。所述阻塞部31a的周边形成倾斜朝向所述连接部31b收敛的环锥面31c，以使在阀头31开关切换过程中轴向集中流体变形空间。对照图4至图3的变化，所述阻塞部31a周边的环锥面31c提供了阀门开时轴向集中的流体变形空间，阀门开的瞬间流体会被导引冲击所述阻塞部31a的上缘，而不会直接冲击所述软膜部33。在更较佳示例中，所述软膜部33渐厚地一体连接于所述连接部31b靠近所述环锥面31c的下缘，以提高所述软膜部33内缘连接处的抗折弯性；并且所述连接部31b高于所述周环翻边32的平坦上表面，故所述软膜部33的预曲折隆起形状并不是软膜部中间弯弧的简单形状，而是往所述阀门31隆起的形状，所述软膜部33的外缘连接处在相对较低的位置，可平齐于所述周环翻边32的平坦上表面；所述软膜部33的内缘连接处在相对较高的位置，可高于所述周环翻边32的平坦上表面（对照图6）。具体示例中，软膜部33的厚度范围乃按口径而调整，若阀口11的口径越大则软膜部33厚度越厚，例如：阀口11的口径1/
4"，软膜部33厚度0.2 0.3mm；阀口11的口径3/8‑1/2"，软膜部33厚度0.3 0.4mm；阀口11的~ ~
口径3/4"，软膜部33厚度0.4 0.5mm；阀口11的口径1"，软膜部33厚度0.5 0.6mm；阀口11的~ ~
口径1‑1/4"，软膜部33厚度0.6 0.8mm；阀口11的口径1‑1/2"，软膜部33厚度0.8 1.0mm。具~ ~
体示例中，阀头31的升降行程范围亦按阀口11的口径而变化，若阀口11的口径越大则阀头
31的升降行程越大，例如：阀口11的口径1/4"，阀头31的升降行程2.0 2.5mm；阀口11的口径~
3/8‑1/2"，阀头31的升降行程2.5 3.5mm；阀口11的口径3/4"，阀头31的升降行程4.0~ ~
4.5mm；阀口11的口径1"，阀头31的升降行程4.5 5.0mm；阀口11的口径1‑1/4"，阀头31的升~
降行程5.0 5.5mm；阀口11的口径1‑1/2"，阀头31的升降行程5.5 6.0mm。由此可知，阀口11~ ~
的口径、软膜部33的厚度及阀头31的升降行程两两之间为正相关。

[0053] 再关于隔膜片30的阀头31，在更较佳示例中，所述阻塞部31a具有向下突出的密封凸台34，对准于所述阀口11的周缘；该密封凸台34具有倒三角截面，所述阀口11的周缘对应处为平面。因此，在阀门关闭时，该密封凸台34能对准于所述阀口的周缘平坦上表面，所述阀头31以更小的面积接触所述阀口11的周缘端面，以达到良好的封闭效果。所述阀口11不需要设计尖锐的坡口，在多次阀门开启与关闭操作下对所述隔膜片30的阀头31伤害小，不会产生在阀头31的底端面形成阀关闭的下陷压痕而导致阀关闭的行程变长的缺陷。所述阀头31的下端面也不会沾粘陷入于所述阀口11，有利于阀门开启时所述阀头31由所述阀口11的分离。

[0054] 关于隔膜片30的周环翻边32，在更较佳示例中，所述隔膜片30的周环翻边32具有内斜向延伸的延伸喙32a，一体连接所述软膜部33，所述延伸喙32a的斜面斜上朝向所述活塞杆21。故所述延伸喙32a的斜上斜面提供所述软膜部33一体连接初始部位的延伸方向，可以斜向导引流体，流体不会直接冲击所述软膜部33的内面，而是将导引流体往阀头31的轴心冲击。因此可知，所述软膜部33在预曲折隆起形状用于连接所述延伸喙32a的一侧能顺着所述延伸喙32a的斜面的倾斜方向开模成形，实现了导引流体避免伤害软膜部33的连续性，在阀开启阶段所述软膜部33有着较低的内应力。此外，在较佳示例中，所述阀头31在所述软膜部33一体连接处对应在阀口11开的上升止点高于所述周环翻边32的上表面，对应在阀口11关的下降止点不低于所述周环翻边32的下表面，使得所述阀头31的升降行程在所述周环翻边32的厚度一倍至二倍之间，用于约束所述阀头31的阀开阀关升降行程在所述周环翻边
32的厚度一倍至二倍之间。所述周环翻边32的外缘可以有向下凸起的外缘，以扣入所述阀座10的对应卡槽。具体示例中，周环翻边32的斜面角度定义是膜片翻边32的延伸喙32a的斜度与阀座10的卡槽垂直面的两者夹角，周环翻边32的斜面角度范围介于60‑70°，若90°则为水平，如所述周环翻边32的上表面，所述周环翻边32的向下凸起的外缘与所述阀座10的卡槽可保持压合过盈0.2 0.4mm。
~

[0055] 关于隔膜片30的阀头31的升降对软膜部33的影响，由于阀关闭时阀头31封闭所述阀口11,故即使有手动操作偏差或震动，阀口11的上端缘限制了阀头31的最低下沉高度，对软膜部33不会造成过度的拉扯影响。本发明实施例的方案主要在于解决阀开启闭时或由阀关闭到阀开启的切换过程，因手动操作偏差或震动使阀头31上升过高下对软膜部33的拉扯影响，解决手段有三，一让软膜部33在阀开启阶段能承受更多的应力（对应所述软膜部33的预曲折隆起形状）,二为让软膜部33不直接受到流体压力的正面冲击（对应所述周环翻边32的延伸喙32a），三为避免软膜部33在阀开启阶段的过度变形（对应所述隔膜撑块50的膜托护缺口51），以避免形成高弯弧拱门变形，从而能全方面提高软膜部33的耐用度。

[0056] 关于直切驱柄40，如图3与图4所示ú，在较佳示例中，所述直切驱柄40具有与所述活塞杆21的另一端连接的枢接轴41。如图5所示，所述直切驱柄40在横卧面42与竖立面43之间形成有弧面44，所述弧面44至所述枢接轴41的第一距离D1大于所述竖立面43至所述枢接轴41的第二距离D2，所述竖立面43至所述枢接轴41的第二距离D2大于所述横卧面42至所述枢接轴41的第三距离D3，即D1>D2>D3。本实施例中，所述直切驱柄40的竖立姿态是竖立面43贴触于所述阀盖20的上端面，提高了活塞杆21的相对高度，即竖立姿态（对应D2）标示阀头31离开阀口11的阀门开状态；所述直切驱柄40的横卧姿态是横卧面42贴触于所述阀盖20的上端面，降低了活塞杆21的相对高度，即横卧姿态（对应D3）能标示阀头31封闭阀口11的阀门关状态。反之，在不同实施例中，也可以设定为D1>D3>D2，所述竖立面43至所述枢接轴41的第二距离D2小于所述横卧面42至所述枢接轴41的第三距离D3，则直切驱柄40的竖立姿态（对应D2）能标示阀头31封闭阀口11的阀门关状态；直切驱柄40的横卧姿态（对应D3）能标示阀头31离开阀口11的阀门开状态。在阀门开关的切换过程，所述直切驱柄40以其弧面44压触所述阀盖20的上表面，会形成阻尼现象，阀头31的上升开度会高于阀门开的阀头31高度，这样便有防止误操作或震动下意外切换的效果。本发明实施例的隔膜片30的软膜部33因其具有对应阀门开的预曲折隆起形状，具体是软膜部33的内段是水平状（外段是顺着所述延伸喙32a的斜面倾斜），故对应弧面44，阀头31继续在阀门开的高度继续上升时，隔膜片30的软膜部33有裕度能承受该继续上升的拉扯，隔膜片30具有良好的耐用度。

[0057] 再关于直切驱柄40，除了图1至图4，还可配合参阅图5，优选示例中，所述直切驱柄40在竖立姿态与横卧姿态之间切换角度介于95°至105°，包含端点值。这种结构下，所述直切驱柄在竖立姿态与横卧姿态之间的视觉判定相对明显，并且竖立姿态不会受到误操作或是震动下不可控地切换到横卧姿态。所述直切驱柄40的柄身可以贴设有状态标签45，以使阀门的开关标示更为清楚。

[0058] 关于隔膜撑块50，除了参阅图2至图4，还可对照图7，在较佳示例中，所述手动开关隔膜阀还包括隔膜撑块50，设置于所述阀盖20内，用于固定所述隔膜片30的周环翻边32；优选示例中，所述隔膜撑块50具有导引轴孔53，在导引所述活塞杆21的导引轴孔53的底部端面形成有托护所述软膜部33的膜托护缺口51，在阀门开时所述膜托护缺口51接触所述软膜部33的预曲折隆起形状的中间段并限制该中间段的无序隆起。利用内置于所述阀盖20的隔膜撑块50确定了一种手动隔膜阀可实施的组装方法，所述隔膜撑块50的作用除了具备在阀盖20与阀座10结合时能有效压制并固定所述隔膜片30的周环翻边32以及导引所述活塞杆21的升降移动的两作用，还具有托护所述软膜部33的第三作用；当阀座10内流体压力的突然增大，所述隔膜撑块50在导引所述活塞杆21的轴孔底部端面形成的所述膜托护缺口51能够托护意欲向外扩变形的所述软膜部33，以提高所述软膜部33防破裂的耐用度（如图4所示）。

[0059] 再关于隔膜撑块50，参阅图7（B），在较佳示例中，所述膜托护缺口51为具有斜边的多阶环托护口。利用具有斜边的多阶环托护口作为所述隔膜撑块50的膜托护缺口51，维持在隔膜阀使用中所述软膜部的外形与安装时预曲折隆起形状一致，以避免所述软膜部在使用中受到手动操作而过度变形。

[0060] 再关于隔膜撑块50，参阅图3、图4与图7，具体示例中，所述隔膜撑块50具有对应导通所述阀盖20的第一通气孔22的第二通气孔52，连通到所述隔膜撑块50底部的通气孔54（如图7(B)所示），以大气导通至所述隔膜片30的所述软膜部33的上表面。

[0061] 关于底板60，在较佳示例中，所述手动开关隔膜阀还包括底板60，设置于所述阀座10内，用于结合所述阀座10与所述阀盖20，还可作为所述手动隔膜阀对外部设备安装的基座。具体示例中，利用例如长螺杆的多个结合杆61贯穿所述阀盖20与所述阀座10的纵向角隅部直到露出在所述底板60的下表面,再以例如螺母的结合座62连接对应结合杆61,两者相互螺紧,结合座62可嵌入到所述底板60内,所述结合杆61与所述结合座62的外端面可安装防尘帽，以形成一体结构。

[0062] 本发明实施例还提出一种半导体制造设备，包括如上所述可能组合的手动开关隔膜阀，在优选示例中，所述直切驱柄40在竖立姿态与横卧姿态之间切换角度介于95°至105°，包含端点值。半导体制造设备的多种进液口可各安装有该手动开关隔膜阀，在紧急状况可直接手动切断对应药剂流体的供给，直切驱柄40在所述阀盖20上的姿态能够明确标示隔膜阀是在阀门开或阀门关的状态，一目可见多个手动开关隔膜阀的阀门开关状态，切换快速，更重要的是打破了半导体制造设备的手动阀只能使用螺纹旋转手轮的惯性固有思维。

[0063] 参阅图8，本发明实施例还提出一种手动开关隔膜阀的组装方法，包括：步骤S1可参阅图9、图4与图6，连接隔膜片30的阀头31与所述活塞杆21的一端；其中，所述隔膜片30还具有周环翻边32以及连接在所述阀头31与所述周环翻边32之间的软膜部33，所述软膜部33在初始成形阶段即以对应阀门开的预曲折隆起形状而设置；
步骤S2可参阅图10与图4，安装活塞杆21在阀盖20内，所述活塞杆21受到弹性件23的向下弹力；
步骤S3可参阅图11与图4，设置直切驱柄40在所述阀盖20上，使所述直切驱柄40连动于所述活塞杆21，用以驱动阀门的开关，所述直切驱柄40能在竖立姿态与横卧姿态之间切换，切换角幅度大于90度，用于分别标示阀门的开与关或者标示阀门的关与开；
步骤S4可参阅图12与图4，结合所述阀盖20于阀座10上，具体可利用多个结合杆
61，通过阀盖20的角隅通孔与阀座10的对应通孔，结合至底板60处的结合座62；所述阀座10内形成有朝上的阀口11，所述隔膜片30的所述周环翻边32被固定在所述阀座10与所述阀盖
20之间，所述隔膜片30的所述阀头31用于向下封闭所述阀口11；其中，步骤S3与步骤S4中所述直切驱柄40维持在标示阀门关的横卧姿态或竖立姿态。

[0064] 因此，利用步骤S1至步骤S4，制造得到一种不是旋转驱动的手动开关隔膜阀，具体能适用于半导体制造设备，能无损伤地简易安装，该手动开关隔膜阀兼具有可快开快关与耐用度高的特性。步骤S3与步骤S4中所述直切驱柄40维持在标示阀门关的横卧姿态或竖立姿态，表示活塞杆21的一端相对外突于阀盖20，有利于所述阀盖20在所述阀座10上的结合过程一并校正所述阀头31对所述阀口11的密合。

[0065] 在较佳示例中，所述组装方法还包括前置步骤：步骤S0、套合所述活塞杆21的杆身在隔膜撑块50中；在步骤S2中，所述隔膜撑块50设置于所述阀盖20内，在步骤S4中，所述隔膜撑块50固定所述隔膜片30的周环翻边32，在结合所述阀盖20于阀座10上的步骤S4中同时完成周环翻边32的固定与阀头31封闭阀口11的校正。在步骤S0中，更具体地，所述活塞杆21导滑于所述隔膜撑块50的杆身部位以及所述隔膜撑块50的外侧壁可预先套设好对应尺寸的弹性密封圈
在较佳示例中，所述隔膜撑块50在导引所述活塞杆21的轴孔底部端面形成有托护
所述软膜部33的膜托护缺口51，在阀门开时所述膜托护缺口51接触所述软膜部33的预曲折隆起形状的中间段并限制该中间段的无序隆起，以局限所述软膜部33在使用过程中的过度变形。在较佳示例中，所述膜托护缺口51为具有斜边的多阶环托护口，能更好维持住所述软膜部33的外扩形状。在较佳示例中，所述阀盖20具有第一通气孔22，所述隔膜撑块50具有对应导通的第二通气孔52，以大气导通至所述隔膜片30的所述软膜部33的上表面，故所述软膜部33的上膜表面的空间与大气压力一致，该空间具有泄补压的大气平衡特性，有利于手动隔膜开关阀的开关操作。

[0066] 在更具体示例中，步骤S1中，所述活塞杆21的下杆身一端具有外螺纹，可通过所述隔膜撑块50并连接旋紧在隔膜片30的阀头31的内螺孔。步骤S2中，所述活塞杆21的上杆身套设有弹性件23。步骤S3中，利用工具克服弹性件23的弹力，让所述活塞杆21的上杆身具有的活塞销钉孔突出于所述阀盖20的上表面，作为枢接轴41的销钉穿过所述直切驱柄40的销钉孔与所述活塞杆21的活塞销钉孔，并以C形扣的卡簧固定销钉不脱出。之后可在所述直切驱柄40的柄身贴上状态标签45。如图11所示，维持在阀门关的状态下安装直切驱柄40，较有利于所述直切驱柄40的销钉孔与所述活塞杆21的活塞销钉孔的省力对准。步骤S4中，所述隔膜片30的周环翻边32的下突凸缘对准卡合压入所述阀座10的对应卡槽；具体如螺母的结合座62先装入底板60的底部，具有外螺纹部的结合杆61先套上垫片，贯穿过阀盖20的螺栓孔、阀座10的通孔直到与底板60的结合座62锁紧，之后在所述结合杆61的上端头与结合座62盖上防腐帽。

[0067] 本具体实施方式的实施例均作为方便理解或实施本发明技术方案的较佳实施例，并非依此限制本发明的保护范围，凡依本发明的结构、形状、原理所做的等效变化，均应被涵盖于本发明的请求保护范围内。