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一种石英坩埚的制备方法和石英坩埚实质审查 发明

技术总结

本发明提供了一种石英坩埚的制备方法和石英坩埚。该方法包括:获取成型后的坩埚坯体;在坩埚坯体的外表面涂布脱模剂浆料;脱模剂浆料包括氮化硼、硅溶胶和去离子水;对涂布有脱模剂浆料的坩埚坯体进行固化处理,得到石英坩埚;石英坩埚的外表面包裹有脱模层;脱膜层为脱膜浆料经过固化处理得到的。本发明实施例在提高脱模效率的同时,还避免对碳碳坩埚造成不必要的损伤,提高了碳碳坩埚的使用寿命。

技术研发人员:

杨政

受保护的技术研发主体:

双良硅材料(包头)有限公司

技术申请主体:

双良硅材料(包头)有限公司

技术研发申请日期:

2023-10-07

技术被公开/公告日期:

2024-02-06

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