技术领域
[0001] 本公开涉及一种进行装配于电路基板的元件的电特性的测定的测定装置。
相关背景技术
[0002] 在专利文献1中记载了一种测定装置，其搭载于将由元件供给装置供给的元件向电路基板装配的装配机，测定元件的电特性，该测定装置包括载置元件的载置台以及以能够彼此接近/分离的方式设置的一对测定件。在专利文献1所记载的测定装置中，载置于载置台的元件被一对测定件夹持，从而测定元件的电特性。
[0003] 现有技术文献
[0004] 专利文献
[0005] 专利文献1：国际公开第2017‑9987号小册子
具体实施方式
[0023] 以下，基于附图详细说明包括本公开的一个实施方式的测定装置在内的装配机。
[0024] 实施例1
[0025] 图1所示的装配机将元件向电路基板装配，包括主体2、电路基板搬运保持装置4、元件供给装置6、头移动装置8等。
[0026] 电路基板搬运保持装置4以水平的姿势搬运并保持电路基板P(以下，简称为基板P)，在图1中，将基板P的搬运方向设为x方向，将基板P的宽度方向设为y方向，将基板P的厚度方向设为z方向。y方向是装配机的前后方向，z方向是上下方向。这些x方向、y方向、z方向彼此正交。元件供给装置6供给装配于基板P的电子元件(以下简称为元件)s，包括多个带式供料器14等。头移动装置8保持装配头16并使其朝向x、y、z方向移动，装配头16具有吸附并保持元件s的吸嘴18。
[0027] 附图标记22表示测定装置。测定装置22测定元件s的电特性。作为元件s的电特性，相当于L(电感)、C(电容)、R(电阻)、Z’(阻抗)等，通过测定装置22测定它们中的一个以上。
[0028] 测定装置22经由回收箱26设于电路基板搬运保持装置4的主体。在回收箱26与测定装置22之间设有回收通路28，被测定了电特性的元件s经由回收通路28而收容于回收箱26。
[0029] 如图2～图6所示，测定装置22包括：(i)主体30、(ii)载置元件s的载置台32、(iii)由固定件34以及可动件36构成的一对测定件37、(iv)使载置台32移动的载置台移动装置40、(v)使可动件36相对于固定件34接近/分离的可动件移动装置41、(vi)作为电特性取得部的电特性测定部42(参照图8)等。在本实施例中，元件s在两端部具有电极，能够由一对测定件37把持，例如能够形成为方芯片。在主体30设有能够与回收通路28连通的贯通孔31(参照图9)。另外，主体30接地。
[0030] 测定装置22例如能够以可动件36相对于固定件34的接近/分离方向为y方向、与接近/分离方向正交的方向为x方向的方式安装于电路基板搬运保持装置4的主体。y方向大致为水平方向，可动件36通过水平方向上的移动而相对于固定件34接近/分离。以下，有时将y方向称为接近/分离方向、可动件36、形成于后述的载置台32的槽部46的长度方向。另外，有时将可动件36接近固定件34的方向上的动作称为前进，将可动件36与固定件34分离的方向上的动作称为后退。载置台32的动作也同样。进而，有时将x方向称为可动件36或者槽部46的宽度方向。
[0031] 载置台32包括元件载置部44和保持元件载置部44的载置部保持体45。元件载置部44以能够一体地移动的方式被保持于载置部保持体45，载置部保持体45以能够沿y方向(接近/分离方向)移动的方式设于主体30。
[0032] 在元件载置部44形成有沿接近/分离方向延伸的槽部46。槽部46大致呈V字形，如图6A所示，包括一对侧面倾斜的上槽部46a和设于上槽部46a的下部且截面大致呈四边形的下槽部46b。上槽部46a包括一对倾斜面48a、48b，下槽部46b包括作为平坦面的底面50和底面50的两侧的一对壁面51a、51b。
[0033] 载置于元件载置部44的元件s存在有载置于下槽部46b的底面50上的情况、被保持并载置于上槽部46a的一对倾斜面48a、48b的情况等。
[0034] 此外，在载置台32安装有向接近/分离方向延伸的罩部52。罩部52包括位于载置台32的槽部46的两侧的一对侧板52a、52b。一对侧板52a、52b与载置台32一体地移动。
[0035] 固定件34、可动件36分别具有彼此相向的相向面34f、36f，通过上述一对相向面34f、36f来把持元件s。固定件34经由固定件保持体55固定于主体30。可动件36以能够一体地移动的方式被保持于可动件保持体56，可动件保持体56以能够沿y方向(接近/分离方向)移动的方式设于主体30。固定件保持体55、可动件保持体56在接近/分离方向上位于载置部保持体45的两侧。此外，固定件34和可动件36分别经由铜线而与电特性测定部42连接。
[0036] 如图3、图4等所示，可动件36包括大致呈长方体状的主体部36a和在主体部36a的前部向下方突出的突出部36b。可动件36在主体部36a的后部被保持于可动件保持体56，构成前部的突出部36b和主体部36a进入元件载置部44的槽部46。在本实施例中，可动件36的突出部36b的前端面或者突出部36b的前端面与主体部36a的前端面(的一部分)被设为相向面36f。
[0037] 主体部36a以长方体的长度方向沿接近/分离方向延伸的姿势设置。
[0038] 如图6B、图6C所示，突出部36b呈能够与槽部46卡合的大小、形状。突出部36b包括与下槽部46b卡合的下槽卡合部57和与上槽部46a的一部分卡合的上槽卡合部58。上槽卡合部58具有与槽部46的一对倾斜面48a、48b的一部分相向的一对倾斜面58a、58b。下槽卡合部57分别具有下槽部46b的底面50、与一对壁面51a、51b相向的下端面57d、一对侧面57a、57b。
主体部36a与槽部46的一对倾斜面48a、48b分离。
[0039] 如图3所示，载置台移动装置40、可动件移动装置41分别包括作为驱动源的气缸60、62、设于主体30的一对导轨64、66、能够移动地卡合于导轨64、66的一对载置台滑动件
68、69以及一对可动件滑动件70、71、电磁阀装置74、76(参照图7、图8)、空气源77等。
[0040] 一对导轨64、66以在y方向(接近/分离方向)上延伸的姿势在x方向(可动件36的宽度方向)上隔开地固定于主体30。另外，在载置台滑动件68、69固定有载置部保持体45。在可动件滑动件70、71固定有可动件保持体56。而且，在载置部保持体45安装有气缸60的活塞杆60r(参照图7)，在可动件保持体56安装有气缸62的活塞杆62r。气缸60、62以活塞杆60r、62r向接近/分离方向延伸的姿势设置。
[0041] 另一方面，在固定件侧的部件{例如，固定件34的上部、固定件保持体55等}设有空气通路92。空气通路92具有在固定件侧的部件的、与可动件36的相向面36f相向的部分开设的开口93。另外，在空气通路92连接有电离器94。电离器94产生电晕放电而使空气离子化。
[0042] 在气缸60的两个空气室60a、60b、空气源77、空气通路92、过滤器(大气)之间设有电磁阀装置74。通过电磁阀装置74的控制来控制载置台32的移动等。
[0043] 在气缸62的空气室62a、62b，经由电磁阀装置76选择性地连接有空气源77、空气通路92、过滤器(大气)。通过电磁阀装置76的控制来控制可动件保持体56(可动件36)的移动等。另外，在载置台32前进时、可动件36后退时，从气缸60、62向空气通路92供给空气，并使空气从开口93流出。
[0044] 在本实施例中，由空气通路92、空气源77、气缸60、62等构成空气供给装置96。空气供给装置96具有与可动件移动装置41、载置台移动装置40共通的构成要素。
[0045] 在本实施例中，可动件36被可动件保持体56保持为能够调节相对于主体30的上下方向上的相对位置即高度、可动件36的宽度方向上的相对位置以及绕着沿接近/分离方向延伸的轴线Y的相对倾斜。上下方向、可动件36的宽度方向是作为与接近/分离方向交叉的方向的正交的方向，其中的可动件36的宽度方向大致为水平方向。
[0046] 在本实施例中，可动件36的前部形成为能够与槽部46卡合的形状、大小。另外，可动件36以与槽部46之间的间隙非常小的状态组装于可动件保持体56。因此，即使在元件s载置于槽部46的底面50的情况下，也能够由可动件36的相向面36f和固定件34的相向面34f把持而测定电特性。
[0047] 但是，在因可动件36相对于可动件保持体56的组装误差等而导致可动件36进入槽部46的情况下，如图10所示，有时在可动件36与槽部46之间产生间隙，例如在可动件36的下端面57d与槽部46的底面50之间等产生间隙。因此，无法利用一对相向面34f、36f把持载置于底面50的元件s，无法测定电特性，或者无法良好地把持元件s，无法高精度地测定电特性。
[0048] 为此，在本实施例中，通过将可动件36的相对于主体30的上下方向上的位置、可动件36的宽度方向上的位置、绕着轴线Y的倾斜设为能够调节，能够调节可动件36与元件载置部44的槽部46之间的相对位置关系。
[0049] 可动件保持体56包括固定于一对可动件滑动件70、71的保持体主体78、固定于保持体主体78的托架80、通过两个螺栓A1、A2安装于托架80的上下方向可动部件82、通过螺栓B1、B2安装于上下方向可动部件82的转动部件84、通过螺栓C1、C2安装于转动部件84的宽度方向可动部件86等。
[0050] 螺栓A1、A2沿可动件36的宽度方向延伸，贯通托架80并在上下方向可动部件82处螺合。螺栓B1、B2沿接近/分离方向延伸，贯通上下方向可动部件82并在转动部件84处螺合。螺栓C1、C2沿上下方向延伸，贯通宽度方向可动部件86并在转动部件84处螺合。另外，可动件36以能够一体地移动的方式通过螺栓M安装于宽度方向可动部件86。
[0051] 在上述螺栓被拧松的情况下，两个部件成为能够相对移动的状态，但是在螺栓被拧紧的情况下，两个部件无法相对移动。以下，将该无法相对移动的状态简称为被固定的状态。
[0052] 在通过螺栓C1、C2将宽度方向可动部件86固定于转动部件84、通过螺栓B1、B2将转动部件84固定于上下方向可动部件82的状态下，拧松螺栓A1、A2。通过上下方向可动部件82与托架80之间的上下方向上的间隙R1，允许上下方向可动部件82相对于托架80的上下方向上的相对移动，但是由于上下方向可动部件82的外侧面82a与托架80的内侧面80a抵接，因此上下方向可动部件82相对于托架80的可动件36的宽度方向上的移动被限制。
[0053] 通过使上下方向可动部件82沿托架80的内侧面80a在上下方向上相对移动，从而使转动部件84、宽度方向可动部件86、可动件36一体地沿上下方向相对移动，调节可动件36的上下方向上的位置，拧紧螺栓A1、A2。由此，可动件36的上下方向上的位置在螺栓A1、A2与托架80的贯通孔之间的间隙的范围内被调节。
[0054] 在通过螺栓A1、A2将上下方向可动部件82固定于托架80、通过螺栓B1、B2将转动部件84固定于上下方向可动部件82的状态下，拧松螺栓C1、C2。由此，宽度方向可动部件86能够相对于转动部件84在可动件36的宽度方向上相对移动。使宽度方向可动部件86沿转动部件84的上表面在宽度方向上移动，调节可动件36的宽度方向上的位置，拧紧螺栓C1、C2。由此，可动件36的宽度方向上的位置在螺栓C1、C2与宽度方向可动部件86的贯通孔的间隙的范围内被调节。
[0055] 另外，在通过螺栓A1、A2将上下方向可动部件82固定于托架80、通过螺栓C1、C2将宽度方向可动部件86固定于转动部件84的状态下，拧松螺栓B1、B2。通过宽度方向可动部件86与上下方向可动部件82之间的上下方向上的间隙R2、转动部件84在下方未被保持这一情况、可动部件36与上下方向可动部件82之间的上下方向上的间隙R3等而允许转动部件84、宽度方向可动部件86、可动部件36相对于上下方向可动部件82绕轴线Y的转动。
[0056] 使转动部件84转动，调节可动件36绕着轴线Y的倾斜，拧紧螺栓B1、B2。由此，在螺栓B1、B2与上下方向可动部件82的贯通孔之间的间隙的范围内，调节可动件36绕着轴线Y的倾斜。
[0057] 此外，通过螺栓M将可动件36固定于宽度方向可动部件86，但是如图2、图5等所示，在设于宽度方向可动部件86的沿上下方向延伸的凹部86r嵌合有设于可动件36的侧面的沿上下方向延伸的凸部36s。因此，在螺栓M被拧松的状态下，可动件36能够相对于宽度方向可动部件86在上下方向上相对移动。通过可动件36相对于该宽度方向可动部件86的上下方向上的移动，也能够调节可动件36的上下方向上的位置。
[0058] 对于这些作业，例如能够在使可动件36进入载置台32的槽部46的状态下，使用千分表、应变计等工具来测定该可动件36与槽部46的间隙，以使它们变小的方式由作业者来进行上述作业。
[0059] 该装配机包括控制装置200。如图8所示，控制装置200包括以计算机为主体的控制器202和多个驱动电路204。在控制器202上分别经由驱动电路204连接有电路基板搬运保持装置4、元件供给装置6、头移动装置8，并且连接有载置台移动装置40、可动件移动装置41的电磁阀装置74、76等。另外，连接有相机20、电特性测定部42、显示器216、载置台位置传感器218、可动件位置传感器220等。电磁阀装置74、76基于载置台位置传感器218、可动件位置传感器220的输出信号等而被控制。另外，元件s的电特性的测定结果能够显示于显示器216。
[0060] 对在如以上那样构成的装配机的测定装置22中测定元件s的电特性的情况下的工作进行说明。
[0061] 测定装置22始终处于图9A所示的初始状态。可动件36位于后退端位置，载置台32位于前进端位置。当发出元件s的电特性的测定指令时，使装配头16移动。通过吸嘴18保持元件s并使其移动，载置于槽部46。
[0062] 通过电磁阀装置76的控制而使可动件36前进，如图9B所示，通过可动件36和固定件34来夹持元件s。接着，如图9C所示，通过电磁阀装置74的控制使载置台32后退。载置台32后退到与元件s以及一对测定件37分离的位置，换言之，后退到可动件36的突出部36b与槽部46分离的位置。
[0063] 另一方面，在从元件s载置于槽部46时起经过了作为设定时间的除电时间之后，测定元件s的电特性。除电时间是去除元件s所带的静电的时间，被预先决定。在元件s的电特性的测定结束之后，使可动件36后退，放开被把持在可动件36与固定件34之间的元件s。另外，伴随着可动件36的后退，空气从开口93自斜上方供给到可动件36的相向面36f。
[0064] 接着，如图9D所示，使可动件36进一步后退，使载置台32后退。由于可动件36与固定件34之间的空间与回收通路28连通，因此能够将元件s回收至回收箱26。之后，使载置台32前进，位于一对相向面34f、36f之间。槽部46的上方为空间，能够载置元件s，测定装置22返回图9A所示的初始状态。另外，伴随着载置台32的前进，包含离子的空气被供给到可动件
36的相向面36f，因此也能够实现相向面36f的除电。
[0065] 如上所述，在本实施例中，由于能够调节可动件36相对于元件载置部44的相对位置关系，因此能够减小可动件36的突出部36b与槽部46之间的间隙或者使其接近0。其结果是，即使元件s较小，也能够通过可动件36与固定件34的一对相向面34f、36f良好地把持元件s。其结果是，能够稳定地测定元件s的电特性，能够抑制测定精度的降低。
[0066] 另外，元件载置部44处于经由载置部保持体45、导轨64、66而与主体30电导通的状态，可动件36处于经由可动件保持体56、导轨64、66而与主体30电导通的状态。因此，良好地进行元件s的除电、载置台32、可动件36等的除电。因此，能够稳定地测定元件s的电特性。即使是阻抗较小的元件s，也能够高精度地测定该元件s的阻抗。
[0067] 进而，由于在固定可动件36的位置、姿势的情况下，使用两个螺栓，因此与螺栓为一个的情况相比，能够良好地固定位置、姿势。
[0068] 以上，在本实施例中，由托架80、上下方向可动部件82、转动部件84、宽度方向可动部件86、螺栓A1、A2、B1、B2、C1、C2、设于宽度方向可动部件86的凹部86r、设于可动件36的凸部36s等构成调节机构100。在第一方向为上下方向的情况下，上下方向可动部件82等与第一可动部件相对应，托架80等与第一保持部件相对应，螺栓A1、A2等与第一固定装置相对应，对于这些上下方向可动部件82、托架80、螺栓A1、A2等，通过将上下方向可动部件82设为能够在上下方向上相对移动的构造等而构成作为第一调节机构的上下方向调节机构102。在第一方向是可动件36的宽度方向的情况下，宽度方向可动部件86等与第一可动部件相对应，转动部件84等与第一保持部件相对应，螺栓C1、C2等与第一固定装置相对应，对于这些宽度方向可动部件86、转动部件84、螺栓C1、C2等，通过将宽度方向可动部件86设为能够在宽度方向上相对移动的构造等而构成作为第一调节机构的宽度方向调节机构104。在第二方向是与接近/分离方向平行的方向的情况下，转动部件84等与第二可动部件相对应，上下方向可动部件82等与第二保持部件相对应，螺栓B1、B2等与第二固定装置相对应，对于这些转动部件84、上下方向可动部件82、螺栓B1、B2等，通过将转动部件84设为能够绕轴线Y转动的构造等而构成第二调节机构106。此外，可动件36等为第一可动部件，宽度方向可动部件
86等为第一保持部件，螺栓M等为第一固定装置，由这些可动件36、宽度方向可动部件86、螺栓M、凹部86r、凸部36s等构成作为第一调节机构的上下方向调节机构。
[0069] 实施例2
[0070] 在实施例1所涉及的测定装置中，作为第二方向，能够调节可动件的绕着沿与接近/分离方向平行的方向延伸的轴线Y的相对倾斜，但是在本实施例中，作为第二方向，能够调整可动件36的绕着沿作为与接近/分离方向交叉的方向的正交的方向即可动件36的宽度方向延伸的轴线X的相对倾斜。
[0071] 在实施例2所涉及的测定装置中，实施例1所涉及的测定装置的基本构造相同，因此对对应的构成要素标注相同的附图标记并省略说明。在实施例2中，对具备调节机构的可动件保持体进行说明。
[0072] 在图11～图13中，可动件保持体156包括：保持体主体178，固定于一对可动件滑动件70、71；宽度方向可动部件180，通过两个螺栓D1、D2而安装于保持体主体178；转动部件182，通过螺栓E1、E2而安装于宽度方向可动部件180；以及上下方向可动部件184，通过螺栓F1、F2而安装于转动部件182。可动件36通过螺栓N以能够一体地移动的方式安装于上下方向可动部件184。
[0073] 在通过螺栓E1、E2将转动部件182固定于宽度方向可动部件180、通过螺栓F1、F2将上下方向可动部件184固定于转动部件182的状态下，拧松螺栓D1、D2。宽度方向可动部件180、转动部件182、上下方向可动部件184以及可动件36能够一体地在可动件36的宽度方向上移动。宽度方向可动部件180和保持体主体178在x方向上隔开间隙R11地设置，因此允许宽度方向可动部件180相对于保持体主体178在x方向上移动。
[0074] 通过使宽度方向可动部件180等沿可动件保持体主体178的上表面在x方向上移动而调节可动件36的宽度方向上的位置，并拧紧螺栓D1、D2。在螺栓D1、D2与宽度方向可动部件180的贯通孔的间隙的范围内，能够调节可动件36的宽度方向上的位置。此外，螺栓D2的操作是利用设于上下方向可动部件184的上下方向的贯通孔186来进行的。从贯通孔186通过工具而与螺栓D2的头部卡合，拧松或者拧紧螺栓D2。
[0075] 在通过螺栓D1、D2将宽度方向可动部件180固定于保持体主体178、通过螺栓E1、E2将转动部件182固定于宽度方向可动部件180的状态下，拧松螺栓F1、F2。由此，上下方向可动部件184以及可动件36能够相对于转动部件182、宽度方向可动部件180在上下方向上移动。通过上下方向可动部件184与宽度方向可动部件180、转动部件182之间的上下方向上的间隙R12而允许上下方向可动部件184的上下方向上的移动。另外，上下方向可动部件184的台阶面184a与宽度方向可动部件180的内侧面180a抵接，因此上下方向可动部件184的x方向上的移动受到限制。
[0076] 通过使上下方向可动部件184等沿宽度方向可动部件180在上下方向上移动而调节可动件36的上下方向上的位置即高度，并拧紧螺栓F1、F2。在螺栓F1、F2与转动部件182的贯通孔之间的间隙的范围内，能够调节可动件36的上下方向上的位置。
[0077] 在通过螺栓D1、D2将宽度方向可动部件180固定于保持体主体178、通过螺栓F1、F2将上下方向可动部件184固定于转动部件182的状态下，拧松螺栓E1、E2。由此，转动部件182、上下方向可动部件184以及可动件36能够相对于宽度方向可动部件180绕轴线X转动。
通过转动部件182与保持体主体178之间的间隙R13、转动部件182与宽度方向可动部件180之间的间隙R12等，允许转动部件182绕轴线X转动。另外，由于转动部件182的内侧面182a与宽度方向可动部件180的外侧面180b抵接，因此转动部件182的x方向上的移动被限制。
[0078] 通过使转动部件182(以及上下方向可动部件184、可动件36)绕着轴线X转动而调节可动件36绕着轴线X的相对于主体30的相对倾斜，并拧紧螺栓E1、E2。由此，能够调节可动件36绕着轴线X的倾斜。
[0079] 此外，在上下方向可动部件184通过螺栓N固定有可动件36，但是在设于上下方向可动部件184的沿上下方向延伸的凹部184r嵌合有设于可动件36的侧面的沿上下方向延伸的凸部36s。因此，在螺栓N被拧松的状态下，可动件36能够相对于上下方向可动部件184在上下方向上相对移动。通过可动件36相对于该上下方向可动部件184的上下方向上的移动，也能够调节可动件36的上下方向上的位置。
[0080] 在本实施例中，由宽度方向可动部件180、转动部件182、上下方向可动部件184、螺栓N、螺栓D1、D2、螺栓E1、E2、螺栓F1、F2、设于可动件36的凸部36s、设于上下方向可动部件184的凹部184r等构成调节机构188。另外，在第一方向是作为与接近/分离方向交叉的方向即正交的方向的可动件36的宽度方向的情况下，宽度方向可动部件180等与第一可动部件相对应，保持体主体178与第一保持部件相对应，螺栓D1、D2等与第一固定装置相对应，由这些宽度方向可动部件180、保持体主体178、螺栓D1、D2等构成作为第一调节机构的宽度方向调节机构190。在第一方向是作为与接近/分离方向交叉的方向即正交的方向的上下方向的情况下，上下方向可动部件184等与第一可动部件相对应，转动部件182等与第一保持部件相对应，螺栓F1、F2等与第一固定装置相对应，由这些上下方向可动部件184、转动部件182、螺栓F1、F2等构成作为第一调节机构的上下方向调节机构192。另外，在第二方向是作为与接近/分离方向交叉的方向即正交的方向的可动件36的宽度方向的情况下，转动部件182等与第二可动部件相对应，宽度方向可动部件180等与第二保持部件相对应，螺栓E1、E2等与第二固定装置相对应，由这些转动部件182、宽度方向可动部件180、螺栓E1、E2等构成第二调节机构194。此外，可动件36等为第一可动部件，上下方向可动部件184等为第一保持部件，螺栓N等为第一固定装置，由这些可动件36、上下方向可动部件184、螺栓N、凹部184r、凸部36s等构成作为第一调节机构的上下方向调节机构。
[0081] 另外，在上述实施例中，通过调节可动件36相对于主体30的相对位置关系来调节上述可动件36与元件载置部44之间的相对位置关系，但是通过调节元件载置部44与主体30之间的相对位置关系，能够调节可动件36与元件载置部44的槽部46之间的相对位置关系。
[0082] 进而，第二调节机构能够包括调整可动件的绕着沿作为与接近/分离方向交叉的方向即正交的方向的上下方向延伸的轴线的相对倾斜的机构。
[0083] 另外，作为调节机构的构成要素的第一固定装置、第二固定装置并不局限于包含两个螺栓，能够包含三个以上等，测定装置的构造并不限定于上述实施例中的测定装置的构造。
[0084] 以上，除了实施方式所记载的方式以外，本公开能够以基于本领域技术人员的知识实施了各种变更、改良的方式来实施。
[0085] 附图标记说明
[0086] 22：测定装置 30：主体 32：载置台 34：固定件 36：可动件 40：载置台移动装置 41：可动件移动装置 42：电特性测定部 44：元件载置部 46：槽部 56、156：可动件保持体
82、184：上下方向可动部件 86、180：宽度方向可动部件 84、182：转动部件 A1、A2、B1、B2、C1、C2、D1、D2、E1、E2、F1、F2：螺栓 100、188：调节机构 102、192：上下方向调节机构 104、
190：宽度方向调节机构 106、194：第二调节机构
[0087] 补充说明
[0088] 在第一调节机构中，在所述第一方向是与所述接近/分离方向交叉的方向即正交的上下方向、所述第一可动部件是能够在所述上下方向上移动的上下方向可动部件、所述第二保持部件是将所述上下方向可动部件保持为能够在所述上下方向上相对移动的上下方向保持元件的情况下，第一调节机构能够称为上下方向位置调节机构。另外，在所述第一方向是与所述接近/分离方向交叉并正交、且与上下方向正交的可动件的宽度方向、所述第一可动部件是能够在所述宽度方向上移动的宽度方向可动部件、所述第二保持部件是将所述宽度方向可动部件保持为能够在所述宽度方向上相对移动的宽度方向保持部件的情况下，第一调节机构能够称为宽度方向位置调节机构。
[0089] 第二调节机构也可以是，所述第二方向是水平方向，调节绕着沿水平方向延伸的轴线的相对倾斜，也可以是，调节绕着沿铅垂方向延伸的轴线的相对倾斜。沿与所述接近/分离方向平行的方向延伸的轴线、或者沿与接近/分离方向正交的可动件或者槽部的宽度方向延伸的轴线等相当于沿水平方向延伸的轴线。
