[0001] 本发明涉及晶圆分选设备技术领域，具体为一种高精度晶圆分选设备及其分选方法。

[0002] 晶圆分选设备是在晶圆检测分选工作中必不可少的装置之一，其能够利用机械臂移动晶圆的位置，使摄像头和检测头配合可以对晶圆进行检测工作，检测合格的晶圆则会放置到晶圆架之间送出到外界供人们拿取移动，而不合格的晶圆则会丢弃回收，晶圆的尺寸具有多样性，有鉴于此，传统的装置不够完善，没有可以方便放置多种尺寸的晶圆的设施，只能放置固定尺寸的晶圆，比较死板，而一种高精度晶圆分选设备及其分选方法能够为上述问题提供解决方案。

[0003] 现有的晶圆分选设备存在的缺陷是：

[0004] 1、专利文件：CN113649297A，公开了一种高精度晶圆分选机，“包括箱体，箱体中设置有放置台，放置台上设置有分选机构，分选机构包括吸附机构，放置台上转动连接有转动座，吸附机构设置在转动座上，放置台上设置有平移机构，平移机构上设置有分选卡匣，平移机构用于带动分选卡匣平移，分选卡匣用于安装晶圆，分选机构用于分选设置在分选卡匣上的晶圆。本申请具有提升分选机构选取晶圆环上晶粒的精度的效果。”没有可以方便放置多种尺寸的晶圆的设施，只能放置固定尺寸的晶圆，降低了晶圆放置支撑的灵活性。

[0005] 2、传统的装置不够完善，没有可以方便精确移动需要检测的晶圆的检测位置的设施，只能利用机械臂进行移动，不够精确。

[0006] 3、传统的装置不够完善，没有可以方便收集移动检测不合格的晶圆的设施，比较麻烦。

[0007] 4、传统的装置不够完善，没有可以防止键盘被误触的设施，降低了安全性。

[0041] 下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

[0042] 在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

[0043] 在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

[0044] 请参阅图1、图6和图8，本发明提供的一种实施例：一种高精度晶圆分选设备及其分选方法，包括底座1，底座1的底部安装有万向轮2，底座1的顶部安装有顶框3，顶框3的顶部安装有警示灯4，顶框3的正面贯穿安装有面板5，面板5的正面安装有显示屏6，面板5的正面安装有多个开关7，开关7位于显示屏6的底部，面板5的正面管擦在有托盘8，托盘8的顶部放置有键盘9，托盘8的顶部放置有鼠标10，且鼠标10位于键盘9的一侧，万向轮2能够为底座1提供支撑，且万向轮2能够在外力的作用下和与地面的摩擦力作用下滚动，同时能够根据外力的方向横向转动，从而使工作人员可以通过推动万向轮2将该装置移动到合适的工作地点处，底座1能够为顶框3提供支撑，顶框3能够稳固支撑警示灯4和面板5，且顶框3与面板
5配合能够为底座1顶部放置的所有设施提供保护作用，该装置运行时会为警示灯4通电，使警示灯4可以发出光亮警示工作人员该装置启动，面板5能够为托盘8提供支撑，工作人员可以在托盘8的支撑下操作键盘9和鼠标10，工作人员可以根据实际情况的需要利用万向轮2将该装置移动到工作地点处，并通过万向轮2在底座1的支撑下将该装置稳固放置到工作地点处，并为该装置通电，随后操作开关7启动该装置，并打开显示屏6并根据显示屏6上显示的内容为参考操作键盘9和鼠标10调控该装置的运行参数并将需要检测的晶圆放置到底座
1的顶部且位于护栏14的内侧对应位置处，底座1的顶部安装有送料机构11，送料机构11的顶部安装有托板12，且托板12位于支座28的底部，底座1的顶部安装有机械臂13，且机械臂
13位于送料机构11的左侧，底座1的顶部通过支撑部件安装有摄像头15，且摄像头15位于机械臂13的背部，底座1的顶部通过支撑部件安装有检测头16，且检测头16位于摄像头15的背部，送料机构11会在底座1的支撑下和工作人员的操作下带动托板12前后移动位置，机械臂
13能够在工作人员的操作下移动夹持端的位置，使机械臂13可以移动并抓取放置的需要检测的晶圆，并将需要检测的晶圆依次移动到摄像头15和检测头16的底部，使摄像头15可以对晶圆进行画面拍摄，同时将拍摄到的画面传输到显示屏6上显示出来供工作人员参考，同时检测头16会对晶圆进行检测探测工作，进而使检测头16和摄像头15配合对晶圆进行检测，检测完成后且合格的晶圆则会被机械臂13夹持并移动放置到两个晶圆架31之间，并使晶圆架31利用插槽32进行定位放置，随后启动送料机构11，使送料机构11通过托板12带动支座28和晶圆架31向正面移动到靠近顶框3正面的边缘处供工作人员拿取。

[0045] 请参阅图1、图7和图8本发明提供的一种实施例：一种高精度晶圆分选设备及其分选方法，包括送料机构11，送料机构11的顶部安装有支座28，支座28的一侧开设有导槽29，导槽29的内侧放置有导杆30，导杆30的左侧和支座28的右侧安装有晶圆架31，两个晶圆架31相互靠近的一面开设有插槽32，其中一个晶圆架31的一侧安装有推杆33，且推杆33贯穿另一个晶圆架31，另一个晶圆架31的一侧安装有电机34，电机34的输出端安装有丝杆35，丝杆35的外侧螺纹安装有螺纹环36，螺纹环36的顶部安装有支杆37，支杆37的一侧安装有推头38，且推头38与推杆33相连接，其中一个晶圆架31能够稳固支撑推杆33，另一个晶圆架31能够为推杆33提供移动导向作用，而推头38能够在外力的作用下和另一个晶圆架31的支撑下推动推杆33，使推杆33在外力的作用下推动其中一个晶圆架31左右移动，工作人员可以根据实际情况的需要在支座28和晶圆架31的支撑下启动电机34，使电机34带丝杆35转动，同时丝杆35会利用旋转动力和与螺纹环36的螺纹作用推动螺纹环36前后移动，使螺纹环36在外力的作用下通过支杆37推动推头38，使推头38可以在外力的作用下推动推杆33前后移动，同时推杆33会在其中一个晶圆架31的支撑导向作用下带动另一个晶圆架31一同左右移动，同时该晶圆架31则会带动导杆30沿着导槽29一同移动，从而使两个晶圆架31之间的间距可以移动到合适大小，使两个晶圆架31与插槽32配合可以放置相应尺寸的晶圆。

[0046] 请参阅图1、图2、图5、图6和图9，本发明提供的一种实施例：一种高精度晶圆分选设备及其分选方法，底座1的顶部安装有两个支脚17，两个支脚17相互远离的一面安装有固板18，两个支脚17的内侧分别安装有两个轴座19，其中一个支脚17的一侧安装有马达20，轴座19的内部贯穿安装有传动杆21，且马达20的输出端与传动杆21相连接，传动杆21的外侧装套有两个链轮22，两个支脚17的相互靠近的一面安装有导框23，链轮22的外侧啮合装套有链条24，且链条24位于导框23的内侧，每两个链轮22的外侧能够啮合装套有两个链条24，两个链条24之间安装有推块25，底座1能够为支脚17提供稳固支撑，导框23能够在支脚17的支撑下为链条24提供移动空间，且能够为推块25提供移动导向作用，推块25能够为滑座26提供支撑，滑座26能够为定位槽27提供开设空间，定位槽27能够为晶圆提供放置空间和定位作用，检测前工作人员需要控制机械臂13将需要检测的晶圆在滑座26的支撑下放置到合适位置处的定位槽27的内侧，并在支脚17的支撑下启动马达20，使马达20带动其输出端安装的传动杆21在轴座19的支撑下转动，同时传动杆21会带动链条24一同转动，链条24会利用啮合作用推动链条24在导框23的内侧移动，同时链条24会根据链轮22的旋转方向带动推块25一同左右移动，同时推块25会在外力的作用下带动滑座26一同左右移动，使滑座26利用定位槽27的定位支撑作用带动放置的需要检测的晶圆一同左右移动，使晶圆可以移动到合适位置处利用摄像头15和检测头16进行检测，从而使该装置可以方便工作人员精确调节需要检测的晶圆的检测位置。

[0047] 请参阅图1、图3和图6，本发明提供的一种实施例：一种高精度晶圆分选设备及其分选方法，包括底座1，底座1的顶部安装有两个安装板39，安装板39的内部贯穿开设有安装孔40，两个安装板39之间相互连接安装有收纳盒41，收纳盒41的正面和一侧贯穿开设有通槽42，收纳盒41的顶部开设有斜槽43，收纳盒41的内侧放置有储盒44，且储盒44贯穿通槽42，储盒44的正面安装有拉把45，底座1能够为安装板39提供稳固支撑，安装板39能够为安装孔40提供开设空间，安装板39能够为收纳盒41提供支撑，收纳盒41可以稳固支撑储盒44，且能够为通槽42提供开设空间，通槽42能够为储盒44提供贯穿通槽42，工作人员需要控制机械臂13移动检测后且不合格的晶圆移动，使不合格的晶圆移动放置到斜槽43的内侧，并在安装板39的支撑下将使晶圆沿着斜槽43利用倾斜角度滑落到收纳盒41的内侧，滑落到收纳盒41内侧的晶圆则会在重力的作用下落到储盒44的内侧储存，工作完成后工作人员可以根据实际情况的需要握住拉把45向正面拉动储盒44，使储盒44在外力的作用下贯穿通槽42从收纳盒41的内侧拔出到外界，从而使工作人员可以通过储盒44移动分选收集后的不合格晶圆进行处理。

[0048] 请参阅图1、图4和图6，本发明提供的一种实施例：一种高精度晶圆分选设备及其分选方法，包括托盘8，托盘8的顶部安装有框板46，框板46位于键盘9的外侧，框板46的顶部放置有顶板47，顶板47的顶部镶嵌安装有铁盘48，框板46的两侧安装有旋杆49，旋杆49的外侧安装有N板50，且N板50位于框板46的正面，N板50的两侧安装有绕杆51，绕杆51的外侧安装有H板52，H板52的两侧安装有另外两个绕杆51，另外两个绕杆51的外侧安装有盖板53，盖板53的底部安装有连接带54，连接带54的正面安装有磁铁55，框板46能够稳固支撑旋杆49，旋杆49能够为N板50提供支撑，N板50能够与框板46配合在旋杆49的支撑下框住键盘9，工作人员可以在不使用键盘9时拉动连接带54，使连接带54在外力的作用下带动盖板53以另外两个绕杆51为圆心逆时针转动，同时会利用外力通过另外两个绕杆51带动H板52以N板50两侧安装的绕杆51为圆心逆时针转动，使H板52可以与N板50的底部平行，同时使盖板53转动后放置到框板46的顶部，之后在顶板47的支撑下移动连接带54，使连接带54带动磁铁55放置到铁盘48的顶部，使磁铁55利用磁力吸附在铁盘48的顶部，并利用磁力固定连接带54的位置，使连接带54可以与盖板53、框板46、H板52和N板50配合罩住键盘9，从而使键盘9得到防护，不会被外力按压误触。

[0049] 进一步，晶圆分选设备的使用方法如下：

[0050] S1、首先工作人员可以根据实际情况的需要利用万向轮2将该装置移动到工作地点处，并通过万向轮2在底座1的支撑下将该装置稳固放置到工作地点处，并为该装置通电，随后操作开关7启动该装置，并打开显示屏6并根据显示屏6上显示的内容为参考操作键盘9和鼠标10调控该装置的运行参数并将需要检测的晶圆放置到底座1的顶部且位于护栏14的内侧对应位置处；

[0051] S2、使机械臂13可以移动并抓取放置的需要检测的晶圆，并将需要检测的晶圆依次移动到摄像头15和检测头16的底部，使摄像头15可以对晶圆进行画面拍摄，同时将拍摄到的画面传输到显示屏6上显示出来供工作人员参考，同时检测头16会对晶圆进行检测探测工作，进而使检测头16和摄像头15配合对晶圆进行检测，检测完成后且合格的晶圆则会被机械臂13夹持并移动放置到两个晶圆架31之间，并使晶圆架31利用插槽32进行定位放置，随后启动送料机构11，使送料机构11通过托板12带动支座28和晶圆架31向正面移动到靠近顶框3正面的边缘处供工作人员拿取；

[0052] S3、在检测前工作人员需要控制机械臂13将需要检测的晶圆在滑座26的支撑下放置到合适位置处的定位槽27的内侧，并在支脚17的支撑下启动马达20，使马达20带动其输出端安装的传动杆21在轴座19的支撑下转动，同时传动杆21会带动链条24一同转动，链条24会利用啮合作用推动链条24在导框23的内侧移动，同时链条24会根据链轮22的旋转方向带动推块25一同左右移动，同时推块25会在外力的作用下带动滑座26一同左右移动，使滑座26利用定位槽27的定位支撑作用带动放置的需要检测的晶圆一同左右移动，使晶圆可以移动到合适位置处利用摄像头15和检测头16进行检测，从而使该装置可以方便工作人员精确调节需要检测的晶圆的检测位置；

[0053] S4、之后工作人员需要控制机械臂13移动检测后且不合格的晶圆移动，使不合格的晶圆移动放置到斜槽43的内侧，并在安装板39的支撑下将使晶圆沿着斜槽43利用倾斜角度滑落到收纳盒41的内侧，滑落到收纳盒41内侧的晶圆则会在重力的作用下落到储盒44的内侧储存，工作完成后工作人员可以根据实际情况的需要握住拉把45向正面拉动储盒44，使储盒44在外力的作用下贯穿通槽42从收纳盒41的内侧拔出到外界，从而使工作人员可以通过储盒44移动分选收集后的不合格晶圆进行处理；

[0054] S5、最后工作人员可以在不使用键盘9时拉动连接带54，使连接带54在外力的作用下带动盖板53以另外两个绕杆51为圆心逆时针转动，同时会利用外力通过另外两个绕杆51带动H板52以N板50两侧安装的绕杆51为圆心逆时针转动，使H板52可以与N板50的底部平行，同时使盖板53转动后放置到框板46的顶部，之后在顶板47的支撑下移动连接带54，使连接带54带动磁铁55放置到铁盘48的顶部，使磁铁55利用磁力吸附在铁盘48的顶部，并利用磁力固定连接带54的位置，使连接带54可以与盖板53、框板46、H板52和N板50配合罩住键盘9，从而使键盘9得到防护，不会被外力按压误触。

[0055] 进一步，在步骤S2中，还包括如下步骤：

[0056] S21、工作人员可以根据实际情况的需要在支座28和晶圆架31的支撑下启动电机34，使电机34带丝杆35转动，同时丝杆35会利用旋转动力和与螺纹环36的螺纹作用推动螺纹环36前后移动，使螺纹环36在外力的作用下通过支杆37推动推头38，使推头38可以在外力的作用下推动推杆33前后移动，同时推杆33会在其中一个晶圆架31的支撑导向作用下带动另一个晶圆架31一同左右移动，同时该晶圆架31则会带动导杆30沿着导槽29一同移动，从而使两个晶圆架31之间的间距可以移动到合适大小，使两个晶圆架31与插槽32配合可以放置相应尺寸的晶圆。

[0057] 工作原理：在使用该装置前需要检查该装置是否存在影响使用的问题，当工作人员需要使用该装置时应先将该装置利用万向轮2移动并放置到工作地点处，随后为该装置通电，操作开关7启动该装置，并打开显示屏6并根据显示屏6上显示的内容为参考操作键盘9和鼠标10调控该装置的运行参数，再根据实际情况的需要启动马达20调节两个晶圆架31之间的间隙，并将需要检测的相应尺寸的晶圆放置到插槽32的内侧放置，使机械臂13利用夹持端夹持待检测的晶圆并放置到对应位置处的定位槽27的内侧，再启动电机34控制滑座
26左右移动，使晶圆可以精确移动到摄像头15和检测头16的对应位置处进行检测工作，检测合格的机械臂13会夹取并放回插槽32之间使晶圆架31支撑，检测不合格的则会被机械臂
13夹取移动放置到斜槽43的内侧并储存到储盒44的内侧。

[0058] 对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视位置限制所涉及的权利要求。