[0001] 本揭示内容涉及一种用于测试半导体或类似待测试目标的电特性的测试装置。

[0002] 在制造半导体或类似电子产品的过程中，需要一种用于测试最终制造的电子产品的电特性的测试装置。当测试电子产品时，在测试装置中产生热量。在此情况下，所产生热量通过在测试期间提高电阻而降低测试的可靠性，且通过短路内部电路造成产品失效。因此，快速散热对于测试功率半导体、车载半导体以及系统半导体至关重要。

[0003] 待测试的特定目标需要在极端环境下对电特性进行测试。为此目的，测试装置包含用以创造极端环境的加热元件或冷却元件。当通过加热元件或冷却元件突然改变温度时，测试装置可能超出设定的测试温度。同时，热空气或冷空气可能引入至配置有多个测试装置的测试室中，以使得测试装置可快速达到设定的温度范围。然而，热空气或冷空气的效果视在测试室中的位置而变化，且因此存在测试室中的多个测试装置在不同时间达到设定温度而不同时满足设定温度条件的问题。

[0025] 在下文中，将参考附图详细地描述本揭示内容的实施例。为便于描述，通过从附图或详细描述中排除与本揭示内容不直接相关的部分，仅描述相关部分来理解本揭示内容，且相同标号通篇指代相同元件。

[0026] 可不揭示对所属领域中技术人员显而易见的详细描述。在本揭示内容中，术语，诸如第一、第二等用于区分一个元件与另一元件及其之间的实际关系或次序，但并不意指其之间的实际关系或次序。

[0027] 图1示出根据本揭示内容的实施例的测试装置1中的热屏蔽盖40的关闭状态，图2示出图1的测试装置1中的热屏蔽盖40的打开状态，图3为自上方查看的图1的测试装置1的分解透视图，以及图4为自下方查看的图1的测试装置1的分解透视图。

[0028] 参考图1至4，测试装置1包含测试插座10、推动器主体20，推动器单元30、热屏蔽盖40、加热器50以及温度感测器60。

[0029] 测试插座10包含插座框架11、安装至插座框架11且支撑多个可弹性伸缩的探针的探针支撑件12以及安置于探针支撑件12上且容纳半导体或类似电子产品(在下文称为“待测试目标”)的插入件13。此测试插座10仅作为描述的实例进行描述，且其结构不仅仅限于前述结构。

[0030] 测试插座10包含与推动器主体20绞接的铰链销14，及推动器主体20(稍后将描述)的插销22卡在其中的锁15。

[0031] 待测试目标包含待测试的多个凸块或接触点，且可利用层迭半导体，如封装上封装(package‑on‑package；POP)半导体。待测试目标容纳于插入件13中以使得其端子可对应于通过探针支撑件12支撑的探针。如上文所容纳的待测试目标在通过推动器单元30(稍后将描述)推动时朝向对应探针移动，且在其端子与探针接触时进行测试。

[0032] 推动器主体20枢转地耦接至测试插座10的一侧以便打开及关闭测试插座10的顶部，亦即插入件13。推动器主体20包含设置于一侧处的铰链耦接部分21、设置于另一侧处的插销22以及用于在测试时操作推动器单元30的控制杆23。

[0033] 推动器主体20包含推动器容纳部分25，以在其中间中容纳推动器单元30。

[0034] 推动器主体20包含保持销26以将热屏蔽盖40保持且支撑于其顶部上。

[0035] 推动器单元30容纳且支撑于推动器主体20的推动器容纳部分25中，以朝向负载至测试插座10的插入件13中的待测试目标移动且与所述待测试目标分离。

[0036] 推动器单元30包含形似板的推动器基底31、设置于推动器基底31的底部上的推动器32以及设置于推动器基底31的顶部上的散热器33。

[0037] 推动器32接近待测试目标且与其接触，以由此在测试期间按压待测试目标。在此情况下，待测试目标的端子可与探针接触。

[0038] 散热器33将在测试期间产生的热量及通过加热器50产生的热量散发至外部，由此控制测试插座10的温度。

[0039] 推动器单元30包含自推动器基底31的横向侧水平地向内凹陷且在其中容纳加热器50的加热器容纳部分34。

[0040] 推动器单元30包含在其中心处竖直凹陷的感测器安装部分35，温度感测器60安装至所述感测器安装部分35。

[0041] 设置热屏蔽盖40以屏蔽散热器33的顶部，换言之，屏蔽推动器容纳部分25的顶部。热屏蔽盖40可在如图1中所绘示的关闭位置或如图2中所绘示的打开位置处操作。换言之，热屏蔽盖40可根据打开/关闭程度来调整自测试插座10散发的热量的量。

[0042] 加热器50加热推动器单元30以满足测试温度条件。

[0043] 温度感测器60感测测试插座10中的温度。

[0044] 图5为示出分离图1的热屏蔽盖40的透视图，图6为自上方查看的图5的热屏蔽盖40的分解透视图，以及图7为自下方查看的图5的热屏蔽盖40的分解透视图。

[0045] 参考图5至7，热屏蔽盖40包含通过轴44彼此耦接的静止叶片41、第一可变叶片42以及第二可变叶片43。第一可变叶片42及第二可变叶片43耦接至静止叶片41以便可相对于轴44旋转。

[0046] 静止叶片41通过保持销26固定至推动器主体20的顶部。静止叶片41包含具有相对于轴44对称的第一扇形屏蔽件及第二扇形屏蔽件的第一屏蔽部分411及第二屏蔽部分412，以及自第一扇形屏蔽件及第二扇形屏蔽件的径向外端弯曲并向下延伸以形成与推动器主体20的顶部接触的圆周屏蔽壁的第一裙状部分413及第二裙状部分414。

[0047] 静止叶片41包含第一扇形屏蔽件与第二扇形屏蔽件之间的第一轴孔416，轴44穿过所述第一轴孔416。

[0048] 静止叶片41包含自第一屏蔽部分411的第一扇形屏蔽件的顶部突起的第一导向突起417，及自第二屏蔽部分412的第二扇形屏蔽件的顶部突起的第二导向突起418。第一导向突起417及第二导向突起418相对于轴44对称地安置。

[0049] 静止叶片41包含设置于第一扇形屏蔽件的一个径向端部分且限制第一可变叶片42的旋转的第一停止器419‑1，及设置于第二扇形屏蔽件的另一个径向端部分且限制第一可变叶片42的旋转的第二停止器419‑2。第一停止器419‑1及第二停止器419‑2相对于轴44对称地安置。

[0050] 第一可变叶片42通过轴44可旋转地耦接至静止叶片41的第一轴孔416。第一可变叶片42包含相对于轴44对称地设置且分别具有第三扇形屏蔽件及第四扇形屏蔽件的第三屏蔽部分421及第四屏蔽部分422，以及自第三扇形屏蔽件及第四扇形屏蔽件的径向外端弯曲并向下延伸以分别与静止叶片41的圆周端表面接触且形成圆周屏蔽壁的第三裙状部分423及第四裙状部分424。

[0051] 第一可变叶片42包含第三扇形屏蔽件与第四扇形屏蔽件之间的第二轴孔426，轴44穿过所述第二轴孔426。

[0052] 第一可变叶片42包含自第三屏蔽部分421的第三扇形屏蔽件的顶部突起的第三导向突起428，及自第四屏蔽部分422的第四扇形屏蔽件的顶部突起的第四导向突起429。第三导向突起428及第四导向突起429相对于轴44对称地安置。

[0053] 第一可变叶片42包含沿其圆周外端部分自第三屏蔽部分421的第三扇形屏蔽件的底部凹陷的第一导向凹槽425，及沿其圆周外端部分自第四屏蔽部分422的第四扇形屏蔽件的底部凹陷的第二导向凹槽427。第一导向凹槽425及第二导向凹槽427分别容纳静止叶片41的第一导向突起417及第二导向突起418以可移动。

[0054] 第二可变叶片43通过轴44可旋转地耦接至第一可变叶片42的第二轴孔426。第二可变叶片43包含具有相对于轴44对称地设置的第五扇形屏蔽件及第六扇形屏蔽件的第五屏蔽部分431及第六屏蔽部分432，以及自第五扇形屏蔽件及第六扇形屏蔽件的径向外端弯曲并向下延伸以分别与第一可变叶片42的圆周端部分接触且形成圆周屏蔽壁的第五裙状部分433及第六裙状部分434。

[0055] 第二可变叶片43包含第五扇形屏蔽件与第六扇形屏蔽件之间的轴突起436，轴44容纳且紧固至所述轴突起436中。轴突起436容纳于第一可变叶片42的第二轴孔426及静止叶片41的第一轴孔416中。静止叶片41、第一可变叶片42以及第二可变叶片43通过轴突起436彼此耦接。

[0056] 第二可变叶片43包含沿其圆周外端部分自第五屏蔽部分431的第五扇形屏蔽件的底部凹陷的第三导向凹槽435，及沿其圆周外端部分自第六屏蔽部分432的第六扇形屏蔽件的底部凹陷的第四导向凹槽437。第三导向凹槽435及第四导向凹槽437分别容纳第一可变叶片42的第三导向突起428及第四导向突起429以可移动。

[0057] 如上文所描述，在根据本揭示内容的实施例的测试装置中，当第一可变叶片42或第二可变叶片43相对于覆盖散热器33的静止叶片41旋转时，热屏蔽盖40调整散热器33暴露于外部的程度。因此，根据暴露程度调整散热器33的散热效率。

[0058] 在根据本揭示内容的测试装置中，设置热屏蔽盖以覆盖推动器单元的散热器，且控制热屏蔽盖的打开/关闭程度，由此控制影响测试装置的外部温度。因此，配置于单个测试室中的多个测试装置根据其位置来调整热屏蔽盖的打开/关闭程度，以使得可在相同温度条件下进行测试。

[0059] 在前述描述中，本揭示内容的优点已参考特定实施例来描述。然而，对所属领域中技术人员将显而易见的是，可在不脱离如所附申请权利要求中所定义的本揭示内容的范畴的情况下进行各种修改及改变。因此，描述及附图需要理解为本揭示内容的实例而非本揭示内容的限制。所有此类修改应该在本揭示内容的范畴内进行。