具体技术细节
[0012] 为解决上述现有技术存在的问题，本发明提供一种超纯水制备双水循环设备及其双循环控制方法。通过一种并不明显增加额外成本的方式，在仅消耗少量电能的情况下，降
低纯水箱内存水的总有机碳TOC，为后段超纯系统创造最佳给水总有机碳TOC条件；且可控
制水箱存水的微生物指标在较低水平，防止后段污染。
[0013] 为达成上述目的，本发明采用如下技术方案：
[0014] 一种超纯水制备双循环设备，包括连接超纯水制备控制中心的纯水箱、第一水循环系统和第二水循环系统；其中，
[0015] 第一水循环系统，包括循环泵、在线过流式双波长紫外灯、在线超纯柱、在线电导率仪，及第一动力阀门组；所述循环泵连接纯水箱，所述在线过流式双波长紫外灯连接循环
泵和在线超纯柱，所述在线超纯柱连接一在线电导率仪；所述在线电导率仪连接取水阀门；
所述第一动力阀门组包括相接的第一电磁阀和第一单向阀，第一电磁阀的另一端连接在在
线电导率仪与取水阀门之间的管路上；所述第一单向阀的另一端连接在纯水箱和循环泵之
间的管路上；当取水阀门不工作时,所述第一水循环系统通过所述第一动力阀门组保持脉
冲循环模式；
[0016] 第二水循环系统，包括第二电磁阀和第二单向阀；所述第二单向阀的一端连接纯水箱，另一端连接所述第二电磁阀；所述第二电磁阀的另一端连接在在线过流式双波长紫
外灯和在线超纯柱之间的管路上。
[0017] 如上所述的一种超纯水制备双循环设备，所述纯水箱的顶部设有循环水口，所述纯水箱的底部设有出水口；所述循环水口连接到第二水循环系统，所述出水口连接到循环
泵。
[0018] 如上所述的一种超纯水制备双循环设备，所述超纯水制备双循环设备的双循环控制方法是，当第一水循环系统处于脉冲循环模式时，第二电磁阀开启，第一电磁阀关闭；且
循环泵启动，在线过流式双波长紫外灯开启，以保持纯水箱内的存水通过第二水循环系统
在第二水循环回路中持续循环15‑30min；当纯水箱T内的存水持续循环计时结束，循环泵和
在线过流式双波长紫外灯断电，第二电磁阀关闭，第一电磁阀开启；然后，所述循环泵和在
线过流式双波长紫外灯再次通电，直至纯水箱T内的存水切换回到第一水循环系统的内循
环状态；直至下一个循环周期，如此往复即可。
[0019] 本发明提供的技术方案具有如下有益效果：
[0020] 一是，与传统超纯水制备系统相比，本发明超纯水制备设备在线过流式双波长紫外灯后、在线超纯柱前增加了一个第二水循环系统，以形成连接纯水箱的第二水循环回路，
并通过电磁阀组进行主/支路切换；使纯水箱中的存水不再是死水条件，而是被紫外线进行
周期性杀菌，TOC指标的下降也对抑制微生物的繁殖起到了积极的作用；给水条件的大幅改
善，对后段制备超纯水的指标稳定，起到了关键性的作用。同时，也大幅降低了除TOC滤料的
工作负荷、从而达到延长柱效、降低运行成本的作用。
[0021] 二是，本发明第二水循环系统增加的成本极低，仅为一个电磁阀和一个单向阀，及部分管件成本。
[0022] 三是，本发明第二水循环系统所用的功耗极低，以常规小型实验室超纯水系统为例，平均每小时对水箱循环15min，增加功耗约11W/小时(循环泵6W+在线过流式双波长紫外
灯3.5W+电磁阀1.5W。
[0023] 四是，本发明超纯水制备设备对水箱存水TOC的降低明显且高效(参见图3),对于体积为30L、TOC≈80ppb的纯水而言，使用14W的双波长紫外，1.5LPM流速条件下，仅用40min
时间即可将其TOC降低至15ppb，降幅高达80％。
[0024] 五是，本发明第二水循环系统连接在在线过流式双波长紫外灯U后、在线超纯柱D前，对纯水箱水循环回路不流经超纯柱，不会对超纯柱寿命造成额外的损耗，不明显改变水
箱存水的电导率指标。
[0025] 六是，本发明超纯水制备设备通过设置在水箱顶部的循环水口连接第二水循环系统，通过设置在纯水箱底部的出水口出水，以获得充分的水体循环。
法律保护范围
涉及权利要求数量3：其中独权1项，从权-1项
1.一种超纯水制备双循环设备，其特征是，包括连接超纯水制备控制中心的纯水箱、第一水循环系统和第二水循环系统；其中，
第一水循环系统，包括循环泵(P)、在线过流式双波长紫外灯(U)、在线超纯柱(D)、在线电导率仪(C)，及第一动力阀门组；所述循环泵(P)连接纯水箱(T)，所述在线过流式双波长紫外灯(U)连接循环泵(P)和在线超纯柱(D)，所述在线超纯柱(D)连接一在线电导率仪(C)；
所述在线电导率仪(C)连接取水阀门；所述第一动力阀门组包括相接的第一电磁阀(A)和第一单向阀(B)，第一电磁阀(A)的另一端连接在在线电导率仪(C)与取水阀门之间的管路上；
所述第一单向阀(B)的另一端连接在纯水箱(T)和循环泵(P)之间的管路上；当取水阀门不工作时,所述第一水循环系统通过所述第一动力阀门组保持脉冲循环模式；
第二水循环系统，包括第二电磁阀(E)和第二单向阀(F)；所述第二单向阀(F)的一端连接纯水箱(T)，另一端连接所述第二电磁阀(E)；所述第二电磁阀(E)的另一端连接在在线过流式双波长紫外灯(U)和在线超纯柱(D)之间的管路上。
2.根据权利要求1所述的一种超纯水制备双循环设备，其特征是，所述纯水箱(T)的顶部设有循环水口，所述纯水箱(T)的底部设有出水口；所述循环水口连接到第二水循环系统，所述出水口连接到循环泵(P)。
3.根据权利要求1所述的一种超纯水制备双循环设备，其特征是，所述超纯水制备双循环设备的双循环控制方法是，当第一水循环系统处于脉冲循环模式时，第二电磁阀(E)开启，第一电磁阀(A)关闭；且循环泵(P)启动，在线过流式双波长紫外灯(U)开启，以保持纯水箱(T)内的存水通过第二水循环系统在第二水循环回路中持续循环15‑30min；当纯水箱(T)内的存水持续循环计时结束，循环泵(P)和在线过流式双波长紫外灯(U)断电，第二电磁阀(E)关闭，第一电磁阀(A)开启；然后，所述循环泵(P)和在线过流式双波长紫外灯(U)再次通电，直至纯水箱(T)内的存水切换回到第一水循环系统的内循环状态；直至下一个循环周期，如此往复即可。
