技术领域
[0001] 本发明涉及半导体器件检测领域，尤其是涉及一种样品处理设备。
相关背景技术
[0002] 在对例如封装器件等样品进行失效检测时，需要通过酸液去除封装器件外部的封装体以暴露其内部结构，上述操作通常由实验人员完成，具体是实验人员将样品放入存放有酸液的容器内浸泡一定时间后，再将浸泡后的样品取出清洗，为了减少实验人员手动操作时存在的安全隐患，目前市面上还存在自动处理设备，能够通过机械手将样品移入与移出酸槽，然而，机械手在工作过程中容易因接触酸液而发生腐蚀，需要频繁地维护甚至更换机械手，增加了自动处理设备使用成本。
具体实施方式
[0061] 下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
[0062] 在本发明的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
[0063] 在本发明的描述中，若干的含义是一个以上，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
[0064] 本发明的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应作广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本发明中的具体含义。
[0065] 本发明的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
[0066] 相关技术中通常采用酸蚀的方法去除封装器件外部的模封体，酸蚀所用的酸液常见的是由硫酸与硝酸配置成的混合液，具有极高的腐蚀性，为了降低实验人员的操作风险，市面上存在自动化设备，能够通过例如机械手等机械装置实现样品在酸蚀工艺中的转移，然而，高腐蚀性的酸液同样会对机械手造成损害，导致需要频繁地维护或者更换机械手，增加后期维护成本，如果采用耐腐蚀性材料制备机械手，则需要增加制造成本，基于上述问题，本发明提出了一种样品处理设备，通过设置第一移料组件与第二移料组件进行中转，能够减少机械手与酸液的接触，延长机械手的使用寿命，以下结合附图进行具体说明。
[0067] 参照图1至图3，样品处理设备包括机架组件100以及连接于机架组件100的上料组件200、下料组件300、第一移料组件400与第二移料组件500，上料组件200、下料组件300、第一移料组件400与第二移料组件500均具有能够主动运动的运动部件，以实现样品的转移。
[0068] 参照图3，机架组件100包括处理区101，待处理的样品能够在处理区101执行相应的处理，需要说明的是，本发明所称的处理可以包括单个处理步骤，也可以包括多个处理步骤，无论哪一种情形，对样品的处理至少包括酸蚀步骤，在另一些实施例中，除了酸蚀步骤之外，还可以包括清洗、烘干等其他步骤，因此，当描述对样品进行处理或者待处理的样品时，如没有特殊说明，可以理解为对样品进行酸蚀，也可以理解为对样品进行清洗或者烘干等。此外，已处理的样品是指完成了处理区101内全部的处理环节，能够由下料组件300执行下料的样品。
[0069] 还需要说明的是，前述处理区101是为了界定其功能而划分的虚拟区域，处理区101内部设置有实现相应处理功能的装置，处理区101的形状与大小不做限定。具体而言，处理区101内至少设置有酸槽110，酸槽110用于存放酸蚀用的酸液，其由耐腐蚀性材料制成。
以图示为例，酸槽110的顶部具有开口，该开口用于供样品进出酸槽110。
[0070] 上料组件200、下料组件300、第一移料组件400与第二移料组件500分别承担不同的功能，其中，上料组件200用于获取待处理的样品，并将待处理的样品(需要说明的是，此处的待处理样品具体指待酸蚀的样品)转移至第一移料组件400，第一移料组件400能够将待处理的样品转移至第二移料组件500，第二移料组件500能够将待处理的样品转移至处理区101执行相应的处理，以及能够将已处理的样品转移至第一移料组件400，下料组件300能够从第一移料组件400转移已处理的样品。
[0071] 基于上述，样品处理设备被配置为能够完成以下操作：首先通过上料组件200将待处理的样品转移至第一移料组件400，待处理的样品由第一移料组件400转移至第二移料组件500，并由第二移料组件500转移至处理区101进行酸蚀等处理，处理完成后的样品再由第二移料组件500转移至第一移料组件400，并最终由下料组件300移出。能够理解的是，第二移料组件500需要驱动样品进行酸蚀，因此其接触酸液的概率最高，本实施例通过设置第一移料组件400接收来自上料组件200的待处理样品，并向下料组件300输出已处理的样品，使得上料组件200与下料组件300不会直接接触第二移料组件500，更不会直接接触酸槽内110的酸液，实现上料组件200、下料组件300与酸液在空间上的隔离，能够改善上料组件200、下料组件300腐蚀受损的问题，延长上料组件200、下料组件300的使用寿命，减少维护成本，同时，上料组件200、下料组件300无需采用耐腐蚀性材料制备，也能够降低自动化设备的生产成本。
[0072] 在一些实施例中，参照图2，处理区101还设置有存放清洗液的清洗槽120，经过酸蚀后的样品能够进入清洗槽120内进行清洗，从而去除残留在样品上的酸液，清洗液可以是水，也可以是丙酮等试剂。本实施例中，清洗槽120与酸槽110沿第一水平方向排布，第一水平方向可以是图中从左至右的方向。
[0073] 当设置有酸槽110与清洗槽120时，为便于描述，参照图3，可以将与上料组件200对应的区域定义为上料工位A，将与酸槽110对应的区域定义为酸蚀工位B，将与清洗槽120对应的区域定义为清洗工位C，将与下料组件300对应的区域定义为下料工位D，上料工位A、酸蚀工位B、清洗工位C与下料工位D沿第一水平方向依次设置，其中，上料组件200能够在上料工位A将待处理的样品转移至第一移料组件400，第二移料组件500能够在酸蚀工位B与清洗工位C分别进行样品的酸蚀与清洗，下料组件能够在下料工位D从第一移料组件400转移已处理的样品。
[0074] 本实施例中，第一移料组件400能够沿第一水平方向依次承载待酸蚀的样品、待清洗的样品与已处理的样品，并能够同步驱动待酸蚀的样品、待清洗的样品与已处理的样品沿第一水平方向移动，从而使待酸蚀的样品从与上料工位A移动至酸蚀工位B，使待清洗的样品从酸蚀工位B移动至与清洗工位C，以及使已处理的样品从清洗工位C移动至与下料工位D，也即，第一移料组件400除了能够实现样品在上料组件200与第二移料组件500之间的中转，以及下料组件300与第二移料组件500之间的中转之外，还能够在不同工位之间同步运输不同处理阶段的样品。
[0075] 作为实现上述方案的一种具体实施方式，首先分别介绍第一移料组件400与第二移料组件500，参照图4，第一移料组件400包括第一支架410与第一动力装置450，第一支架410连接于第一动力装置450的输出端，从而能够通过第一动力装置450驱动而沿第一水平方向移动。第一动力装置450可以是主要由电机与同步带组成的动力装置，也可以是主要由电机与丝杆组成的动力装置，也可以是气缸。
[0076] 第一移料组件400还包括沿第一水平方向依次连接于第一支架410的第一移料部件420、第二移料部件430与第三移料部件440，其中，第一移料部件420用于承载待酸蚀的样品，第二移料部件430用于承载待清洗的样品，第三移料部件440用于承载已处理的样品，第一移料部件420、第二移料部件430与第三移料部件440的结构可以相同，也可以不同，以图示为例，第一移料部件420、第二移料部件430与第三移料部件440均包括挂钩结构，待处理的样品800可以先通过耐腐蚀的绳索串联，然后将绳索悬挂于挂钩之上，在另一些实施例中，待处理的样品800也可以放置在耐腐蚀且箱壁开设有通孔的箱体内，例如石英箱内，然后将箱体悬挂于挂钩之上。
[0077] 参照图5，第二移料组件500包括第二支架510与未示出的第二动力装置，第二支架510连接于第二动力装置的输出端，从而能够通过第二动力装置驱动而沿竖直方向移动。第二动力装置可以是主要由电机与同步带组成的动力装置，也可以是主要由电机与丝杆组成的动力装置，也可以是气缸。
[0078] 第二移料组件500还包括沿第一水平方向依次连接于第二支架510的第一升降部件520与第二升降部件530，参照图6、图7，第一升降部件520位于酸蚀工位B，用于承载并驱动待酸蚀的样品进入酸槽110，第二升降部件530位于清洗工位C，用于承载并驱动待清洗的样品进入清洗槽120。类似的，第一升降部件520与第二升降部件530均包括挂钩结构。
[0079] 以下结合第一移料组件400与第二移料组件500的结构描述本实施例的运动过程：
[0080] 第一支架410在第一动力装置450的驱动下能够在第一位置与第二位置之间往复移动，参照图6，当第一支架410处于第一位置时，第一移料部件420位于上料工位A，第二移料部件430位于酸蚀工位B，第三移料部件440位于清洗工位C，此时，上料组件200能够将待酸蚀的样品转移至第一移料部件420，第一升降部件520能够将待清洗的样品转移至第二移料部件430，第二升降部件530能够将已处理的样品转移至第三移料部件440，也即，此时的第一移料组件400沿第一水平方向依次承载待酸蚀的样品、待清洗的样品与已处理的样品。
[0081] 当第一支架410沿第一水平方向移动至第二位置时，第一移料部件420位于酸蚀工位B，第二移料部件430位于清洗工位C，第三移料部件440位于下料工位D，此时，第一移料部件420能够将待酸蚀的样品转移至第一升降部件520，以便第一升降部件520驱动待酸蚀的样品进入酸槽110进行酸蚀，第二移料部件430能够将待清洗的样品转移至第二升降部件530，以便第二升降部件530驱动待清洗的样品进入清洗槽120进行清洗，下料组件300能够从第三移料部件440转移已处理的样品。
[0082] 基于上述，通过第一支架410在第一位置与第二位置之间的直线往复移动，可以持续地将不同处理阶段的样品转移至对应的处理工位进行处理，转移效率高，无须设置多组动力装置，结构简单，有助于降低设备的生产成本。
[0083] 在一些实施例中，第一移料组件400与第二移料组件500通过运动部件之间沿竖直方向的移动实现样品的交换，具体是，第一移料组件400包括能够沿第二水平方向在第三位置与第四位置之间移动的移料部件，第二水平方向与第一水平方向相交，更具体是相互垂直。第二移料组件500包括能够沿竖直方向在第五位置与第六位置移动的升降部件。需要说明的是，此处的移料部件可以是前述实施例中的第一移料部件420、第二移料部件430、第三移料部件440中的任一个，升降部件可以是前述实施例中第一升降部件520与第二升降部件530中的任一个。
[0084] 以图中所示为例，第一移料组件400还包括第三动力装置，第三动力装置与各移料部件对应设置，用于分别驱动移料部件在第三位置与第四位置之间移动，也即，各移料部件能够跟随第一支架410整体在第一位置与第二位置之间移动，同时，移料部件能够由第三动力装置驱动而独立在第三位置与第四位置之间移动。第三动力装置可以是气缸。
[0085] 基于上述结构，以图8中的第二移料部件430与第一升降部件520为例进行说明，参照图8，当第二移料部件430处于第三位置时，第二移料部件430与第一升降部件520在水平方向(如图中的左右方向)上错开，第一升降部件520能够带动样品沿竖直方向自由移动，从而能够将样品送入酸槽110进行酸蚀，以及带动酸蚀后的样品脱离酸槽110。
[0086] 参照图9，当第二移料部件430处于第四位置，第一升降部件520承载有已经经过酸蚀并等待清洗的样品，且第一升降部件520位于第二移料部件430上方的第五位置时，随着第一升降部件520从上往下的移动，第一升降部件520沿竖直方向越过第二移料部件430，第一升降部件520上承载的样品转移至第二移料部件430。
[0087] 参照图10，当第二移料部件430处于第四位置，第二移料部件430承载有待酸蚀的样品，且第一升降部件520位于第二移料部件430下方的第六位置时，随着第一升降部件520从下往上的移动，第一升降部件520沿竖直方向越过第二移料部件430，第二移料部件430上承载的样品转移至第一升降部件520。
[0088] 本实施例中，升降部件的升降一方面可以使样品进出酸槽110或者清洗槽120，另一方面又可以实现样品在移料部件与升降部件之间的转移，对于升降部件而言，其只需沿竖直方向移动，因此只需设置一个动力装置，能够简化第二移料组件500的结构，以及对升降部件的控制。
[0089] 以下结合图11说明转移部件与升降部件之间进行样品转移的一种具体方案，如图所示，以第二移料部件430与第一升降部件520为例进行说明，多个样品通过连接件900进行连接，连接件900具有一定的强度，能够保持一定的形状，以图中所示为例，连接件900包括倾斜段910与连接段920，倾斜段910与连接段920均设置为两个，两个倾斜段910的顶端相互连接以形成挂接部930，连接段920连接于倾斜段910的下端，样品通过焊接等方式固定在连接段920上。第二移料部件430与第一升降部件520均包括挂钩，连接件900能够通过挂接部930挂接于第二移料部件430的挂钩或者第一升降部件520的挂钩。
[0090] 第二移料部件430的挂钩与第一升降部件520的挂钩之间沿水平方向相互错开，避免二者发生干涉，同时，连接件900配置为：当第二移料部件430悬挂连接件900时，第一升降部件520背向第二移料部件430的一侧与样品之间间隔设定的距离，保证第一升降部件520不会触碰到样品；当第一升降部件520悬挂连接件900时，第二移料部件430背向第一升降部件520的一侧与样品之间间隔设定的距离，保证第二移料部件430不会触碰到样品；如此，能够减少第二移料部件430与第一升降部件520接触酸液的几率。
[0091] 图11中，连接件900悬挂在第二移料部件430上，且第二移料部件430位于第四位置，第一升降部件520位于第二移料部件430的一侧，且位于第六位置，随着第一升降部件520向上移动，第一升降部件520的挂钩会与连接件900一侧的倾斜段910接触，随着第一升降部件520的进一步上升，第二移料部件430与连接件900脱离，连接件900相对第一升降部件520发生滑动，使得第一升降部件520的挂钩最终挂接于连接件900的挂接部930，从而完成样品从第二移料部件430向第一升降部件520的转移。
[0092] 结合前述结构，以下参照图6、图7描述本发明一具体实施例中的工作流程：
[0093] 一、第一支架410处于第一位置，上料组件200在上料工位A向第一移料部件420转移待酸蚀的样品(如图6所示)。
[0094] 二、第一支架410沿第一水平方向移动至第二位置，第一移料部件420沿第二水平方向移动至第四位置，第一升降部件520从第六位置向上移动至第五位置，第五位置比第四位置高，从而从第一移料部件420上转移待酸蚀的样品(如图7、图10所示)。
[0095] 三、第一移料部件420复位至第三位置，第一支架410复位至第一位置，第一升降部件520从第五位置向下移动至第六位置，从而将待酸蚀的样品浸入酸液进行酸蚀(如图6、图8所示)。
[0096] 四、上料组件200在上料工位A再次向第一移料部件420转移待酸蚀的样品，同时，第一升降部件520等待酸槽110内的样品处理完成之后，带动样品(待清洗的样品)向上移动至第五位置，然后第二移料部件430移动至第四位置，第一升降部件520再向下移动至第六位置，从而将待清洗的样品转移至第二移料部件430(如图6、图9所示)。
[0097] 五、第二移料部件430复位至第三位置，第一支架410再次移动至第二位置，第一移料部件420与第一升降部件520按照步骤二中的方式将待酸蚀的样品从第一移料部件420转移至第一升降部件520。在此过程中，同时完成第二移料部件430移动至第四位置，第二升降部件530从第六位置向上移动至第五位置，从而从第二移料部件430上转移待清洗的样品(如图7、图10所示)。
[0098] 六、第一移料部件420与第二移料部件430复位至第三位置，第一支架410复位至第一位置，第一升降部件520从第五位置向下移动至第六位置，从而将待酸蚀的样品浸入酸液进行酸蚀，第二升降部件530从第五位置向下移动至第六位置，从而将待清洗的样品浸入清洗液进行清洗(如图6、图8所示)。
[0099] 七、上料组件200在上料工位A再次向第一移料部件420转移待酸蚀的样品。第一升降部件520与第二移料部件430按照步骤四中的方式将待清洗的样品从第一升降部件520转移至第二移料部件430。通常样品的清洗时间短于酸蚀时间，当酸槽110内的样品处理完成之后，清洗槽120内的样品也处理完成，随着第一升降部件520的上升，第二升降部件530同时带动样品(已清洗的样品)向上移动至第五位置，然后第三移料部件440移动至第四位置，第二升降部件530再向下移动至第六位置，从而将已处理的样品转移至第三移料部件440(如图6、图9所示)。
[0100] 八、第一移料部件420、第二移料部件430与第三移料部件440复位至第三位置，第一支架410再次移动至第二位置，第一移料部件420与第一升降部件520按照步骤二中的方式将待酸蚀的样品从第一移料部件420转移至第一升降部件520，第二移料部件430与第二升降部件530按照步骤五中的方式将待清洗的样品从第二移料部件530转移至第二升降部件530，下料组件300则在下料工位D从第三移料部件440上转移已处理的样品。
[0101] 九、第一移料部件420、第二移料部件430与第三移料部件440复位至第三位置，第一支架410复位至第一位置，重复上述步骤七与八，即可实现连续工作。
[0102] 在一些实施例中，第一移料组件400包括第一支架410与移料部件，移料部件可以是前述第一移料部件420、第二移料部件430、第三移料部件440中的任意一个，移料部件由耐腐蚀材料制成且可拆卸连接于第一支架410。移料部件具体可以采用螺纹紧固件等方式与第一支架410可拆卸的连接。耐腐蚀性材料可以选用钛合金等。
[0103] 在一些实施例中，第二移料组件500包括第二支架510与升降部件，升降部件可以是前述第一升降部件520与第二升降部件530中的任意一个，升降部件由耐腐蚀材料制成且可拆卸连接于第二支架510。升降部件具体可以采用螺纹紧固件等方式与第二支架510可拆卸的连接。耐腐蚀性材料可以选用钛合金等。
[0104] 需要说明的是，上述实施例一方面通过耐腐蚀材料延长移料部件、升降部件的使用寿命，另一方面在移料部件、升降部件发生损坏时能够进行更换。还需要说明的是，与成本较高的上料组件、下料组件相比，移料部件、升降部件的结构简单，体积较小，更换成本低，因此也有利于降低自动化设备的维护成本。
[0105] 在一些实施例中，上料组件200与下料组件均包括多轴机械手，多轴机械手灵活度高，能够实现样品的自由移动，但其成本较高，频繁维护或者更换会显著提升成本，因此本发明通过设置第一移料组件400与第二移料组件500进行物料的中转，使得自动化设备既可以使用机械手进行灵活移料，又能够控制成本。
[0106] 在一些实施例中，样品处理设备可以调整不同批次样品的酸蚀时间，具体是，第二移料组件能够驱动多组待酸蚀的样品通过酸槽110依次完成酸蚀(需要说明的是，每一组样品包括至少一个样品)，也即，在不更换酸液的情况下，等待前一组样品酸蚀完成之后，再放入后一组的样品进行酸蚀，并且，后一组样品的酸蚀时间长于前一组样品的酸蚀时间，如此，即使酸液随着处理次数的增加趋于饱和，酸蚀能力下降，也能够通过延长酸蚀时间的方式保证酸蚀效果。
[0107] 需要说明的是，可以是预先在样品处理设备的控制器中输入不同批次样品的不同浸泡时间，控制器基于预先输入的指令对第一升降部件520进行控制，也可以设置传感器实时检测酸液的酸蚀能力(例如检测酸液中的离子含量)，控制器基于实时检测的信息对第一升降部件520进行控制。
[0108] 以下通过一组数据进行示例性的说明，酸液体积为250ml，样品总数为40，分为4组，每组10个，其中，第一组的浸泡时间为8分钟，第二组的浸泡时间为9分钟，第三组的浸泡时间为11分钟，第四组的浸泡时间为15分钟，可见，随着酸液酸蚀能力的下降，每一组的浸泡时间相应延长。
[0109] 在一些实施例中，样品处理设备还包括第一加热装置600，第一加热装置600与酸槽110导热连接，用于对酸槽110内的酸液进行加热，其中，在样品处理设备处于待机状态时，第一加热装置600能够将酸槽110内的酸液加热至第一温度，而当需要对样品进行酸蚀时，第一加热装置600再将酸槽110内的酸液加热至第二温度，其中第二温度大于第一温度，也即，本实施例的第一加热装置600能够对酸液进行预热，从而在使用时能够将酸液温度快速提升至工作温度，减少等待时间。
[0110] 在一些实施例中，参照图12，样品处理设备还包括第一加热装置600，第一加热装置600与酸槽110导热连接，用于对酸槽110内的酸液进行加热，其中，第一加热装置600能够对酸槽110的至少两侧进行加热，从而保证升温速度与温度的均匀性，例如，第一加热装置600可以对酸槽110的底部以及各侧壁进行加热。
[0111] 在一些实施例中，样品处理设备还包括第二加热装置(未示出)与清洗槽120，清洗槽120用于存放清洗液，第二加热装置用于对清洗槽120内的清洗液进行加热，加热后的清洗液能够加速残留酸液的溶解，提高清洗效率。此外，样本处理设备还可以设置超声装置，超声装置连接于清洗槽120，能够对样品进行超声清洗，配合加热后的清洗液能够进一步提升清洗效率和质量。
[0112] 样品处理设备还包括样品存储组件700，样品存储组件700用于存储待处理的样品，上料组件200能够从样品存储组件700获取待处理样品，或者，样品存储组件700也可以用于存储已处理的样品，下料组件300能够将已处理的样品转移至样品存储组件700，以图1所示为例，样品处理设备包括两个样品存储组件700，其中一个用于存放待处理的样品，另一个用于存放已处理的样品。
[0113] 在一些实施例中，样品存储组件700包括存储架710与连接于存储架710的滚轮，存储架710能够通过滚轮移动，从而实现样品存储组件700的灵活移动，例如，试样人员可以将样品存储组件700移动至便于操作的位置放置待处理的样品或者取走已处理的样品，然后将样品存储组件700复位至工作位置。此外，样品存储组件700可以作为中转装置实现样品在不同位置之间的转移。
[0114] 在一些实施例中，样品存储组件700包括多个存储位720，存储位720用于存储待处理的样品，参照图13，存储位720可以是设置于存储架710上的挂钩或者支撑部件，各存储位720可以沿图中所示成阵列分布。
[0115] 本实施例的样品处理设备还包括控制器，控制器能够记录各存储位720对应的样品信息，并基于样品信息控制上料组件200从目标存储位720获取待处理的样品，也即，本实施例适用于难以在样品上设置条形码，或者难以识别样品上条形码的情形，实验人员将某组样品存放于某个存储位720，然后在设备内输入该组样品的样品信息，并将该组样品的样品信息与该存储位720关联，如此，控制器便能够获取该组样品的样品信息，从而控制上料组件200从目标存储位获取待处理的样品。
[0116] 在一些实施例中，样品存储组件700包括多个存储位720，存储位720用于存储待处理的样品，参照图13，存储位720可以是设置于存储架710上的挂钩或者支撑部件，各存储位720可以沿图中所示成阵列分布。
[0117] 本实施例的样品处理设备还包括控制器与识别装置，识别装置用于获取待处理的样品的样品信息，也即，本实施例的样品设置有条形码，识别装置可以是扫描枪，其安装于存储架710或者上料组件200。当识别装置识别到样品的样品信息后，控制器能够基于样品信息控制上料组件200从目标存储位获取待处理的样品。
[0118] 参照图1、图2，机架组件100包括操作台130与壳体140，操作台130具有前述的处理区101，壳体140连接于操作台130，且壳体140具有开口141，其中，在一些实施例中，机架组件100还包括未示出的软帘，软帘连接于壳体140，并封闭开口141，至少处理区101位于壳体140内，从而能够减少酸蒸汽的逸散。在一些具体实施例中，上料组件200与下料组件300设置于壳体140内，上料组件200能够穿过软帘从壳体140的外部获取待处理的样品，下料组件
300能够将已处理的样品穿过软帘运送至壳体140的外部。在另一些具体实施例中，上料组件200与下料组件300也可以设置于壳体140的外部，上料组件200获取待处理的样品后能够穿过软帘以送入壳体140，下料组件300能够穿过软帘从壳体140内获取已处理的样品。
[0119] 本实施例通过设置软帘，既能够减少酸蒸汽的逸散，又不会阻碍上料组件200与下料组件300执行相应的移料操作，结构简单。
[0120] 在另一些实施例中，样品处理设备还包括样品存储组件700，样品存储组件700包括存储架710与连接于存储架710的滚轮，存储架710用于存放待处理的样品，且存储架710能够通过滚轮移动，实验人员可以驱动存储架710与壳体140分离，并向存储架710放入待处理的样品，然后再移动存储架与壳体140对接，并定位至设定位置以覆盖开口141。例如，存储架710可以设置为侧壁开口的壳体结构，待处理的样品能够放置于存储架710的内壁，存储架710与壳体对接时，存储架710整体覆盖开口141，且存储架710的侧壁开口与开口141保持连通。
[0121] 本实施例中，至少上料组件200与处理区101位于壳体140内，当存储架710覆盖开口141时，上料组件200能够通过开口141从存储架710获取待处理的样品，如此，同样能够起到减少酸液逸散的作用。
[0122] 在另一些实施例中，样品处理设备还包括样品存储组件700，样品存储组件700包括存储架710与连接于存储架710的滚轮，存储架710用于存放已处理的样品，且存储架710能够通过滚轮移动，实验人员可以驱动存储架710与壳体140分离，并从存储架710内取走已处理的样品，然后再移动存储架与壳体140对接，并定位至设定位置以覆盖开口141。例如，存储架710可以设置为侧壁开口的壳体结构，已处理的样品能够放置于存储架710的内壁，存储架710与壳体对接时，存储架710整体覆盖开口141，且存储架710的侧壁开口与开口141保持连通。
[0123] 本实施例中，至少上料组件200与处理区101位于壳体140内，当存储架710覆盖开口141时，下料组件300能够通过开口141向存储架710放入已处理的样品，如此，同样能够起到减少酸液逸散的作用。
[0124] 在另一些实施例中，壳体140还设置有抽风口142，抽风口142用于与负压源连接，从而通过负压源抽走壳体140内的酸蒸汽，避免酸蒸汽冷凝而在壳体140内壁形成凝露。需要说明的是，当壳体140采用前述实施例以形成相对密封的空间时，结合负压源的抽吸作用，可以基本消除酸蒸汽的逸散，同时也能够避免实验人员意外接触酸液，从而进一步提升安全性。
[0125] 在一些实施例中，样品处理设备还包括多个沉淀槽，相邻沉淀槽之间通过连通孔相互连通，其中，沉淀槽之间相互连通的连通孔位于沉淀槽的上部，酸槽110通过管道与第一个沉淀槽连通，当酸槽110内的酸液饱和之后，能够通过管道进入第一个沉淀槽，待第一个沉淀槽内的液面达到连通孔之后再流入下一个沉淀槽，如此，酸液中的固态物(例如溶解在酸液内的封装材料在酸液冷却后产生的结晶等)能够沉淀在沉淀槽的底部，从而能够可以进行沉淀物的单独处理，相比于将酸液直接倒入下水道的方式相比，可以避免结晶堵塞下水道的问题。
[0126] 上面结合附图对本发明实施例作了详细说明，但是本发明不限于上述实施例，在所属技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本发明宗旨的前提下作出各种变化。此外，在不冲突的情况下，本发明的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
