[0001] 本发明属于超精密减振相关技术领域，更具体地，涉及一种用于超精密设备的微振动主动补偿系统。

[0002] 随着中国科技的发展，扫描隧道电子显微镜、光栅刻线机、量子通信等超精密设备的应用越来越广泛。隔振是精密、超精密加工装备、测量仪器等平台建设的关键技术。随着精密、超精密设备的不断升级以及外界振动环境的变化，使得其面临的微振动干扰问题越发突出。事实上，精密设备所面临的微振动干扰振源主要集中在100Hz以内，传统的被动减振无法满足高精度、低频减振需求。而采用主动减振的方式可以实现“天棚阻尼”减振，即在中高频段实现小阻尼的高衰减率减振效果，而在低频区抑制小阻尼引起的过大共振峰值，为提高精密设备工作质量，该减振系统可以实现抑制各点不同线振动耦合产生的角振动及实现较宽频带范围内的主动减振控制。此外，精密、超精密设备在地面测试过程中，大地脉动、设备工作扰动等因素会引起精密测试平台的微振动，对于毫角秒精度量级的被测部件而言，测试过程中各种微振动直接影响测量精度。中国专利CN107061591提供了一种整体式金属弹簧主动减振台，该装置结构复杂，并且6自由度的实现需要依附于三个方向电机和速度的测量，结构复杂笨重，并不能用于精密设备，尤其是对重量敏感的设备，更不能用于太空等复杂环境中。

[0003] 总之，精密、超精密设备使用工况复杂、研究指标(多自由、超低频、超带宽、高衰减率等)要求苛刻，因此，研制和开发用于精密、超精密设备的减振系统迫在眉睫。

[0043] 为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。此外，下面所描述的本发明各个实施方式中所涉及到的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。

[0044] 本发明采用多个单元减振器，进一步优选为3个，实现六自由度、超低频、超带宽、高衰减率的精密减振和定位。通过弹簧组件实现被动减振，具体原理如下：当被隔振设备安装于微振动主动补偿系统上表面时，大地脉动以及设备自身扰动传递到减振系统上时，弹簧组件由于阻尼作用，将来自大地脉动以及设备自身的扰动进行衰减，以削减振动传递到被隔振设备上。为实现弹簧组件高频振动衰减效果，在弹簧座上加装橡胶垫，通过弹簧及橡胶垫实现双重效果的被动减振。传统的被动减振可以通过减低阻尼的方式实现中高频的高振动衰减率，但同时该种处理方式也将导致低频小阻尼共振峰大的问题。基于此本申请通过主动控制方式解决该问题。

[0045] 主动减振系统主要包括传感器、执行器和驱动控制器等。由于被隔振设备与减振系统总成上板固连，而总成上板又与单元减振器中上安装板固连，因此安装在单元减振器中上安装板的传感器检测到的信号反映的也就是被隔振设备的振动信息。水平向速度传感器检测总成上板水平向振动速度，水平向位移传感器检测总成上板水平向振动位移，二者再反馈至水平向电机，产生作用力施加给总成上板，形成较大的水平向负刚度补偿力，降低水平向谐振频率、抑制被隔振设备的水平振动幅度。垂向速度传感器检测总成上板的垂向振动速度，垂向位移传感器检测总成上板垂向振动位移，二者再反馈给垂向电机产生作用力施加给总成上板，形成较大的垂向负刚度补偿力，降低垂向谐振频率，抑制被隔振设备的垂向振动幅度。通过传感器、执行器及驱动控制器联合作业，实现对被隔振设备的水平向、垂向精密减振与定位。

[0046] 在地面测试过程中，大地脉动、设备工作扰动等因素会引起精密、超精密设备的微振动，对于毫角秒精度量级的设备而言，测试过程中各种微振动直接影响测量精度。本申请建立了一套微振动主动补偿系统，可以对现有的工作系统微振动量级进行检测、修正，最终到达毫角秒精度的超稳测试能力。为了更好的理解本申请，以下结合附图对本申请中的方案进行详细说明。

[0047] 如图1～图3以及图7所示，所述用于超精密设备的微振动主动补偿系统包括总成上板100(如图4所示)、总成下板200(如图5所示)、多个单元减振器300，多个单元减振器300设于总成上板100和总成下板200之间且均匀分布于同一圆周(如图6所示)，也即多个单元减振器300设置于正多边形的顶点处。

[0048] 如图8和图9所示，每一所述单元减振器300包括双向洛伦兹电机310、位移传感器组件320、速度传感器组件330、弹簧组件340、上安装板350(如图11所示)、下安装板360(如图12所示)以及多个探测板。具体如下：

[0049] 如图13所示，双向洛伦兹电机310包括正交布置的垂向电机和水平向电机，所述双向洛伦兹电机310的力输出端与所述上安装板350连接。所述双向洛伦兹电机310包括定子部分和动子部分，其中，定子部分包括定子支撑座311、设于所述定子支撑座311上的线圈支架317、设于线圈支架317上的线圈315、设于线圈315两端的盖板314、3111，所述定子支撑座311固定于所述下安装板360上，所述线圈315包括水平方向线圈和垂直方向线圈。线圈315绕设在线芯3110上，线芯3110通过销钉和螺钉318分别与盖板314和盖板3111连接。盖板314和盖板3111与线圈支架317连接。

[0050] 动子部分包括背铁A312、背铁B319、背铁连接件316，所述背铁A312和背铁B319固定于所述背铁连接件316上，所述背铁A312和背铁B319的表面设有磁铁313，所述盖板314、3111将所述磁铁313和所述线圈315隔开，所述背铁连接件316与所述上安装板350连接。

[0051] 所述双向洛伦兹电机310的水平方向出力方向与所述圆周的切线方向相同。

[0052] 如图14所示，所述位移传感器组件320包括正交布置的垂向位移传感器321和水平向位移传感器322，所述垂向位移传感器321通过第二探测板324与所述上安装板350连接，所述水平向位移传感器322通过第一探测板323与所述上安装板350连接，匹配距离为2～5mm。所述位移传感器组件320还包括位移传感器支座325，所述垂向位移传感器321通过垂向位移传感器上耳326与所述位移传感器支座325连接，所述水平向位移传感器322通过水平向位移传感器上耳327与所述位移传感器支座325连接。位移传感器组件除具备设置安装功能外，该位移传感器组件320还包括位移传感器定位块328和位移传感器定位柱329，所述位移传感器定位块328安装于上安装板350上，并通过位移传感器定位柱329与位移传感器支座325连接，可以对垂向和其中一个水平方向进行定位。

[0053] 如图17所示，所述速度传感器组件330包括正交布置的水平向速度传感器331和垂向速度传感器332。速度传感器组件330还包括固定安装于所述上安装板350上的速度传感器座333，所述水平向速度传感器331和垂向速度传感器332安装于所述速度传感器座333上，并通过开有信号引线孔的速度传感器座盖板334进行封装。整个速度传感器组件330安装于上安装板350上。本申请在实施过程中，需保证洛伦兹电机、速度传感器、位移传感器在垂向和水平向两个方向上一一对应。

[0054] 如图15所示，所述弹簧组件340包括弹簧348，所述弹簧组件340的两端分别与所述上安装板350和下安装板360连接。所述弹簧组件340还包括弹簧轴341、套设于弹簧轴341外部的调节螺母342、设于所述调节螺母342上端面的下弹簧座343、设于所述下弹簧座343上表面的下弹簧座橡胶垫344、锁紧螺母345、上弹簧座346以及上弹簧座橡胶垫347，所述弹簧348设于所述上弹簧座橡胶垫347以及下弹簧座橡胶垫344之间，所述弹簧轴341上端部中心设有螺孔，所述锁紧螺母345贯通所述上弹簧座346中心与所述螺孔连接，它可以防止被隔振设备过载时，弹簧组件遭到不可逆损坏。因此，该弹簧组件除提供刚度外，还具有固定和限位功能。所述下弹簧座橡胶垫344和上弹簧座橡胶垫347均为圆锥台结构。此种结构便于弹簧的安装，同时也可以防止弹簧在受到径向力时出现径向滑移的情形。此外，锥形结构不会让弹簧座橡胶垫与弹簧之间出现干涉，进而影响到弹簧组件的减振刚度。调节螺母342它可以对弹簧组件的相对位置进行微调。

[0055] 如图16所示，所述单元减振器300还包括定位组件370、输出组件380以及固定板390，所述固定板390与所述上安装板350和下安装板360可拆卸连接，所述定位组件370包括定位支座371、定位柱372以及定位块373，所述定位块373通过所述定位柱372可拆卸连接于所述定位支座371的上部，所述定位支座371下部连接于所述下安装板360。

[0056] 考虑到微振动主动补偿系统工作环境的复杂性及通用性，对减振系统进行防磁干扰处理，每一所述单元减振器300还包括用于四周密封的防磁干扰板，所述防磁干扰板固定于所述下安装板360并与上安装板350的距离为5～10mm。所述防磁干扰板包括外围平板300‑1和外围U形板300‑2(如图10所示)。

[0057] 进一步优选的，所述单元减振器300的数量为3个，3个单元减振器300布置于等边三角形三个顶点上，且水平电机出力方向与等边三角形外接圆在三个顶点的切线方向相同。

[0058] 图1为当前单元减振器处于初始状态，此时固定板390同时固连上安装板350和下安装板360，整个单元减振器300形成一个刚性体，此时不具备减振作用，可以对其进行转运、安装及调试操作。图2的单元减振器处于工作状态，相比于初始状态，卸下了定位块373以及固定板390，此时上安装板350和下安装板360只通过弹簧进行连接，具有减振作用，为对来自地面振动进行前馈调节，在减振系统中通过三个正交布置的速度传感器检测振动速度。

[0059] 所述系统还包括前馈传感器座600、总成外接板400以及走线槽500，以对主动控制系统走线进行调节。

[0060] 本领域的技术人员容易理解，以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。