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传送盒及物料传送系统无效专利 发明

技术总结

本发明提供一种传送盒及物料传送系统,涉及物料传送技术领域,用于解决待传送物的良品率低的技术问题。该传送盒包括容纳盒和储气盒,容纳盒设有进气口和排气口,容纳盒的进气口与储气盒连通;容纳盒内还设有用于检测容纳盒内压力值的第一传感器;在初始状态时,容纳盒的排气口打开,储气盒通过容纳盒的进气口向容纳盒充保护气体;当距初始状态的时间大于第一设定时间且当压力值小于第一设定值时,容纳盒的排气口关闭,储气盒通过容纳盒的进气口向容纳盒充保护气体,容纳盒在排出废气后持续填充有保护气体,可以防止容纳盒内的待传送物受到污染,进而减少待传送物的表面缺陷,提高待传送物的良品率。

技术研发人员:

程明星; 张广杰

受保护的技术研发主体:

长鑫存储技术有限公司

技术申请主体:

长鑫存储技术有限公司

技术研发申请日期:

2020-09-30

技术被公开/公告日期:

2022-04-12

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