[0001] 本发明涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种防坠落装置。

[0002] 晶圆处理设备被用于通过技术来处理半导体，所述技术包括：物理气相沉积(Physical Vapor Deposition，PVD)、化学气相沉积(Chemical vapor deposition，CVD)、等离子体增强化学气相沉积(Plasma enhanced chemical vapor deposition，PECVD)、原子层沉积(Atomic layer deposition，ALD)、等离子体增强原子层沉积(Plasma enhanced atomic layer deposition，PEALD)、脉冲沉积层(Pulse deposition layer，PDL)、分子层沉积(Molecular layer deposition，MLD)、等离子体增强脉冲沉积层(Plasma enhanced pulsed deposition layer，PEPDL)处理、蚀刻和抗蚀剂去除等。

[0003] 目前对于大型半导体设备进行工作机构调试维护或在机构内部安装零部件时，需要将沉积设备、刻蚀设备、镀膜设备或其他设备的工作机构提升一定高度，将提升一定高度后的空间作为安装、维护的操作空间，之后由人工在操作空间进行安装或维护。

[0004] 但是人工在操作空间进行操作，会有可能出现工作机构意外坠落的情况，致使设备损坏、且可能造成人员受伤的问题。

[0030] 为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。除非另外定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本文中使用的“包括”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。

[0031] 针对现有技术存在的问题，本发明的实施例提供了一种防坠落装置。

[0032] 图1为本发明第一种实施例中防坠落机构的立体结构示意图，图2为本发明第二种实施例中防坠落机构的立体结构示意图，图3为图2中防护组件处于第一位置状态的结构示意图，图4为图2中防护组件处于第二位置状态的结构示意图。

[0033] 本发明的一些实施例中，参考图1至图4，该防坠落装置，包括基座1、支撑件2、驱动机构3和防护组件4；所述驱动机构3设置于所述基座1，所述支撑件2设置于所述驱动机构3的活动端，所述驱动机构3用于驱动所述支撑件2相对于所述基座1移动；所述防护组件4活动设置于所述基座1或所述驱动机构3，当所述支撑件2位于初始位置时，所述防护组件4处于第一位置状态，当所述驱动机构3驱动所述支撑件2移动至指定位置时，所述防护组件4处于第二位置状态，且所述防护组件4位于所述支撑件2和所述基座1之间。

[0034] 本发明的一些具体实施例中，所述基座1水平设置。所述驱动机构3为气缸或直线电机，所述驱动机构3设置为一个、两个或多个。且当所述驱动机构设置为两个或多个时，所述驱动机构3均匀设置于所述基座1上。所述支撑件2设置于各个所述驱动机构3的活动端，各个所述驱动机构3能够同步带动所述支撑件2上下移动。所述防护组件4滑动或转动的设置于所述基座1或所述驱动机构3。

[0035] 当所述支撑件2位于初始位置时，即所述驱动机构3控制所述支撑件2位于靠近或贴合所述基座1的状态，即所述支撑件2位于低位，所述防护组件4处于第一位置状态，即所述防护组件4处于所述支撑件2正下方的外侧，此时所述驱动机构3能够控制所述支撑件2正常上下移动。

[0036] 当所述支撑件2驱动所述支撑件2上升至指定位置时，即所述驱动机构3控制所述支撑件2位于远离所述基座1的状态，即所述支撑件2处于高位，所述防护组件4处于第二位置状态，即所述防护组件4处于所述支撑件2正下方，此时所述驱动机构3只能控制所述支撑件2保持在高位，无法下降。

[0037] 值得说明的是，所述支撑件2处于高位时，所述防护组件4的顶面可以处于与所述支撑件2抵接的状态，即所述防护组件4直接对所述支撑件2进行支撑，降低所述驱动机构3的受力强度；所述防护组件4的顶面也可以处于与所述支撑件2分离的状态，即所述防护组件4能够在所述支撑件2发生意外坠落时形成支撑。

[0038] 本发明的一些实施例中，参考图1至图4，还包括锁定机构5；所述锁定机构5设置于所述基座1，所述锁定机构5与所述驱动机构3电连接，所述锁定机构5用于控制所述驱动机构3的锁定或解除锁定。

[0039] 本发明的一些具体实施例中，设置所述锁定机构5对所述驱动机构3进行控制，能够控制所述驱动机构3在驱动所述支撑件2位于高位时处于锁定状态，即无法开启的状态，此时所述驱动机构3无法驱动所述支撑件2移动，这样能够降低所述驱动机构3在承重时的受力情况。

[0040] 本发明的一些实施例中，参考图1至图4，所述锁定机构5处于开启状态，且所述防护组件4处于第二位置状态时，所述锁定机构5控制所述驱动机构3锁定；所述锁定机构5处于关闭状态，且所述防护组件4处于第一位置状态时，所述锁定机构5控制所述驱动机构3解除锁定。

[0041] 本发明的一些具体实施例中，所述锁定机构5开启，使得所述驱动机构3锁定，即所述驱动机构3无法驱动所述支撑件2移动的状态；所述锁定机构5关闭，使得所述驱动机构3解除锁定，即所述驱动机构3能够驱动所述支撑件2移动的状态。

[0042] 通常情况下，所述锁定机构5需要在所述驱动机构3驱动所述支撑件2位于高位时对所述驱动机构3进行锁定，且此时所述防护组件4需要移动至所述驱动机构3下侧，避免所述支撑件2发生意外坠落。同理，所述支撑件2位于低位时，所述驱动机构3需要通过所述支撑件2提升目标结构，即所述驱动机构3需要处于可以开启的状态，即所述驱动机构3处于解除锁定状态，此时所述防护组件4也需要处于第一位置状态，避免对所述支撑件2的运动形成妨碍。

[0043] 本发明的一些实施例中，参考图1至图4，所述锁定机构5和所述防护组件4均设置为至少两个。

[0044] 本发明的一些具体实施例中，所述锁定机构5和所述防护组件4均设置为两个，且两个所述锁定机构5和两个所述防护组件4均对称设置。通过将所述防护组件4设置为两个或多个，能够对所述支撑件2形成稳定的支撑。

[0045] 此外，将所述锁定机构5和所述防护组件4均设置为至少两个，可以将各个所述锁定机构5与各个所述防护组件4一一对应设置，即一个锁定机构5配合一个防护组件4设置，通过各个所述防护组件4的位置状态和各个所述锁定机构5的启闭状态来配合控制所述驱动机构3的锁定或解除锁定。

[0046] 在另外一些实施例中，所述驱动机构3、所述防护组件4和所述锁定机构5均设置为四个，且一一对应设置。

[0047] 本发明的一些实施例中，参考图1至图4，各个所述防护组件4均处于第一位置状态时，所述驱动机构3处于解除锁定状态；至少一个所述防护组件4处于第二位置状态时，所述驱动机构3处于锁定状态。

[0048] 本发明的一些具体实施例中，各个所述防护组件4均处于第一位置状态时，即表明各个所述锁定机构5处于关闭状态，此时控制所述驱动机构3设置于解除锁定状态，使得所述驱动机构3可以驱动所述支撑件2移动。当至少一个所述防护组件4处于第二位置状态时，即表明与该防护组件4对应的所述锁定组件处于开启状态，此时便控制所述驱动机构3处于锁定状态，保证装置的正常运行，提升使用安全性。

[0049] 本发明的一些实施例中，参考图1至图4，所述锁定机构5包括压力开关501和控制器(图中未示)；所述压力开关501设置于所述基座1，所述压力开关501与所述控制器电连接，所述控制器与所述驱动机构3电连接，所述压力开关501用于向所述控制器输送信号，所述控制器用于根据所述信号控制所述驱动机构3的状态。

[0050] 本发明的一些具体实施例中，所述压力开关501设置于所述基座1，且所述压力开关501设置于所述防护组件4一侧，所述压力开关501与所述控制器(图中未示)电连接。当所述压力开关501开启时，所述压力开关501向所述控制器输送第一控制信号，所述控制器根据所述第一控制信号控制所述驱动机构3锁定。当所述压力开关501关闭时，所述压力开关501向所述控制器输送第二控制信号，所述控制器根据所述第二控制信号控制所述驱动机构3解除锁定。

[0051] 值得说明的是，将所述压力开关501设置于所述防护组件4一侧，且所述压力开关501的开关部或活动部处于开启的状态时高于所述防护组件4的活动部的底面，所述压力开关501的开关部或活动部处于关闭的状态时不高于所述防护组件4的活动部的底面。这样能够在所述压力开关501开启时，通过所述压力开关501的开关部或活动部对所述防护组件4进行阻挡，限制所述防护组件4的活动部的滑动或转动，使所述防护组件4处于第二位置状态。同时能够在所述防护组件4处于第一位置状态时，通过所述防护组件4的活动部的底面对所述压力开关501的开关部或活动部进行限制，避免所述压力开关501的开关状态自动切换。

[0052] 图5为图2中防护组件的立体结构示意图，图6为图5中防护组件的爆炸结构示意图。

[0053] 本发明的一些实施例中，参考图1至图6，所述防护组件4包括固定件401；所述固定件401转动设置于所述基座1或所述驱动机构3，当所述支撑件2位于初始位置时，所述固定件401处于所述第一位置状态，当所述驱动机构3驱动所述支撑件2移动至指定位置时，所述固定件401处于所述第二位置状态，且所述固定件401转动至所述支撑件2和所述基座1之间。

[0054] 本发明的一些具体实施例中，所述固定件401为板状，所述固定件401转动设置于所述基座1，且所述固定件401设置于所述驱动机构3一侧。当所述支撑件2位于初始位置时，所述固定件401处于所述第一位置状态，即所述固定件401完全位于所述支撑件2正下方的外侧，此时所述驱动机构3能够驱动所述支撑件2正常上下运动。当所述驱动机构3驱动所述支撑件2移动至指定位置时，所述固定件401处于所述第二位置状态，且所述固定件401转动至所述支撑件2和所述基座1之间，即从第一位置状态转动所述固定件401至部分的所述固定件401位于所述支撑件2的正下方，进而能够对所述支撑件2形成支撑或防坠落的目的。

[0055] 值得说明的是，所述第一位置状态和所述第二位置状态均为一个范围区域。

[0056] 在一些实施例中，所述固定件401位于第一位置状态时，所述固定件401与所述驱动机构3的侧壁垂直设置，所述固定件401位于第二位置状态时，所述固定件401与所述驱动机构3的侧壁贴合设置。

[0057] 本发明的一些实施例中，参考图1至图6，所述防护组件4还包括转轴402和轴承403；所述转轴402通过所述轴承403设置于所述基座1，且所述转轴402转动设置于所述轴承
403，所述固定件401活动设置于所述转轴402。

[0058] 本发明的一些具体实施例中，所述轴承403设置于所述基座1，所述转轴402设置于所述轴承403，且所述转轴402可以相对于所述轴承403进行转动，所述固定件401可转动的设置于所述转轴402，使用时通过转动即可调整所述固定件401处于第一位置状态或第二位置状态。

[0059] 在一些实施例中，所述转轴402的高度高于所述固定件401的高度，且所述固定件401可以在所述固定件401上上下滑动。

[0060] 本发明的一些实施例中，参考图1至图6，所述防护组件4还包括定位销404；所述基座1上设有定位孔，当所述固定件401处于所述第二位置状态时，所述定位销404与所述定位孔配合使所述固定件401固定。

[0061] 本发明的一些具体实施例中，所述定位销404可拆卸的设置于所述固定件401。当所述固定件401设置于所述第二位置状态时，所述定位销404设置于所述固定件401上，且穿插至所述定位孔内，限制所述固定件401的转动，使所述固定件401保持当前位置。

[0062] 此外，所述固定件401设有把手409，便于对所述固定件401的转动。

[0063] 在一些实施例中，所述轴承403外侧还设置有轴承403端盖对所述轴承403进行防护。

[0064] 在另外一些实施例中，所述基座1上设有定位槽，所述固定件401上设有与所述定位槽适配的凸起，当所述固定件401转动至所述第一位置状态或所述第二位置状态时，通过所述定位槽和所述凸起进行限位，保证位置调整的准确度，便于使用。

[0065] 本发明的一些实施例中，参考图1至图6，所述防护组件4还包括缓冲部405；所述缓冲部405设置于所述固定件401，所述缓冲部405为柔性材料制成。

[0066] 本发明的一些具体实施例中，所述缓冲部405设置于所述固定件401的顶面，当所述固定件401与所述支撑件2抵接时，通过所述缓冲部405进行缓冲，能够降低冲击。

[0067] 图7为本发明第三种实施例中防护组件的部分结构示意图。

[0068] 在其他一些实施例中，参考图1至图7，所述固定件401包括固定部406和滑移部407，所述滑移部407滑动可固定的设置于所述固定部406上，所述固定部406可转动的设置于所述转轴402，所述缓冲部405设置于所述滑移部407。这样能够调整所述滑移部407相比于所述基座1的高度，便于适配不同的工作机构的提升。

[0069] 虽然在上文中详细说明了本发明的实施方式，但是对于本领域的技术人员来说显而易见的是，能够对这些实施方式进行各种修改和变化。但是，应理解，这种修改和变化都属于权利要求书中所述的本发明的范围和精神之内。而且，在此说明的本发明可有其它的实施方式，并且可通过多种方式实施或实现。