[0001] 本发明涉及金属薄膜生产设备技术领域，尤其涉及一种高稳定性金属化薄膜制备用蒸镀装置。

[0002] 蒸镀是指在一定的真空条件下加热被蒸镀材料，使其熔化(或升华)并形成原子、分子或原子团组成的蒸汽，凝结在基材表面成膜，蒸镀角度是指蒸发束与基片之间的夹角，蒸镀角度会影响蒸镀层的厚度。

[0003] 经检索，申请号201610476622.0的专利，公开一种电容器金属化安全薄膜蒸镀工艺，包括以下步骤：步骤一、在具有绝缘性质的中间薄膜基质的一面蒸镀一层第一金属镀
层，第一金属镀层为铝、或锌、或铝和锌的混合物，中间薄膜基质为聚烯烃材料制成；步骤二、在中间薄膜基质蒸镀有第一金属镀层的一面上覆盖一层具有绝缘性质的第一薄膜介
质，使第一金属镀层位于中间薄膜基质和第一薄膜介质之间，且中间薄膜基质和第一薄膜
介质紧密贴合，第一薄膜介质为聚烯烃材料制成；步骤三、在中间薄膜基质的另一面蒸镀一层第二金属镀层，第二金属镀层为铝、或锌、或铝和锌的混合物；步骤四、在中间薄膜基质蒸镀有第二金属镀层的一面上覆盖一层具有绝缘性质的第二薄膜介质，使第二金属镀层位于
中间薄膜基质和第二薄膜介质之间，且中间薄膜基质和第二薄膜介质紧密贴合，第二薄膜
介质为聚烯烃材料制成。

[0004] 上述装置对金属薄膜的双面蒸镀不便，其严重影响了金属薄膜蒸镀工作的效率和质量，难以满足人们的使用要求，所以研究一种高稳定性金属化薄膜制备用蒸镀装置是很
有必要的。

[0026] 下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

[0027] 在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

[0028] 实施例一

[0029] 参照图1‑4，一种高稳定性金属化薄膜制备用蒸镀装置，包括蒸镀箱体1，蒸镀箱体1内壁两侧均胶接有密封板2，蒸镀箱体1两侧和密封板2上均开设有矩形槽，从而便于金属
薄膜的进出料和镀膜，两块密封板2将蒸镀箱体1分成出料腔3、蒸镀腔4和进料腔5，蒸镀腔4底侧和顶侧分别安装有加热组件6和监控组件7，蒸镀腔4下端前侧还安装有密封门体8，密
封板2下端背离蒸镀腔4一侧均转动阻尼连接有旋柱9，旋柱9外壁均套设固定有安装套10，
安装套10上端均固定有翻转框11，翻转框11上下侧内壁转动有夹持辊12，翻转框11外顶面
均固定有半齿轮13，密封板2上端背离蒸镀腔4一侧还转动连接有驱动杆14，驱动杆14均设
有两个并对称分布在出料腔3和进料腔5上端前后侧，驱动杆14外壁靠近蒸镀腔4一侧均固
定有驱动齿轮15，驱动齿轮15与半齿轮13均啮合连接，驱动齿轮15为不完全齿轮，且驱动齿轮15外圈三分之一位置设有连续轮齿，同侧两个驱动齿轮15的初始安装位置一致，同侧两
个驱动杆14之间中部均转动连接有齿轮组一16，蒸镀箱体1上端两侧均焊接有水平架17，水平架17顶面均通过螺钉固接有伺服电机18，驱动杆14背离蒸镀腔4一端均延伸至蒸镀箱体1
外壁并与伺服电机18固定连接，在使用时使用时通过两组夹持辊12对镀膜处的金属薄膜实
现夹持，夹持后在伺服电机18作用下带动驱动齿轮15转动，此时同侧两个驱动齿轮15间歇
驱动半齿轮13作用，从而使金属薄膜向两侧不断摆动，进而抱着金属薄膜双面镀膜的均匀
性，很好的保证了金属薄膜镀膜的质量，出料腔3和进料腔5背离蒸镀腔4一侧均设置有输送框19，输送框19与出料腔3和进料腔5内壁之间均固定有连接杆20，输送框19上下侧转动连
接有输送辊21，两个输送辊21上端均延伸至输送框19外侧并转动连接有齿轮组二22，其中
一根输送辊21顶部还固定有联动杆23，联动杆23与正上侧驱动杆14之间转动连接有锥齿轮
组24，通过两组输送辊21对金属薄膜进行输送，其输送稳定便于控制，且输送辊21的通过锥齿轮组24与驱动杆14同步传动，从而在一定程度上节约了制造成本。

[0030] 实施例二

[0031] 如图1和2所示，本实施例与实施例1基本相同，优选地，加热组件6包括加热箱，加热箱固定在蒸镀腔4底面外侧，加热箱内壁安装有螺旋状电热管，且电热管一端延伸至蒸镀腔4内。

[0032] 本实施例中，通过在螺旋状电热管对蒸镀液体进行加热，其加热效率高，其大大提高了金属薄膜镀膜的效率。

[0033] 实施例三

[0034] 如图1和2所示，本实施例与实施例1基本相同，优选地，监控组件7包括检测盒，检测盒固定在蒸镀腔4顶面外侧，检测盒内侧安装有温度检测仪和压力检测仪，温度检测仪和压力检测仪的检测端均延伸至蒸镀腔4内侧。

[0035] 本实施例中，在使用时通过在蒸镀腔4上侧加设有监控组件7，从而便于实时监控蒸镀腔4内的温度和压力，进而保证蒸镀材料的蒸汽飞扬的密度满足镀膜的要求的同时，还很好的保证了金属薄膜蒸镀的安全性。

[0036] 实施例四

[0037] 如图1、3和4所示，本实施例与实施例1基本相同，优选地，夹持辊12设有两个并对称分布在翻转框11前后侧，且两个夹持辊12之间的距离与金属化薄膜的厚度相吻合，输送辊21均设有两个并对称分布在输送框19前后侧位置，且两个输送辊21之间的距离金属薄膜
的厚度相吻合。

[0038] 本实施例中，两个夹持辊12和两个输送辊21之间的距离均与金属薄膜的厚度相吻合，从而保证了金属薄膜夹持和传送的稳定性。

[0039] 实施例五

[0040] 如图1和3所示，本实施例与实施例1基本相同，优选地，驱动杆14与蒸镀箱体1侧壁均通过滚动轴承转动连接。

[0041] 本实施例中，驱动杆14与蒸镀箱体1转动连接，从而使驱动杆14转动时更稳定。

[0042] 以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。