[0001] 本发明涉及检测技术领域，尤其涉及一种检验装置。

[0002] 在半导体加工行业中，电路板上通常贴装有各种电子元器件，在完成这些电子元器件的安装后。需要对电子元器件的贴装位置进行检查。检验这些电子元器件的安装情况是否符合要求，例如安装的位置是否正确，是否有溢胶等问题。但是目前作业人员在检查过程中，手指会触碰到电路板。如此，易使电路板上的各种电子元器件受到污染。导致受到污染的电子元器件报废，甚至整个加工后的产品也报废掉。

[0025] 下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

[0026] 需要说明，本发明实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

[0027] 另外，在本发明中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

[0028] 在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

[0029] 另外，本发明各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。

[0030] 在目前的半导体加工行业中，均是通过人工手动完成对电路板的检查，作业人员在检查过程中，手指会触碰到电路板。手指上一般有灰尘和分泌的油脂。在手指触碰到电路板后，使电路板上的电子元器件受到污染，还可能导致电子元器件受到手指触碰的外力影响，导致的位置发生偏移或者扭转。这些情况都会使电子元器件报废，甚至整个加工后的产品也报废掉。

[0031] 为了解决上述问题，参阅图1至图3所示，本发明提供一种检验装置，检验装置包括：存储盒10和自存储盒10取放产品的移取组件20。

[0032] 存储盒10用于存储板材，存储盒10的一侧开口；通过存储盒10的开口可以完成对板材的取放。另外，存储盒10还可以两端开口，如此两端均可以完成对板材的取放。其中板材包括电路板，电路板上贴装有各种电子元器件。例如在电路板上安装MEMS(Micro-Electro-Mechanical System，微机电系统)芯片，作业人员需要对MEMS芯片的贴装情况进行检查，确定MEMS芯片的安装符合要求。

[0033] 移取组件20设于存储盒10的开口方向，移取组件20可靠近或远离存储盒10，移取组件20包括移取部210，移取组件20靠近存储盒10，移取部210移取板材。移取组件20在靠近远离存储盒10时，移取部210也同步靠近或远离存储盒10。移取部210在接触到板材后，可以完成对板材的固定，固定的方式可以是抓取，也可以采用真空吸附的方式。通过移取部210替代人手和电路板完成接触，从而能够减少人手和电路板的接触。

[0034] 本实施例提出的技术方案中，电路板是板材的一种，板材存储在存储盒10内，通过存储盒10的开口能够实现对板材的取放。移取组件20在靠近存储盒10时，移取部210同步也靠近存储盒10，移取部210通过存储盒10的开口一侧接触到板材，从而移取部210完成对板材的固定。移取组件20远离存储盒10，移取部210也同步的远离存储盒10，由此在移取部210远离存储盒10的过程中，移取部210带动板材移动，将板材移取出存储盒10。在这个过程中，作业人员是通过移取部210来和板材接触的。从而减少了作业人员手指直接触碰到板材的几率。从而减少产品被污染的情况，继而减少产品的报废。

[0035] 在上述实施例中，移取部210还可以采用夹取的方式。其中，移取部210包括相对设置上夹板211和下夹板212，移取组件20靠近存储盒10，上夹板211和下夹板212夹设于板材。板材的中部区域贴装有电子元器件，板材的边缘区域一般形成空白区域，移取部210通过夹取板材的边缘区域的方式移动板材。此外，为了避免移取部210夹到板材的中部的电子元器件，上夹板211具有向下延伸的第一弯折部，下夹板212具有向下延伸的第二弯折部，在夹取电路板时，第一弯折部和第二弯折部相互配合，电路板的边缘位置抵接在第一弯折部，从而使上夹板211和下夹板212无法深入到板材的中部区域。

[0036] 在上述实施例中，为了使移取部210夹取板材更加的便捷。移取组件20还包括相连接的第一固定件220和第二固定件230，其中，第一固定件220设于第二固定件230的一侧面。第一固定件220和第二固定件230的连接方式可以是螺钉连接，也可以是一体成型。上夹板
211设于第一固定件220，移取组件20还包括连接轴240和弹性夹250，连接轴240竖直穿设于第二固定件230，下夹板212连接于连接轴240，连接轴240可以在第二固定件230内竖直上下移动。在连接轴240上下移动的过程中，同步带动下夹板212移动。由于上夹板211是固定的，因此在下夹板212上下移动的过程中，实现下夹板212向上夹板211的靠近或者远离。即，通过下夹板212的上下移动实现移取部210对板材的夹紧或者松开。第二固定件230的表面开设有通孔231，弹性夹250穿设于通孔231连接连接轴240。弹性夹250自身具有弹性，自然状态下弹性夹250在自身的弹性压力作用下紧固在第二固定件230上。在夹取板材时，横向拉动弹性夹250，并提拉弹性夹250使下夹板212向上夹板211靠近，移取件夹紧板材。由于横向拉动弹性夹250，弹性夹250产生相反的回复力，松开弹性夹250后，弹性夹250自动紧固在第二固定件230上，通过弹性夹250的弹性压力稳定住下夹板212的固定状态。

[0037] 在上述实施例中，为了进一步的提高移取部210对板材夹持力的稳定性，第二固定件230包括第一固定段232和设于第一固定段232的下端的第二固定段233，第二固定段233的外壁凸出于第一固定段232的外壁，通孔231由第一固定段232延伸至第二固定段233。由此可知，在夹取板材的过程中，提拉弹性夹250沿通孔231上移，弹性夹250移动至第一固定段232后，上夹板211和下夹板212完成对板材的夹持，松开弹性夹250后，弹性夹250卡接在第二固定段233凸起的外壁，此时弹性夹250无法下移，从而使上夹板211和下夹板212的位置稳固。

[0038] 在上述实施例中，为了使移取部210的操作更加灵活，使移取部210更加容易夹持于板材。移取组件20还包括弹性件260，弹性件260一端连接于连接轴240，弹性件260另一端连接于第二固定段233。正常状态下，弹性件260处于压缩状态，如此弹性件260具有反向的作用力，也就是说，连接轴240在弹性件260的反向作用力的情况下，始终保持向上的推力。在使用移取部210的时候，首先向下拉动弹性夹250，弹性夹250下移，带动连接轴240下移，从而进一步压缩了弹性件260，弹性件260产生更大的向上推力，在松开弹性夹250后，下夹板212在更大向上推力的作用下，能够更加迅速的和上夹板211合拢，由此能够节省作业员向上提拉弹性夹250的作用力，进而使移取部210的操作更加灵活。移取组件20还设置有把手270，通过把手270便于作业员握住移取组件20，便于对移取组件20施加推动力。

[0039] 为了使移取组件20更加准确的移向存储盒10。检验装置还包括承载板30和设于承载板30的第一导轨310，存储盒10设于第一导轨310的一端，存储盒10的开口朝向第一导轨310，移取组件20滑动设置于第一导轨310。移取组件20沿第一导轨310往复移动，保证移取组件20的移动方向更加准确。第一导轨310包括有两根，两根第一导轨310相互平行，两第一导轨310铺设于承载板30的上表面，移取组件20沿两根第一导轨310滑动，能够获得更好的稳定性。检验装置还包括两第一限位件40，一个第一限位件40设于第一导轨310的一端，另一第一限位件40设于第一导轨310的另一端。通过第一限位件40对移取组件20的移动范围的限定，避免移取组件20脱离第一导轨310。另外，承载板30设置有推手320，通过推手320便于作业员推拉承载板30。

[0040] 在上述实施例中，为了使移取组件20能够准确的夹取到板材，检验装置还包括底座50，底座50的上表面设置第二导轨510，第二导轨510的延伸方向和第一导轨310的延伸方向正交，承载板30设于第二导轨510。承载板30能够沿第二导轨510移动，而移取组件20设于承载板30上，由此可知，在推动承载板30沿第二导轨510移动时，可以调整移取组件20对应存储盒10的位置，进而使移取组件20能够正对存储盒10的开口。另外，第二导轨510也包括灵根，两根第二导轨510相互平行，两第二导轨510铺设于自多的上表面，承载板30沿两根第二导轨510滑动，能够获得更好的稳定性。再者，检验装置还包括两第二限位件60，一个第二限位件60设于第二导轨510的一端，另一第二限位件60设于第二导轨510的另一端。通过第二限位件60对承载板30的移动范围的限定，避免承载板30脱离第二导轨510。

[0041] 在相关技术领域中，对板材的检验通常是抽查的方式进行的，但是移取组件20一般在同一个水平面内移动，为了能够对存储盒10内不同位置的板材进行选择，参阅图4所示，检验装置还包括升降组件70，升降组件70包括驱动部710和滑块720，滑块720连接于存储盒10，驱动部710驱动滑块720上下移动。驱动部710包括电缸，升降组件70还包括导向件760，滑块720设于导向件760，通过驱动部710驱动滑块720沿导向件760上下移动。存储盒10和滑块720之间连接有固定板730。升降组件70还包括安装座740，安装座740用于安装存储盒10，安装座740固定连接于固定板730，由此可知，在滑块720上下移动的过程中，存储盒10也同步上下移动，从而，存储盒10中不同的上下位置都可以对应至移取组件20所在的水平面，继而作业员可以通过调整存储盒10的上下位置，完成对板材的抽检。另外，在安装的侧壁面还设置有滑轮750，如此，在放置存储盒10时，能够使存储盒10放置的更加便捷省力。

[0042] 在另一实施例中，存储盒10设置有若干平行的卡槽110，板材存储于卡槽110，若干卡槽110能够使存储盒10保存更多板材。检验装置包括第一支撑架910和第二支撑架920，第一支撑架910和第二支撑架920设于移取组件20的两侧，移取件移取板材，板材于第一支撑架910和第二支撑架920的支撑面移动。移取组件20通常只能固定住板材的一端，在拉动板材的过程中，由于板材的质地可能较软，因此导致板材远离移取组件20的一端弯曲下沉，如此，容易使板材折断。或者在推动板材返回存储盒10时，上下板材抵触在一起，导致板材无法准确退回到存储盒10内。通过第一支撑架910和第二支撑架920的支撑作用，使板材整体在同一个支撑面内移动，避免板材弯曲折断，也能够保证板材在存储盒10同一位置取出或者存放。

[0043] 一般来说人的肉眼分辨能力有限，为了能够更加清楚的检验板材中的电子元器件，检验装置还包括放大镜组80，放大镜组80设于移取组件20的移动路径的一侧，放大镜组80用于放大板材的细节。另外，移取组件20还可以靠近或者远离放大镜组80，从而保证板材能够移动至放大镜组80的最佳观察位置。另外，放大镜组80还可以调整距离板材表面的垂直距离，以便于进一步观察清楚板材的细节。

[0044] 以上仅为本发明的优选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是在本发明的发明构思下，利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本发明的专利保护范围内。