具体技术细节
[0004] 本发明为了弥补现有技术的缺陷，提供了一种微纳加工系统及控制方法。
[0005] 本发明是通过如下技术方案实现的：一种微纳加工系统，包括装配基臂、定位平台、第一传动连接臂和第二传动连接臂，所述装配基座一侧设有固定基臂，装配基臂上通过第二柔性铰链连接有第一传动连接臂，所述第一传动连接臂上通过第一柔性铰链设有第二传动连接臂，所述固定基臂与第一传动连接臂之间设有第一压电陶瓷驱动器，第二传动连接臂与装配基臂之间设有第二压电陶瓷驱动器，所述第二传动连接臂端部对应定位平台设有刀尖。
[0006] 进一步，所述第一柔性铰链与第一传动连接臂连接处设有第一压变片，第二柔性铰链与装配基臂连接处设有第二压变片。
[0007] 进一步，所述固定基臂与第一传动连接臂互相平行。
[0008] 进一步，所述第一传动连接臂与装配基臂之间互相垂直，第二传动连接臂与第一传动连接臂互相垂直，第二传动连接臂与装配基臂之间互相平行。
[0009] 一种微纳加工系统的控制方法，通过第二压电陶瓷驱动器控制第二传动连接臂在竖直方向即Y向的运动；通过第一压电陶瓷驱动器控制第一传动连接臂在水平方向即X向的运动；第二压电陶瓷驱动器控制第二传动连接臂的下压；第一压电陶瓷驱动器控制第一传动连接臂的平面移动；整体的桥式放大机构设计，可放大压电陶瓷驱动位移；在进行微纳加工时，分别对两个压电陶瓷驱动器施加电压，使刀尖以椭圆形式的轨迹运动，通过改变压电陶瓷电压及频率，改变刀尖切入的范围，实现超声加工或振动辅助加工；通过应变片检测铰链的应变，反馈给控制系统，从而实现精密加工控制。
[0010] 本发明的有益效果是：结构简单紧凑，运动形成大，固有频率高，用于二维振动辅助切削, 可延长刀具的使用寿命、减小切削力，而且提高了工件加工表面质量。
法律保护范围
涉及权利要求数量5：其中独权2项，从权-2项
1.一种微纳加工系统，包括装配基臂、定位平台、第一传动连接臂和第二传动连接臂，其特征在于，所述装配基座一侧设有固定基臂，装配基臂上通过第二柔性铰链连接有第一传动连接臂，所述第一传动连接臂上通过第一柔性铰链设有第二传动连接臂，所述固定基臂与第一传动连接臂之间设有第一压电陶瓷驱动器，第二传动连接臂与装配基臂之间设有第二压电陶瓷驱动器，所述第二传动连接臂端部对应定位平台设有刀尖。
2.根据权利要求1所述的一种微纳加工系统，其特征在于：所述第一柔性铰链与第一传动连接臂连接处设有第一压变片，第二柔性铰链与装配基臂连接处设有第二压变片。
3.根据权利要求1所述的一种微纳加工系统，其特征在于：所述固定基臂与第一传动连接臂互相平行。
4.根据权利要求1所述的一种微纳加工系统，其特征在于：所述第一传动连接臂与装配基臂之间互相垂直，第二传动连接臂与第一传动连接臂互相垂直，第二传动连接臂与装配基臂之间互相平行。
5.一种微纳加工系统的控制方法，其特征在于：通过第二压电陶瓷驱动器控制第二传动连接臂在竖直方向即Y向的运动；通过第一压电陶瓷驱动器控制第一传动连接臂在水平方向即X向的运动；第二压电陶瓷驱动器控制第二传动连接臂的下压；第一压电陶瓷驱动器控制第一传动连接臂的平面移动；整体的桥式放大机构设计，可放大压电陶瓷驱动位移；在进行微纳加工时，分别对两个压电陶瓷驱动器施加电压，使刀尖以椭圆形式的轨迹运动，通过改变压电陶瓷电压及频率，改变刀尖切入的范围，实现超声加工或振动辅助加工；通过应变片检测铰链的应变，反馈给控制系统，从而实现精密加工控制。
