[0001] 本发明涉及一种根据电特性检查、外观检查等检查结果来将小型半导体等电子零件分类并收纳于收纳部的分类装置。

[0002] 在包含迷你模压晶体管(mini mold transistor)等半导体装置的电子零件中，使用长方形的引线框架(lead frame)来批量制造大量电子零件，并区分为各电子零件来出厂。在该情况下，在从引线框架取出电子零件后，典型而言，使用由旋转工作台构成的旋转式输送装置来输送，在该输送过程中，在进行了外观尺寸、电特性的测定、印标等出厂时所需的一系列处理后，插入至包装用载带 (carrier tape)。

[0003] 在此，即使通过同样的工序、同样的装置来处理并制造一个种类的大量电子零件，也会在其批次内因基准值特性而产生相当大的偏差。然而，即使出现偏差，也不会将具有偏离了基准值的特性值的所有电子零件设为不合格品，而是会根据特性值来进行分类并用于适合此特性值的电路、或者再次分类来分开使用，因此，需要基于检查结果来按分类级别(rank)对电子零件进行分类。

[0004] 以往，作为基于检查结果来按分类级别对电子零件进行分类的分类装置，例如已知有专利文献1中所记载的装置。该分类装置具备：投入管，配置于规定位置供品质检查结束后的电子零件投入；摆动管，可相对于投入管摆动地与其连接；分配构件，具有与电子零件的品质的等级对应的数量的分配口；以及驱动装置，使摆动管摆动，并使摆动管的下端部位于任一(某一)分配口的位置，所述分类装置构成为：使品质检查结束后的电子零件从上述投入管、摆动管、以及分配口通过，由此，根据品质的等级来将电子零件区分开。

[0005] 现有技术文献

[0006] 专利文献

[0007] 专利文献1：日本特开2006-78347号公报

[0008] 发明所要解决的问题

[0009] 在上述专利文献1所记载的分类装置中，根据品质检查后的电子零件的品质的等级来使摆动管摆动，使摆动管的下端部位于任一分配口的位置，由此进行分配，因此，如果不在分配口处对电子零件的通过进行确认，则不能保证准确地分类。然而，即使构成为通过传感器来感测该分配口处的电子零件的通过，但是在因传感器的误感测而与电子零件未通过无关地判断为已通过的情况下，也会移行到下一个电子零件的分类工序，而造成误分类。此外，在使摆动管高速移动的情况下，有时会误分类到邻接位置而不是原本的正确位置。

[0073] 图1是本发明的实施方式的电子零件的分类装置的俯视图，图2是图1的 II-II线剖面图，图3是图2的III-III线剖面图，图4是图1的分类装置的正面透视。

[0074] 如图1～图4所示，本发明的实施方式的电子零件的分类装置1在壳体10 内具备多个收纳部2A、2B、2C、2D、2E、2F，基于通过未图示的检查装置进行电特性检查、外观检查、光学特性检查等检查的结果以及所判定出的分类级别，来将电子零件分类并收纳于多个收纳部2A～2F中对应的分类级别的收纳部 2A～2F。在此，分类级别不仅仅是指根据不合格的程度对被视为不合格品的电子零件进行分类的级别，还指根据合格品的程度来进行分类的级别、对所有合格品不合格品根据其程度来进行分类的级别。

[0075] 此外，分类装置1具备：投入口构件3，具有与多个收纳部2A～2F分别对应的多个投入口3A、3B、3C、3D、3E、3F；多个滑道(shooter)4A、4B、4C、 4D、4E、4F，将分别被投入至投入口构件3的多个投入口3A～3F的电子零件引导至对应的收纳部2A～2F；以及移动机构5，使投入口构件3移动。在壳体 10的上表面罩11，在将由检查装置检查后的电子零件投入的位置(投入位置) 设有投入口12。

[0076] 投入口构件3是沿着壳体10的上表面罩11的下表面11A移动的板(plate)。多个投入口3A～3F在与壳体10的上表面罩11的下表面11A对置的同一平面上的同一圆30上以60°间隔配置。多个滑道4A～4F的入口侧分别固定于投入口构件3的多个投入口3A～3F。多个滑道4A～4F的出口侧分别配置于对应的收纳部2A～2F内。需要说明的是，详细将在后文加以记述，无论投入口构件3 的移动位置如何，多个滑道4A～4F的出口(下端)侧都设为位于多个收纳部 2A～2F内。

[0077] 移动机构5基于由未图示的检查装置判定的判定级别来使投入口构件3移动，由此，使多个投入口3A～3F中对应的投入口3A～3F向电子零件的投入位置移动，即，向投入口12的位置移动。

[0078] 移动机构5具有：作为驱动装置的旋转电机50；移动轴51，与投入口构件 3连接，使投入口构件3移动；偏心旋转板52，固定于旋转电机50的旋转轴50A，并且将移动轴51支承为以与旋转轴50A偏心的轴中心旋转自如；以及引导部 53，将投入口构件3支承为能沿着壳体10的上表面罩11的下表面11A进行平移动作。引导部53使投入口构件3能在图3所示的X轴以及Y轴这两个轴向滑动并移动。

[0079] 在该移动机构5，随着旋转电机50的旋转轴50A的旋转，偏心旋转板52 旋转，使移动轴51进行旋转动作。此时，投入口构件3由引导部53引导，由此，旋转轴50A的旋转动作转换为投入口构件3的平移动作，投入口构件3上的多个投入口3A～3F在维持彼此的位置关系的状态下画圆移动。

[0080] 图5～图8是表示使投入口构件3移动的状态的说明图，各自的图(A)是表示图4的V-V线剖面的图，图(B)是正面透视图。如图5所示，在投入口构件3的多个投入口3A～3F中的投入口3A位于与作为电子零件的投入位置的投入口12重合的位置的状态下，当向投入口12投入电子零件时，投入的电子零件通过投入口3A以及滑道4A被引导至收纳部2A，而收纳于收纳部2A(参照图5的阴影部分。)。此时，分别固定于其他投入口3B～3F的滑道4B～4F 的出口侧分别位于对应的收纳部2B～2F内。

[0081] 当使旋转电机50从图5所示的状态沿箭头R的方向(顺时针)旋转60°时，如图6所示，投入口构件3沿着壳体10的上表面罩11的下表面11A，即，在配置有多个投入口3A～3F的面内平移，投入口构件3的多个投入口3A～3F中的投入口3B配置于与作为电子零件的投入位置的投入口12重合的位置。在该状态下，当向投入口12投入电子零件时，投入的电子零件通过投入口3B以及滑道4B被引导至收纳部2B，而收纳于收纳部2B(参照图6的阴影部分。)。此时，分别固定于其他投入口3A、3C～3F的滑道4A、4C～4F的出口侧分别位于对应的收纳部
2A、2C～2F内。

[0082] 此外，当使旋转电机50从该图6所示的状态沿箭头R的方向旋转60°(或者从图5所示的状态旋转120°)时，如图7所示，投入口构件3在配置有多个投入口3A～3F的面内平移，投入口构件3的多个投入口3A～3F中的投入口3C 配置于与作为电子零件的投入位置的投入口12重合的位置。在该状态下，当向投入口12投入电子零件时，投入的电子零件通过投入口3C以及滑道4C被引导至收纳部2C，而收纳于收纳部2C(参照图7的阴影部分。)。此时，分别固定于其他投入口3A、3B、3D～3F的滑道4A、4B、4D～4F的出口侧分别位于对应的收纳部2A、2B、2D～2F内。

[0083] 而且，当使旋转电机50从该图7所示的状态沿着箭头R的方向旋转60°(或者从图6所示的状态旋转120°或者从图5所示的状态旋转180°)时，如图8 所示，投入口构件3在配置有多个投入口3A～3F的面内平移，投入口构件3的多个投入口3A～3F中的投入口3D配置于与作为电子零件的投入位置的投入口 12重合的位置(参照图8的阴影部分。)。在该状态下，当向投入口12投入电子零件时，投入的电子零件通过投入口3D以及滑道4D被引导至收纳部2D，而收纳于收纳部2D。此时，分别固定于其他投入口3A～3C、3E、3F的滑道4A～ 4C、4E、4F的出口侧分别位于对应的收纳部2A～2C、2E、2F内。

[0084] 同样，当使旋转电机50沿箭头R的方向每次旋转60°时，投入口3E、3F 依次配置于与作为电子零件的投入位置的投入口12重合的位置，投入至投入口 12的电子零件分别通过投入口3E、3F以及滑道4E、4F而收纳于收纳部2E、 2F。此时，各滑道4A～4F的出口侧始终位于收纳部2A～2F内。在图5中，分别通过假想线(双点划线)示出了使旋转电机50以每次60°旋转360°地移动投入口构件3时的各滑道4A～4F的下端位置。需要说明的是，也可以使旋转电机50沿与箭头R相反的方向旋转来使投入口构件3移动。

[0085] 如上所述，在本实施方式的分类装置1中，无论旋转电机50的旋转角度如何，滑道4A～4F的出口侧都始终分别位于一一对应的收纳部2A～2F内。因此，在该分类装置1中，根据由检查装置判定的分类级别来移动投入口构件3，将与分类级别对应的投入口3A～3F中的任一个(某一个)配置于与作为电子零件的投入位置的投入口12重合的位置，将电子零件投入至投入口12，即使在所投入的该电子零件通过投入口3A～3F进入滑道4A～4F的紧后，即电子零件仍然位于滑道4A～4F内、且收纳于收纳部2A～2F之前，也能移动投入口构件3。

[0086] 即，在本实施方式的分类装置1中，无论投入口构件3的移动位置如何，滑道4A～4F的出口侧分别位于对应的收纳部2A～2F内，在向正确的收纳部 2A～2F进行引导的滑道4A～4F的入口侧一定位于投入口12的状态下投入电子零件，因此，电子零件一定会被导向正确的收纳部2A～2F，不会发生误分类。此外，在电子零件被投入至投入口3A～3F后，即使基于接下来所投入的电子零件的分类级别来使投入口构件3移动，也会向对应的收纳部2A～2F进行分类，因此，能准确高速地对大量电子零件进行分类。

[0087] 需要说明的是，可以采用如下构成：通过由橡胶这样的柔性材质来形成上述滑道4A～4F并且通过罩来覆盖收纳部2A～2F的上表面开口部，由此，防止从各个滑道4A～4F向收纳部2A～2F投入的电子零件的飞出。

[0088] 此外，在上述实施方式中，对通过旋转电机50的旋转角度来变更投入口 3A～3F的例子进行了说明，但并不限于旋转电机50，也可以采用通过组合一组或多组执行缸(cylinder)等直线动作设备来变更投入口3A～3F的构成。此外，在上述实施方式中，对以60°间隔在圆30上配置六个投入口3A～3F的例子进行了说明，但也可以通过以90°间隔配置四个投入口、或者以45°间隔配置八个投入口来任意地设定分类数。此外，也可以采用将投入口配置于多边形上、或者配置于一列或多列直线上的构成。

[0089] 在此，对将投入口配置于一列直线上的例子进行说明。图9～图11是表示对本发明的另一实施方式进行示出的分类装置的动作的图，各自的图(A)是省略了上表面罩的俯视图，图(B)是正面透视图。

[0090] 图9～图11所示的分类装置1A具备多个收纳部6A、6B、6C。投入口构件 7是形成有多个滑道8A、8B、8C的带滑道的分类板。此外，分类装置1A具备使投入口构件7沿着上表面罩11的下表面11A在X方向移动的移动机构9。

[0091] 在投入口构件7的上表面，在沿X方向延伸的同一直线上形成有作为多个滑道8A、8B、8C的各自的入口侧的投入口7A、7B、7C。滑道8A、8B、8C 的出口侧分别配置于对应的收纳部6A、6B、6C内，并且设为无论投入口构件7 的移动位置如何都分别位于对应的收纳部6A、
6B、6C内。

[0092] 移动机构9通过使投入口构件7沿多个投入口7A～7C的配置方向(X方向) 移动，来使投入口7A～7C向上表面罩11的投入口12的位置(投入位置P)移动。移动机构9例如由串联连接的一点定位型的气缸9A、9B构成。

[0093] 在图9所示的状态下，投入口7A位于投入位置P，从投入位置P向投入口 7A投入的电子零件通过滑道8A被投入向收纳部6A(参照图9(B)的阴影部分。)。当使一方的气缸9A从该图9所示的状态退缩时，如图10所示，投入口7B移动至投入位置P。在该状态下，从投入位置P向投入口7B投入的电子零件通过滑道8B被投入向收纳部6B(参照图10(B)的阴影部分。)。此外，当使两方的气缸9A、9B退缩时，如图11所示，投入口7C移动至投入位置P，从投入位置P向投入口7C投入的电子零件通过滑道8C被投入向收纳部6C(参照图11(B)的阴影部分。)。

[0094] 像这样，多个投入口7A～7C配置于同一直线上，即使通过移动机构9使投入口构件7沿多个投入口7A～7C的配置方向(X方向)移动，也会在向正确的收纳部6A～6C进行引导的滑道8A～8C的入口侧一定位于投入口12的状态下投入电子零件，因此，电子零件一定会被引导至正确的收纳部6A～6C，不会发生误分类。

[0095] 需要说明的是，上述对通过串联连接的一点定位型的气缸9A、9B来构成移动机构9的例子进行了说明，但也可以通过多点定位型的气缸、直线电机(linear motor)、滚珠丝杠与各种电机的组合、齿轮齿条(rack pinion)与各种电机的组合等来构成。

[0096] 接着，对组装了上述实施方式中的分类装置1、1A的装置进行说明。图12 是表示组装了本实施方式中的分类装置1、1A的电子零件制造装置的整体构成的图，图12(A)是俯视图，图12(B)是侧视图。

[0097] 图12所示的电子零件制造装置100是用于向以等间隔依次配置成圆弧状的多个作为工序处理机构的工序处理单元102依次输送多个电子零件S的装置。电子零件制造装置100具备：保持电子零件S的多个作为电子零件保持部的操作单元(handling unit)103、以及将操作单元103输送至工序处理单元102的作为输送机构的转台(turn table)104。

[0098] 此外，电子零件制造装置100具备：驱动转台104的作为输送用的驱动源的直驱电机(direct drive motor)105、以及以单独地驱动操作单元103的方式相互独立设置的多个作为保持部驱动机构的驱动单元106。

[0099] 转台104与工序处理单元102分离地水平配置于呈圆弧状配置的多个工序处理单元102的上方。多个操作单元103以与多个工序处理单元102相同的间隔配置于转台104的外周部。

[0100] 操作单元103由吸附嘴103B和将该吸附嘴103B支承为能在上下方向移动的支承部103A构成。支承部103A设于转台104的上方。

[0101] 如图12(A)所示，多个操作单元103以如下方式配置于转台104的外周部：在一个操作单元103与一个工序处理单元102的工序处理位置P重合的情况下，其他操作单元103也分别与任一(某一)工序处理位置P重合。即，多个工序处理单元102配置为：具备对电子零件S实施工序处理的工序处理位置P，工序处理位置P的水平面上的中心在与转台104同轴的一个圆上以等间隔排列。然后，多个操作单元103配置为：其吸附嘴103B的嘴顶端部103C的水平面上的中心位于工序处理位置P的水平面上的中心。

[0102] 工序处理单元102由以下部分构成：排出工序102A，将从球形加料器(ball feeder)101A和直线加料器(linear feeder)101B排列输送来的电子零件S从排出口(escape)转移至操作单元103；极性判别工序102B，判别电子零件S的极性；左右反转工序102C，基于该极性判别，使电子零件S旋转来替换极性；测试接触(test contact)工序102D，检查电子零件S的电特性；标记(marking) 工序102E；外观检查工序102F；拣选工序102G，去除在前述工序中被判定为不合格品的电子零件S；封装(tapping)工序102H；以及不合格品去除工序102I，去除残留零件。电子零件S保持在吸附嘴103B，以上述工序102A～102I的顺序被旋转输送。

[0103] 本实施方式中的分类装置1、1A组装于拣选工序102G。组装于拣选工序 102G的分类装置1、1A根据在测试接触工序102D、标记工序102E、以及外观检查工序102F中所判定的不合格品的分类级别来移动投入口构件3，使被投入至投入口12的电子零件S分别通过对应的投入口3A～3F以及滑道4A～4F而分类到收纳部2A～2F。此时，如上所述，在被投入至投入口12的电子零件S 分别进入到对应的投入口3A～3F之后，能马上为接下来的电子零件S的投入作准备而移动投入口构件3，因此，能谋求电子零件制造装置100的整体处理时间的缩短化。

[0104] 需要说明的是，可以使用图13所示的电子零件供给装置200来代替球形加料器101A以及直线加料器101B。图13是电子零件供给装置200的构成图。

[0105] 电子零件供给装置200具备：保持件(holder)204，保持供给盘210；以及拾取(pick up)装置205，使保持电子零件S的臂251旋转来将电子零件S从供给盘210中转至转台104。拾取装置205夹设配置于保持件204与转台104之间。特别是，对于转台104、拾取装置205、以及保持件204而言，转台104的平面104A、保持件204的供给盘210的盘面204A、以及臂251的旋转面205A相互正交配置。

[0106] 保持件204将供给盘210保持为铅垂。该保持件204具有使供给盘210平行于盘面204A地移动的滑动件(slider)241，使供给盘210的电子零件S朝向预定位置212依次配置。
滑动件241例如是丝杆(lead screw)。此外，特别是，在供给盘210为晶片环(wafer ring)的情况下，保持件204在供给盘210的可移动范围的中心具有顶起销242。顶起销242从电子零件S的并列设置面的相反侧朝向供给盘210延伸。顶起销242能沿轴向前进。滑动件241使各电子零件S 依次与顶起销242对置，顶起销242使对置的电子零件S从供给盘210的背侧顶起。预定位置212是拾取对象的电子零件S所移动的预定的位置，在供给盘 210为晶片(wafer)的情况下，是与顶起销242正对的位置。

[0107] 拾取装置205使臂251朝向实际位置213的电子零件S，通过臂251来拾取并且转交至转台104。实际位置213是拾取对象的电子零件S目前所在的位置，偏离于预定位置212。实际位置213因保持件204的滑动件241所具有的移动精度而产生。在臂251的顶端附设有吸附嘴252。吸附嘴252是通过吸附来拾取电子零件S的保持部。

[0108] 该吸附嘴252的内部为中空且一端开口，并且使开口端从臂251的顶端突出。吸附嘴252的内部与真空泵、喷射器(ejector)等负压产生装置的气压回路连通。电子零件S通过气压回路的负压产生而吸附于开口端，且电子零件S通过真空破坏、大气开放而脱离。

[0109] 拾取装置205使臂251以臂251的基端为中心回转，使臂251的仰角位移。臂251当朝向横向时与保持件204的供给盘210对置，能拾取电子零件S。臂 251当朝向正上时与正上方的转台104正对，能传递电子零件S。此外，除了臂 251的回转之外，拾取装置205还使臂251沿与回转面正交的方向以固定高度平行移动。

[0110] 在该拾取装置205中，除了电子零件S的中转之外，臂251的回转还涉及朝向实际位置213的纵向的拾取准备。此外，臂251的平行移动涉及朝向实际位置213的横向的拾取准备。拾取准备是如下工序：臂251与实际位置213的位置对准，在拾取装置205侧补偿供给盘210的移动偏差，来对臂251进行位置校正。拾取装置205通过臂251的回转以及平行移动，使臂251与实际位置 213对齐成一条直线来拾取电子零件S，并使臂251向正上回转来将电子零件S 传递至转台104的吸附嘴103B。

[0111] 通过使用以上构成的电子零件供给装置200，能处理在供给盘210呈阵列状排列的电子零件S。

[0112] 产业上的可利用性

[0113] 本发明的分类装置作为根据电特性检查、外观检查等检查结果来将小型半导体等电子零件分类并收纳于收纳部的装置是行之有效的。