[0001] 本发明涉及化学技术领域，具体为储存半导体超化学品的防膨胀储罐。

[0002] 半导体的制作过程中，需要使用到大量不同类别的工艺化学用品，因此需要大量的储存罐对这些工业化学用品进行储存。

[0003] 现有的半导体化学品多为液体，在日常储存时会因为温度而导致体积变化，在储罐内膨胀的液体会对储罐产生由内向外的压力，这些压力如果不及时释放，在开罐时会造成化学品喷涌出，不仅会污染环境，还可能对使用者造成意外伤害。因此亟需储存半导体超化学品的防膨胀储罐来解决上述问题。

[0018] 下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

[0019] 请参阅图1-3，本发明提出了储存半导体超化学品的防膨胀储罐，包括罐体1，罐体1为内部中空的圆柱形体，罐体1的顶面中心处固定连接有进料管2，且进料管2与罐体1内部连通，半导体化学品通过进料管2注入到罐体1的内部，进料管2的顶面活动安装有管盖，罐体1的底部固定安装有支撑脚3，支撑腿3的数量为四个，四个支撑脚3呈矩形分布，且每两个相互靠近的支撑脚3通过一个连接杆相互连接，支撑脚3对罐体进行支撑，通过连接杆与四个支撑脚3的固定连接能够增加支撑脚3的稳定性。

[0020] 罐体1的左侧壁面、右侧壁面、前侧壁面和后侧壁面均开设有泄压孔4，泄压孔4的形状呈矩形，泄压孔4的顶端和底端内壁均开设有转动槽6，转动槽6的形状呈梯形，左右两侧转动槽6的前后内壁和前后两侧转动槽6的左右内壁均设有圆柱凸起A7，圆柱凸起A7的外壁套接有转动轴承9，转动轴承9靠近泄压孔4一端的外壁固定连接有拉动杆10，拉动杆10远离转动轴承9的一端固定连接有泄压柱5。

[0021] 泄压柱5的形状呈矩形体，泄压柱5的面积与泄压孔4的面积一致，泄压柱5的厚度为泄压孔4厚度的两倍，泄压柱5位于罐体1内部的顶面和底面壁面均设有限位凸起13，限位凸起13呈矩形体，泄压柱5顶面和底面的中心处开设有活动槽12，活动槽12的内壁设有圆柱凸起B8，圆柱凸起B8的外壁套接有转动环11，泄压柱5顶端和底端的转动环11分别与泄压孔4顶端和底端的拉动杆10固定连接，在罐体1内部的液体膨胀时，泄压柱5受到向罐体1外部的压力，使连杆底端受力，转动环11和转动轴承9均转动，使泄压柱5向罐体1外部移动，将罐体1内部的压力通过泄压柱5传导出去，限位凸起13防止泄压孔4脱离泄压孔4，在罐体1内液体膨胀时，泄压柱5能够将压力进行吸收，避免开罐时会造成化学品喷涌，并且泄压柱5会随着压力从泄压孔4处突出，以帮助使用者观察到罐体1内液体压力状况。

[0022] 罐体1外壁对应泄压孔4的位置固定连接有漏液箱14，漏液箱14对应罐体1外壁的一面呈镂空状态，漏液箱14内壁对应泄压孔4的位置呈镂空状态，漏液箱14外壁在泄压孔4的孔口处开设有四组螺丝孔，每组螺丝孔的数量为两个，且每组螺丝孔在泄压孔4的两侧分布且相互对应，漏液箱14在泄压孔4的孔口处活动安装有玻璃板15，玻璃板15的壁面开设有四组圆形孔，每组圆形孔的数量为两个，每两个圆形孔在玻璃板15的表面呈对称分布，玻璃板15通过螺丝穿过圆孔后与漏液箱14上螺丝孔螺纹连接，从而对应玻璃板15进行固定，在需要对漏液箱14进行操作时，通过拆卸螺丝能够将玻璃板15拆卸下来，从而方便对漏液箱14的内部进行操作，玻璃板15的材质为防爆玻璃，防爆玻璃为现有公知技术，其能承受大量的压力并不损坏，在此不做赘述，漏液箱14对罐体1内部无法减压导致渗透出泄压孔4的液体进行承接，避免化学液体渗透到外界环境导致的污染问题，并且使用者能够通过玻璃板
15观察到漏液箱14内液体的含量，还可以拆卸玻璃板15以对泄压柱进行操作。

[0023] 在使用时，第一步，将半导体化学品注入罐体1内，然后将玻璃板15安装至漏液箱14上。

[0024] 第二步，定期透过玻璃板15观察漏液箱14内液体含量和泄压柱5的突出状态，从而确定是否需要调节温度等环境条件以稳定罐体1内化学品。

[0025] 尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。