技术领域
[0001] 本申请涉及用于液体介质的计量阀。
相关背景技术
[0002] 在电子元件和诸如智能手机和平板电脑的设备的生产中，大量生产步骤需要胶粘工艺。为了增加粘结结合的耐久性并改善和确保粘结结合的工艺稳定性，通常会利用等离子体激活待粘合的工件表面。由此，工件表面上的粘合剂会得以明显润湿，胶粘工艺也因此得以改善。这对于非极性材料（例如包含长链聚合物的塑料）尤其重要。虽然非极性的表面更难以涂覆和粘合，但是，被粘体的表面张力可以通过引入的等离子体能量而直接改变，由此可以在粘合结合过程中产生新的材料粘合。
[0003] 迄今为止，通常在施加粘合剂之前在一个单独过程中进行等离子体活化。然而，人们已经认识到，由于工件表面的激活不是永久性的，因此在等离子体激活之后应该尽可能快地使用粘合剂。因为在使用粘合剂之前，在前述的单独过程中已经再次失去一部分等离子体的激活。
具体实施方式
[0017] 图1立体地示出了模块化设计的计量阀10，其包括阀组件12、等离子发生器组件14和摄像模块16，它们彼此相邻地设置并且彼此连接。此外，压力调节阀18和用于控制计量过程的处理单元20位于计量阀10处。
[0018] 阀组件12具有可关闭式介质通道，其从未示出的介质供应装置通到喷口31、通常已知的阀驱动器22和可更换的阀芯24。阀驱动器和阀芯在此对应于通常用于计量应用并从现有技术可知的计量阀。
[0019] 等离子发生器组件14直接固定在大致为平行六面体形状的阀组件12的主表面上，等离子发生器组件同样是平行六面体形状，并且具有气体连接器26和气体通道28。气体通道延伸穿过等离子发生器组件14并具有排出口30。排出口在所示的计量阀10的位置垂直向下，并且直接设置在喷口31的旁边。气体通过气体通道28输送并在排出前被电离，然后作为等离子射流P垂直使用于工件表面W。
[0020] 如图4的等离子发生器组件14的横截面所示，等离子发生器组件具有形成为细长杆状的压电变压器32，该压电变压器对角地设置在大致为平行六面体形状的等离子发生器组件14中，并且在其下端（即图4所示的右端）产生高电压。这里，图4示出等离子射流P的轴线在与压电变压器32的纵向轴线L成斜角的方向上延伸，并且在所示实施例中该斜角实际上为大约120°的钝角。流过气体通道28的气体从填充有例如氦气或氮气的压力容器34（图5）经由机械压力调节器36供应到气体连接器26。在通过气体通道28的排出口30排出之前不久，气体被压电变压器32产生的高压电离，随后作为冷等离子气体P排出。所处理的气体的压力优选设定为可通过机械压力调节器36感知到的值。随后通过由处理单元20调节的压力调节器18对压力进行精细设定和测量或监测。在气体流动方向上，隔膜38设置在气体通道
28中且位于压力调节器之后，通过隔膜38可以设定气体的体积流量。
[0021] 图1还示出了同样大致为平行六面体形状的摄像模块16，其设置并固定在等离子发生器组件14的主表面上。在该摄像模块16中安装有摄像机42，摄像机设置有USB连接40（图5），通过摄像机可以传送工件表面W的图像。图2和图3示出了摄像机42的垂直向下朝向的侦测区域E，并且可以很容易地看出，该图像侦测区域与等离子射流P相交，从而通过摄像机42可以获得入射在工件表面W上的等离子射流P的图像。
[0022] 从图2还可以清楚地看出，摄像机42的光轴O、等离子射流P的轴线、以及计量介质的轨迹M彼此平行地延伸。此外，它们还设置在位于图2的图面中的直线上。
[0023] 设置有微控制器的处理单元20控制等离子发生器14和压力调节器18。处理单元20还连接到更高级别的处理单元，摄像机42和阀组件22的控制电子器件也连接到该更高级别的处理单元。通过该更高级别的处理单元可以实现过程监控、等离子体的产生和同步、以及计量和自动控制运动。
[0024] 根据另一实施方式，阀组件22和等离子发生器组件14也可以设置有喷嘴通道延伸部（未示出）。因此，可以相应地调整摄像机42的安装高度。
