技术领域
[0001] 本发明涉及工装技术领域，特别是涉及一种治具。
相关背景技术
[0002] 干法蚀刻(DRY Etch)设备的腔体由上下两部分组成，一般在下腔壁上方会安装一条密封圈(O-ring)，在腔体上下两部分合腔后起到密封作用，使腔体不会漏气。搭配保养时会对密封圈进行更换，目前仅有拆卸密封圈的治具，没有辅助安装密封圈的工具。当前的安装方式为：由人工使用被无尘布包裹的六角扳手进行按压，由于密封圈的尺寸会比安装沟槽稍大一些以保证其能起到很好的密封作用，因此人工按压比较费力且效率低下，若由一个人完成，需0.5-1小时，同时有对人的手指以及密封圈造成损伤的风险。
具体实施方式
[0017] 下面结合附图和实施例对本发明进行详细的说明。
[0018] 请参阅图1，是本发明治具的第一实施例结构示意图。所述治具应用于将密封圈安装进对应凹槽内，所述治具10包括：
[0019] 第一平板11，所述第一平板11上设置至少一第一通孔12；
[0020] 所述第一平板11的第一平面13用于接收外力，所述第一平板11上与所述第一平面13相对的第二平面14用于按压所述密封圈，移动所述治具10以通过所述第一平板11将所述密封圈安装进所述对应凹槽内。
[0021] 其中，所述至少一第一通孔12包括若干第一通孔12，所述若干第一通孔12为矩形，在所述第一平板11上间隔均匀排布。
[0022] 本实施例中，所述至少一第一通孔12包括三个所述第一通孔12。
[0023] 具体使用方法是将本发明所述治具10至于所述密封圈上方，然后使用橡胶锤轻轻敲击所述第一平板11的第一平面13使所述密封圈被压入所述凹槽。
[0024] 所述第一通孔12可以防止按压时所述密封圈在所述治具10的两端拱起。
[0025] 本实施例中，所述治具10的第一平板11既是受力板，又是按压板。
[0026] 请参阅图2，是本发明治具的第二实施例结构示意图。所述治具应用于将密封圈安装进对应凹槽内，所述治具20包括：
[0027] 第一平板21，所述第一平板21上设置至少一第一通孔22；
[0028] 第二平板23，所述第二平板23平行于所述第一平板21；及
[0029] 至少一支撑柱24，位于所述第一平板21与所述第二平板23之间，所述支撑柱24两端分别与所述第一平板21和所述第二平板23连接，所述第二平板23远离所述支撑柱24的一面用于接收外力。
[0030] 其中，所述至少一支撑柱24包括若干支撑柱24，所述支撑柱24与所述第一通孔22间隔均匀排布。
[0031] 在本实施例中，所述至少一第一通孔22包括三个所述第一通孔22，所述至少一支撑柱24包括四个所述支撑柱24。
[0032] 其中，所述第一平板21与所述第二平板23以及所述第一通孔22均为长方形，所述第一通孔22沿所述第一平板21的长边方向依次排布，所述第一通孔22的长边方向垂直于所述第一平板21的长边方向。
[0033] 其中，所述相邻两第一通孔22的间隔距离大于或等于所述第一通孔22的短边长度。
[0034] 本实施例中，所述相邻两第一通孔22的间隔距离等于所述第一通孔22的短边长度。
[0035] 其中，所述第一平板21和所述第二平板23以及所述支撑柱24一次性加工成型。
[0036] 本实施例中，所述第一平板21和所述第二平板23以及所述支撑柱24通过注塑一次性加工成型。
[0037] 其中，所述第一平板21和所述第二平板23以及所述支撑柱24为硬质塑料。
[0038] 本实施例中，所述第一平板21和所述第二平板23以及所述支撑柱24为聚氨酯硬泡。
[0039] 其中，所述第一平板21的宽度大于或等于所述凹槽的宽度；
[0040] 本实施例中，所述第一平板21的宽度大于所述凹槽的宽度，以保证密封圈受力均匀，对密封圈的损伤小。
[0041] 具体使用方法是将本发明所述治具20至于所述密封圈上方，然后使用橡胶锤轻轻敲击所述第二平板23，再通过所述第一平板21将所述密封圈压入所述凹槽。
[0042] 所述第一通孔22可以防止按压时所述密封圈在所述治具20的两端拱起。
[0043] 本实施例中，所述治具20的第一平板21为按压板，所述治具20的第二平板23为受力板，相对于本发明的第一实施例(图1)按压操作更为方便，整体而言所述密封圈受到所述治具20的压力更均匀。
[0044] 请参阅图3，是本发明治具的第三实施例结构示意图。所述治具应用于将密封圈安装进对应凹槽内，所述治具30包括：
[0045] 第一平板31，所述第一平板31上设置至少一第一通孔32；
[0046] 第二平板33，所述第二平板33平行于所述第一平板31；及
[0047] 至少一支撑柱34，位于所述第一平板31与所述第二平板33之间，所述支撑柱34两端分别与所述第一平板31和所述第二平板33连接，所述第二平板33远离所述支撑柱34的一面用于接收外力；
[0048] 弹性平板35，所述弹性平板35上设置有与所述第一平板31上的第一通孔34对应的第二通孔36，所述弹性平板35胶黏于所述第一平板31远离所述支撑柱34的一面，所述弹性平板35用于按压所述密封圈。
[0049] 其中，所述至少一支撑柱34包括若干支撑柱34，所述支撑柱34与所述第一通孔32间隔均匀排布。
[0050] 在本实施例中，所述至少一第一通孔32包括三个所述第一通孔32，所述至少一支撑柱34包括四个所述支撑柱23。
[0051] 其中，所述第一平板31与所述第二平板33以及所述第一通孔32均为长方形，所述第一通孔32沿所述第一平板31的长边方向依次排布，所述第一通孔32的长边方向垂直于所述第一平板31的长边方向。
[0052] 其中，所述相邻两第一通孔32的间隔距离大于或等于所述第一通孔32的短边长度。
[0053] 本实施例中，所述相邻两第一通孔32的间隔距离等于所述第一通孔32的短边长度。
[0054] 其中，所述第一平板31和所述第二平板33以及所述支撑柱34一次性加工成型。
[0055] 本实施例中，所述第一平板31和所述第二平板33以及所述支撑柱34通过注塑一次性加工成型。
[0056] 其中，所述第一平板31和所述第二平板33以及所述支撑柱34为硬质塑料。
[0057] 本实施例中，所述第一平板31和所述第二平板33以及所述支撑柱34为聚氨酯硬泡。
[0058] 其中，所述第一平板31的宽度大于或等于所述凹槽的宽度。
[0059] 本实施例中，所述第一平板31的宽度大于所述凹槽的宽度，以保证密封圈受力均匀，对密封圈的损伤小。
[0060] 本实施例中，所述弹性平板35为橡胶板。
[0061] 具体使用方法是将本发明所述治具30至于所述密封圈上方，然后使用橡胶锤轻轻敲击所述第二平板33，再通过所述第一平板31及所述弹性平板35将所述密封圈压入所述凹槽。
[0062] 所述第一通孔32及所述第二通孔36可以防止按压时所述密封圈在所述治具30的两端拱起。
[0063] 本实施例中所述治具30通过在所述第一平板31上设置弹性平板35相对于本发明的第二实施例(图2)避免了对操作人员手指的损伤以及对密封圈的损伤。
[0064] 结合图4a～图4c，对本发明第三实施例治具30作具体说明，
[0065] 如图4a所示，是本发明第三实施例治具30的主视结构示意图；
[0066] 其中，所述第一平板31高度H1为5mm，所述弹性平板35的高度H5为3mm，所述第二平板33的高度H3为8mm，所述支撑柱34的高度H4为50mm，长度为20mm；
[0067] 如图4b所示，是本发明第三实施例治具30的俯视结构示意图；
[0068] 其中，所述第一平板31的长度L1为100mm，宽度W1为140mm，所述弹性平板长度L5为100mm，宽度W5为140mm，所述第二平板33的长度L3为140mm，宽度W3为40mm。
[0069] 如图4c所示，是本发明第三实施例治具30的仰视结构示意图；
[0070] 其中，所述第一通孔32的长度L2为40mm，宽度W2为20mm；所述第二通孔36的长度L6为40mm，宽度W6为20mm。
[0071] 通过上述治具30将密封圈安装进对应凹槽内，一次按压后等到的按压区域A(如图5a所示)，对应所按压的密封圈长度L＝140mm，沿所述凹槽100轨迹(图中箭头x所示方向)平移a＝20mm后进行二次按压，得到按压区域B(如图5b所示)，通过上述治具30连续两次按压可对应将密封圈长度S＝160mm压入所述凹槽100内。
[0072] 本发明通过一种治具，应用于将密封圈安装进对应凹槽内，所述治具包括：第一平板，所述第一平板上设置至少一第一通孔；第二平板，所述第二平板平行于所述第一平板；及至少一支撑柱，位于所述第一平板与所述第二平板之间，所述支撑柱两端分别与所述第一平板和所述第二平板连接，所述第一平板远离所述支撑柱的一面还设置有弹性平板，所述弹性平板上设置有与所述第一平板上的第一通孔对应的第二通孔，所述第二平板远离所述支撑柱的一面用于接收外力，所述弹性平板用于按压所述密封圈，通过上述治具将所述密封圈压入对应所述凹槽内，在提高密封圈的安装效率的同时避免了操作人员手指的损伤以及对密封圈的损伤。
[0073] 以上所述仅为本发明的实施方式，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。
