技术领域
[0001] 本发明涉及测定装置。
相关背景技术
[0002] 作为测定被测定体中的驱动装置的动作精度的测定装置，例如专利文献1公开了检查供料器中的元件带的移送动作的精度的装置。而且，专利文献2公开了检查元件安装机中的电子元件的移载动作的精度的装置。专利文献1、2的测定装置基于通过测定相机来拍摄测定模型(基准带、矩阵基板)而取得的图像数据，算出指令位置与实际位置之间的误差，来测定驱动装置的动作精度。
[0003] 在先技术文献
[0004] 专利文献1：日本特开平05-167299号公报
[0005] 专利文献2：日本特开2005-216974号公报
具体实施方式
[0018] 以下，参照附图，说明将本发明的测定装置具体化了的实施方式。测定装置用于被测定体中的驱动装置的动作精度的测定。在实施方式中，例示出以使用于元件安装机的供料器为被测定体而应用了本发明的测定装置的形态。上述元件安装机是通过保持部件保持由供料器供给的电子元件，并将该电子元件向电路基板上的预定位置安装的装置。
[0019] <实施方式>
[0020] (测定装置1的结构)
[0021] 测定装置1装入于例如供料器保养装置，测定供料器50的移送动作的精度。在本实施方式中，如图1所示，供料器50的测定装置1通过设于基台2的供料器保持部3对作为被测定体的供料器50进行保持。由测定装置1保持的供料器50成为被供给电力并且能够与后述的控制装置20通信的状态。
[0022] 测定装置1具备测定相机10和控制装置20。测定相机10是具有CCD(Charge Coupled Device：电荷耦合器件)或CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor：互补金属氧化物半导体)等拍摄元件的数码式的拍摄装置。测定相机10基于以能够通信的方式连接的控制装置20的控制信号对处于相机视野11(参照图3)内的范围进行拍摄。测定相机10将拍摄的图像数据向控制装置20送出。
[0023] 在本实施方式中，测定相机10以光轴成为铅垂方向的方式固定于测定装置1的基台2。测定相机10构成为能够拍摄保持于供料器保持部3的供料器50。更具体而言，测定相机10构成为能够拍摄供料器50中的元件取出部。而且，测定相机10的相机视野11通过镜头单元的结构而设定于预定范围。
[0024] 控制装置20主要由CPU和各种存储器、控制电路构成。控制装置20控制供料器50的动作精度的测定处理。而且，控制装置20通过与供料器50的通信，取得对该供料器50进行确定的识别信息及在供料器50的移送动作中使用的修正信息。而且，控制装置20可以设为与作为外部装置的主机以能够通信的方式连接，共有由该主机管理的与供料器50相关的信息。关于控制装置20的详细结构，在后文叙述。
[0025] (供料器50的结构)
[0026] 供料器50安设于未图示的元件安装机的元件供给装置的插槽。供料器50对卷绕于带盘的元件带(相当于本发明的“移动体”)进行间距进给，以能够在取出部Nt取出电子元件的方式进行供给。
[0027] 如图2所示，供料器50具备：壳体51、轨道52、基准标记53、驱动装置60及供料器控制部70。壳体51形成为扁平的箱形状，插入并固定于元件供给装置的插槽或测定装置1的供料器保持部3。轨道52以从壳体51的后部侧的带插入部Ni至前部侧的元件取出部Nt地设置。轨道52的上表面构成移送元件带的移送路的一部分。
[0028] 基准标记53配置在元件取出部Nt附近，表示供料器50的基准位置。基准标记53使用于元件安装机识别在元件供给装置的插槽中是否安设有供料器50的状态的处理。在本实施方式中，基准标记53形成为圆形(参照图3)。基准标记53兼用于测定装置1对供料器50的动作精度的测定。基准标记53配置于在供料器50固定于测定装置1的供料器保持部3的状态下处于测定相机10的相机视野11内的位置。
[0029] 如图2所示，供料器50的驱动装置60具备：电动机61、减速齿轮62、中间齿轮63及一对链轮64。在本实施方式中，电动机61是与由供料器控制部70供给的脉冲电力同步地进行驱动的步进电动机。电动机61根据上述脉冲电力而使旋转轴61a旋转。在电动机61的旋转轴61a上设有驱动齿轮61b。
[0030] 减速齿轮62及中间齿轮63分别以能够旋转的方式支撑于壳体51。减速齿轮62具有与电动机61的驱动齿轮61b啮合的大径齿轮62a和设定为齿数比大径齿轮62a少的的小径齿轮62b。中间齿轮63与减速齿轮62的小径齿轮62b啮合。通过这样的结构，电动机61输出的驱动力根据驱动齿轮61b与大径齿轮62a的齿数差及小径齿轮62b与中间齿轮63的齿数差而使旋转速度减速。
[0031] 一对链轮64分别以能够旋转的方式支撑于壳体51。在一对链轮64的外周面形成有能够与元件带的进给孔卡合的卡合突起64a。卡合突起64a使一部分从形成于轨道52的窗部52a向轨道52的上表面突出。而且，一对链轮64分别具有与中间齿轮63在互不相同的相位处啮合的被驱动齿轮64b。一对链轮64被传递减速后的驱动力，旋转与上述脉冲电力对应的角度。
[0032] 供料器控制部70控制供料器50的各种动作。在供料器控制部70的存储器存储有在电子元件的供给控制等中执行的固件和修正量等设定值。供料器控制部70在以能够通信的方式保持于元件供给装置的插槽或测定装置1的供料器保持部3的状态下，根据外部输入的指令值来控制驱动装置60的移送动作。即，供料器控制部70作为向电动机61供给脉冲电力的驱动器发挥作用。
[0033] 这样，供料器50构成为能够使元件带沿着规定的移送方向移动。在此，上述移送方向是从带插入部Ni至元件取出部Nt的沿着轨道52的方向。而且，供料器50使元件带移动的移送动作包括连续地送出元件带的连续进给和例如以收纳的电子元件的间隔间歇性地送出的间距进给。
[0034] 在此，供料器50中的移动体(移送的对象)为元件带，因此可设想为从移动体侧向驱动装置60施加的负载为一定以下。因此，供料器控制部70通过开环控制对具有步进电动机(电动机61)的驱动装置60进行控制。即，供料器控制部70基于输入的指令值，决定脉冲电力的频率及脉冲数，并将该脉冲电力向电动机61供给。
[0035] 另外，供料器控制部70在决定上述脉冲电力时，反映与驱动装置60的状态对应的修正量。该驱动装置60的状态包含例如减速齿轮62的旋转角度。以电动机61为控制上的原点角度并以与该电动机61的驱动齿轮61b啮合的减速齿轮62的状态为基准，减速齿轮62的旋转角度相当于从该基准开始伴随着电动机61的旋转而减速齿轮62旋转的角度。
[0036] 并且，根据减速齿轮62的旋转角度，以例如将360度除以减速齿轮62的大径齿轮62a的齿数而得到的值进行分区，对于各分区分别设定上述修正量。具体而言，作为修正量，设定为例如使与基于指令值的旋转角度对应的脉冲数以恒定比例增减。
[0037] 在供料器控制部70决定脉冲电力时反映修正量是基于以下的理由。在驱动装置60中，在电动机61与一对链轮64之间隔有对驱动力的旋转速度进行减速的减速机构(驱动齿轮61b、减速齿轮62、中间齿轮63、被驱动齿轮64b)。该减速机构具有由于制造上的误差或供料器50的组装误差等而产生的旋转不均等固有的不均匀性。
[0038] 因此，即便向电动机61供给同一脉冲电力，根据驱动装置60的状态不同而元件带的移动量有时也会不同。因此，供料器控制部70如上所述预先设定与驱动装置60的状态对应的修正量，基于输入的指令值及与当前的状态对应的修正量来决定脉冲电力。驱动装置60向电动机61供给该脉冲电力，结果是将元件带移送与指令值对应的移送量。
[0039] (测定模型的结构)
[0040] 测定装置1具备使用于供料器50的间距进给的动作精度的测定的测定模型。在本实施方式中，如图3所示，测定模型是模仿了元件带的专用的测定用带80。测定用带80由在通过供料器50移送时难以产生变形的金属等材料形成。测定用带80具有：带主体81、多个进给孔82及多个测定标记83。
[0041] 带主体81设定为与元件带对应的厚度，呈带状地延伸形成。多个进给孔82是以与元件带的进给孔相同的间隔沿着带主体81的延伸方向排列的贯通孔。多个进给孔82构成为能够与供料器50的链轮64的卡合突起64a卡合。通过这样的结构，测定用带80形成为在装填于供料器50的状态下，能够对应于元件带由驱动装置60进行间距进给。
[0042] 如图3所示，多个测定标记83以比相机视野11的移送方向(图3中的上下方向)上的宽度Wf窄的规定间隔P(Wf>P)且沿着移送方向排列。规定间隔P设定为在测定相机10的一次拍摄中将多个测定标记83包含于图像数据中。在本实施方式中，将规定间隔P设定为收纳于元件带的电子元件的间隔除以整数而得到的值。
[0043] 另外，在本实施方式中，测定标记83是通过对带主体81的冲裁加工而形成的圆形的贯通孔。作为测定模型而使用的测定用带80保证了相邻的测定标记83的移送方向上的规定间隔P、测定标记83的带宽度方向(移送正交方向)上的位置及形状的准确性(在本实施方式中为圆度)。由此保证的精度对应于测定装置1的动作精度的测定要求的精度。
[0044] (控制装置20的详细结构)
[0045] 如图1所示，测定装置1的控制装置20具备：移动控制部21、拍摄控制部22、图像处理部23及误差测定部24。移动控制部21经由供料器控制部70向驱动装置60送出指令值，相对于测定相机10而将测定用带80定位于移送方向上的指令位置。移动控制部21对供料器控制部70送出指令值，以使例如从当前的驱动装置60的状态开始将测定用带移送规定量。
[0046] 拍摄控制部22通过测定相机10拍摄被定位的测定用带80而取得图像数据(对应于图3中的相机视野11)。详细而言，拍摄控制部22对测定相机10送出控制信号，以拍摄局部性地处于测定相机10的相机视野11内的测定用带80。拍摄控制部22取得拍摄的图像数据，将图像数据与移动控制部21送出的指令值建立关联地存储。
[0047] 图像处理部23基于图像数据包含的多个测定标记83(参照图3)，算出测定用带80的实际位置。测定用带80的实际位置是定位在供料器50的轨道52上的测定用带80的实际的位置。作为基于图像数据的实际位置的算出方法，在本实施方式中，图像处理部23采用的是使用同一图像数据包含的基准标记53的方法。
[0048] 具体而言，图像处理部23算出测定标记83相对于图像数据包含的基准标记53的位置的相对位置，基于该算出的结果来算出测定用带80的实际位置。而且，图像处理部23在测定标记83的实际位置的算出中，使用图像数据包含的多个测定标记83。图像处理部23在本实施方式中，基于多个测定标记83的位置及规定间隔P而算出进行了平均化的测定用带80的实际位置。
[0049] 此外，图像处理部23基于多个测定标记83的测定标记信息对各测定标记83的有效性进行判定。上述测定标记信息可包含图像数据中的多个测定标记83的位置(例如，以基准标记53为原点的平面坐标)、形状(测定标记83的圆度)等。本实施方式的测定标记信息包含测定标记83的位置及形状的识别的处理结果。
[0050] 在此，在通过图像处理而识别出的测定标记83的位置或形状中，有时由于拍摄环境或测定用带80的表面的擦伤等状态而包含误差。因此，图像处理部23构成为使用图像数据包含的多个测定标记83中的基于测定标记信息而判定为有效的测定标记83来算出测定用带80的实际位置。关于基于图像处理部23的实际位置的详情在后文叙述。
[0051] 误差测定部24基于与向供料器50送出的指令值对应的指令位置及测定用带80的实际位置，来测定驱动装置60的移送方向上的定位误差。具体而言，误差测定部24取得实际距离与基于指令位置的理想距离之间的差量作为定位误差，上述实际距离是通过图像处理部23算出的测定用带80的实际位置与基准标记53的位置之间的移送方向上的距离。
[0052] (移送动作的精度的测定)
[0053] 说明上述测定装置1对供料器50的动作精度的测定处理。另外，在此，例示出为了对供料器50设定适当的修正量而测定装置1测定定位误差的形态。而且，在测定处理时，装填有测定用带80的供料器50安设于测定装置1的供料器保持部3。
[0054] 测定装置1首先如图4所示执行对于保持于供料器保持部3的供料器50的准备处理(步骤11(以下，将“步骤”标记为“S”))。在准备处理中，测定装置1的控制装置20通过与供料器50的供料器控制部70进行通信而取得确定该供料器50的识别符号及当前设定的修正量等。
[0055] 另外，控制装置20在准备处理(S11)中，对供料器控制部70送出指令值，以使驱动装置60的电动机61复原成原点角度。由此，电动机61旋转至控制上的原点角度，成为驱动齿轮61b在预定的相位处与减速齿轮62的大径齿轮62a啮合的状态。
[0056] 接下来，移动控制部21对供料器控制部70送出指令值，以将测定用带80移送一间距(S12)。上述一间距适当设定为例如元件带收纳的电子元件的间隔等。在本实施方式中，一间距设定为使减速齿轮62的大径齿轮62a旋转一齿量的情况下的测定用带80的移送量。
[0057] 另外，动作精度的测定的目的是对供料器50设定适当的修正量，因此供料器控制部70在测定用带80的移送中不应用修正量。即，供料器控制部70向驱动装置60供给与一间距对应的一定的脉冲电力，将测定用带80定位于间距进给的指令位置。
[0058] 拍摄控制部22通过测定相机10拍摄定位后的测定用带80而取得图像数据(S13)。取得的图像数据与移动控制部21送出的指令值建立关联，更具体而言与从电动机61的原点角度开始累计的间距进给的次数建立关联地存储于控制装置20。
[0059] 控制装置20关于通过一间距进行了分区的驱动装置60的状态(在本实施方式中，使减速齿轮62的大径齿轮62a旋转了一齿量的状态)，对是否进行了拍摄处理(S13)进行判定(S14)。控制装置20反复进行该动作直至对于全部分区进行了移送动作(S12)及拍摄处理(S13)为止。
[0060] 接下来，如图5所示，控制装置20执行定位误差的算出处理。在该处理中，图像处理部23首先取得移动控制部21送出的指令值和与该指令值建立了关联的图像数据(S21)。图像处理部23执行对于取得的图像数据包含的基准标记53进行识别的处理(S22)。由此，取得包含图像数据中的基准标记53的位置及形状的基准标记信息。
[0061] 图像处理部23判定基准标记信息中的基准标记53的形状，具体而言判定圆度是否处于容许范围内(S23)。在基准标记53的圆度不处于容许范围内的情况下(S23为“否”)，由于未得到图像数据中的基准位置，因此执行错误处理(S31)，中断供料器50的动作精度的测定处理。
[0062] 另一方面，图像处理部23在基准标记53的圆度处于容许范围内的情况下(S23为“是”)，执行对多个测定标记83进行识别的处理(S24)。由此，在图像数据中取得以基准标记53的位置为原点的各测定标记83的包含相对位置及形状的测定标记信息。并且，图像处理部23基于测定标记信息，判定动作精度的测定有效的测定标记83的个数是否为规定值Mn以上(S25)。
[0063] 上述规定值Mn是根据动作精度的测定处理要求的精度而预先设定的值，在本实施方式中设定为2(Mn＝2)。而且，测定标记83的有效性通过测定标记83的位置及形状来判定。图像处理部23首先判定测定标记83的圆度是否处于容许范围内，将不处于容许范围内的测定标记83排除。接下来，图像处理部23对于圆度处于容许范围内的测定标记83，取得相对于基准标记53的带宽度方向上的分离距离。并且，图像处理部23将取得的分离距离不处于容许范围内的测定标记83排除。
[0064] 图像处理部23通过上述而提取出对于动作精度的测定处理有效的测定标记83。另外，在有效的测定标记83的个数小于规定值Mn的情况下(S25为“否”)，由于无法基于图像数据算出测定用带80的实际位置，因此执行错误处理(S31)，中断供料器50的动作精度的测定处理。另一方面，在有效的测定标记83的个数为规定值Mn以上的情况下(S25为“是”)，图像处理部23分别算出基于各测定标记83的测定用带80的实际位置(S26)。
[0065] 在此，如图3所示，例如图像数据中的多个测定标记83中的连续五个测定标记83A～83E被判定为有效的情况下，图像处理部23算出各测定标记83A～83E相对于基准标记53的移送方向上的实际距离Da～De。并且，图像处理部23基于有效的测定标记83A～83E的实际距离Da～De及移送方向上的规定间隔P，算出进行了平均化的测定用带80的实际位置(S27)。
[0066] 误差测定部24算出进行了平均化的测定用带80的实际位置和基准标记53的位置在移送方向上的平均实际距离Dv与基于指令位置的理想距离Dm之间的差量作为定位误差ΔS(S28)。控制装置20对于全部图像数据判定(S29)是否进行了定位误差ΔS的算出(S28)。控制装置20反复进行上述处理(S21～S29)直至对于全部图像数据算出了定位误差ΔS为止。
[0067] 控制装置20基于通过一间距而与分区对应地分别算出的定位误差ΔS，分别算出与驱动装置60的状态对应的修正量并存储。这样，测定装置1向驱动装置60供给一定的脉冲电力，基于各分区的测定用带80的理论的移送量和通过图像数据包含的多个测定标记83而实测出的移送量，算出适当的修正量。该修正量被从控制装置20向供料器50的供料器控制部70传送，使用于供料器50的移送动作的控制。
[0068] <实施方式的结构的效果>
[0069] 测定装置1以具备使移动体(元件带)沿着规定的移送方向移动的驱动装置60的被测定体(供料器50)为对象，测定驱动装置60的动作精度。测定装置1具备：测定相机10，具有预定的相机视野11；测定模型(测定用带80)，具有以比相机视野11的移送方向上的宽度Wf窄的规定间隔P且沿着移送方向排列的多个测定标记83；移动控制部21，向驱动装置60送出指令值，将测定模型(测定用带80)定位于移送方向上的指令位置；拍摄控制部22，通过由测定相机10对定位后的测定模型(测定用带80)进行拍摄而取得图像数据；图像处理部23，基于图像数据中包含的多个测定标记83算出测定模型(测定用带80)的实际位置；及误差测定部24，基于指令位置及实际位置，测定驱动装置60的移送方向上的定位误差ΔS。
[0070] 根据这样的结构，测定装置1基于多个测定标记83来算出测定用带80的实际位置(S26、S27)。由此，多个测定标记83彼此的位置关系被反映到测定装置1的测定精度中，因此能够提高测定装置1的测定精度。而且，多个测定标记83分别表示测定用带80的实际位置，所以测定装置1能够对图像数据中的多个测定标记83适当进行增补而算出测定用带80的实际位置。由此，能够增加测定用带80的耐用次数、延长耐用期限。
[0071] 另外，图像处理部23分别取得图像数据中的多个测定标记83的位置，基于多个测定标记83的位置及规定间隔P算出进行了平均化的测定模型(测定用带80)的实际位置。
[0072] 根据这样的结构，能够降低测定用带80的姿势或拍摄环境的变动等对图像处理的影响。由此，能够更准确地算出测定用带80的实际位置，因此能够提高测定装置1的测定精度。
[0073] 另外，图像处理部23取得包含图像数据中的多个测定标记83的位置或形状的测定标记83信息，使用基于测定标记83信息判定为有效的测定标记83来算出测定模型(测定用带80)的实际位置。
[0074] 根据这样的结构，将对于算出测定用带80的实际位置的图像处理而言不适当的测定标记83排除，并通过其他测定标记83进行增补而能够算出测定用带80的实际位置。由此，与一个测定标记83对于图像处理为不适当的情况下进行错误处理的结构相比，能够增加测定用带80的耐用次数、延长耐用期限。
[0075] 另外，在被测定体(供料器50)上，在处于相机视野11内的位置配置有基准标记53。图像处理部23算出多个测定标记83相对于图像数据中包含的基准标记53的相对位置，并基于该算出的结果来算出测定模型(测定用带80)的实际位置。
[0076] 根据这样的结构，使用包含基准标记53及多个测定标记83的图像数据，算出测定用带80的实际位置。由此，无论驱动装置60的位置信息(旋转角度、控制上的位置坐标)如何，都能够算出测定用带80相对于基准标记53的相对的实际位置。由此，能够在不需要检测驱动装置60的位置或角度的传感器的情况下测定驱动装置60的动作精度。
[0077] 另外，被测定体是以收纳电子元件的元件带为移动体，通过驱动装置60沿着移送方向进行间距进给而供给电子元件的供料器50。测定模型是对应于元件带而能够由驱动装置60进行间距进给方式所形成的的测定用带80。
[0078] 根据这样的结构，测定装置1将供料器50作为被测定体，使用测定用带80来测定元件带的移送动作的精度。在动作精度的测定中，模仿了元件带的测定用带80在供料器50内部的带传送路上被移送。因此，在测定用带80的表面，由于与带引导件等的滑动而有时会产生擦伤等。
[0079] 这样的擦伤会对图像处理中的测定标记83的识别精度造成影响。对此，通过上述那样的结构，测定装置1对图像数据中的多个测定标记83适当进行增补而能够算出测定模型(测定用带80)的实际位置。由此，在以供料器50为被测定体的动作精度的测定中应用本发明的测定装置1的情况特别有用。
[0080] 另外，供料器50的驱动装置60使用步进电动机(电动机61)。供料器50的控制装置基于外部输入的指令，对步进电动机进行开环控制，对元件带进行间距进给。在这样的开环控制中，与反馈控制相比，装置结构简易且能够减轻控制负载，另一方面，动作时的修正量直接影响动作精度。
[0081] 因此，对应于被进行开环控制的驱动装置60，要求更适当的修正量的设定。对此，通过上述那样的结构，测定装置1将多个测定标记83彼此的位置关系反映到测定装置1的测定精度中，因此能够提高测定装置1的测定精度。由此，能够更适当地设定使用于开环控制的修正量。因此，在具备通过开环控制进行驱动的驱动装置60的供料器50的动作精度的测定中应用本发明的测定装置1的情况特别有用。
[0082] <实施方式的变形形态>
[0083] (关于测定装置1的应用)
[0084] 在实施方式中，测定装置1设为以供料器50的动作精度的测定的精度提高为目的，使用多个测定标记83算出测定用带80的实际位置的结构。具体而言，在对于动作精度的测定有效的测定标记83的个数为规定值Mn(＝2)以上的情况下(S25为“是”)，测定装置1进行定位误差的测定(S26～S28)。
[0085] 与此相对，测定装置1在以作为测定模型的测定用带80的耐用次数的增加、耐用期限的延长为目的的情况下，可以使用至少一个有效的测定标记83来算出测定用带80的实际位置。具体而言，测定装置1将上述规定值Mn设定为1。根据这样的结构，测定装置1以图像数据包含的多个测定标记83为对象进行图像处理，除了全部测定标记83无效的情况之外，都能够进行使用了该测定用带80的动作精度的测定。
[0086] 在此，仅以距基准标记53在移送方向上处于理想距离Dm的测定标记83为对象来算出测定用带80的实际位置的结构中，当判断为该测定标记83由于周缘的污损或擦伤的影响而测定无效时，中断动作精度的测定处理。与此相对，根据上述那样的结构，以处于相机视野11内的多个测定标记83为对象进行图像处理，能够通过残存至少一个有效的测定标记83而继续动作精度的测定处理。
[0087] 由此，多个测定标记83中的至少一个表示测定用带80的实际位置，因此测定装置1能够对图像数据中的多个测定标记83适当进行增补而算出测定用带80的实际位置。由此，能够增加测定用带80的耐用次数、延长耐用期限。但是，从提高定位误差的测定精度的观点来说，优选的是实施方式例示的形态(将规定值Mn设定为2以上的形态)。
[0088] (关于图像处理)
[0089] 在实施方式中，图像处理部23基于多个有效的测定标记83及移送方向上的规定间隔P，算出进行了平均化的测定用带80的实际位置(S27)。与此相对，图像处理部23只要基于图像数据中包含的多个测定标记83而算出测定用带80的实际位置即可，可以采用各种形态。
[0090] 具体而言，可设想例如从识别出的多个测定标记83中的圆度最高的测定标记开始依次提取规定的数量的测定标记83来算出测定用带80的实际位置的结构等。这是利用了测定标记83中的圆度越高则能够看作越准确地表示实际位置的情况的结构。
[0091] 另外，控制装置20在提示驱动装置60的移送方向上的定位误差的测定结果时，可以一并提示图像处理的结果。具体而言，通过提示图像数据包含的多个测定标记83中的有效的测定标记83的比例或各自的圆度，能够对于测定结果的可靠度或测定用带80的更换时期进行引导。
[0092] (关于基准标记53及测定标记83)
[0093] 在实施方式中，设于供料器50的基准标记53及排列于测定用带80的测定标记83形成为圆形。与此相对，基准标记53及测定标记83只要呈规定的形状即可，可以采用各种形状。而且，测定标记83可以取代贯通孔，而例如在带主体81的表面通过激光打标等加工来形成。
[0094] 另外，在实施方式中，在供料器50上设有一个基准标记53。与此相对，也可以在供料器50上设置多个基准标记53，测定装置1以图像数据包含的多个基准标记53为对象进行图像处理，来算出测定用带80的实际位置。
[0095] 具体而言，在作为被测定体的供料器50上，在处于相机视野11内的多个不同的位置分别有配置基准标记53。图像处理部23分别算出多个测定标记83相对于图像数据包含的多个基准标记53的相对位置，并基于该算出的结果来算出测定用带80的实际位置。
[0096] 根据这样的结构，将多个基准标记53和多个测定标记83的各自的相对位置反映到测定装置1的测定精度中。由此，能够进一步提高测定装置1的测定精度。而且，测定装置1能够对图像数据中的多个基准标记53适当进行增补而算出测定用带80的实际位置。由此，能够延长基准标记53的耐用期限。
[0097] 另外，在如上所述将多个基准标记53配置于供料器50的结构中，图像处理部23也可以与实施方式中的测定标记83的有效性的判定(S25)同样地进行对于多个基准标记53的有效性的判定。具体而言，图像处理部23取得包含图像数据中的多个基准标记53的位置或形状的基准标记信息，使用基于基准标记信息而判定为有效的基准标记53来算出测定用带80的实际位置。
[0098] 根据这样的结构，能够将对于算出测定用带80的实际位置的图像处理无效的基准标记53排除。而且，在有效的基准标记53存在多个的情况下，能够相互增补而算出测定用带80的实际位置。由此，与唯一的基准标记53对于图像处理无效的情况下进行错误处理的结构相比，能够延长供料器50的基准标记53的耐用期限。
[0099] (测定装置1的应用范围)
[0100] 在实施方式中，测定装置1以对于供料器50设定适当的修正量为目的，对供料器50中的驱动装置60的动作精度进行测定。与此相对，测定装置1能够例如以检查设定的修正量是否适当为目的而使用于供料器50中的驱动装置60的动作精度的测定。
[0101] 在上述那样的动作精度的测定中，测定装置1的控制装置20对于供料器50的供料器控制部70以应用驱动装置60的动作控制中预先设定的修正量的方式进行指令。即，移送动作(对应于实施方式的S12)中的与一间距对应的脉冲电力被决定为反映了与驱动装置60的状态(例如，减速齿轮62的旋转角度)对应的修正量的脉冲数。
[0102] 并且，测定装置1与实施方式同样地算出基于图像数据的测定用带80的实际位置，由此取得修正后的理论上的移送量与实测的移送量之间的差量。测定装置1能够根据取得的移送量的差量是否处于容许范围内，来检查修正量是否适当。
[0103] 另外，在实施方式中，测定装置1以供料器50为被测定体，使用于供料器50的驱动装置60的动作精度的测定。与此相对，只要是具备使移动体沿着规定的移送方向移动的驱动装置的被测定体，测定装置就能够以该被测定体为对象而应用于驱动装置的动作精度的测定。
[0104] 具体而言，测定装置能够应用为例如检查元件安装机中的电子元件的移载动作的精度(参照专利文献2：日本特开2005-216974号公报)的装置。根据这样的形态，移动体是保持电子元件的安装头。驱动装置是使安装头沿着XY方向移动的驱动装置(XY机器人)。而且，构成测定装置的测定相机与安装头一起设于驱动装置。
[0105] 并且，测定装置以在元件安装机的机内配置于驱动装置的可动范围的矩阵基板为测定模型进行动作精度的测定。即，测定装置反复进行基于驱动装置的规定的移送方向(例如X方向)的移送动作和对设于矩阵基板的分度标记(相当于本发明的“测定标记”)进行拍摄的动作。沿着规定的移送方向排列的多个分度标记设定为规定间隔，多个分度标记以在测定相机的相机视野内收纳多个的方式配置。
[0106] 测定装置通过拍摄而取得图像数据，以该图像数据包含的多个分度标记为对象，与实施方式同样地进行图像处理。并且，测定装置基于拍摄时的安装头的控制位置和通过图像处理作为相对于矩阵基板的相对位置而算出的安装头的实际位置，来测定驱动装置的动作精度。根据这样的结构，起到与实施方式相同的效果。
[0107] 即，由于将多个分度标记彼此的位置关系反映到测定装置的测定精度中，因此能够提高测定装置的测定精度。而且，多个分度标记分别表示安装头相对于矩阵基板的实际位置。由此，测定装置能够对图像数据中的多个分度标记适当进行增补而算出安装头的实际位置。由此，能够实现作为测定模型的矩阵基板的耐用期限的延长。
[0108] 另外，如上述形态那样，测定装置在能够识别移动体(安装头)的控制上的坐标位置的结构中，不一定需要处于相机视野11内的基准标记53。即，在实施方式例示的形态中，如果供料器保持部3保持的供料器50与测定相机10的位置关系能保证精度，则通过例如以图像数据的中心为基准，可以省略基准标记53。
[0109] 但是，从测定装置的制造成本和测定精度的提高的观点出发，优选的是无论测定相机10的设置精度如何，能够基于一个图像数据算出测定用带80的实际位置的结构。即，优选的是，如实施方式例示的那样在处于相机视野11内的位置设置基准标记53，基于多个测定标记83相对于基准标记53的相对位置，来算出测定模型(测定用带80)的实际位置的结构。
[0110] 附图标记说明
[0111] 1：测定装置，2：基台，3：供料器保持部
[0112] 10：测定相机
[0113] 20：控制装置
[0114] 21：移动控制部，22：拍摄控制部，23：图像处理部
[0115] 24：误差测定部
[0116] 50：供料器(被测定体)
[0117] 51：壳体，52：轨道，52a：窗部
[0118] 53：基准标记
[0119] 60：驱动装置
[0120] 61：电动机，61a：旋转轴，61b：驱动齿轮
[0121] 62：减速齿轮，62a：大径齿轮，62b：小径齿轮
[0122] 63：中间齿轮
[0123] 64：链轮，64a：卡合突起，64b：被驱动齿轮
[0124] 70：供料器控制部
[0125] 80：测定用带(测定模型)
[0126] 81：带主体，82：进给孔
[0127] 83、83A～83E：测定标记
[0128] Fc：相机视野，Wf：(相机视野的移送方向上的)宽度
[0129] P：(测定标记的)规定间隔
[0130] Da～De：实际距离，Dm：理想距离
[0131] Mn：规定值，ΔS：定位误差
[0132] Ni：带插入部，Nt：元件取出部
