本发明涉及吸附法提纯硅烷的方法；在吸附柱中装有吸附剂，粗硅烷通过吸附柱入口加入、经过吸附剂吸附后，高纯硅烷经过采出口采出。吸附柱为一个或多个串联。多个串联吸附柱是由硅烷入口和出口通过管道与吸附柱相连。吸附柱的吸附温度控制在-200～200℃。吸附剂是能吸附硅烷的杂质而不吸附硅烷的物质。吸附剂优选为分子筛、活性炭、硅胶、活性氧化铝和类似的吸附剂等。每个吸附柱中装填单一的吸附剂花落装填混合的吸附剂；本发明吸附提纯硅烷分离提纯硅烷操作工艺简单，设备投资少，得到的硅烷纯度高。提纯后的硅烷纯度达到6N及以上。吸附提纯中吸附剂容易再生，成本低，硅烷易燃易爆，该方法提纯硅烷条件温和，安全性高。