[0001] 本发明涉及一种生产系统，该生产系统通过多个处理装置对处理对象物实施规定的处理来生产多种产品。

[0002] 以往，公知了对处理对象物实施规定的处理来生产半导体等产品的生产系统(例如，参照专利文献1)。专利文献1中所记载的生产系统具有存放处理对象物的托架和对处理对象物进行处理的多个制造装置。托架具有存储有与所生产的产品相应的信息的标识码托架。各制造装置具有标识码读写装置，所述标识码读写装置对存储在标识码托架中的信息进行读取和更新，并且，在各制造装置中存储有工序工艺(recipe)对应表和登记工艺组。工序工艺对应表为登记有工序流程标识码号、工序号、工艺以及下一工序号的表格。

[0003] 在专利文献1所记载的生产系统中，当托架被搬进制造装置时，标识码读写装置读取存储在标识码托架中的工序流程标识码号以及工序号。并且，在该生产系统中，利用工序工艺对应表，检索与标识码读写装置所读取的工序流程标识码号以及工序号对应的工艺，并对处理对象物实施与登记在工序工艺对应表中的工艺相应的处理。

[0004] 专利文献1：日本特开平11-53439号公报

[0005] 在专利文献1所记载的生产系统中，由于存储有多个制造装置各自的工序工艺对应表，因此在利用该生产系统生产新种类的产品时或处理对象物的处理条件变更时(也就是说，在追加新的生产工序流程时或生产工序流程变更时)，必须对所有的制造装置变更工序工艺对应表。因此，在该生产系统中，在生产新种类的产品时和处理对象物的处理条件变更时的变更操作变得复杂。

[0032] 以下，参照附图，对本发明的实施方式进行说明。

[0033] (生产系统的结构)

[0034] 图1为用于说明本发明的实施方式所涉及的生产系统1的概略结构的框图。图2为用于说明存储于图1所示的可编程逻辑控制器12的对应表T的图。

[0035] 本实施方式的生产系统1为对处理对象物实施规定的处理，从而生产多种产品的系统。具体地说，本实施方式的生产系统1为用于对作为处理对象物的基板2实施规定的处理，从而生产作为产品的多种半导体的系统。该生产系统1具有：托架3，所述托架3存放多个基板2；多个处理装置4至7，多个所述处理装置4至7对基板2实施规定的处理；主机8；以及中继机9，所述中继机9通过网络与处理装置4至7连接，并通过网络与主机8连接。本实施方式的生产系统1具有四个处理装置4至7。

[0036] 在托架3存储有用于识别托架3的托架标识码(ID)。托架标识码例如与通过对存放于托架3的基板2实施规定的处理而生产的产品种类对应，针对每一种产品设定一个。

[0037] 在处理装置4至7中的每一个当中存储有处理装置4至7中的每一个处理装置对基板2的处理条件，即多个装置工艺(recipe)。并且，用于识别所存储的多个装置工艺的装置工艺号与装置工艺对应，并被存储于处理装置4至7中的每一个当中。例如，在处理装置4中，可通过四种处理条件对基板2实施处理，四个装置工艺分别与四个装置工艺号A1至A4(参照图2)中的各个对应，并被存储于处理装置4。也就是说，在处理装置4中存储有与装置工艺号A1对应的装置工艺、与装置工艺号A2对应的装置工艺、与装置工艺号A3对应的装置工艺以及与装置工艺号A4对应的装置工艺这四个装置工艺。

[0038] 并且，例如在处理装置5中，可通过三种处理条件对基板2实施处理，三个装置工艺分别与三个装置工艺号B1至B3(参照图2)中的各个对应，并被存储于处理装置5中。而且，例如，在处理装置6中，可通过两种处理条件对基板2实施处理，两个装置工艺分别与两个装置工艺号C1、C2(参照图2)中的各个对应，并被存储于处理装置6中。并且，例如，在处理装置7中，可通过五种处理条件对基板2实施处理，五种装置工艺分别与五个装置工艺号D1至D5(参照图2)中的各个对应，并被存储于处理装置7中。

[0039] 在本实施方式中，处理装置4对存放于托架3的基板2实施首次处理，处理装置5对由处理装置4处理后的基板2实施处理，处理装置6对由处理装置5处理后的基板2实施处理，处理装置7对由处理装置6处理后的基板2实施最后处理。本实施方式的处理装置4为对基板2实施首次处理的第一处理装置，处理装置5为对基板2实施第二次处理的第二处理装置，处理装置6为对基板2实施第三次处理的的第三处理装置，处理装置7为对基板2实施第四次处理的第四处理装置。

[0040] 在主机8中存储有多个主工艺号，多个所述主工艺号分别与用于生产多种产品的基板2的多个处理条件中的各个对应。例如，在本实施方式的生产系统1中，可生产六种产品，与基板2的六种处理条件分别对应的六个主工艺号001至006(参照图2)被存储于主机8。也就是说，在本实施方式的生产系统1中，可利用六种处理条件对基板2进行处理，从而生产六种产品，所述六种处理条件即为与主工艺号001对应的处理条件、与主工艺号002对应的处理条件、与主工艺号003对应的处理条件、与主工艺号004对应的处理条件、与主工艺号005对应的处理条件以及与主工艺号006对应的处理条件。并且，主工艺号001至006分别与存储于托架3中的托架标识码一一对应。

[0041] 中继机9包括个人计算机(PC)11和可编程逻辑控制器(PLC)12。PC11通过网络与处理装置4至7连接，并通过网络与主机8连接。PLC12通过网络与处理装置4至7连接，并通过网络与主机8连接。并且，PC11与PLC12之间通过网络连接。另外，PLC12也可不与主机8连接。

[0042] 在PLC12中存储有对应表T，所述对应表T规定与六个主工艺号001至006分别对应的四个处理装置4至7各自的装置工艺号。在对应表T中，例如，规定了装置工艺号A1、B1、C1、D1作为与主工艺号001对应的四个处理装置4至7各自的装置工艺号，规定了装置工艺号A2、B2、C2、D2作为与主工艺号002对应的四个处理装置4至7各自的装置工艺号。并且，在对应表T中，例如，规定了A3、B3、C1、D3作为与主工艺号003对应的四个处理装置
4至7各自的装置工艺号，规定了装置工艺号A4、B1、C2、D4作为与主工艺号004对应的四个处理装置4至7各自的装置工艺号，规定了A1、B2、C1、D5作为与主工艺号005对应的四个处理装置4至7各自的装置工艺号，规定了A2、B3、C2、D1作为与主工艺号006对应的四个处理装置4至7各自的装置工艺号。

[0043] 因此，在利用与主工艺号001对应的处理条件处理基板2时，在处理装置4中，利用与装置工艺号A1对应的装置工艺，对基板2实施处理，在处理装置5中，利用与装置工艺号B1对应的装置工艺，对基板2实施处理，在处理装置6中，利用与装置工艺号C1对应的装置工艺，对基板2实施处理，在处理装置7中，利用与装置工艺号D1对应的装置工艺，对基板2实施处理。并且，例如在利用与主工艺号004对应的处理条件处理基板2时，在处理装置4中，利用与装置工艺号A4对应的装置工艺，对基板2实施处理，在处理装置5中，利用与装置工艺号B1对应的装置工艺，对基板2实施处理，在处理装置6中，利用与装置工艺号C2对应的装置工艺，对基板2实施处理，在处理装置7，利用与装置工艺号D4对应的装置工艺，对基板2实施处理。

[0044] (生产系统的控制方法)

[0045] 图3为示出了利用图1所示的生产系统1对基板2进行处理时的控制流程的一个例子的流程图。

[0046] 如上所述，在生产系统1中，处理装置4对存放于托架3的基板2实施首次处理。当由省略图示的搬运机构搬运的托架3被搬进第一处理装置，即处理装置4时(步骤S1)，处理装置4读取存储于托架3的托架标识码，并将已读取的托架标识码发送到中继机9(步骤S2)。具体地说，在步骤S2中，处理装置4将已读取的托架标识码发送到PC11。并且，在步骤S2中，处理装置4从托架3获取基板2。已收到托架标识码的PC11将已收到的托架标识码发送到主机8(步骤S3)。也就是说，处理装置4在托架3被搬进处理装置4时读取托架标识码，并将已读取的托架标识码通过PC11发送到主机8。

[0047] 已收到托架标识码的主机8选择与已收到的托架标识码对应的主工艺号，并将已选择的主工艺号发送到PC11(步骤S4)。并且，在步骤S4中，主机8选择与已收到的托架标识码对应的基板标识码和批次标识码等基板信息，并将已选择的基板信息发送到PC11。已收到主工艺号以及基板信息的PC11将已收到的主工艺号以及基板信息发送到处理装置
4(步骤S5)。也就是说，已收到托架标识码的主机8通过PC11将与已收到的托架标识码对应的主工艺号以及基板信息发送到处理装置4。例如，主机8通过PC11将主工艺号001发送到处理装置4。另外，在步骤S5中，也可以是已收到主工艺号以及基板信息的PC11将该主工艺号以及基板信息发送到PLC12，并且由已收到主工艺号以及基板信息的PLC12将该主工艺号以及基板信息发送到处理装置4。

[0048] 已收到主工艺号的处理装置4将已收到的主工艺号发送到PLC12(步骤S6)。已收到主工艺号的PLC12从对应表T获取与已收到的主工艺号对应的处理装置4用的装置工艺号(步骤S7)，并将已获取的处理装置4用的装置工艺号发送到处理装置4(步骤S8)。例如，在PLC12收到主工艺号001的情况下，在步骤S7、S8中，PLC12获取与已收到的主工艺号001对应的处理装置4用的装置工艺号A1，并将其发送到处理装置4(参照图2)。

[0049] 已收到装置工艺号的处理装置4利用与已收到的装置工艺号对应的装置工艺，对基板2实施处理(步骤S9)。例如，在步骤S9中，已收到装置工艺号A1的处理装置4利用与装置工艺号A1对应的装置工艺，对基板2实施处理。如果处理装置4对基板2的处理结束，则处理装置4在处理结束时，将由处理装置4实施处理时的进程信息发送到PLC12(步骤S10)。该进程信息中包含有主工艺号、装置工艺号、基板标识码以及批次标识码等。已收到进程信息的PLC12存储已收到的进程信息，将其发送到PC11(步骤S11)。已收到进程信息的PC11存储进程信息，并将处理结果发送到主机8(步骤S12)。

[0050] 并且，当处理装置4对基板2的处理结束时，处理装置4将基板2以及主工艺号移交到处理装置5(步骤S13)。并且，在步骤S13中，处理装置4将基板信息与主工艺号一同移交到处理装置5。在本实施方式中，例如，存储主工艺号以及基板信息的存储部设置于基板2，如果移交基板2，则主工艺号以及基板信息与基板2一同被移交。另外，主工艺号以及基板信息也可通过网络从处理装置4发送到处理装置5。

[0051] 如果处理装置5获取基板2以及主工艺号，则对处理装置5实施与步骤S6至S13相同的步骤。也就是说，已获取主工艺号的处理装置5将已获取的主工艺号发送到PLC12，已获取主工艺号的PLC12从对应表T获取与已收到的主工艺号对应的处理装置5用的装置工艺号，并将已获取的处理装置5用的装置工艺号发送到处理装置5。例如，在PLC12收到主工艺号001的情况下，PLC12获取与已收到的主工艺号001对应的处理装置5用的装置工艺号B1并将其发送到处理装置5中(参照图2)。已收到装置工艺号的处理装置5利用与已收到的装置工艺号对应的装置工艺，对基板2实施处理，并且如果处理装置5对基板2的处理结束，则处理装置5将由处理装置5实施处理时的进程信息发送到PLC12。已收到进程信息的PLC12存储已收到的进程信息，并将其发送到PC11，已收到进程信息的PC11存储进程信息，并将处理结果发送到主机8。

[0052] 并且，当处理装置5对基板2的处理结束时，处理装置5将基板2、主工艺号以及基板信息移交给处理装置6。如果处理装置6获取基板2以及主工艺号，则同样对处理装置6实施与步骤S6至S13相同的步骤。并且，如果对处理装置6实施与步骤S6至S13相同的步骤，处理装置7获取基板2以及主工艺号，则同样对处理装置7实施与步骤S6至S13相同的步骤，对基板2的处理结束，产品完成。

[0053] 也就是说，在本实施方式中，如果将n设为2以上的整数，将对基板2实施第n次处理的处理装置5至7设为第n处理装置，则第n处理装置从第n-1处理装置获取基板2以及主工艺号，并将已获取的主工艺号发送到PLC12。并且，收到来自第n处理装置的主工艺号的PLC12将与已收到的主工艺号对应的第n处理装置用的装置工艺号发送到第n处理装置，第n处理装置利用与已收到的装置工艺号对应的装置工艺，对基板2实施处理，并且在对基板2的处理结束时，将基板2以及主工艺号移交到第n+1处理装置。另外，在本实施方式中，n为2至4的整数。

[0054] (本实施方式的主要效果)

[0055] 如上述说明，在本实施方式中，例如在主机8存储有六个主工艺号001至006，处理装置4至7中的每一个处理装置对基板2的处理条件，即多个装置工艺与用于识别多个装置工艺的装置工艺号对应，并被存储于处理装置4至7中的每一个当中，在PLC12中存储有对应表T，所述对应表T规定与六个主工艺号001至006分别对应的四个处理装置4至7各自的装置工艺号。并且，在本实施方式中，处理装置4将从主机8收到的主工艺号发送到PLC12，并从PLC12接收与该主工艺号对应的处理装置4用的装置工艺号，并利用与已收到的装置工艺号对应的装置工艺，对基板2实施处理，第n处理装置将从第n-1处理装置获取的主工艺号发送到PLC12，并从PLC12接收与该主工艺号对应的第n处理装置用的装置工艺号，利用与已收到的装置工艺号对应的装置工艺，对基板2实施处理。也就是说，在本实施方式中，处理装置4至7将主工艺号发送到PLC12，并从PLC12接收与该主工艺号对应的装置工艺号，且利用与已收到的装置工艺号对应的装置工艺，对基板2实施处理。

[0056] 因此，在本实施方式中，在生产新种类的产品的情况下，只要将新的主工艺号追加并存储于主机8，并变更存储于PLC12的对应表T即可。并且，根据需要，只要变更存储于几个处理装置4至7中的装置工艺，或将新的装置工艺追加并存储于几个处理装置4至7中即可。并且，在基板2的处理条件变更的情况下，只要变更存储于PLC12的对应表T，并根据需要，变更存储于几个处理装置4至7中的装置工艺，或将新的装置工艺追加并存储于几个处理装置4至7中即可。因此，在本实施方式中，与上述的专利文献1所记载的生产系统相比，能够在生产新种类的产品时以及基板2的处理条件变更时容易地实施变更操作。

[0057] 并且，在本实施方式中，对应表T存储于PLC12，处理装置4至7将主工艺号发送到PLC12，已收到主工艺号的PLC12将与已收到的主工艺号对应的装置工艺号发送到处理装置4至7。也就是说，在本实施方式中，对应表T被存储于可靠性以及稳定性极高的(即，不易引起故障的)PLC12中，并在PLC12与处理装置4至7之间实施主工艺号和装置工艺号的通讯。因此，在本实施方式中，在利用处理装置4开始对基板2实施首次处理后，即使主机8或PC11故障，也能够对已开始处理的基板2实施所有的处理，从而完成产品。

[0058] (生产系统的控制方法的变形例)

[0059] 在上述的实施方式中，在步骤S7中，已收到主工艺号的PLC12从对应表T获取与已收到的主工艺号对应的处理装置4用的装置工艺号，并在步骤S8中将所获取的处理装置4用的装置工艺号发送到处理装置4。除此之外，也可是已收到主工艺号的PLC12在步骤S7中从对应表T获取与已收到的主工艺号对应的所有的处理装置4至7用的装置工艺号，并在步骤S8中将已获取的处理装置4至7用的装置工艺号发送到处理装置4。例如，在PLC12已收到主工艺号001的情况下，PLC12也可将处理装置4至7用的装置工艺号A1、B1、C1、D1发送到处理装置4。

[0060] 在这种情况下，处理装置4利用与已收到的装置工艺号中的处理装置4用的装置工艺号对应的装置工艺，对基板2实施处理，并在对基板2的处理结束时，将基板2以及装置工艺号移交给处理装置5。并且，处理装置5利用与已获取的装置工艺号中的处理装置5用的装置工艺号对应的装置工艺，对基板2实施处理，并在对基板2的处理结束时，将基板2以及装置工艺号移交给处理装置6。同样，处理装置6利用与已获取的装置工艺号中的处理装置6用的装置工艺号对应的装置工艺，对基板2实施处理，在对基板2的处理结束时，将基板2以及装置工艺号移交给处理装置7，处理装置7利用与已获取的装置工艺号中的处理装置7用的装置工艺号对应的装置工艺，对基板2实施处理。并且，在处理装置7中，如果对基板2的处理结束，则对基板2的处理完毕，产品完成。

[0061] 也就是说，在这种情况下，如果将n设为2以上的整数，并将对基板2实施第n次处理的处理装置5至7设为第n处理装置，则第n处理装置从第n-1处理装置获取基板2以及装置工艺号，并利用与已获取的主工艺号中的第n处理装置用的装置工艺号对应的装置工艺，对基板2实施处理，在对基板2的处理结束时，将基板2以及装置工艺号移交到第n+1处理装置中。

[0062] 该变形例也与上述的实施方式相同，在生产新种类的产品的情况下，只要将新的主工艺号追加并存储于主机8，并变更存储于PLC12的对应表T即可。并且，根据需要，只要变更存储于几个处理装置4至7中的装置工艺，或将新的装置工艺追加并存储到几个处理装置4至7中即可。并且，在基板2的处理条件变更的情况下，只要变更存储于PLC12中的对应表T，并根据需要，变更存储于几个处理装置4至7中的装置工艺，或者将新的装置工艺追加并存储到几个处理装置4至7中即可。因此，与上述专利文献1所记载的生产系统相比，能够在生产新种类的产品时和基板2的条件变更时容易地实施变更操作。

[0063] 另外，在该变形例中，由于所有的处理装置4至7用的装置工艺号都被发送到处理装置4，且所有的处理装置4至7用的装置工艺号都在处理装置4至7之间交接，因此处理装置4至7之间的数据交接处理有可能变得复杂。并且，有可能不得不增大对各处理装置4至7的存储设备要求的存储容量。与此相对，在上述的实施方式中，由于只要在处理装置
4至7之间交接主工艺号即可，因此能够简化处理装置4至7之间的数据交接处理。并且，能够减小对各处理装置4至7的存储设备要求的存储容量。

[0064] 并且，在该变形例中，由于所有的处理装置4至7用的装置工艺号都被发送到处理装置4，因此例如在对基板2实施规定的处理试作产品时，在产品的生产工序的中途停止生产系统1来变更基板2的处理条件时的变更操作变得复杂，但是在上述实施方式中，将处理装置4至7中的每一个处理装置的主工艺号发送到PLC12，并从PLC12收到与该主工艺号对应的装置工艺号，因此，例如在对基板2实施规定的处理来试作产品时，能够在生产产品的工序的中途停止生产系统1，并能够较容易地对基板2的处理条件实施变更。

[0065] (其他实施方式)

[0066] 上述的实施方式为本发明优选实施方式的一个例子，但并不限定于此，在不改变本发明的主旨的范围内，可以实施各种变更。

[0067] 在上述的实施方式中，对应表T存储于PLC12，但对应表T也可存储于PC11。在这种情况下，处理装置4至7将主工艺号发送到PC11，从PC11获取与该主工艺号对应的装置工艺号，并利用与已获取的装置工艺号对应的装置工艺，对基板2实施处理。并且，在这种情况下，中继机9也可不具有PLC12。并且，在上述的实施方式中，处理装置4通过PC11将托架标识码发送到主机8，并通过PC11接收主工艺号，但处理装置4也可通过PLC12将托架标识码发送到主机8，并通过PLC12接收主工艺号。在这种情况下，中继机9也可不具有PC11。

[0068] 在上述的实施方式中，生产系统1为用于对基板2实施规定的处理，从而生产作为产品的多种半导体的系统，但生产系统1也可是用于对基板2实施规定的处理，从而生产液晶面板和太阳能板等的系统。并且，在上述的实施方式中，由生产系统1处理的处理对象物为基板2，但由本发明的生产系统1处理的处理对象物也可是除基板2之外的产品。