涉及权利要求数量13:其中独权5项,从权-5项
1.一种测量装置,包括:
质量测量器,测量气体中微粒的质量;
湿度改变器,改变其质量被测量的微粒所接触的气氛的湿度;
浓度测量器,测量气体中微粒的计数浓度;
湿度测量器,在由所述浓度测量器测量所述计数浓度的同时,对其计数浓度被测量的微粒所接触的气氛的湿度进行测量;以及
计算器,计算表示所述质量关于由所述湿度改变器改变的所述湿度的相关性的信息,并且基于所述信息、所述计数浓度以及由所述湿度测量器测量的所述湿度,来计算所述气体中其计数浓度由所述浓度测量器测量的所述微粒的质量浓度。
2.根据权利要求1所述的测量装置,其中,所述浓度测量器使用光散射检测方法测量所述计数浓度。
3.根据权利要求1或2所述的测量装置,其中,所述湿度改变器通过改变其质量被测量的微粒所接触的气氛的温度,来改变其质量被测量的微粒所接触的气氛的湿度。
4.根据权利要求1或2所述的测量装置,其中,所述浓度测量器测量所述计数浓度的频率高于所述湿度改变器改变其质量被测量的微粒所接触的气氛的湿度的频率。
5.根据权利要求1或2所述的测量装置,其中,所述质量测量器包括石英晶体振荡器,所述石英晶体振荡器将其质量被测量的微粒吸附于所述石英晶体振荡器的表面。
6.根据权利要求1或2所述的测量装置,其中,所述湿度改变器逐渐改变其质量被测量的微粒所接触的气氛的湿度。
7.根据权利要求1或2所述的测量装置,其中,所述湿度改变器逐渐增大或逐渐减小其质量被测量的微粒所接触的气氛的湿度。
8.一种测量方法,包括:
测量气体中微粒的质量;
改变其质量被测量的微粒所接触的气氛的湿度;
测量所述气体中微粒的计数浓度;
在测量所述计数浓度的同时,对其计数浓度被测量的微粒所接触的气氛的湿度进行测量;
计算表示所述质量关于所改变的湿度的相关性的信息;以及
基于所述信息、所述计数浓度和所测量的湿度,计算所述气体中其计数浓度被测量的微粒的质量浓度。
9.一种测量装置,包括:
浓度测量器,测量气体中微粒的计数浓度;
湿度测量器,在由所述浓度测量器测量所述计数浓度的同时,对其计数浓度被测量的微粒所接触的气氛的湿度进行测量;以及
计算器,基于表示所述微粒的质量关于所述微粒所接触的所述气氛的湿度的相关性的信息来计算所述气体中所述微粒的质量浓度,所述计数浓度由所述浓度测量器来测量,并且所述湿度由所述湿度测量器来测量。
10.一种测量装置,包括:
质量测量器,测量气体中微粒的质量;
湿度改变器,改变所述微粒所接触的气氛的湿度;以及
计算器,计算表示所述质量关于所述湿度的相关性的信息。
11.根据权利要求9所述的测量装置,还包括测量气体的湿度的传感器,其中,所述计算器使用由所述传感器测量的湿度作为所述微粒所接触的气氛的湿度。
12.根据权利要求9所述的测量装置,其中,所述浓度测量器和所述传感器执行对所述气体中所述微粒的计数浓度的测量并且同时执行对所述气体的湿度的测量。
13.一种测量方法,包括:
测量气体中微粒的计数浓度;以及
基于表示所述微粒的湿度关于所述微粒所接触的气氛的湿度的相关性的信息以及由所述测量所测量的计数浓度,计算气体中微粒的质量浓度。