本发明涉及一种工艺腔室及检测其工艺环境的方法，在工艺腔室中设置有检测工艺腔室中工艺环境的装置，所述装置包括检测器和检测电路；检测电路包括稳压电源和测试电阻，稳压电源的一端接地，稳压电源的另一端与测试电阻的一端电连接；测试电阻的另一端与检测器电连接；检测器置于工艺腔室的腔体的内部，检测器用于检测所述工艺腔室内的离子流密度。检测工艺腔室中工艺环境的方法的工作步骤如下：开始工艺，在工艺腔室中激发产生等离子体后，测量所述测试电阻两端的电压；然后根据测得的所述电压计算工艺腔室内离子流的密度，与离子流的密度的正常值范围进行比对。本发明的工艺腔室和方法达到实时检测腔室中工艺环境的目的。