[0001] 本发明涉及用于检查基板的通电状态的检查装置(APPARATUS FOR TESTING)。

[0002] 一般而言，印刷电路基板(PCB，Printed Circuit Board)是几乎所有所需的必须部件之一，不仅用于洗衣机或电视等家电产品，而且，还用于包括手机在内的生活用品或汽车、人造卫星等。

[0003] 近来，随着构成印刷电路基板的各种电子部件的集成度的提高，其图案(pattern)变得相当精细，需要非常精巧的图案印刷工艺，因此，不良率也随之增加，需要非常仔细地检查印刷电路基板。

[0004] 韩国注册专利公报第0176627号的公报公开一种用于印刷电路基板的通电情况的探头装置，其通过防止锡焊不良及探头的震动完成稳定的通电检查，提高对锡焊部的各种表面形状的适应性。但是，还没有可迅速、精确、可靠地检查印刷电路基板的通电状态的方法。

[0005] 先行技术文献

[0006] 专利文献

[0007] 韩国注册专利公报第0176627号

[0021] 下面，结合附图对本发明的实施例进行详细说明。在此过程中，为了说明的便利性和明了性，附图所示的构件的大小或形状等有可能夸张表示。另外，考虑到本发明的构成及作用特别定义的术语有可能根据使用者、运营者的意图或惯例变得不同。这些术语的定义需基于本说明书的整体内容而定。

[0022] 图1为本发明的检查装置的概略示意图。

[0023] 如图所示的检查装置可包括检查单元190及转位单位150。

[0024] 检查单元190可检查基板200的通电状态。

[0025] 检查单元190中进行的通电检查的方式可以是多种多样的。例如，检查单元190包括与形成于基板200的电路图案接触的探头193并通过向与电路图案接触的探头193施加检查信号检查基板200的通电状态。

[0026] 根据不同的基板200，检查单元190只检查基板200的一面或同时检查基板200的两面。

[0027] 为了检查单元190的正常驱动，需将未经检查的基板200移送至检查单元190并将结束通电检查的基板200从检查单元190退出。为了上述基板200的移送和基板200的退出采用转位单元150。

[0028] 转位单元150可通过旋转运动将基板200移送至检查单元190。此时的旋转运动形成基板200的移送路径，因此，基板200的移送路径是沿虚拟的圆周形成的。即，通过转位单元150，基板200的移送路径沿圆形形成。

[0029] 转位单元150可通过旋转运动按第一位置、第二位置、第三位置、第四位置的顺序移送基板200。第一位置至第四位置可位于根据转位单元150的旋转运动形成的基板200的移送路径(虚拟的圆周)上。

[0030] 第一位置可以是基板200装载于转位单元150的位置。

[0031] 第二位置可以是确认基板的对齐状态的位置。

[0032] 第三位置可以是通过检查单元190检查基板200的通电状态的位置。

[0033] 第四位置可以是在检查单元190结束检查的基板200从转位单元150卸载的位置。

[0034] 基板200的实际通电检查是在第三位置通过检查单元190完成的。为完成利用检查单元190的可靠的通电检查，需在检查单元190的上游，即在基板200流入检查单元190之前，确认基板200的对齐状态，且在存在错误的对齐状态时进行矫正。为此，在位于第三位置前的第二位置确认基板200的对齐状态。确认基板200的对其状态可在对齐单元170完成，而为了向上述对齐单元170和检查单元190装载基板200而事先将基板200设置于转位单元150，而这个位置就是第一位置。另外，在第三位置完成检查的基板200可在第四位置卸载。

[0035] 转位单元150可包括移送基板200并沿同心圆的轨迹移送移动到的基板200的转位板151。转位板151的数量可与包括在转位板151上装载基板200的工艺在内的在转位板151上施加于基板200的工艺的数量相同。例如，在上面的过程中适用基板200的移动-对齐-检查-卸载等四个工艺，因此，可具备四个转位板151。

[0036] 为执行在上述各位置完成的工艺，检查装置可包括检查单元190及转位单元150在内的各种单元。

[0037] 例如，检查装置可包括移动单元130、对齐单元170、检查单元190、卸载单元140及转位单元150。

[0038] 移动单元130可将第五位置的基板200移动至第一位置。此时的第五位置可以是通过转位单元150所形成的基板200的移送路径之外的位置。

[0039] 对齐单元170可利用摄像头等确认移送至第二位置的基板200的对齐状态。若对齐单元170的确认结果表明基板200的对齐状态存在错误，则需对其进行补正。对基板200的对齐错误的补正，可在对齐单元170、转位单元150、检查单元190中的至少一个中完成。

[0040] 检查单元190可完成对移送至第三位置的基板200的通电检查。

[0041] 卸载单元140卸载在第三位置完成检查并移送至第四位置的基板200，且将卸载的基板200移动至第六位置。第六位置可以是通过转位单元150所形成的基板200的移送路径之外的位置。

[0042] 转位单元150可通过旋转运动按第一位置、第二位置、第三位置、第四位置的顺序移送基板200。

[0043] 如上所述，在通过转位单元150形成的基板200的移送路径上，可具备包括检查单元190在内的多个单元。此时，各单元等间距设置为宜。例如，通过转位单元150形成的基板200的移送路径上具备移动单元130、对齐单元170、检查单元190及卸载单元140的四个单元，而若以转位板150的中心为旋转轴159时，各单元以90度为间距设置。因此，最大限度地减少各单元之间的干涉。另外，因各单元不相互干涉，因此，可使多个单元同时驱动。其一例为，移动单元130、对齐单元170、检查单元190及卸载单元140可被同时驱动。

[0044] 图1所示的实施例为转位单元150顺时针方向旋转的情况，而在平面上，左侧为第一位置，上侧为第二位置，右侧为第三位置，下侧为第四位置。若转位单元150逆时针方向旋转，则在平面上，右侧为第一位置，上侧为第二位置，左侧为第三位置，下侧为第四位置。

[0045] 若转位单元150具备供放置基板200的转位板151四个且转位板151的间隔对应各单元的作业位置，则在转位单元150旋转时，可在一定角度对齐各转位板151和各单元的作业位置。在这样对齐转位板151的状态下，可使各单元相对于各转位板151同时驱动。

[0046] 根据上述构成，各单元间基板200的移送距离为转位单元150所形成的虚拟圆周的部分区间。因此，较之一般的将直线路径作为基板200的移送路径的检查设备，各单元间的移送距离较短。因此，可密集设置各单元，实现检查装置的小型化。另外，因通过旋转转位单元150完成基板200的移送，因此，较之利用直线移送路径的检查设备，可实现基板200的高速移送。另外，只需进行旋转即可，因此，较之利用直线移送路径的检查设备，可实现转位单元150的小型化。

[0047] 在上面的内容中，对第一位置至第四位置及对用于相应位置的移动单元130、对齐单元170、检查单元190、卸载单元140进行了说明，而在各位置之间或各单元之间，可插入对基板200进行附加作业的位置或单元。

[0048] 在图1中，四个转位板151和各单元以90度间隔设置，因此，转位单元150按90度旋转转位板151，则可使转位板151和各单元的位置相对应。在xy平面上，沿转位单元150的旋转方向，可将上下左右四个转位板151中左侧或右侧的转位板151的位置作为第一位置。或者，如图2所示，可将下侧的转位板151的位置作为第一位置。

[0049] 图2为本发明的另一检查装置概略示意图。

[0050] 图2表示将下侧的转位板151的位置作为第一位置的检查装置。在图2所示的实施例中，因将下侧的转位板151的位置作为第一位置，因此，较之图1所示的实施例，第一装载单元110及第二装载单元120偏右设置。因此，空间利用状态有所不同。大体上图1的空间利用率高，但可根据设备环境，也可应用图2。

[0051] 若再回到图1，检查装置，包括：移动单元130，将第五位置的基板200移动至第一位置；对齐单元170，确认从第一位置移送至第二位置的基板200的对齐状态；检查单元190，检查从第二位置移送至第三位置的基板200的通电状态；卸载单元140，卸载从第三位置移送至第四位置的基板200并将卸载的基板200移动至第六位置；及转位单元150，进行旋转运动并按通过旋转运动形成的虚拟的同心圆上的第一位置、第二位置、第三位置、第四位置的顺序移送基板200。

[0052] 为提高空间利用率，在以转位单元150为中心的平面上，第五位置和第六位置可位于上下左右中的某个方向。图1表示在下方具备第五位置和第六位置的示例。

[0053] 转位单元150可包括供放置基板200的四个转位板151。

[0054] 在第n转位板(其中，n为小于4的自然数)位于第一位置时，第n+1转位板151位于第二位置，第n+2转位板151位于第三位置，而第n+3转位板151位于第四位置。在此，若n+1、n+2、n+3大于4，则从1开始重新算起。例如，当n＝2时，第n+3转位板151应为第五转位板151，但因转位板151的数量为4，因此，成为第一转位板151。当n＝3时，第n+2转位板151应为第五转位板151，而第n+3转位板151为第六转位板151。此时，第五转位板151成为第一转位板151，而第六转位板151成为第二转位板151。

[0055] 当n＝1时，若第一转位板151位于第一位置，则第二转位板151位于第二位置，第三转位板151位于第三位置，而第四转位板151位于第四位置。当n＝2时，若第二转位板151位于第一位置，则第三转位板151位于第二位置，第四转位板151位于第三位置，而第一转位板151位于第四位置。

[0056] 因此，各转位板151旋转一周时回到原来的位置。

[0057] 为最大限度地减少或防止设置于通过上述转位单元150的旋转所形成的基板200的移送路径上的各单元之间的干涉，各单元可在xyz空间具有如下作业自由度：以下的自由度是假设移动单元130在xy平面上沿x轴移动时的自由度。

[0058] 移动单元130的作业自由度可包括x轴、z轴自由度。若基板200为左右或上下对称时，例如，基板200为矩形或正方形的情况下，因整体工艺的错误，基板200可按不同方向装载于第一装载单元110。从而无法正常完成在检查单元190中进行的通电检查。因此，移动单元130可进行以z轴为旋转轴的旋转运动，即具有rz自由度。移动单元130可利用rz自由度在xy平面上旋转基板200而正常设置基板200。

[0059] 对齐单元170的作业自由度可包括x轴、z轴自由度。

[0060] 检查单元190的作业自由度可包括x轴、y轴、z轴自由度。根据情况，检查单元190可包括rz自由度，从而可对应于各种基板。

[0061] 卸载单元140的作业自由度可包括x轴、z轴自由度。

[0062] 转位单元150的作业自由度可包括rz自由度。

[0063] 以上的自由度表示通电检查过程中的各单元的作业自由度，其与下面的设置自由度不同。设置自由度可以是驱动检查装置前用于初始设置值的设置的自由度。

[0064] 检查装置可包括位于一栋单元130的上游且装载有基板200的第一装载单元110。此时，移动单元130可将装载于第一装载单元110的基板200移动至第一位置。

[0065] 第一装载单元110可以是在装载基板200的状态下从检查装置的外部移动而来的。在第一装载单元110的移动过程中，基板200有可能暴露在灰尘等各种污染物质中。为进行可靠的通电检查，去除存在于基板200的各种污染物质为宜。为此，检查装置可包括具备用于清洁装载于第一装载单元110的基板200的检查面的滚筒等的清洁单元180。

[0066] 清洁单元180可设置于第一装载单元110和移动单元130之间。清洁单元180将结束清洁的基板200移动至第五位置，以使移动单元130将结束清洁的基板200移动至第一位置。通过清洁单元180完成清洁的部分至少包括基板200中受检查单元190检查的区域。

[0067] 为此，检查装置可包括用于将装载于第一装载单元110的基板200移动至清洁单元180的第一辅助单元161。第一辅助单元161的自由度包括在xyz空间的x轴自由度及z轴自由度。

[0068] 若将装载于第一装载单元110的基板200中位于最上层的基板200定义为最上层基板，则至少在利用第一辅助单元161移动最上层基板的时间点上，从地面到最上层基板的高度，不受装载于第一装载单元110的基板200的数量而固定。

[0069] 若第一辅助单元161将第一装载单元110的最上层基板移动至清洁单元180，则装载于第一装载单元110的基板200的高度降低最上层基板的厚度。因此，为移动下一个最上层基板，第一辅助单元161需沿z轴下降上一个最上层基板的厚度。因此，第一辅助单元161的控制变得更为复杂，且随着装载于第一装载单元110的基板200的减少，第一辅助单元161的驱动距离增加，从而增加移动时间。作为解决上述问题的方案，第一装载单元可不受第一辅助单元161移动的基板200的数量的影响而始终维持最上层基板的高度不变。为此，第一装载单元110可上升第一辅助单元161移动的基板200的厚度。这样的原理可在第二装载单元120以相反的方式适用。

[0070] 在不具备清洁单元180时，第五位置可以是第一装载单元110的位置。此时，第一装载单元110夹住装载于第一装载单元110的基板移动至第一位置。此时，移动单元130可进行第一辅助单元161的抖动动作。

[0071] 图3为构成本发明的检查装置的第一装载单元及第二装载单元的概略示意图。

[0072] 首先，说明适用于第一装载单元110的实施例。

[0073] 位于从地面h1高度的最上层基板(第n基板)通过移动单元130移动至第一位置，则从地面到下一个最上层基板(第n-1基板)的高度h2，将减少第n基板的厚度。因此，为移动第n-1基板，移动单元130需下降第n基板的厚度。这样的移动单元130的动作因引起与第一装载单元110的干涉问题，控制的复杂性等而不可取。为使移动单元130移动基板200的位置固定不变，第一装载单元110可将第n-1基板上升第n基板的厚度。

[0074] 为此，装载单元可包括装载基板200并沿z轴方向或重力方向移动的装载部111。

[0075] 但是，近来因高集成化、小型化的趋势，基板200的厚度变得很薄。因此，装载部110因间隙(back lash)等机械误差难以可靠地上升基板200的厚度。因此，为了减少这样的机械误差而延长控制距离。

[0076] 因此，当第一辅助单元161移动位于从地面第一高度的基板200，则第一装载单元110的装载部111将第二高度的基板200下降至第三高度之后，上升至第一高度。此时，第一高度的基板200可以是最上层基板，而第二高度的基板200可以是装载于最上层基板下面的基板200。

[0077] 在图3中，第一高度为h1，第二高度为h2，而第三高度为h3。此时，各高度可具有h1>h2>h3的关系。根据这样的构成，装载单元按图2中的左侧图、中间图及右侧图的顺序被驱动。

[0078] 接着，说明适用于第二装载单元120的实施例。

[0079] 至少在通过卸载单元140从第四位置移动的基板200被卸载的时间点上，从地面到最上层基板的高度不受装载于第二装载单元120的基板200的数量的影响而固定不变。

[0080] 与上例相反，是检查后的基板200装载于第二装载单元120的情况。此时，有必要将最上层基板下降基板200的厚度。此时，装载部111也可下降基板200的厚度。另外，为改善精密度，也可在下降比基板200的厚度大的距离之后适当上升。

[0081] 即，在图3中，具有第一高度h1>第二高度h2>第三高度h3的关系时，装载部111将第一高度的最上层基板下降至第三高度之后，上升至第二高度。根据这样的构成，装载部111按图3中的左侧图、中间图及右侧图的顺序被驱动。

[0082] 在第一装载单元110装载多个基板200且基板200较薄时，在利用第一辅助单元161移动最上层基板时，其下的基板200有可能粘接于最上层基板移动。为防止上述现象，第一辅助单元161在移动装载于第一装载单元110的基板161之后，上升第一距离I1之后，在比第一距离短的第二距离区间I2中进行往复运动。这样的动作类似于抖掉某些东西的动作。通过第一辅助单元161的抖动动作可可靠地只将最上层基板200移动至清洁单元180。

[0083] 将基板200移动至设置于第一位置的转位板151时，基板200的位置有可能受冲击而变乱。为最大限度地减少上述现象，可利用辅助板152。

[0084] 图4为构成本发明的检查装置的辅助板概略示意图。

[0085] 具备于转位单元150的转位板151，包括：搁置部，在其中央形成孔153并在孔153的端部放置基板200；握紧部155，固定放置于搁置部157的基板200。此时，辅助板152可具备于第一位置并上升，以在基板200移动至搁置部157时通过孔153与基板200接触。

[0086] 位于第一位置的基板200可通过辅助板152与搁置部157及辅助板152接触。因不仅接触于搁置部157，而且还与辅助板152接触，因此，更能减少基板200的松动。在此状态下，用握紧部155握住基板200并上升辅助板152，则可在没有松动的情况下将基板200固定于搁置部157。

[0087] 例如，辅助板152可上升至比搁置部157的高度h4高或低的高度h5。在图4中，h5比h4高。另外，在图4中，为了便于说明，h4和h5的差异非常明显，但在实际情况下，其差异可能比附图中少。因此，放置于搁置部157和辅助板152上的基板200可稍微弯曲并维持近乎平面的状态。

[0088] 另外，辅助板152也可位于第四位置。此时，辅助板152可上升，以在基板200从搁置部157移动时通过孔153与基板200接触。与图4不同，位于第四位置的辅助板152的h5比h4低。因此，在卸载时，最大限度地减少基板152的移动。

[0089] 移动单元130包括具有在xyz空间设置的作业自由度的臂(arm)131及形成于臂131的端部并吸附基板200的吸附部133。为将基板200无松动地搁置于搁置部157，在搁置部157和基板200可靠地接触的状态下解除吸附。为使搁置部157和基板200可靠地接触，吸附部133可向基板200施加压力。但是，吸附部133所施加的压力有可能使基板200弯曲损毁，而且，在接触吸附时，因复原力使基板200晃动。但是，在将辅助板152上升至h5的状态下进行上述作业，则可防止基板200的损毁并减少基板200的晃动。

[0090] 再回到图1，本发明的检查装置中，转位单元150只具有一z轴为旋转轴的旋转自由度。因此，因对齐单元170具有x轴自由度和y轴自由度，因此，可确认基板200整体的对齐状态。

[0091] 对齐单元170确认基板200的对齐状态，对齐单元170所确认的基板200的对齐误差，可不在对齐单元170进行补正。因基板200搁置于转位板151且转位板151不具有x轴和y轴自由度，因此，基板200的对齐误差可不在转位板151进行补正。因此，通过将检查单元190相对地向x轴或y轴移动补正基板200的对齐误差。换言之，检查单元190在xy空间利用x轴自由度和y轴自由度补正在对齐单元170确认的基板200的x轴对齐误差和y轴对齐误差。

[0092] 检查单元190通过相对于xy平面的基板200向z轴移动与基板200接触，并通过与基板200的接触对基板200进行通电检查。这样的环境可以是检查单元190包括探头193的情况。

[0093] 图5为构成本发明的检查装置的检查单元190概略示意图。

[0094] 检查单元190可包括多个探头193、支撑探头193的夹具191、供夹具191设置的底盘195。可在相对于在夹具191上接受检查的电路图案的区域 具备探头193。探头193的一端突出于区域 ，而另一端连接于电子电路。电子电路向电路图案施加检查信号并接收应答信号，以利用接收到的应到信号进行通电检查。

[0095] 通过缩短检查单元190与基板200接触的时间缩短通电检查所需的时间。缩短与基板200接触的时间的方案有减少具备于检查单元190的基板200和检查单元190之间的距离的方案和增加检查单元190的z轴移动速度的方案。

[0096] 基板200和检查单元190之间的距离取决于初始设置值或在设置时决定。这样决定基板200和检查单元190之间的距离之后，通电检查所需时间取决于检查单元190的移动速度。

[0097] 检查单元190的移动速度越快，通电检查所需的时间越短。但若高速移动的检查单元190与基板200接触，则将损毁基板200，因此，与基板200接触时的检查单元190的速度需限制在设置值范围之内。若上所述，可折中两个速度改变检查单元190的速度。例如，检查单元190的z1位置的移动速度小于z2位置的移动速度。此时，z1位置比z2位置比基板200更近为宜。因此，检查单元190在z轴方向，在离基板200近的位置以慢的速度移动，而在离基板200远的位置以相对较快的速度移动。因此，在不损毁基板200的情况下缩短基板200和检查单元190的接触时间。

[0098] 另外，检查单元190可对基板200的两面进行通电检查。近来，因电路图案的高集成化，可在基板200的两面形成多个电路图案。根据不同的情况，基板200一面的电路图案可连接于基板200另一面的电路图案。因此，为了进行迅速可靠的通电检查，检查单元190可利用与基板200的一面接触的第一检查部192和与基板200的另一面接触的第二检查部194对通电状态进行检查。此时，第一检查部192和第二检查部194可同时与基板200接触。

[0099] 检查单元190具备第一检查部192和第二检查部194时，在初始设置时，在xyz空间，第一检查部192的自由度和第二检查部194的自由度有可能相同。例如，在初始设置时，第一检查部192和第二检查部194可具有x轴自由度、y轴自由度、z轴自由度及rz自由度。

[0100] 与此相反，检查单元190具备第一检查部192和第二检查部194时，在初始设置时，在xyz空间，第一检查部192的自由度数量和第二检查部194的自由度数量有可能不相同。第一检查部192的位置和第二检查部194的位置是相对的。例如，有必要将第二检查部194沿第一方向移动时，也可将第一检查部192沿作为第一方向的相反方向的第二方向移动。考虑到这一点，第一检查部192和第二检查部194无需赋予相同的自由度。相反，若给第一检查部192和第二检查部194赋予相同的自由度，则有可能给使用者带来混淆，并使构成变得复杂。但是，根据本发明，第一检查部192的自由度数量和第二检查部194的自由度数量相互不同，因此在设置时不存在上述问题。设置时的自由度与作为驱动中的各单元的自由度的作业自由度不同，是在各单元被驱动前将各单元设置于适当的初始位置的自由度。

[0101] 检查单元190利用以重力方向为准接触于基板200的上面的第一检查部192及接触于基板200的下面的第二检查部194检查通电状态。初始设置时，在xyz空间，第一检查部192的自由度数量有可能比第二检查部194的自由度数量少。这是因为较之设置于空中的第一检查部192的操作，设置于地面的第二检查部194的操作更容易。例如，在初始设置时，在xyz空间，第一检查部192具有z轴自由度、rz自由度，而第二检查部194具有x轴自由度、y轴自由度、z轴自由度及rz自由度。若加上第一检查部192的设置自由度和第二检查部194的设置自由度，则检查单元190将具有x轴自由度、y轴自由度、z轴自由度及rz自由度。当然，与第二检查部194一样，第一检查部192也可以具有x轴自由度、y轴自由度、z轴自由度及rz自由度，但只具有z轴自由度也无妨。

[0102] 再回到图1，卸载单元140卸载第四位置的基板200，且将卸载的基板200移动至第六位置。此时的第六位置可以是第二装载单元120的位置。或者，第六位置可以是另外的位置。图1表示后者的情况。

[0103] 在图1的情况下，检查装置120可包括第二装载单元120、第二辅助单元162、第三辅助单元163及标记单元169。

[0104] 第二装载单元120位于卸载单元140的下游并装载在检查单元190结束通电检查的基板200。第二装载单元120可具有z轴作业自由度。

[0105] 第二辅助单元162可将第六位置的基板200移动至第七位置。第二装载单元162可具有x轴作业自由度。在需要用标记单元169进行标记或避免与清洁单元180等单元的冲突时，第二辅助单元162还可具有y轴作业自由度。另外，根据进行旋转运动的转位单元150，在第一位置的基板200的方向和在第四位置的基板200的方向不相同。在图1的示例中，第四位置的基板200是第一位置的基板200在平面上旋转270的状态。

[0106] 为使装载于第二装载单元120的基板200的方向与装载于第一装载单元110的基板200的方向相同，第二辅助单元162可具有rz作业自由度。在图1中，若第二辅助单元162向转位单元150的旋转方向旋转90度，则可向与第一装载单元110的基板200相同的方向设置基板200。

[0107] 第三辅助单元163可将第七位置的基板200移动至第二装载单元120。为此，第三辅助单元163可具有x轴自由度及z轴自由度。

[0108] 第二装单元120由多个构成，而各第二装载单元120上装载相同检查结果的基板200。例如，在图1中具备三个第二装载单元120。其中，在从左侧第一个第一移动单元110可将装载通电检查结果为正常的基板200。第二个第一移动单元110可装载通电检查结果判定为短路(short)的基板200。第三个第一移动单元110可装载通电检查结果判定为断路(open)的基板200。为节省电力，以上三个装载单元按装载频率高的顺序设置于离第三辅助单元163近的位置。图1所示的示例为正常基板200最多，其次为短路基板200，再其次为断路基板200的情况。在第二装载单元120为多个的情况下，为提高空间利用率，各第二装载单元120可沿y轴设置。为将基板200装载于设置在y轴上的各第二装载单元120，第三辅助单元163还可具有y轴作业自由度。

[0109] 标记单元169可在第六位置和第七位置之间在基板200上标记检查单元190的检查结果。标记单元169可具备作为标记手段的激光照射设备等，而且，为进行标记而具有y轴作业自由度。若第二辅助单元162停止于标记单元169，则标记单元169可为进行标记而具有x轴作业自由度。若第二辅助单元162兼具x轴自由度和y轴自由度，则标记单元169固定，而通过第二辅助单元162的移动进行标记。在图1中，第二辅助单元162具有x轴自由度、y轴自由度及rz作业自由度，而标记单元169固定设置于第六位置的侧面，例如右侧。因此，放置基板之后，第六位置的第二辅助单元162向右侧(y轴)移动并相对于固定的标记单元169沿x轴和y轴移动，从而进行标记。之后，沿x轴和y轴移动而移动至第七位置。第二辅助单元162可利用第六位置和第七位置之间的各种路径，而在不与卸载单元140和第三辅助单元163发生冲突的范围之内，标记单元169可设置于第二辅助单元162的路径上的任意位置。另外，第二辅助单元162在从第六位置到第七位置利用的路径和第二辅助单元162在从第七位置到第六位置利用的路径有可能不同。在图1中，两个路径相同，但从第七位置到第六位置的路径可不经过标记单元169。

[0110] 图6为本发明的检查装置运行顺序概略示意图。

[0111] 假设转位单元150具备以90度间隔设置的四个转位板151，且各单元以90度间隔设置的情况。

[0112] (a)起初，移动单元130将第五位置的基板 移动至第一位置的转位板151。在基板 退出的第五位置，将进入经过清洁单元180的基板200

[0113] (b)之后，转位单元150沿顺时针方向旋转90度，而第一位置的基板 将移送至第二位置。

[0114] 在第二位置，对齐单元170确认基板 的对齐状态，而通过移动单元130新到达第一位置的转位板151上，将装载原来在第五位置等待的基板200 在基板 退出的第五位置，将进入经过清洁单元180的基板

[0115] (c)之后，转位单元150沿顺时针方向旋转90度，而第二位置的基板 将移送至第三位置，而第一位置的基板 将移送至第二位置。

[0116] 检查单元190在第三位置检查基板 的通电状态。在第二位置，对齐单元170确认基板 的对齐状态，而通过移动单元130新到达第一位置的转位板151上，将装载原来在第五位置等待的基板 在基板 退出的第五位置，将进入经过清洁单元180的基板

[0117] (d)之后，转位单元150沿顺时针方向旋转90度，而第三位置的基板 将移送至第四位置，而第二位置的基板 将移送至第三位置。而第一位置的基板 将移送至第二位置。

[0118] 在第四位置通过卸载单元140进行基板 的卸载，而在第三位置通过检查单元190对基板 的通电状态进行检查。在第二位置，对齐单元170确认基板 的对齐状态，而通过移动单元130新到达第一位置的转位板151上，将装载原来在第五位置等待的基板 在基板 退出的第五位置，将进入经过清洁单元180的基板

[0119] (e)之后，转位单元150沿顺时针方向旋转90度，而第三位置的基板 将移送至第四位置，而第二位置的基板 将移送至第三位置。而第一位置的基板 将移送至第二位置。

[0120] 在第四位置通过卸载单元140将基板 移动至第六位置，且在第四位置完成对基板 的卸载。检查单元190在第三位置检查基板 的通电状态。在第二位置，对齐单元170确认基板 的对齐状态，而通过移动单元130新到达第一位置的转位板151上，将装载原来在第五位置等待的基板 在基板 退出的第五位置，将进入经过清洁单元180的基板

[0121] 若经过上述过程，则在检查中间过程中将持续(e)的状态。在此状态下，每当转位单元150旋转90度就输出结束通电检查的基板200，因此，作业速度快。另外，因转位单元150为中心设置各单元，因此，有利于达到小型化的目的。另外，因本发明的检查装置通过转位单元150的旋转移送基板200，因此，简化转位单元150的构成和作业复杂性，并由此在无错误地可靠移送基板200。因此，可靠地对基板200进行通电检查。

[0122] 上述实施例仅用以说明本发明而非限制，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明进行修改、变形或者等同替换。而在不脱离本发明的精神和范围内，其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。