技术领域
[0001] 本发明涉及洁净技术，特别涉及一种技术夹层结构。
相关背景技术
[0002] 精密化、高纯度加工通常在洁净厂房的洁净室内进行，以防止空气中的灰尘污染精密仪器、精密设备和产品，从而提升生产合格率和产品的质量。例如，在平板显示制造业中，需要保持生产车间内的空气悬浮微粒浓度在某个值以下，以达到相应的微粒清洁度级别。
[0003] 图1显示了现有的一种洁净厂房100的结构。这种洁净厂房100包括洁净室20、位于洁净室下方的回风区30以及位于洁净室上方的技术夹层10。技术夹层10的结构一般呈盒形，由顶板12、底板11以及若干侧板13围合而成。顶板12设置进风口15、底板11设置下出风口14。通常，在下出风口14上设置过滤装置16。经过初步净化的空气从进风口15进入到技术夹层10，然后经过滤装置16进入洁净室20并在洁净室20内形成垂直单向流，最后通过设置有栅孔的底板进入回风区25而被回收。
[0004] 为了防止空气中的尘埃在底板11的上表面沉积，通常会在顶板12和侧板13的连接处开设侧出风口18进行排空。但是，这样通常会在底板11与侧板13的连接处的角落形成紊流，进入该角落的空气难以排出，空气中夹带的灰尘颗粒在此处相互碰撞、相互吸附而沉积。长时间沉积的灰尘会间歇性地被紊流带入到下出风口14，从而造成洁净室20内的微粒清洁度降低。在清洁度级别要求非常高的洁净厂房内尤为明显。
具体实施方式
[0024] 下面将结合附图对本发明作进一步说明。
[0025] 如图2所示，洁净厂房200包括技术夹层结构30、洁净室40以及回风区50。技术夹层结构30包括顶板32、底板31、下过滤装置36以及若干侧板33。技术夹层结构30大致呈的盒形结构，该盒形结构的骨架由顶板32、底板31和侧板33围合而成。
[0026] 在本实施例中，技术夹层结构30大致呈立方形的空腔结构。顶板32呈矩形。顶板32设置有进风口34。进风口34通常外接于风机的出口，该风机用于向技术夹层结构30内泵送新风和/或回风。该风机的入口可以连通于粗效过滤装置，外部环境中的空气经粗效过滤装置过滤之后获得新风。该风机的入口通常还可以连通于洁净厂房200的回风区50，从而循环利用回风。
[0027] 底板31呈矩形。顶板32与底板31相互平行。底板31的各条边与顶板32的各条边对应对齐。优选地，顶板32与底板31的长、宽尺寸相同。底板31例如可以是建筑物的吊顶。底板31设置有下出风口35。下过滤装置36设置在下出风口35。底板31的下方一般为洁净室40，技术夹层结构30内的空气可以通过下过滤装置36进入到洁净室40中。该下过滤装置36可以为高效过滤装置。
[0028] 在本实施例中，侧板33的数量为四块。四块侧板33分别从底板31和顶板32的周向盖合在底板31和顶板32上。各个侧板33的相对的两端分别连接顶板32和底板31。侧板33还包括靠近底板31的若干侧出风口37。侧板33可以是墙壁。
[0029] 这样，从顶板32的进风口34送入空气时，技术夹层结构30内的气压大于洁净室40内的气压，一部分气流经过下过滤装置36而进入到洁净室40。同时，由于技术夹层结构
30内的气压大于侧出风口37外侧的气压，另一部分空气从侧出风口37送出。这部分空气在底板31与侧板33的连接处的形成向侧出风口37流动的单向流，底板31的边缘部分始终被该气流吹扫，灰尘不易在底板31的边缘部分沉积。同时，由于形成了向侧出风口37流动的单向流，消除了紊流，灰尘不容易沉积。另外，下过滤装置36位于该单向流的上风侧，即便由于某些原因在侧出风口37附近区域扬起了灰尘，这些灰尘也只会向下风侧流动并从侧出风口37流出。由此洁净室40内的颗粒洁净度得以保持。
[0030] 优选地，进风口34位于顶板32的中部，下出风口35位于底板31的中部。这样，气流从进风口34竖直向下流到下出风口35，在这个过程中不改变方向，从而更节能。同时，洁净室40内的各个部分的单向流的流速分布均匀，这样就不容易形成紊流。
[0031] 更优选地，若干侧出风口37均位于一个平行于底板31的平面上。这样，分别流向相邻的两个侧出风口37的两股气流的路径的形状相近，这两股气流不容易产生相互干扰而在两者相互靠近的区域形成紊流。
[0032] 在一个优选地实施方式中，技术夹层结构30还包括设置在进风口34的上过滤装置38。上过滤装置38可以采用中高效过滤器或高效过滤器。优选地，上过滤装置38和/或下过滤装置36为风机过滤机组(Fan Filter Unit)。风机过滤机组是一种自带动力的送风过滤装置，其出风面较大。风机过滤机组通常包括风机和位于风机下方的高效滤网。风机过滤机组可以将顶部的空气吸入风机过滤机组中并吹向高效滤网。这些空气经高效滤网时被过滤。被过滤后的空气在整个出风面可以以速度差在20％内的风速均匀送出。由于从风机过滤机组的出风面大，并且送出的空气的速度分布均匀，这样在技术夹层结构30和洁净室40内的风速分布更均匀，不容易在技术夹层结构30内因空气流速差别大而形成紊流以致沉积灰尘。另外，风机过滤机组一般为模块化设计，安装和维护方便。
[0033] 在一个优选地实施方式中，技术夹层结构30还包括若干风量调节阀。各个风量调节阀对应设置在各个侧出风口37上。可以通过调节风量调节阀的开口大小来减少尘埃沉降。例如，远离进风口34的风量调节阀的开口比靠近进风口34的风量调节阀的开口大，这样来提高远离进风口34的侧出风口37到进风口34的压力梯度，从而避免由于压力梯度小、风速过低而导致的尘埃沉降。
[0034] 在如图3所示的一个优选地实施方式中，技术夹层结构30还包括盖板60以及用于固定盖板60的若干螺钉63。盖板60包括若干条槽61和透风口62。条槽61之间相互平行。侧板33还设置有与螺钉63相匹配的若干螺纹孔。各个条槽61对应于各个螺纹孔设置，使得盖板60盖合在侧出风口37上时，各个条槽61可以与其相对应的螺纹孔对齐。如图4所示，盖板60在沿条槽61延伸的一个方向滑动时，透风口62可以对齐侧出风口37；如图3所示，盖板60在沿条槽61延伸的另一个方向滑动时，透风口62可以与侧出风口37错开使得盖板60遮挡住侧出风口37。盖板60盖合到侧出风口37上后，各个螺钉63穿过条槽61并嵌入螺纹孔内而将盖板60固定在隔板上。松开各个螺钉63，沿条槽的延伸方向来滑动盖板60以调整侧出风口37的开度，从而调整侧出风口37的气流速度和流量，由此减少技术夹层结构30内的紊流。
[0035] 优选地，盖板60上设置有沿条槽61延伸方向依次排列的若干透风口62，若干侧出风口37沿条槽61延伸方向依次排列，各个透风口62可以和各个出风口对应对齐。这样可以同时调整这些侧出风口37的开度。
[0036] 优选地，相邻两个侧出风口37的距离大于侧出风口37在条槽61的延伸方向上的宽度。这样，当洁净系统不工作时，侧出风口37可以被盖板60完全封闭，从而避免外界污染物从侧出风口37进入技术夹层结构30内。
[0037] 优选地，若干条槽61分布在盖板60的边缘，透风口62设置在盖板60的中部。这样，盖板60受力更合理，盖板60的密封性能更好。
[0038] 在如图5所示的一个优选地实施方式中，底板31设置有呈阵列排布的若干下出风口35，顶板32设置有呈阵列排布的若干进风口34。风机过滤机组设置在每个下出风口35和每个进风口34内。这种技术夹层结构30特别适用于结构较大的洁净厂房200。
[0039] 虽然已经参考优选实施例对本发明进行了描述，但在不脱离本发明的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是，只要不存在结构冲突，各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本发明并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。
