[0001] 本发明涉及半导体工厂自动化技术领域，特别是涉及一种仿真方法以及仿真系统。

[0002] 半导体制造业是一个高科技行业，也是一个高投资的行业。半导体制造工厂为了实现其运营目标，提高生产力，其生产控制活动的自动化程度越来越高。其中，在半导体制造过程中，由于生产工艺和过程及其复杂，不同机台或者机台组可以处理(process)多种不同属性的批次(lot)，针对个别机台，往往会有大量不同属性，并且不同优先级的lot同时到达，这时的人为派货负担就会越来越重。因此，在整个半导体制造工厂的自动化系统中，对派货的自动化控制尤其重要。

[0003] 世界上最先进的晶圆厂(Fab)都必须且已经采用了实时派货系统(RTD)来负责线上的派货。RTD可以通过内置的算法针对线上的lot作出合理的派货结果，制造部门(MA)仅需要依据RTD推荐的lot顺序(即派货规则，又称RTDRule)跑货(又称run货)即可。这样，Fab内总体的run货效率便会大大提高，可以说RTD系统对先进的晶圆厂的生产至关重要。RTD的核心派货规则是由制造部门的监管(supervisor)设计的，该派货规则的好坏，直接影响到线上生产派货的最终结果。但往往supervisor在设计派货规则的时候，并不能通盘考虑到所有的情况，提出的RTD算法直接上线跑的话，随时会带来不可预知的风险。

[0004] 因此，如何提供一种仿真方法以及仿真系统，能够预测RTD Rule上线后结果的好坏，已成为本领域技术人员需要解决的问题。

[0030] 下面将结合示意图对本发明的仿真方法以及仿真系统进行更详细的描述，其中表示了本发明的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本发明，而仍然实现本发明的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本发明的限制。

[0031] 为了清楚，不描述实际实施例的全部特征。在下列描述中，不详细描述公知的功能和结构，因为它们会使本发明由于不必要的细节而混乱。应当认为在任何实际实施例的开发中，必须做出大量实施细节以实现开发者的特定目标，例如按照有关系统或有关商业的限制，由一个实施例改变为另一个实施例。另外，应当认为这种开发工作可能是复杂和耗费时间的，但是对于本领域技术人员来说仅仅是常规工作。

[0032] 在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本发明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。

[0033] 本发明的核心思想在于，提供一种仿真方法，包括以下步骤：：

[0034] 步骤S11，设定待仿真的派货规则的派货信息；

[0035] 步骤S12，对仿真站点的批次，建立一虚拟的排列在制品表，并根据所述虚拟的排列在制品表和批次与机台的对应关系，建立一虚拟机台批次对应关系；

[0036] 步骤S13，根据所述派货信息和虚拟机台批次对应关系，执行所述待仿真的派货规则，并得到一虚拟派货结果。

[0037] 进一步，结合上述仿真方法，本发明还提供了一种仿真系统，包括：仿真信息设置模块，用于设定待仿真的派货规则的派货信息；对应关系生成模块，对仿真站点的批次，建立一虚拟的排列在制品表，并根据所述虚拟的排列在制品表和批次与机台的对应关系，建立一虚拟机台批次对应关系；派货规则仿真模块，根据所述派货信息和虚拟机台批次对应关系，执行所述待仿真的派货规则，并得到一虚拟派货结果。

[0038] 以下结合核心思想，详细说明本发明所述仿真方法以及仿真系统。

[0039] 以下结合图1和图2具体说明本实施例中的仿真方法以及仿真系统。其中，图1为本发明一实施例中仿真方法的流程图，图2为本发明一实施例中仿真系统的示意图。

[0040] 首先，进行步骤S11，设定待仿真的派货规则的派货信息，如图1所示。

[0041] 本实施例的仿真系统包括仿真信息设置模块101，如图2所示，所述仿真信息设置模块101用于设定待仿真的派货规则的派货信息。其中，所述派货信息包括各机台的仿真顺序以及仿真时预约批次的个数，但是，所述派货信息并不限于为各机台的仿真顺序以及仿真时预约批次的个数，具体由所述待仿真的派货规则决定。本实施例中，所述派货信息如表1所示。在表1中，仿真站点一共具有5个机台：机台1、机台2、机台3、机台4、机台5；如果该5个机台均空闲，则lot的预约(reserve)顺序依次为：机台1、机台2、机台3、机台
4、机台5；机台1、机台2、机台3、机台4、机台5上每次可以reserve的lot数量分别为：3、
3、4、5、5。

[0042] 表1

[0043]机台编号 仿真顺序 预约批次的个数
机台1 1 3
机台2 2 3
机台3 3 4
机台4 4 5
机台5 5 5

[0044] 然后，进行步骤S12，对仿真站点的批次，建立一虚拟的排列在制品表，并根据所述虚拟的排列在制品表和批次与机台的对应关系，建立一虚拟机台批次对应关系。

[0045] 本实施例的仿真系统包括对应关系生成模块102，用于对仿真站点的批次，建立一虚拟的排列在制品表，并根据所述虚拟的排列在制品表和批次与机台的对应关系，建立一虚拟机台批次对应关系。其中，在本实施例中，所述虚拟的排列在制品表如表2所示。从表2中可以看出，仿真站点一共具有6个机台：lot1、lot2、lot3、lot4、lot5、lot6；该6个lot的最后出机台时间(last trackout time)分别为：T1、T2、T3、T4、T5、T6；在本实施例中，所述虚拟的排列在制品表中的lot属性包括排队时间(queue time，即Q-time)和优先级(priority)，但lot属性还可以包括其他属性，具体由待仿真的派货规则决定。所述批次与机台的对应关系表示不同的lot可以分别在哪些机台上run。在本实施例中，所述虚拟机台批次对应关系如表3所示。从表3中可以看出，lot1、lot3、lot4、lot6可以在机台1和机台2上run，lot2、lot5只能在机台1上run。

[0046] 表2

[0047]

[0048] 表3

[0049]

[0050] 接着，进行步骤S13，根据所述派货信息和虚拟机台批次对应关系，执行所述待仿真的派货规则，并得到一虚拟派货结果。

[0051] 本实施例的仿真系统包括派货规则仿真模块103，根据所述派货信息和虚拟机台批次对应关系，执行所述待仿真的派货规则，并得到一虚拟派货结果，即lot的派货顺序列表。较佳的，所述派货规则仿真模块103根据所述虚拟派货结果，对所述仿真站点的批次依次进行虚拟预约，以模拟真实的所述派货规则。另外，所述派货规则仿真模块103还可以根据所述虚拟派货结果，更新所述虚拟的排列在制品表。较佳的，更新所述虚拟的排列在制品表的步骤包括以下两个步骤：

[0052] 步骤1：将在前一仿真站点虚拟预约后进入所述仿真站点的批次，加入所述虚拟的排列在制品表，例如，在分别需要对浅槽隔离光刻(STI photo)站点和浅槽隔离干刻(STI etch)站点进行仿真，由于浅槽隔离干刻(STI etch)站点位于浅槽隔离光刻(STI photo)站点之后，lot1在浅槽隔离光刻(STI photo)站点的机台上reserve后，自动进入浅槽隔离干刻(STI etch)站点的所述虚拟的排列在制品表中；

[0053] 步骤2：将进行虚拟预约的所述仿真站点的批次，移除所述虚拟的排列在制品表。例如，lot1在浅槽隔离光刻(STI photo)站点的机台上reserve后，在浅槽隔离光刻(STI photo)站点的所述虚拟的排列在制品表中移除lot1。

[0054] 在本实施例中，所述仿真方法还包括将所述虚拟派货结果进行储存。对应的，所述仿真系统还包括一仿真结果模块104，如图2所示，所述仿真结果模块104用于将所述虚拟派货结果进行储存。在本实施例中，所述虚拟派货结果如表4所示。从表4中可以看出，lot1被reserve到机台1上，lot3被reserve到机台2上，lot4被reserve到机台1上，lot6被reserve到机台1上，lot2和lot5还未被reserve。

[0055] 表4

[0056]lot编号 机台编号 预约状态 预约时间
lot1 机台1 是 T’1
lot2 机台1 否 -
lot3 机台1 否 -
lot4 机台1 是 T’4
lot5 机台1 否 -
lot6 机台1 是 T’6
lot1 机台2 否 -
lot3 机台2 是 T’3
lot4 机台2 否 -
lot6 机台2 否 -

[0057] 较佳的，还可以根据所述虚拟派货结果，对所述待仿真的派货规则的可行性进行判断。其中，可以根据预约时间与最后出机台时间做差，得到lot的等待时间(wait time)，根据所述等待时间的长短，可以判断所述待仿真的派货规则的好坏。例如，浅槽隔离光刻(STI photo)站点具有三个派货规则，分别为rule1、rule2、rule3，先需要判断三个派货规则哪一个更好，则分别对三个派货规则进行仿真，得到对应的三个等待时间，如果rule2仿真后的所述等待时间最短，则rule2的效率最高，优先选择rule2上线。

[0058] 综上所述，本发明提供一种仿真方法，包括以下步骤：首先，设定待仿真的派货规则的派货信息；然后，对仿真站点的批次，建立一虚拟的排列在制品表，并根据所述虚拟的排列在制品表和批次与机台的对应关系，建立一虚拟机台批次对应关系；接着，根据所述派货信息和虚拟机台批次对应关系，执行所述待仿真的派货规则，并得到一虚拟派货结果，与现有技术相比，所述仿真方法可以根据待仿真的派货规则、仿真站点的批次以及批次与机台的对应关系，预测实时派货系统的派货规则上线后结果的好坏，从而在实时派货系统的派货规则上线之前，预先验证其可行性，为后续上线解决生产排程问题提供有力参考，避免派货规则的跑货风险。

[0059] 显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。