[0001] 本发明涉及收纳装置，该收纳装置将印刷基板或元件供应用托盘等板状部件以能够出入的方式收纳于上下多层。

[0002] 背景技術

[0003] 作为如上所述的收纳装置的一例，以往公知有日本专利公开公报特开2009-147197号(以下称作“专利文献”)中公开的元件供应装置。该元件供应装置在QFP(Quad Flat Package，四侧引脚扁平封装)等封装型的电子元件(以下简称作“元件”)收纳于料盘中的状态下供应该元件。

[0004] 该元件供应装置具备：箱形的外壳；储料器，被支撑在所述外壳的内侧，将分别载置所述料盘的托盘(板状部件)收纳于上下多层；储料器升降装置，使所述储料器在所述外壳内升降；拉出装置，从所述储料器拉出托盘。在所述外壳上，在指定的高度位置设置有用于让所述托盘被拉出的拉出口，所述拉出装置设置在该拉出口的前方的位置。即，该元件供应装置使所述储料器升降，以使载置有所需元件(料盘)的托盘与所述拉出口相对，在此状态下通过所述拉出装置拉出该托盘，由此来进行元件的供应。

[0005] 上述以往的元件供应装置(收纳装置)必须使如上所述收纳有多个托盘的储料器升降。为了使重量相对较大的该储料器稳定地升降，要求外壳等具有高刚性，并且要求具有大驱动力。因此，存在如下缺陷：元件供应装置较大且重量大，而且成本高。但是，由于具有能够在特定的高度位置使托盘出入而且可动部分被全部收容在外壳内这一结构上的优点，因此这种元件供应装置的使用频率绝对不低。因此，存在消除如上所述的缺陷的期望。

[0021] 以下，参照附图详述本发明的较理想的一实施方式。

[0022] (第一实施方式)

[0023] 该第一实施方式是本发明所涉及的收纳装置作为元件安装装置的料盘元件供应装置被应用的实施方式。图1是表示元件安装装置的俯视图，图2是表示元件安装装置的侧视图。在本图及后文所用的附图中，为了使方向关系明确化，显示了XYZ直角坐标轴。

[0024] 元件安装装置包括：基台1；基板搬送机构2，设置在该基台1上，沿X方向搬送印刷布线板(Printed wiring board，PWB)等基板3；元件供应部4、5；元件安装用的头部单元6；以及驱动该头部单元6的头部单元驱动机构等。

[0025] 所述基板搬送机构2包括在基台1上搬送基板3的一对带式搬送带2a。这些带式搬送带2a从图1的右侧接纳基板3并搬送至指定的安装作业位置(本图所示的位置)，且由未图示的保持装置保持该基板3。并且，在安装作业后，解除该基板3的保持，将该基板3搬出至本图的左侧。

[0026] 所述元件供应部4、5设置在所述基板搬送机构2的两侧(Y方向两侧)。在这些元件供应部4、5中的装置前侧(+Y方向侧)的元件供应部4上，设置有沿基板搬送机构2排列在X方向的多个带式送料器4a。这些带式送料器4a包括卷绕有收纳、保持IC、晶体管、电容器等小片状的芯片元件的带的卷轴，从该卷轴间歇性地送出带，并将元件供应到基板搬送机构2附近的指定的元件供应位置。另一方面，在装置后侧(-Y方向侧)的元件供应部5上，并列设置有以收纳在料盘中的状态来供应QFP或BGA(Ball Grid Array，球栅阵列)等封装型的元件(以下，简称作“元件”)的两个料盘元件供应装置5a。这些料盘元件供应装置5a是本发明所涉及的收纳装置的一例，沿X方向并列且可向后侧(-Y方向侧)拆卸地连结。另外，对于该料盘元件供应装置5a的结构，后文将详述。

[0027] 所述头部单元6可通过所述头部单元驱动机构在固定的区域内沿X方向及Y方向移动。该头部单元驱动机构包括：一对固定滑轨9，分别固定在设置在基台1上的一对高架框架1a、1a上，沿Y方向相互平行地延伸；单元支撑部件12，由这些固定滑轨9支撑并沿X方向延伸；以及滚珠丝杠10，螺合插入至该单元支撑部件12并由Y轴伺服电动机11驱动。而且，头部单元驱动机构包括：固定滑轨13，固定在单元支撑部件12，沿X方向可移动地支撑头部单元6；以及滚珠丝杠14，螺合插入至头部单元6，以X轴伺服电动机15为驱动源进行驱动。即，头部单元驱动机构通过X轴伺服电动机15的驱动而经由滚珠丝杠14使头部单元6沿X方向移动，并且通过Y轴伺服电动机11的驱动而经由滚珠丝杠10使单元支撑部件12沿Y方向移动，其结果，使头部单元6在固定区域内沿X方向及Y方向移动。

[0028] 所述头部单元6包括：在前端分别具备元件吸附用的吸嘴的多根安装用头部7；以及用于使这些安装用头部7相对于头部单元6升降(Z方向的移动)及绕吸嘴中心轴旋转的头部驱动机构等。头部驱动机构由图外的伺服电动机进行驱动。各安装用头部7的吸嘴分别能够经由电动切换阀而连通至负压产生装置、正压产生装置及大气中的任一者。即，通过对所述吸嘴供应负压，能够实现该吸嘴对元件的吸附，其后，通过供应正压而解除该元件的吸附。

[0029] 接下来，使用图1～图4对设置在元件供应部5上的所述料盘元件供应装置5a进行说明。

[0030] 料盘元件供应装置5a具备：料仓20(相当于本发明的收纳装置)，将收纳有QFP等元件的料盘T以载置于托盘P(相当于本发明的板状部件)上的状态而分上下多层收纳；以及拉出机构30(相当于本发明的板状部件移动装置)，使所述托盘P相对于该料仓20而出入。料盘元件供应装置5a通过利用拉出机构30将料仓20内的托盘P拉出向该料仓20的前方(+Y方向)，从而利用所述头部单元6取出由该托盘P所支撑的料盘T内的元件。另外，托盘P是具备周壁部的俯视矩形(长方形)的盘形的部件，所述料仓20以托盘P的长边与X方向平行的状态收纳该托盘P，拉出机构30使托盘P沿与其短边平行的方向(Y方向)出入。

[0031] 如图1及图2所示，所述料仓20包括：剖面矩形的箱形框架22，沿上下方向(Z方向)并列且可出入地收纳多个托盘P；以及托盘升降机构(相当于本发明的第一升降机构)，用于使由该箱形框架22收纳的托盘P在保持它们的位置关系的状态下沿上下方向移动。

[0032] 所述箱形框架22如图2及图3所示，包括俯视均呈矩形的底板221及顶板222、隔设在这些板221、222之间的四根螺杆轴223以及从外侧覆盖托盘P的侧板224等，利用所述多根螺杆轴223支撑托盘P。本例中，该螺杆轴223相当于沿上下方向并列地具备能够收纳托盘P的多个收纳部的收纳部件。

[0033] 若详细说明，所述四根螺杆轴223是从其基端部至其远端部的大致整个区域范围同一形状的螺纹牙连续地形成为螺旋状的相同的螺杆轴。各螺杆轴在两板221、222四角的位置隔设在该板221、222之间。另一方面，所述托盘P在其长度方向(X方向)的两端，具备从所述周壁部的上端朝外延伸的一对凸缘部Pa(参照图5)。这些凸缘部Pa具有能够插入至螺杆轴223的螺槽(谷部)的形状。即，托盘P如图5所示，插入至分别位于两板221、222的宽度方向(X方向)两端的螺杆轴223之间，且凸缘部Pa插入至各螺杆轴223的螺槽(谷部)，从而由该螺杆轴223予以支撑。总之，托盘P以各螺杆轴223的相同高度位置的螺槽作为收纳部而收纳在料仓20中。本例中，如本图所示，例如在侧视时每隔一个螺槽支撑托盘P。

[0034] 所述托盘升降机构通过使各螺杆轴223朝同一方向同步地旋转，从而使由该螺杆轴223支撑的各托盘P在保持它们的上下方向的位置关系的状态下一体地升降。详细而言，如图3及图4所示，托盘升降机构包括：轴承等螺杆轴支撑部230，设置在底板221及顶板222上，可绕各螺杆轴223的轴旋转地支撑所述各螺杆轴223；以及旋转驱动机构，使各螺杆轴223朝同一方向同步地转。旋转驱动机构包括：滑轮231，在底板221的下方，安装于各螺杆轴223；无端状的传动带232，挂设在这些滑轮231上；张力滑轮233、234，用于张设该传动带232；驱动滑轮235，与该张力滑轮234同轴地设置；电动机236；滑轮237，安装于该电动机236的输出轴；以及驱动带238，挂设在该滑轮237与所述驱动滑轮235上。即，托盘升降机构将电动机236的旋转驱动力经由所述各滑轮及带传递至各螺杆轴223，从而使各螺杆轴223同步旋转，并且通过电动机235的驱动方向的切换来切换螺杆轴223的旋转方向。由此，托盘升降机构使托盘P伴随各螺杆轴223的旋转而沿着它们的螺槽在上下方向移动。

[0035] 另外，在所述箱形框架22上，设置有既防止托盘P朝水平方向的偏移又沿上下方向引导该托盘P的图外的引导部件。由此，抑制因螺杆轴223的旋转力作用于托盘P，导致各托盘P相对于该螺杆轴223而沿水平方向发生偏移的现象。

[0036] 而且，在箱形框架22(侧板224)中的其前表面，形成有托盘出入用的开口部22a，经由该开口部22a，通过所述拉出机构30进行托盘P的出入。另一方面，在箱形框架22的后表面具备门(省略图示)，通过打开该门以敞开箱形框架22，从而能够从料仓20的后方进行元件(料盘T)的更换及元件补充等作业。

[0037] 另外，料仓20在箱形框架22的上下方向的大致中间(螺杆轴223的大致中间)具备所述开口部22a，且以能够经由该开口部22a来进行拉出机构30对托盘P的出入的方式而装入所述元件供应部5中。而且，料仓20将托盘P的最大收纳数规定为：能够通过托盘P借助所述托盘升降机构的工作而在上下方向上的移动，来使最上位(最上层)及最下位(最下层)的托盘P相向于所述开口部22a。由此，料仓20能够通过所述拉出机构30从所述开口部22a拉出收纳在该料仓20内的托盘P中的任意托盘P。

[0038] 所述拉出机构30如图1及图2所示，设置在料仓20的前方。拉出机构30包括：一对导轨32，支撑托盘P的凸缘部Pa来沿前后方向(Y方向)引导该托盘P；出入用头部
34，在这些导轨32之间的位置，可沿前后方向移动地设置；以及驱动机构，使该出入用头部
34移动。

[0039] 所述出入用头部34具备连结装置，该连结装置能够卡合于设置在托盘P的前端中央的钩Pb，且能够通过例如气缸等致动器的工作而切换为卡合状态与解除状态。即，该拉出机构30通过使连结装置卡合于托盘P的钩Pb，从而将出入用头部34连结于托盘P，并通过在此状态下使出入用头部34沿前后方向移动，从而使托盘P沿着导轨32出入料仓20。

[0040] 另外，出入用头部34的所述驱动机构例如包括在前后方向上隔开间隔而设置的驱动滑轮、安装于该驱动滑轮且一部分被固定于所述出入用头部34的无端状的驱动带、以及驱动所述驱动滑轮旋转的电动机等，通过该电动机，经由驱动带使出入用头部34移动。

[0041] 接下来，说明上述元件安装装置对元件的安装动作。另外，此处，对从料盘元件供应装置5a取出元件并安装至基板3时的动作进行说明。

[0042] 安装动作中，首先，将支撑有收纳在料仓20内的元件中作为安装对象的元件(料盘T)的托盘P设置在拉出机构30的拉出高度位置(对应于开口部22a的高度位置)。具体而言，通过所述托盘升降机构的工作，各螺杆轴223同步地朝同一方向旋转，伴随该旋转，收纳在料仓20内的托盘P一体地沿着螺槽在上下方向移动。由此，将所需的托盘P设置在对应于所述开口部22a的位置。

[0043] 继而，拉出机构30的出入用头部34接近料仓20，并经由所述连结装置连结于托盘P之后反向移动、即向带式搬送带2a侧移动。由此，将托盘P沿着导轨32从料仓20拉出，将由该托盘P所支撑的元件(料盘T)设置在头部单元6的可动区域内设定的指定的元件供应位置。当这样将元件(料盘T)设置到元件供应位置时，该料盘T上的元件由头部单元6取出而搬送到基板3上，并安装到该基板3上的指定位置。并且，在必要的情况下，头部单元6一边在该料盘T与基板3之间往复移动，一边同样地进行元件的安装。

[0044] 并且，在已从拉出到元件供应位置的料盘T取出了所有元件的情况下、或者要取出不同元件的情况下，按照与上述流程相反的流程使托盘P返回料仓20之后，从料仓20拉出其他托盘P。

[0045] 如上所述，在适用于该元件安装装置的上述料盘元件供应装置5a中，料仓20利用螺杆轴223来支撑(收纳)托盘P，通过驱动该螺杆轴223旋转，使收纳在该料仓20内的托盘P一体地沿上下方向移动。即，料仓20能够在保持收纳有托盘P的收纳部件的位置(螺杆轴223的上下方向的位置)的状态下，仅使收纳的托盘P一体地在保持它们的位置关系的状态下沿上下方向移动。因此，根据所述料盘元件供应装置5a，与使托盘和其收纳部件(储料器)这两者移动的以往的此种装置(背景技术的专利文献1)相比，能够将电动机236的输出或箱形框架22等的强度设定得较低。因此，相应地，根据该料盘元件供应装置5a，与以往装置相比，能够抑制占用空间及重量并且实现低成本。

[0046] 而且，该料盘元件供应装置5a中，以通过如上所述般驱动支撑(收纳)托盘P的收纳部件(螺杆轴223)旋转，从而使托盘P沿上下方向移动的方式来构成托盘升降机构。因此，能够以非常简单的结构，而且以抑制了托盘升降机构的占用空间的结构，此外以比较小的驱动力，来进行托盘P的移动。因此，在此方面，所述料盘元件供应装置5a也有助于占用空间及重量的抑制及低成本。

[0047] 另外，在上述的料仓20的例子中，通过四根螺杆轴223来支撑托盘P，但螺杆轴223的数量并不限定于四根，只要是能够稳定地支撑托盘P并使其沿上下方向移动的数量即可。

[0048] (第二实施方式)

[0049] 第二实施方式是本发明所涉及的收纳装置适用于装载器的实施方式。该装载器是用于存放印刷布线板等多片基板，并将该基板逐片送出到元件安装基板的生产线上的装置。

[0050] 图6及图7表示该装载器。图6为纵向的剖面图，图7为水平方向的剖面图，分别概略地表示装载器。

[0051] 如该图所示，装载器以与带式搬送带等的基板搬送机构16相向的方式而设置。该装载器包括：料仓40，分上下多层收纳，元件安装前的基板3(相当于本发明的板状部件)；以及送出机构50(相当于本发明的板状部件移动装置)，从该料仓40送出基板3。并且，装载器通过利用送出机构50将料仓40内的基板3送出向料仓40前方(该图中的左侧)，从而将基板3交付给设置在其前方的所述基板搬送机构16。

[0052] 所述料仓40除了作为被收纳物的板状部件为基板3以外，具有与第一实施方式的料仓20大致等同的结构。因此，此处，对于与第一实施方式的料仓20共用的部分标注相同符号并省略说明，主要对与该料仓20的不同点进行说明。

[0053] 料仓40包括：箱形框架22，以沿上下方向并列且可朝料仓40前方拉出的状态收纳多个基板3；以及基板升降机构(相当于本发明的第一升降机构)，使收纳在其中的基板3在保持它们的上下方向的位置关系的状态下一体地升降。

[0054] 箱形框架22的底板221作为该装载器的基台而共用化，用于送出基板3的开口部22a设置在该基台的附近位置、即箱形框架22的前表面中的下端部。另外，螺杆轴223形成为：通过将基板3的端部插入螺槽(谷部)，从而能够支撑该基板3。

[0055] 基板升降机构采用与第一实施方式的托盘升降机构等同的结构，伴随螺杆轴223的旋转而使基板3沿着螺槽移动。但是，该料仓40中，由于是从设置在其下端部的所述开口部22a送出基板3，因此基板升降机构主要只是为了使基板3下降而工作。另外，在该料仓40中，构成该基板升降机构的电动机236或各滑轮及带等被组装在箱形框架22的顶板222上。

[0056] 所述送出机构50如该图所示，设置在料仓40的内底部、即底板221上。送出机构50包括固定在底板221上且沿前后方向(该图中的左右方向)延伸的一对滑轨53、由该滑轨53可移动地予以支撑的送出头部52、以及螺合插入至该送出头部52并通过电动机55进行旋转驱动的螺杆轴54，通过该螺杆轴54的驱动，使送出头部52在料仓40的内外范围而沿前后方向移动。该送出头部52具备通过抽吸基板3的下表面来保持该基板3的保持部
52a，且能够经由电动切换阀56而连通至负压/正压产生装置58及大气中的任一者。即，送出机构50通过抽吸基板3的下表面来保持该基板3，并通过在此状态下使送出头部52移动，从而将基板3从料仓40送出至其前方。

[0057] 装载器对基板3的送出动作如下。首先，在将送出头部52设置在料仓40内的指定位置的状态下，基板升降机构工作，料仓40内的基板3一体地下降，直至最下位(最下层)的基板3达到指定的送出高度位置、即能够由送出头部52来保持的高度位置为止。当最下位的基板3达到指定的送出高度位置时，送出头部52(保持部52a)抽吸保持该基板3。然后，送出头部52在此状态下移动到料仓40的外部前方的指定的基板交付位置，将该基板3交付给基板搬送机构16。该交付是通过在该基板3被支撑于基板搬送机构16的时刻，送出头部52解除该基板3的抽吸，其后，将送出头部52设置到料仓40内而进行。以后，通过重复进行上述动作，收纳在料仓40内的基板3将从其最下位的基板3开始依次送出。

[0058] 根据此种装载器，以通过螺杆轴223来支撑(收纳)基板3的方式构成料仓40，并且以通过驱动该螺杆轴223旋转，从而使收纳在料仓40内的基板3沿上下方向移动的方式构成基板升降机构。因此，与第一实施方式的料盘元件供应装置5a同样地，有助于装载器的占用空间及重量的抑制及低成本。

[0059] 另外，该装载器采用的是使收纳在料仓40内的基板3一边依次向下侧移动一边从开口部22a送出的结构，但也可采用相反的结构，即在料仓40中的上端部附近设置有开口部22a，使收纳在料仓40内的基板3一边依次向上侧移动一边从开口部22a送出的结构。此时，送出机构50设置在料仓40的上部。

[0060] (第三实施方式)

[0061] 第三实施方式是本发明所涉及的收纳装置作为基板的缓冲装置亦即作为用于将沿着元件安装基板的生产线搬送的基板拉出和存放并视需要将基板返回生产线的装置而被应用的实施方式。

[0062] 图8以侧视图示意性地表示该缓冲装置。该缓冲装置设置在带式搬送带等基板搬送机构18的侧方、且设置在该基板搬送机构18中的与设置后述基板上顶机构19的指定的基板出入部对应的位置的侧方。

[0063] 该缓冲装置包括能够分上下多层收纳基板3(相当于本发明的板状部件)的料仓60、在该料仓60与基板搬送机构18之间进行基板3的交付的中继装置62(相当于本发明的板状部件移动装置)、及使该中继装置62沿上下方向移动的中继装置驱动机构(相当于本发明的第二升降机构)，通过中继装置62，拉出基板搬送机构18上的基板3并收纳到料仓60中，并视需要使收纳在该料仓60内的基板3返回基板搬送机构18。

[0064] 所述料仓60具有与第二实施方式的料仓40大致等同的结构。因此，此处，对于与第二实施方式的料仓40共用的部分，在图中标注相同的符号并省略说明，主要对不同点进行说明。第三实施方式中，料仓60(箱形框架22)在其前表面(该图中为右面)具有基板出入用的上下两个开口部22a、22b。这些开口部22a、22b中的上侧的开口部22a(称作上侧开口部22a)是用于在料仓60中收纳基板3的开口部，且位于该料仓60的上端部附近。另一方面，下侧的开口部22b(称作下侧开口部22b)是用于从料仓60拉出基板3的开口部，且位于该料仓60的下端部附近。

[0065] 所述中继装置62包括省略了图示但用于支撑并引导基板3且沿前后方向(该图中为左右方向)延伸的导轨、以及能够沿与它们平行的方向移动的出入用头部。并且，中继装置62通过该出入用头部从基板搬送机构18将基板3引入所述导轨上，并且将该基板3沿着所述导轨收纳到料仓60内。出入用头部例如具有与第二实施方式中说明的送出头部52类似的结构，通过抽吸基板3的下表面来保持该基板3。另外，中继装置驱动机构是以电动机63作为驱动源的螺杆轴进给机构等，沿着设置在所述料仓60前方的引导部件64使中继装置62移动。

[0066] 缓冲装置对基板3的出入动作如下。

[0067] 首先，当向料仓60中存放基板3时，在指定的能够引入的高度位置设置基板3，具体而言，中继装置62移动到与由附设于基板搬送机构18的基板上顶机构19上顶的基板3对应的高度位置之后，出入用头部保持该基板3而引入到所述导轨上。另外，基板上顶机构19具有在前端具备滚珠等旋转体且可沿上下方向移动的销部件，通过利用该销部件从下侧顶起基板3，从而从基板搬送机构18上顶该基板3。

[0068] 当将基板3引入到中继装置62上时，中继装置62上升到与所述上侧开口部22a相向的指定的收纳高度位置之后，伴随出入用头部的移动，沿着所述导轨将基板3从该中继装置62收纳到料仓60内。此时，通过将基板3的端部插入螺杆轴223的螺槽(谷部)，从而在由该螺杆轴223予以支撑的状态下将基板3收纳到料仓60中。另外，在基板3的收纳时，通过基板升降机构的工作，事先使料仓60内的基板3一体地下降，从而成为能够在料仓60的最上位收纳基板3的状态。

[0069] 另一方面，当使存放在料仓60内的基板3返回基板搬送机构18时，以最下位(最下层)的基板3设置在与下侧开口部22b对应的高位置的方式，通过基板升降机构的工作，收纳在料仓60内的基板3一体地下降。而且，将中继装置62设置在与下侧开口部22b对应的位置。然后，在此状态下，通过出入用头部将基板3经由下侧开口部22b从料仓60拉出到所述导轨上之后，进一步伴随出入用头部的移动，沿着该导轨从中继装置62被推出到基板搬送机构18侧。此时，通过将所述基板上顶机构19的销部件设置到上升位置，从中继装置62将基板3交付到这些销部件上，其后，通过该销部件下降，使该基板3返回基板搬送机构18上。另外，从料仓60取出基板3之后，通过基板升降机构的工作，料仓60内的基板3事先一体地下降，由此在料仓60的最下位准备下个基板3。

[0070] 根据如上所述的缓冲装置，料仓60具有与第一、第二实施方式的料仓20、40等同的结构。因此，根据该缓冲装置，与第一、第二实施方式同样地，有助于缓冲装置的占用空间及重量的抑制及低成本。

[0071] 另外，上述缓冲装置中，是从上侧开口部22a将基板3收纳到料仓60内，并从下侧开口部22b拉出基板3，但当然也可相反。此时，按照与上述动作上下相反的动作进行基板3的出入。

[0072] 而且，通常使用上侧或下侧中的任一侧的开口部22a(或22b)来进行基板3的出入，也可视需要使用另一侧的开口部22b(或22a)。而且，也可采用省略上侧或下侧中的任一侧的开口部，而仅利用单侧的开口部22a(或22b)进行基板3的出入的结构。

[0073] 此外，该缓冲装置中，也可取代上述料仓60而使用图9及图10所示的料仓60A。

[0074] 以下，对该料仓60A进行说明。另外，该图中，为了使方向关系明确化，显示了XYZ直角坐标轴，+Y侧为料仓60A的前侧，即设置上述中继装置62的一侧(图8的右侧)。

[0075] 料仓60A包括：俯视大致矩形的底板70；板状的一对第一基板支撑部件72，位于该底板70的宽度方向(X方向)两端，沿该宽度方向彼此相向；板状的一对第二基板支撑部件74，靠近这些第一基板支撑部件72设置并排列在它们的内侧，且沿所述宽度方向彼此相向地排列；第一支撑部件驱动机构，使所述第一基板支撑部件72沿它们的排列方向(X方向)移动；以及第二支撑部件驱动机构，使所述第二基板支撑部件74沿它们的排列方向(X方向)及上下方向(Z方向)移动。

[0076] 另外，在该料仓60A中，一对第一基板支撑部件72相当于本发明的一对收纳部件，滑轨78相当于本发明的收纳部件支撑部，第一支撑部件驱动机构相当于本发明的收纳部件驱动机构，第二基板支撑部件74及第二支撑部件驱动机构等相当于本发明的进给机构。

[0077] 所述一对第一基板支撑部件72分别包括：前后方向(Y方向)细长的侧视大致矩形的板73a；一对支撑块73b，分别固定在各板73a的相向面且其前后方向两端；以及中间块73c，在所述板73a的相向面的上端且两支撑块73b之间的位置固定于板73a。

[0078] 各第一基板支撑部件72的支撑块73b分别具备彼此相向地沿上下方向排列且沿前后方向延伸的多层导槽731，通过将基板3的两端插入这些导槽731，从而能够从X方向外侧支撑基板3的两端。另外，各支撑块73b具备四个导槽731，各第一基板支撑部件72通过这些导槽731来支撑基板3，并且在支撑块73b及中间块73c的上表面支撑基板3。因此，该料仓60A能够以沿上下方向并列地支撑的状态来收纳最多五片基板3。

[0079] 另外，本例中，各第一基板支撑部件72的支撑块73b的导槽731以及支撑块73b及中间块73c的上表面相当于本发明的搁架。而且，各支撑块73b的导槽731中的同一高度的导槽以及支撑块73b及中间块73c的上表面相当于本发明的收纳部。

[0080] 各第一基板支撑部件72分别经由台座76而可移动地支撑于固定在所述底板70上且沿X方向延伸的滑轨78。具体而言，各第一基板支撑部件72以在能够通过一对支撑块73b支撑基板3的接近位置、与间隔宽于该接近位置且允许基板3在两第一基板支撑部件72之间沿上下方向移动的隔离位置的范围能够移动的方式，而由所述滑轨78予以支撑。并且，通过所述第一支撑部件驱动机构进行驱动。

[0081] 第一支撑部件驱动机构包括：第一连杆部件81，沿前后方向延伸且在其长度方向的大致中间经由支撑轴70a而可旋转地支撑于所述底板70；一对第二连杆部件82，以支撑轴70a为界，分别利用铰链结构来连结第一连杆部件81的长度方向两侧部与所述各台座76；以及气缸80，利用铰链结构连结于所述第一连杆部件81，对应于气压的供排切换来绕支撑轴70a驱动该第一连杆部件81。即，第一支撑部件驱动机构通过气缸80使第一连杆部件81绕支撑轴70a摆动，伴随该第一连杆部件81的摆动，经由各第二连杆部件82使各第一基板支撑部件72向接近位置与隔离位置移动。

[0082] 所述一对第二基板支撑部件74是前后方向(Y方向)细长的侧视大致矩形的板状的块部件。这些第二基板支撑部件74以介隔在所述一对第一基板支撑部件72的各板73a之间且介隔在各第一基板支撑部件72的前后的支撑块73b之间的方式而设置。这些第二基板支撑部件74在它们的相向面上具备沿上下方向排列且沿前后方向延伸的四条导槽741，通过将基板3的端部插入这些导槽741，从而能够支撑该基板3。

[0083] 各第二基板支撑部件74被组装在经由图外的引导部件而可升降地支撑于所述底板70上的可动板84上。由此，各第二基板支撑部件74经由可动板84而相对于所述底板70可升降地被支撑。具体而言，各第二基板支撑部件74以所有(四条)导槽741分别在与所述支撑块73b的导槽731吻合的上升位置与相对于第一基板支撑部件72向下方偏移导槽741的1节距的下降位置的范围能够移动的方式受到支撑。而且，各第二基板支撑部件
74经由台座86而可移动地支撑于固定在可动板84上且沿X方向延伸的滑轨88。具体而言，各第二基板支撑部件74以在能够支撑基板3的接近位置与间隔宽于该接近位置且允许基板3在两第二基板支撑部件74之间沿上下方向移动的隔离位置的范围能够移动的方式，而由所述滑轨88予以支撑。

[0084] 所述第二支撑部件驱动机构具备气缸85，该气缸85被固定在所述底板70的下表面，且对应于气压的供排切换而使该可动板84相对于底板70沿上下方向移动。而且，所述第二支撑部件驱动机构包括：第一连杆部件91，沿前后方向延伸且在其长度方向的大致中间经由支撑轴84a而可旋转地支撑于所述可动板84；一对第二连杆部件92，以支撑轴84a为界，分别利用铰链结构来连结第一连杆部件91的长度方向两侧部与所述台座86；以及气缸90，利用铰链结构连结于所述第一连杆部件91的长度方向单侧端部，对应于气压的供排切换来绕支撑轴84a驱动该第一连杆部件91。即，第二支撑部件驱动机构通过气缸85来使可动板84升降，从而使各第二基板支撑部件74向上升位置与下降位置移动，并且通过气缸90使第一连杆部件91绕其支撑轴84a摆动，从而伴随该第一连杆部件91的摆动，经由各第二连杆部件92使各第二基板支撑部件74向接近位置与隔离位置移动。

[0085] 另外，在两第一基板支撑部件72及两第二基板支撑部件74均设置在接近位置的状态下，各第一基板支撑部件72的各支撑块73b的导槽731(内底部)的位置与各第二基板支撑部件74的导槽741(内底部)的位置在X方向上一致，由此，两第一基板支撑部件72及两第二基板支撑部件74均能够支撑基板3。另一方面，当从该状态开始仅将两第一基板支撑部件72设置到隔离位置时，各第一基板支撑部件72的两支撑块73b的导槽731的位置将相对于各第二基板支撑部件74的导槽741的位置而向X方向外侧偏移。即，各第一基板支撑部件72的两支撑块73b的导槽731的位置较由各第二基板支撑部件74所支撑的基板3的X方向端部的位置向X方向外侧偏移。由此，两第二基板支撑部件74能够在保持支撑基板3的状态下，在两第一基板支撑部件72的板73a的内侧的位置沿上下方向移动。

[0086] 而且，所述各第二基板支撑部件74以能够在各第一基板支撑部件72设置在接近位置的状态下，向所述接近位置与隔离位置移动的方式，而将该第二基板支撑部件74的厚度尺寸(X方向的厚度尺寸)形成得小于第一基板支撑部件72的所述支撑块73b的厚度尺寸。由此，如图10所示，在保持各第一基板支撑部件72(支撑块73b)对基板3的支撑状态的状态下，仅使各第二基板支撑部件74移动到隔离位置，从而能够解除该第二基板支撑部件74对基板3的支撑状态。即，能够将两第二基板支撑部件74的相向面的位置较两第一基板支撑部件72的支撑块73b的导槽531(内底部)的位置设置到X轴方向外侧。在此状态下，也在各第二基板支撑部件74与第一基板支撑部件72的板73a之间维持间隙，各第二基板支撑部件74能够在该隔离位置沿上下方向移动。

[0087] 该料仓60A中，各第一基板支撑部件72被设置在接近位置，并且各第二基板支撑部件74能够在设置于接近位置且上升位置的状态下支撑基板3。并且，在此状态下，通过所述中继装置62(参照图8)进行基板3的出入。即，在此状态下，第一基板支撑部件72的四条导槽731与第二基板支撑部件74的四条导槽741相互在上下方向上一致，从而形成能够支撑基板3且沿上下方向排列的四条槽部，并且由第一基板支撑部件72的支撑块73b的上表面和第二基板支撑部件74的上表面形成能够支撑基板3的一个支撑部。由此，能够支撑最多五片基板3。

[0088] 接下来，使用图11A至图11C及图12A至图12D来说明该料仓60A中的基板3的升降动作。另外，本图概念性地表示了各基板支撑部件72、74的动作。在结构上，第二基板支撑部件74实际上不会移动到第一基板支撑部件72的外侧，但在一部分图(例如图11C等)中，为了便于说明，描绘了第二基板支撑部件74移动到第一基板支撑部件72的外侧的图。

[0089] 作为前提，假设如图11A所示，在除了最上层(最上位)以外的各层支撑(收纳)有基板3。此时，如上所述，各第一基板支撑部件72设置在接近位置，各第二基板支撑部件74设置在接近位置且上升位置。

[0090] 首先，各第二基板支撑部件74移动到隔离位置，而且从上升位置移动到下降位置之后，从隔离位置移动到接近位置(图11B、图11C、图12A)。由此，相对于第一基板支撑部件72，第二基板支撑部件74偏移到下侧，支撑基板3的第二基板支撑部件74的导槽741的位置向上偏移一层。接下来，各第一基板支撑部件72移动到隔离位置，在此状态下，第二基板支撑部件74从下降位置移动到上升位置之后，各第一基板支撑部件72从隔离位置移动到接近位置(图12B～图12D)。由此，支撑有基板3的第一基板支撑部件72的导槽731的位置向上偏移一层，其结果，由料仓60A所支撑的基板3的位置在保持它们的位置关系的状态下，均上升一层。

[0091] 以上，对使收纳在料仓60A内的基板3上升(往上)的情况进行了说明，但遵照与上述动作相反的动作，也能够使基板3下降(往下)。

[0092] 对于如上所述的料仓60A，也能够与上述的第三实施方式的料仓60同样地，具有分上下多层存放多片(五片)基板，而且，使存放的基板3沿上下方向移动的功能。因此，能够适用作图8所示的缓冲装置的料仓。另外，此种料仓60A的结构并不限于图8所示的缓冲装置，也能够适用作图6所示的装载器的料仓。而且，如果利用各支撑部件72、74的导槽731、741来支撑托盘P的凸缘部Pa，则也能够适用作图1所示的料盘元件供应装置5a的料仓。

[0093] 以上，对适用本发明所涉及的收纳装置的料盘元件供应装置5a、装载器及缓冲装置进行了说明，但这些只是本发明所涉及的收纳装置的较理想的实施方式的例示，其具体结构能够在不脱离本发明的主旨的范围内进行适当变更。

[0094] 以上所说明的本发明总结如下。

[0095] 为了解决上述问题，本发明是一种将板状部件收纳于上下多层的收纳装置，其包括：收纳部件，具备能够收纳所述板状部件的多个收纳部，该多个收纳部在上下方向并列；第一升降机构，在保持所述收纳部件的上下方向位置的状态下，使所述收纳部件所收纳的各所述板状部件一体地在上下方向移动。

[0096] 该收纳装置能够在收纳板状部件的收纳部件其自身的上下方向的位置被保持的状态下，仅使该收纳部件所收纳的板状部件沿上下方向移动。因此，根据该收纳装置，与使收纳部件(储料器)与收纳在其中的板状部件(托盘)这两者升降的以往的收纳装置相比，能够大幅降低该升降所需的驱动力及对机构部分要求的强度。由此，能够抑制收纳装置的占用空间及重量并且能够实现低成本的收纳装置。

[0097] 作为更具体的结构，所述收纳部件是沿上下方向相互平行地延伸的多个螺杆轴，这些螺杆轴的相同高度位置的螺槽作为所述收纳部支撑插入所述螺槽中的所述板状部件的端部，所述第一升降机构具有将各所述螺杆轴能够绕各所述螺杆轴的轴心旋转地予以支撑的螺杆轴支撑部、以及使各所述螺杆轴朝同一方向同步旋转的旋转驱动机构，通过各所述螺杆轴的旋转驱动，使所述板状部件沿着所述螺槽在上下方向移动。

[0098] 根据该结构，收纳(支撑)板状部件的收纳部件、与用于支撑板状部件以使板状部件沿上下方向移动的部件得以共用。并且，在使板状部件移动时，只要使作为收纳部件的螺杆轴绕其轴旋转即可，因此能够以非常简单的结构来使各板状部件一体地沿上下方向移动，而不会伴随收纳部件的上下方向的移动。

[0099] 另外，作为其他的具体结构，本发明的收纳装置也可包括：一对所述收纳部件，分别具备彼此相向且在上下方向排列的多层的搁架，以同一高度位置的所述搁架作为所述收纳部，通过该搁架从外侧支撑所述板状部件的两端；其中，所述第一升降机构具备：收纳部件支撑部，以所述一对收纳部件能够在接近位置和隔离位置之间移动的方式支撑该一对收纳部件，所述接近位置是能够支撑所述板状部件的位置，所述隔离位置是允许所述板状部件在上下方向移动的位置；收纳部件驱动机构，使所述一对收纳部件在所述接近位置与所述隔离位置之间移动；进给机构，将由所述一对收纳部件所支撑的所述板状部件一体地保持并使之沿上下方向移动；其中，在由所述进给机构保持所述板状部件的状态下将所述一对收纳部件设置于所述隔离位置，并且在此状态下通过所述进给机构使所述板状部件沿上下方向移动之后，使所述一对收纳部件返回所述接近位置，由此使所述板状部件沿上下方向移动。

[0100] 通过该结构，也能够使各板状部件一体地沿上下方向移动，而不会伴随收纳部件的上下方向的移动。

[0101] 另外，较为理想的是，本发明的收纳装置还包括：板状部件移动装置，使所述板状部件沿水平方向移动，以对所述收纳部件进行所述板状部件的收纳和取出的至少一者，所述收纳是将所述板状部件收纳于所述收纳部件的收纳，所述取出是从所述收纳部件取出所述板状部件的取出。

[0102] 根据该结构，能够在该收纳装置中使板状部件相对于收纳部件的收纳及从该收纳部件的取出的至少一者的动作实现自动化。

[0103] 此情况下，较为理想的是，本发明的收纳装置还包括：第二升降机构，使所述板状部件移动装置沿所述收纳部件在上下方向移动。

[0104] 根据该结构，即使在对收纳部件收纳板状部件的位置与从收纳部件取出板状部件的位置在上下方向上不同的情况下，也能够无障碍且效率良好地进行板状部件的收纳及取出的动作。

[0105] 另外，在上述收纳装置中也可为：所述板状部件移动装置对所述收纳部件的所述多个收纳部中位于最上位的收纳部进行所述板状部件的所述收纳和所述取出的至少一者，所述第一升降机构在由所述板状部件移动装置收纳所述板状部件时，在该收纳前使各所述收纳部所收纳的所述板状部件的收纳位置一体地下降，另一方面，在由所述板状部件移动装置取出所述板状部件时，在该取出后使各所述收纳部所收纳的所述板状部件的收纳位置一体地上升。

[0106] 根据该结构，能够将多个板状部件一边经由最上位的收纳部一边效率良好地收纳到收纳部件中，或者能够将收纳在收纳部件中的多个板状部件一边经由最上位的收纳部一边效率良好地取出。

[0107] 另外，在上述收纳装置中也可为：所述板状部件移动装置对所述收纳部件的所述多个收纳部中位于最下位的收纳部进行所述板状部件的所述收纳和所述取出的至少一者，所述第一升降机构在由所述板状部件移动装置收纳所述板状部件时，在该收纳前使各所述收纳部所收纳的所述板状部件的收纳位置一体地上升，另一方面，在由所述板状部件移动装置取出所述板状部件时，在该取出后使各所述收纳部所收纳的所述板状部件的收纳位置一体地下降。

[0108] 根据该结构，能够将多个板状部件一边经由最下位的收纳部一边效率良好地收纳到收纳部件中，或者能够将收纳在收纳部件中的多个板状部件一边经由最下位的收纳部一边效率良好地取出。