[0001] 本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种机械手设备。

[0002] 以液晶显示器为例，在阵列基板和对盒基板的制程中，均会涉及到基板传送，以将基板传送到不同的设备进行相应的工艺步骤。例如，涂布完光刻胶后的基板就需要被传送到干燥设备中进行干燥处理。

[0003] 目前，基板传送最常用的方式主要以滚压(roller)传送以及机械手(robot)传送为主。根据工艺需要可以选择相应的传送方式，例如湿清洁一般选择滚压传送方式，而涂布阶段(例如光刻胶涂布)因考虑平整性而采用机械手传送方式。

[0004] 其中，机械手传送主要以支撑针(Pin)或真空吸盘式为主，然而，不管是支撑针或是吸盘，在基板传送过程中，均会与基板的局部发生接触，这样会导致基板传送过程中，因背部接触点会造成玻璃局部不平整，从而导致显示器画面品质不良(mura)的产生。

[0026] 下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

[0027] 本发明实施例提供了一种机械手设备1，如图1至图5所示，该机械手设备1包括：设备本体10、与所述设备本体连接的机械手臂20、以及供气装置30，其中所述机械手臂包括至少一个支臂201，每个所述支臂上设置有多个小孔201a，所述多个小孔201a与所述供气装置30相通。

[0028] 本发明实施例提供的机械手设备1在运送例如基板时的工作原理为：供气装置30提供的气体(例如空气)从支臂201的小孔喷出，从而使基板漂浮于所述支臂201上方而不接触所述支臂201。

[0029] 需要说明的是，第一，对于所述小孔201a的数量和尺寸根据实际情况进行设定，在此不做限定，以能在通过所述小孔201a的气体作用下，使位于所述支臂上方的例如基板漂浮起来而不接触所述支臂201为准。

[0030] 此外，对于所述小孔201a并不限定其为贯穿支臂的上表面和下表面的孔，也可以是未到达支臂的下表面的孔，即该孔的下表面位于所述支臂内部；其中，支臂的上表面和小表面是相对漂浮在支臂上方的例如基板而言的，靠近所述基板的为上表面，则另一相对面为下表面。

[0031] 第二，所述多个小孔201a与所述供气装置30相通是指，所述供气装置30提供的气体经所述小孔喷出。

[0032] 第三，在本发明实施例中不对所述供气装置30的设置位置进行限定，以能使所述供气装置30提供的气体到达所述小孔201a为准。

[0033] 第四，所述供气装置30提供的气体需为干净气体，但前提是该气体需能使基板漂浮起来且不会对该基板造成任何影响。

[0034] 本发明实施例提供了一种机械手设备，该机械手设备包括设备本体、与所述设备本体连接的机械手臂、以及供气装置，其中所述机械手臂包括至少一个支臂，所述支臂上设置有多个小孔，所述小孔与所述供气装置相通；当该机械手设备用于运送基板时，便可将该基板漂浮在所述支臂上方而不与所述支臂接触，从而可以避免影响显示器画面品质。

[0035] 考虑到在所述机械手设备运送基板时，例如该基板上涂覆有构图工艺必须的光刻胶，此时如果在运送过程中基板发生倾斜，可能会导致后续构图工艺制备的图案出现问题，因此，在本发明实施例中，优选的，设置于每个支臂201上的多个小孔201a均匀分布。

[0036] 进一步可选的，所述机械手臂20可以包括至少两个支臂201，在此情况下，所述至少两个支臂201优选为平行设置且长度相等。

[0037] 进一步地，所述机械手臂20可以包括至少三个支臂201，在此情况下，为了避免漂浮于所述至少三个支臂201上方的基板发生倾斜，优选的，将所述至少三个支臂201等间隔设置。

[0038] 可选的，如图2所示，所述供气装置30包括供气主体301、以及与所述供气主体301连接的导气管线302，所述导气管线301设置于每个所述支臂201的下表面；所述导气管线301与每个所述支臂201中设置的所述多个小孔201a相通。

[0039] 此处的下表面是相对所述支臂201用于承载漂浮基板的一面而言的，即，供气装置30的供气主体301产生的气体经位于支臂下表面的导气管线30，从位于支臂上的小孔喷出，从而使位于支臂上方的基板漂浮。

[0040] 对于所述供气主体301，主要用于提供气体，其位置例如可设置在所述设备本体10内部。当然供气主体301也可以设置在其他位置，以能将位于所述支臂上方的例如基板漂浮起来，实现运送的目的即可。

[0041] 实施例一，本发明实施例提供了一种机械手设备1，如图1和图2所示，该机械手设备1包括：设备本体10、与所述设备本体连接的机械手臂20、以及供气装置30。

[0042] 其中，所述机械手臂20包括4个支臂201，所述4个支臂201之间的间隔相等，且所述4个支臂的长度均相等；每一个支臂201上均包括贯穿所述支臂的上表面和下表面的多个均匀设置的小孔201a。

[0043] 所述供气装置包括供气主体301、以及与所述供气主体301连接的导气管线302，所述导气管线302紧挨所述支臂201的下表面设置，并与位于所述支臂上的小孔201a相通。所述供气主体301设置在所述设备本体10内部。

[0044] 在本发明实施例中，可以通过合理设置小孔201a的数量，以及通过所述小孔喷出的气体强度，使漂浮于支臂上方的基板距离所述支臂上表面3-5mm。

[0045] 本发明实施例提供了一种机械手设备，包括设备本体10、与所述设备本体连接的机械手臂20、以及供气装置30，其中，机械手臂20包括4个间隔且长度均相等的支臂201，所述支臂201包括贯穿所述支臂的上表面和下表面的多个均匀设置的小孔201a，所述供气装置包括供气主体301和导气管线302，所述导气管线302设置于所述支臂201的下表面，并与位于所述支臂上的小孔201a相通；这样，供气主体301产生的气体经导气管线302从位于每个支臂上的小孔喷出，从而可使位于所述支臂上方的基板漂浮，进而可以避免影响显示器画面品质。

[0046] 可选的，如图3所示，所述供气装置30包括供气主体301、以及与所述供气主体301连接的导气管线302，所述导气管线302设置于每个所述支臂201的内部；所述导气管线302与每个所述支臂中设置的所述多个小孔201a相通。

[0047] 此处，即为，设置于每个支臂201上的小孔201a为贯穿所述支臂的上表面但不贯穿所述支臂的下表面的孔，也就是，所述小孔201a的上表面与所述支臂201为同一平面，所述小孔201a的下表面位于所述支臂内部。

[0048] 对于所述供气主体301，其位置例如可设置在所述设备本体10内部。当然供气主体301也可以设置在其他位置，以能将位于所述支臂上方的例如基板漂浮起来，实现运送的目的即可。

[0049] 实施例二，本发明实施例提供了一种机械手设备1，如图1和图3所示，该机械手设备1包括：设备本体10、与所述设备本体连接的机械手臂20、以及供气装置30。

[0050] 其中，所述机械手臂包括4个支臂201，所述4个支臂201之间的间隔相等，且所述4个支臂的长度均相等；每一个支臂201上均包括贯穿所述支臂的上表面但不贯穿所述支臂的下表面的多个均匀设置的小孔201a，即，所述小孔201a的下表面位于所述支臂内部。

[0051] 所述供气装置30包括供气主体301以及与所述供气主体301连接导气管线302，所述导气管线302设置于所述支臂201内部，并与位于所述支臂上的小孔201a相通。即为，位于所述支臂内部的导气管线302通过位于所述支臂内部的小孔的下表面与所述小孔相通。所述供气主体301设置在所述设备本体10内部。

[0052] 在本发明实施例中，可以通过合理设置小孔201a的数量，以及通过所述小孔喷出的气体强度，使漂浮于支臂上方的基板距离所述支臂上表面3-5mm。

[0053] 本发明实施例提供了一种机械手设备，包括设备本体10、与所述设备本体连接的机械手臂20、以及供气装置30，其中，机械手臂20包括4个间隔且长度均相等的支臂201，所述支臂201包括贯穿所述支臂的上表面但不贯穿所述支臂的下表面的多个均匀设置的小孔201a，所述供气装置包括供气主体301和导气管线302，所述导气管线302设置于所述支臂201内部，并与位于所述支臂上的小孔201a相通；这样，供气主体301产生的气体经导气管线302从位于每个支臂上的小孔喷出，从而可使位于所述支臂上方的基板漂浮，进而可以避免影响显示器画面品质。

[0054] 优选的，如图4所示，所述机械手臂20还包括：设置于每个所述支臂201相对所述设备本体10一侧的第一阻挡结构202。

[0055] 这样，可以避免漂浮在所述支臂201上方的例如基板从相对所述设备本体10的另一侧滑落。

[0056] 优选的，如图5所示，所述机械手臂20还包括：与所述支臂201平行，且相对所有所述支臂设置在最外侧的第二阻挡结构203。

[0057] 这样，可以避免漂浮在所述支臂201上方的例如基板从与所述支臂201的长度方向的垂直方向滑落。

[0058] 进一步地，所述第二阻挡结构203的一端固定在所述设备本体10上，另一端设置在沿所述支臂201长度方向的中间位置。

[0059] 对于本发明所有实施例，优选的，所述供气装置30提供的气体为离子空气。

[0060] 这样可以中和与所述离子空气接触的基板一侧的静电，避免静电释放对基板产生的影响。

[0061] 实施例三，本发明实施例提供了一种机械手设备1，参考图3和图5所示，该机械手设备1包括：设备本体10、与所述设备本体连接的机械手臂20、以及供气装置30。

[0062] 其中，所述机械手臂包括4个支臂201，所述4个支臂201之间的间隔相等，且所述4个支臂的长度均相等；每一个支臂201上均包括贯穿所述支臂的上表面但不贯穿所述支臂的下表面的多个均匀设置的小孔201a，即，所述小孔201a的下表面位于所述支臂内部。

[0063] 所述供气装置30包括供气主体301、以及与所述供气主体301连接的导气管线302，所述导气管线302设置于所述支臂201内部，并与位于所述支臂上的小孔201a相通。
即为，位于所述支臂内部的导气管线302通过位于所述支臂内部的小孔的下表面与所述小孔相通。所述供气主体301设置在所述设备本体10内部。

[0064] 在本发明实施例中，可以通过合理设置小孔201a的数量，以及通过所述小孔喷出的气体强度，使漂浮于支臂上方的基板距离所述支臂上表面3-5mm。

[0065] 进一步地，所述机械手臂20还包括：设置于每个所述支臂201相对所述设备本体10一侧的第一阻挡结构202、以及与所述支臂201平行，且相对所有所述支臂设置在最外侧的第二阻挡结构203。

[0066] 其中，第一阻挡结构202和第二阻挡结构203的高度大于所述基板漂浮的高度。

[0067] 在本发明实施例中，在实现使位于所述支臂上方的基板漂浮的基础上，可避免所述基板从所述支臂上方滑落。

[0068] 以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。