[0001] 本发明涉及电路板制作领域，尤其涉及一种能够能够有效的去除泡沫的除泡装置。

[0002] 随着科学技术的进步，印刷电路板在电子领域得到的广泛的应用。关于电路板的应用请参见文献Takahashi，A.Ooki，N.Nagai，A.Akahoshi，H.Mukoh，A.Wajima，M.Res.Lab，High densitymultilayer printed circuit board for HITAC M-880，IEEE Trans.onComponents，Packaging，and Manufacturing Technology，1992，15(4)：418-425。

[0003] 在电路板的生产过程中，通常采用蚀刻铜箔形成导电线路。在蚀刻形成导电线路之前，需要先在铜箔表面形成光致抗蚀剂层，然后对光致抗蚀剂层进行曝光及显影，从而使得光致抗蚀剂层图案化。在进行显影时，通常采用显影液如碳酸钾溶液进行显影，显影液与曝光过程中未发生化学反应的光致抗蚀剂发生反应，使得发生反应的光致抗蚀剂从铜箔表面脱离。在上述的显影液与光致抗蚀剂层反应过程中，通常会产生大量的泡沫，随着反应持续进行，产生的泡沫逐渐增多，从而使得泡沫从显影机台中流出，影响正常显影处理。

[0004] 现有技术中，通常采用化学药品来去除产生的泡沫，上述的除泡的化学药品会给环境带来污染，并且价格昂贵，不利于降低电路板的生产成本。

[0053] 下面结合附图及多个实施例对本技术方案提供的除泡装置作进一步的详细说明。

[0054] 请一并参阅图1至图3，本技术方案第一实施例提供除泡装置100包括收容槽110、处理槽120、泡沫流入管130、喷淋打泡装置140、抽气管150、抽气装置160、碎泡装置
170、泡沫高度检测装置180及控制器190。

[0055] 收容槽110用于收容带有泡沫的液体，其可以为用于收容显影、蚀刻或者剥膜后的药水的槽体。本实施例中，收容槽110为顶部具有开口113的长方体形槽体，其具有底壁111和与垂直于并与底壁111相连接的四个侧壁112。具有泡沫的液体从开口113注入收容槽110中。在收容槽110的一个侧壁112靠近开口113的一侧，开设有第一通孔114。优选地，第一通孔114开设的位置应与收容槽110收容的泡沫的位置相对应。即，收容槽110内液体的液面高度位于第一通孔114开设的位置之下，以仅使得泡沫可以从第一通孔114流出。

[0056] 收容槽110的形状不限于本实施例中提供的形状，其可以根据实际需要设计为其他适合收容液体的形状。

[0057] 处理槽120与收容槽110相邻设置，并通过泡沫流入管130与收容槽110连通。处理槽120用于收容从收容槽110流入的泡沫，并使得泡沫在处理槽120内进行消除处理，以使得泡沫转化为液体。本实施例中，处理槽120包括槽体121和液体排放管122。槽体
121大致为长方体形，其包括顶板1211、底板1212、第一侧板1213、第二侧板1214、第三侧板1215及第四侧板1216。顶板1211与底板1212相对，第一侧板1213、第二侧板1214、第三侧板1215及第四侧板1216连接于顶板1211和底板1212之间，第一侧板1213、第二侧板
1214、第三侧板1215及第四侧板1216依次相互连接，其中第一侧板1213与第三侧板1215相对，第二侧板1214与第四侧板1216相对。顶板1211、底板1212、第一侧板1213、第二侧板1214、第三侧板1215及第四侧板1216围合形成收容腔123。其中，第一侧板1213与收容槽110开设有第一通孔114的侧壁112相对，第一侧板1213开设有第二通孔(图未示)。
第一通孔114和第二通孔用于安装泡沫流入管130。第二通孔与底板1212具有一定距离，即第二通孔与底板1212具有高度差。泡沫流入管130安装于收容槽110和处理槽120之间，以将收容槽110内的泡沫流入至处理槽120内。本实施例中，泡沫流入管130连接于第一通孔114和处理槽120的第二通孔之间，从而连通收容槽110和处理槽120，使得收容槽
110内的泡沫可以通过泡沫流入管130从第二通孔流入处理槽120。在第三侧板1215上靠近顶板1211的一侧开设有第三通孔1218，第三通孔1218用于配合安装抽气管150。液体排放管122设置于槽体121靠近底板1212的一侧，其与收容腔123相连通，用于将处理槽120内的由泡沫转化的液体排出处理槽120。本实施例中，在液体排放管122设置有阀门1221，用于控制液体排放管122是否排放液体。液体排放管122可以与其他管路相连，将由泡沫转化的液体供应至需要使用该液体的装置中。

[0058] 可以理解的是，除泡装置100也可以不包括泡沫流入管130，而将收容槽110的一个侧壁112和处理槽120的第一侧板1213设置为一体结构，并在侧壁112远离底壁111的一端形成有长条形开口，收容槽110和处理槽120通过该长条形开口相互连通，从而收容槽110内的泡沫通过该长条形开口流入处理槽120。

[0059] 喷淋打泡装置140用于喷射高压的雾状水滴，将处理槽120内的泡沫打碎，以使泡沫转化为液体。本实施例中，喷淋打泡装置140包括送水管141、输水管142、多根喷管143、加压装置144及控制阀门145。送水管141与输水管142供应水。送水管141贯穿处理槽120，自处理槽120外延伸至处理槽120内。本实施例中，送水管141穿过处理槽120的第二侧板1214延伸至处理槽120内。输水管142的中间部分与送水管141的一端相互连通。
本实施例中，输水管142位于处理槽120内，其垂直于第一侧板1213，输水管142靠近并平行于第二侧板1214和顶板1211的交线。多根喷管143相互平行设置且均与输水管142相连通，并垂直于输水管142，输水管142内的水可以流入至多个喷管143内。本实施例中，喷淋打泡装置140共包括有五根喷管143，五根喷管143等间距设置于第一侧板1213和第三侧板1215之间。每根喷管143的一端与输水管142相互连通。在每根喷管143朝向底板
1212的一侧，安装有多个与该喷管143相连通的多个喷嘴1421。本实施例中，每个喷管143上等间距安装有五个喷嘴1421。从而五根喷管143同时喷射高压的雾状水滴可以覆盖整个收容腔123。喷管143的数量可以根据实际的收容腔123的大小进行设定。为了能够控制每根喷管143的喷嘴1431是否喷射高压雾状水珠，可以在每根喷管143靠近输水管142的一侧安装一个阀门。

[0060] 加压装置144和控制阀门145安装于送水管141上。加压装置144用于对送水管141内的水进行加压，使得送水管141供向输水管142内的水的压强可以达到2千克每平方厘米。控制阀门145用于控制送水管141是否向输水管142供应水。控制阀门145可以为电磁阀。

[0061] 可以理解的是，当外界输入送水管141内的水的压强能够达到2千克每平方厘米时，喷淋打泡装置140可以不设置有加压装置144。当加压装置144为能够通过控制其开启便能控制是否向输水管142供应高压水时，喷淋打泡装置140也可以不设置有控制阀门145，而通过控制加压装置144的开启直接控制是否向输水管142供应水。

[0062] 抽气管150安装于第三侧板1215并通过第三通孔1218与收容腔123相连通。抽气管150与泡沫流入管130位于处理槽120的相对两侧。本实施例中，抽气管150包括相互连接的第一管151及第二管152。第一管151平行于顶板1211，第一管151固定于第三侧板1215的第三通孔1218。第二管152自第一管151向顶板1211方向延伸，并超过顶板1211所在的高度，第二管152的延伸方向垂直于顶板1211。

[0063] 抽气装置160安装于抽气管150的第二管152远离第一管151的一端。抽气装置160用于抽出抽气管150及处理槽120内的气体，从而使得收容槽110的泡沫从收容槽110通过泡沫流入管130进入处理槽120中继而进入抽气管150中。

[0064] 为了调整抽气装置160抽气的速率，即调整从收容槽110向处理槽120内流入的泡沫的速率，在抽气管150内可以安装调节阀。通过调节调节阀，控制泡沫从收容槽110向处理槽120流入的速率。

[0065] 请一并参阅图4，碎泡装置170安装于抽气管150，其用于在泡沫流入抽气管150并到达碎泡装置170时，碎泡装置170将泡沫转化为液体并通过抽气管150流回处理槽120内。本实施例中，碎泡装置170包括壳体171和碎泡层172。碎泡层172为采用化学纤维制成的多孔海绵状片状结构，其采用具有耐化学药品腐蚀的性能。壳体171设置于第二管152中间，其具有长方体形的收容空间173。在竖直方向，其两端与第二管152均相连通，收容空间173的两端与抽气管150相连通。在垂直于第二管152的延伸方向，收容空间173的横截面积大于第二管152的横截面积。碎泡层172收容于收容空间173内，碎泡层172的设置方向垂直于第二管152的延伸方向。碎泡层172的形状与收容空间173的横截面的形状相对应，使得碎泡层172与壳体171的内壁紧密接触。碎泡层172的形状也可以为其他形状，但其横截面应大于第二管152的横截面，以能够防止碎泡层172在抽气管150内移动而无法起到碎泡作用。本实施例中，壳体171设置有可拆卸的挡板174，以方便将碎泡层172放入收容空间173内或者从收容空间173内拿出。挡板174可由透明材料制成，以方便观测碎泡层172进行过滤的情况。碎泡层172的厚度为2至20厘米。当然，碎泡装置170也可以为其他结构，如多层平行设置的细目筛网等。

[0066] 可以理解的是，本实施例提供的碎泡装置170也可以仅包括碎泡层172，碎泡层172固定设置于抽气管150的第二管152或第一管151内，碎泡层172为圆片形，其外径等于第二管152的内径，以确保所有流经第二管152的泡沫都经过碎泡层172。从而也可以实现在泡沫流入抽气管150并到达碎泡装置170时，碎泡装置170将泡沫转化为液体并通过抽气管150流回处理槽120内的作用。

[0067] 泡沫高度检测装置180用于检测处理槽120内的泡沫高度。本实施例中，泡沫高度检测装置180安装于顶板1211并延伸至收容腔123内，以检测收容腔123内泡沫的高度。泡沫高度检测装置180与控制器190相连接，并将检测结果传送至控制器190。

[0068] 控制器190与泡沫高度检测装置180及喷淋打泡装置140的控制阀门145和加压装置144相连接，用于根据泡沫高度检测装置180检测的信号，控制喷淋打泡装置140是否进喷射高压雾状水珠以进行除泡。

[0069] 请参阅图5，本实施例提供的除泡装置100进行除泡采用如下步骤：

[0070] 首先，通过泡沫在泡沫流入管130及处理槽120内流动除泡。在抽气装置160和抽气管150抽力的作用下，收容槽110内高度超过第一通孔114的通过泡沫流入管130从第二通孔流入至处理槽120内。在重力的作用下，泡沫自第二通孔向底板1212流动，在流动过程中，泡沫之间相互摩擦并且与处理槽120的内壁及泡沫流入管130相互摩擦，从而使得一部分泡沫破碎转化为液体。

[0071] 然后，由于抽气装置160和抽气管150抽力持续作用，当泡沫在泡沫流入管130及处理槽120内流动除泡的速度小于泡沫流入处理槽120的速度时，处理槽120内的泡沫的高度不断增加，当泡沫的高度达到泡沫高度检测装置180的设定高度值时，泡沫高度检测装置180将信号传递至控制器190，控制器190控制喷淋打泡装置140的加压装置144和控制阀门145开启，多根喷管143的喷嘴1431向收容腔123内的泡沫喷射高压的雾状水珠，从而使得被喷淋的泡沫破碎，转化为液体。

[0072] 最后，泡沫达到抽气管150内的碎泡装置170时，采用碎泡装置170过滤除泡。在启动喷淋打泡装置140后，泡沫仍在处理槽120内仍持续升高时，其流入抽气管150内，当泡沫升高至碎泡装置170时，向上升高的泡沫被碎泡装置170阻挡，并在流入至碎泡装置170的碎泡层172时使得泡沫破碎转化为液体沿着抽气管150流回处理槽120内。

[0073] 当处理槽120收容的泡沫转化的液体的液面高度较高时，可以开启液体排放管122的阀门1221，将所述液体从处理槽120内排出。

[0074] 在采用除泡装置100进行除泡时，如果处理槽120的泡沫流入速率较小时，处理槽120内的泡沫高度没有达到泡沫高度检测装置180的预定高度，只需泡沫在泡沫流入管130、处理槽120的内壁进行流动便能实现除泡的效果，则无须开启喷淋打泡装置140，从而可以节省启动喷淋打泡装置140而需要的电能和水。如果处理槽120的泡沫流入速率较大时，启动喷淋打泡装置140，从而使得泡沫流动过程中破碎，并被喷淋打泡装置140打碎，从而可以满足较大速率的除泡需要。当处理槽120的泡沫流入速率进一步增大时，泡沫流动、喷淋打泡装置140碎泡及碎泡装置170同时作用，从而具有更高的除泡效率。

[0075] 本实施例提供的除泡装置100，可以根据不同的除泡速率的需要设定不同的除泡方式，从而可以在出泡速率较小时，只需让泡沫流动，从而可以避免持续开起喷淋打泡装置140而浪费的能源和水。在泡沫速率较大时，才开启喷淋打泡装置140，并且设置有碎泡装置170，从而能够满足更大除泡速率的需求。

[0076] 请参阅图6，本技术方案第二实施例提供一种除泡装置200，其结构与本技术方案第一实施例提供的除泡装置100的结构相近。除泡装置200也包括收容槽210、处理槽220、泡沫流入管230、喷淋打泡装置240、抽气管250、抽气装置260、碎泡装置270、泡沫高度检测装置(图未示)及控制器290，其中，收容槽210、处理槽220、泡沫流入管230、抽气管250、抽气装置260、碎泡装置270、泡沫高度检测装置及控制器290的结构和设置方式与第一实施例除泡装置100的收容槽110、处理槽120、泡沫流入管130、抽气管150、抽气装置160、碎泡装置170、泡沫高度检测装置180及控制器190的结构和设置方式均相同。不同之处在于，喷淋打泡装置240包括多个送水管241、多个喷管242、多个控制阀门243和多个加压装置244。

[0077] 每个送水管241对应与一个喷管242相互连接。多个喷管242靠近于顶板(图未示)设置。多根喷管242可以相互平行等间距设置。当然，也可以根据需要在第一侧板2213一侧设置的较密集，而靠近第三侧板2215的一侧设置的较密集。这样，泡沫从第一侧板2213一侧流入，从而在收容腔223靠近第一侧板2213附近泡沫较多，在第一侧板2213设置较密集的喷管242，从而可以更好的消除泡沫。每个送水管241上均设置有一个控制阀门
243和加压装置244，并均与控制器290相电连接。控制器290可以分别控制每个加压装置
244和控制阀门243，从而每个喷管242的喷嘴2421可以根据实际需要开启或者关闭。当收容腔223内的泡沫较少时或者分布区域较集中时，可以只开启对应的部分喷管242喷射高压雾状水珠。这样，相比于同时开启所有的喷管242，可节省电能和水。

[0078] 本实施例提供的除泡装置200进行除泡采用如下方式：在抽气装置260和抽气管250抽力的作用下，收容槽210内的泡沫流入管230至处理槽220内。在重力的作用下，泡沫沿处理槽220流动，在流动过程中，泡沫之间相互摩擦并且与处理槽220的内壁及泡沫流入管230相互摩擦，从而使得一部分泡沫破碎转化为液体。由于抽气装置260和抽气管
250抽力持续作用，处理槽220内的泡沫的高度不断增加，当泡沫的高度达到泡沫高度检测装置的设定高度值时，泡沫高度检测装置将信号传递至控制器，控制器290控制喷淋打泡装置240的多个控制阀门243和多个加压装置244启动，多个喷管242的喷嘴2421向泡沫喷射高压的雾状水珠，从而使得被喷射的泡沫打碎转化为液体。在启动喷淋打泡装置240后，泡沫仍在处理槽220内仍持续升高时，其沿着抽气管250流入，当泡沫升高至过碎泡装置270时，向上升高的泡沫被碎泡装置270阻挡，碎泡装置270使得泡沫破碎转化为液体沿着抽气管150流回处理槽220内。

[0079] 相比于现有技术，本技术方案提供的除泡装置能够有效的去除泡沫，并且能够根据需要去除泡沫的速率选择不同的除泡方式，具有很强的灵活性，并且能够有效避免除泡过程中浪费的能量。

[0080] 可以理解的是，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术构思做出其它各种相应的改变与变形，而所有这些改变与变形都应属于本发明权利要求的保护范围。