[0001] 本发明涉及具有排列着反射特定波长的光的光栅的光纤的光纤传感器、在片体中配置了多个光纤传感器的压力传感器、配设了压力传感器的末端执行器、以及根据从压力传感器输出的光栅的反射光的波长偏移量来计算配置有光纤传感器的部位的应力的传感器信号处理装置。

[0002] 当前已知如下压力传感器(分布式压力传感器)，其在片体上配置多个光纤作为传感器，检测从物体对上述片体赋予压力(应力)时上述光纤的形变，从而检测配置有上述光纤的部位处的压力(参见日本专利第3871874号公报和日本特开2002-071323号公报)。

[0003] 另外，还已知应用了将在垂直方向和水平方向上被赋予的压力(垂直应力、水平应力)作为电信号检测出来的MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微机电系统)技术的压力传感器(参见日本特开2009-068988号公报)。

[0004] 然而，在把日本专利第3871874号公报、日本特开2002-071323号公报和日本特开2009-068988号公报所公开的压力传感器应用于进行复杂组装的FA(Factory Automation：工厂自动化)用工作机械的末端执行器，检测该末端执行器对物体的把持状态，并且根据上述压力传感器所检测出的压力对上述末端执行器进行反馈控制的情况下，可能会引发如下问题。

[0005] 在将日本专利第3871874号公报和日本特开2002-071323号公报所公开的压力传感器应用于末端执行器的情况下，虽然可以检测出被物体赋予的压力(应力)的大小和方向，然而难以将该应力分离为多个方向上的分量来进行检测，还可能无法高精度地检测该应力。 例如，在把持的物体形状和把持角度等不同的情况下，应力有时会不均匀地作用于光纤上。 此时，压力传感器可能会在该应力的分布状态不正确的情况下检测从物体赋予的应力。 由此，由于不能获知上述末端执行器所把持的物体的状态，因而无法确认该物体是否从上述末端执行器脱落，无法确认是否能有效进行所期望的组装。

[0006] 另外，在把日本特开2009-068988号公报的压力传感器应用于末端执行器的情况下，由于构成该压力传感器的基板是由Si晶片构成的，因此难以将上述压力传感器附设于具有曲面的末端执行器的曲面部位。 进而，为了保护上述Si晶片不受过度应力的影响，同时为了保护由应力转换得到的电信号不受电磁波噪声和各种电涌(例如由人体和各种机械的静电引起的静电电涌)的影响，如果需要对该Si晶片模压的话，就会存在制造成本提升的难题。 再有，如果希望把施加给物体的应力分离为多个方向的分量检测出来，压力传感器的结构就会变得复杂，而且对于由上述应力转换得到的电信号进行的信号处理也会变得繁琐。

[0007] 因此，日本特开2009-068988号公报所公开的压力传感器结构复杂而且较为大型，价格昂贵，因而不易于附设在末端执行器上。 即使将上述压力传感器附设于上述末端执行器，也可能招致该末端执行器整体变大。

[0172] 参照图1～图52说明本发明涉及的光纤传感器、具有该光纤传感器的压力传感器、具有该压力传感器的末端执行器以及具有该末端执行器的传感器信号处理装置的优选实施方式(第一～第七实施方式)。

[0173] <光纤传感器的应力检测概要>

[0174] 在说明各实施方式之前，参照图1A～图1D说明使用作为光纤传感器的FBG传感器(Fiber Bragg Grating Sensor：光纤光栅传感器)的应力检测的概要。

[0175] FBG传感器是通过在光纤10中的添加有Ge的芯12的一部分照射紫外线来形成光栅14而构成的。 图1A中，设光栅14的周期(光栅间隔)为ΔA。

[0176] 在没有对光纤10赋予应力的状态下，在图1B所示的波长和强度的光入射到芯12的情况下，光栅14反射图1B的波长λ中的特定波长λA的光(反射光)(参见图1C)。

[0177] 另一方面，如果对光纤10赋予应力，如图1D所示，格子间隔从ΔA变化到ΔB(ΔA＜ΔB)，则反射光的波长(反射波长)从λA移动到λB(参见图1C)。

[0178] 其中，如果设芯12的有效折射率为neff，则赋予应力前的反射波长λA和赋予应力时的反射波长λB可通过下式(1)和(2)来表示。

[0179] λA＝2×neff×ΔA (1)

[0180] λB＝2×neff×ΔB (2)

[0181] 如上，可通过光栅间隔ΔA、ΔB来确定反射波长λA、λB。 另外，赋予应力前的初始的光栅间隔ΔA可按照用途和系统来任意设定。

[0182] 因此，通过使用FBG传感器，能够根据反射波长从λA到λB的偏移量(λB-λA)，检测赋予给光纤10的应力或判断是否存在应力。

[0183] <第一实施方式>

[0184] 接着参照图2～图10说明第一实施方式涉及的压力传感器(分布式压力传感器)16和组装于该压力传感器16中的FBG传感器22。

[0185] 如图2所示，压力传感器16如下构成，其在具有挠性的片体18的内部沿着片体18的表面方向(X-Y方向)埋设有1根光缆20，沿着该光缆20呈矩阵状配置(排列)有多个FBG传感器22而得以地址化。

[0186] 即，光缆20通过在Y方向上蜿蜒而将长度方向作为X方向的光纤(第一光纤)20x和在X方向上蜿蜒而将长度方向作为Y方向的光纤(第二光纤)20y构成。 这种情况下，光纤20x和光纤20y在彼此不同的高度上蜿蜒(参见图2～图4)；另一方面，在俯视观察时，在光纤20x与光纤20y正交的部位设有FBG传感器22(参见图7)。 因此，片体18是通过使用塑料等具有挠性的材料模压光缆20与FBG传感器22而形成的。

[0187] 并且，图2示出以3×3的矩阵状配置有9个FBG传感器22而地址化的情况，而埋设于片体18的FBG传感器22的个数并不限于9个，既可以多于9个也可以少于9个。无论如何，在第一实施方式中，只要在片体18的内部沿着片体18的表面方向(X-Y方向)呈矩阵状并排配置各FBG传感器22即可。

[0188] 另外，虽然图2～图4示出在光纤20x下方配置有光纤20y的情况，然而当然也可以在光纤20x上方配置光纤20y。

[0189] 如图2～图4和图7所示，在光纤20x与光纤20y正交的部位，在光缆20的X方向的芯24x处形成光栅(第一光栅)26x，而在Y方向的芯24y处形成有光栅(第二光栅)26y。 此时，所有的光栅26x、26y都具有彼此不同的光栅间隔和反射波长。

[0190] 即，在1根光缆20的芯24x、24y处形成有具有彼此不同的光栅间隔和反射波长的多个光栅26x、26y，第一实施方式中，在配置有FBG传感器22的部位，以在平面视图中1个光栅26x与1个光栅26y交叉的方式，在片体18内部埋设有光缆20。

[0191] 这里，参照图2～图4详细说明第一实施方式涉及的FBG传感器22。

[0192] FBG传感器22具有：应力检测传感器部27y，其由具有排列着光栅26x的光纤20x的第一应力检测传感器部27x和形成有光栅26y的光纤20y构成；以及将在Z方向上赋予的应力(垂直应力)转换为沿着X方向和Y方向的应力(分量)并传递给光纤20x、
20y的应力方向转换部29。

[0193] 这种情况下，应力方向转换部29具有：由橡胶或树脂等弹性体构成，沿着X-Y方向平行延伸的矩形形状的平坦部28；从该平坦部28的相对的两条边架设到光栅26x的各端部的应力传递部30x；以及从平坦部28相对的另外两条边架设到光栅26y的各端部的应力传递部30y。

[0194] 以彼此相对的方式形成的2个应力传递部30x分别具有：与平坦部28相连且朝向光纤20x倾斜的倾斜部32x；以及与该倾斜部32x相连且包围光纤20x的一部分外周面的接合部34x。此时，如图4和图5所示，各倾斜部32x和各接合部34x所形成的角度被设定为彼此相等。

[0195] 另一方面，以彼此相对的方式形成的2个应力传递部30y也与应力传递部30x同样地分别具有：与平坦部28相连且朝向光纤20y倾斜的倾斜部32y；以及与该倾斜部32y相连且包围光纤20y的一部分外周面的接合部34y，各倾斜部32y和各接合部34y所形成的角度被设定为彼此相等。

[0196] 并且，如上所述，在片体18的内部，光纤20y埋设于比光纤20x低的位置(参见图2～图4)，接合部34y的上表面被设定在比接合部34x的上表面低的位置。

[0197] 接着，参照图5～图7说明如下的方法：该方法用于在物体40接触到FBG传感器22上方的片体18的表面而从物体40对光栅26x、26y赋予了垂直应力(沿着Z方向的应力)时的该垂直应力的检测；以及用于判定仅赋予了上述垂直应力而没有赋予水平应力(沿着X-Y方向的应力：剪切应力)的情况。

[0198] 当从物体40对片体18赋予了沿着Z方向的垂直应力Fp时，被赋予沿着应力传递部30x的Z方向的应力F’。

[0199] 其中，1个FBG传感器22中存在4个应力传递部30x、30y，因此赋予给1个应力传递部30x、30y的应力F’理想条件下可通过下式(3)来表示。

[0200] F’＝Fp/4 (3)

[0201] 如果设Z方向(应力F’)与倾斜部32x所成角度为Φ，则应力F’沿着倾斜部32x的方向的分量(力)F”可通过下式(4)来表示。

[0202] F”＝F’cosΦ＝(Fp/4)×cosΦ (4)

[0203] 另外，由于力F”与光纤20x的长度方向(X方向)所成的角度为(90°-Φ)，因此赋予给光纤20x和接合部34x的力F”’可通过下式(5)来表示。

[0204] F”’＝F”cos(90°-Φ)＝F”sinΦ

[0205] ＝(Fp/4)×cosΦ×sinΦ (5)

[0206] 通过把该力F”’赋予给光纤20x，从而光栅26x向X方向形变(伸长)，该光栅26x的光栅间隔发生变化(增大)。

[0207] 其中，通过力F”’的赋予而沿着X方向产生的光栅26x的形变ε成为该光栅26x的图5左侧的形变ε’与图5右侧的形变ε”相加得到的值(ε＝ε’+ε”)。

[0208] 图5中，由于FNG传感器22为左右对称的结构，因此光栅26x的左右两侧会作用着相同的力F”’，因而成为ε’＝ε”。

[0209] 另外，如果设光纤20x的芯24x的杨氏模量(Young′s modulus)为E，则形变ε、ε’、ε”分别可通过下式(6)～(8)来表示。

[0210] ε’＝(1/E)×F”’

[0211] ＝{1/(4×E)}×Fp cosΦ×sinΦ (6)

[0212] ε”＝ε’＝(1/E)×F”’

[0213] ＝{1/(4×E)}×Fp cosΦ×sinΦ (7)

[0214] ε＝ε’+ε”＝{1/(2×E)}×Fp cosΦ×sinΦ(8)

[0215] 进而，当设光栅26x的网格数为N时，由于垂直应力Fp的赋予而产生的光栅26x的光栅间隔的增加量Δ可通过下式(9)来表示。

[0216] Δ＝ε/(N-1)

[0217] ＝(Fp cosΦ×sinΦ)/{2×E×(N-1)} (9)

[0218] 另一方面，如果设赋予垂直应力Fp之前的光栅26x的光栅间隔为Δ0ax，则赋予F前的反射波长λax0(参见图6)根据式(1)可通过下式(10)来表示。 并且，下标a表示该记号为与图7所示的FBG传感器22A相关的记号。

[0219] λax0＝2×neff×Δ0ax (10)

[0220] 另外，关于赋予垂直应力Fp之后的光栅26x的反射波长λax，如果考虑到式(9)的增加量Δ，则可通过下式(11)来表示。

[0221] λax＝2×neff×(Δ+Δ0ax)

[0222] ＝2×neff×[(F×cosΦ×sinΦ)/

[0223] {2×E×(N-1)}+Δ0ax] (11)

[0224] 因此，赋予垂直应力Fp前、后的光栅26x的反射波长的峰值变化量Δλax可通过下式(12)来表示。

[0225] Δλax＝λax-λax0

[0226] ＝2×neff×[(Fp×cosΦ×sinΦ)/

[0227] {2×E×(N-1)}+Δ0ax]-2×neff×Δ0ax

[0228] ＝neff×[(Fp×cosΦ×sinΦ)/{E×(N-1)}] (12)

[0229] 与式(12)同样地，Y方向的光栅26y的反射波长的峰值变化量Δλay(参见图6)可通过下式(13)来表示。 并且，式(13)中下标y表示该记号为与Y方向相关的记号(与光栅26y相关的记号)。

[0230] Δλay＝λay-λay0

[0231] ＝2×neff×[(Fp×cosΦ×sinΦ)/

[0232] {2×E×(N-1)}+Δ0ay]-2×neff×Δ0ay

[0233] ＝neff×[(Fp×cosΦ×sinΦ)/{E×(N-1)}) (13)

[0234] 因此，在没有产生沿着片体18表面的水平方向的应力(沿着X方向和Y方向被赋予的应力)而仅被赋予垂直应力Fp的情况下，在1个FBG传感器22中，根据上式(12)和上式(13)，光栅26x的反射波长的峰值变化量Δλax和光栅26y的反射波长的峰值变化量Δλay如下式(14)所示彼此相等。

[0235] Δλax＝Δλay (14)

[0236] 进而，如图6和图7所示，例如在相邻的4个FBG传感器22A～22D中，如果不产生水平应力且仅被赋予垂直应力Fp，则其他FBG传感器22B～22D也与式(14)同样地，下式(15)～(17)的关系成立。 并且，下标b～d表示该记号为与FBG传感器22B～22D相关的记号。

[0237] Δλbx＝Δλby (15)

[0238] Δλcx＝Δλcy (16)

[0239] Δλdx＝Δλdy (17)

[0240] 因此，如果式(14)～式(17)成立，则能够根据反射波长的偏移量(变化量)Δλax、Δλay、Δλbx、Δλby、Δλcx、Δλcy、Δλdx、Δλdy来检测(计算)对FBG传感器22A～22D赋予的垂直应力Fp。

[0241] 具体而言，在没有被赋予水平应力的情况下，如果设各FBG传感器22A～22D的光栅26x、26y的形变的比例常数分别为K、L、M、N，则赋予给各FBG传感器22A～22D的垂直应力FA、FB、FC、FD可通过下式(18)～式(21)表示。

[0242] FA＝K×Δλax＝K×Δλay (18)

[0243] FB＝L×Δλbx＝L×Δλby (19)

[0244] FC＝M×Δλcx＝M×Δλcy (20)

[0245] FD＝N×Δλdx＝N×Δλdy (21)

[0246] 接着，参照图7～图10说明物体50接触到1个FBG传感器22上方的片体18的表面，从该物体50对光栅26x、26y仅赋予水平应力(沿着X方向和Y方向的应力：剪切应力)时的检测原理。即，说明对各光栅26x、26y赋予水平应力而不赋予垂直应力的情况。

[0247] 首先，关于4个FBG传感器22A～22D，如果式(14)～式(17)不成立，则能判别为在X-Y平面上(片体18的表面方向)产生了水平应力。 这种情况下，水平应力的检测是使用相邻的2个FBG传感器进行的。 即，为检测水平应力所需的最小限度的空间分辨能力为2个FBG传感器程度的面积。

[0248] 其中，如图8和图9所示，当物体50以跨越FBG传感器22A右侧和FBG传感器22C左侧的方式接触片体18的表面时，该物体50对FBG传感器22A右侧的应力传递部30x和FBG传感器22C左侧的应力传递部30x赋予沿着X方向的水平应力。 并且，图9图示出赋予朝向X方向的水平应力(朝向+X方向的水平应力)的情况。

[0249] 此时，赋予给FBG传感器22A右侧的应力传递部30x的水平应力作为使该FBG传感器22A的光栅26x的光栅间隔向X方向伸长的力而发挥作用。 另一方面，赋予给FBG传感器22C左侧的应力传递部30x的水平应力作为使该FBG传感器22C的光栅26x的光栅间隔向X方向缩小的力而发挥作用。

[0250] 并且，图9一并图示出赋予水平应力之前的应力传递部30x的位置(单点划线)和赋予水平应力之后的应力传递部30x的位置(实线)，并且示意性图示出赋予水平应力之后的各光栅26x的光栅间隔。

[0251] 其中，赋予水平应力之前的FBG传感器22A的光栅26x的反射波长λax0如上所述可通过式(10)表示；另一方面，与式(10)同样，FBG传感器22C的光栅26x的反射波长λcx0可通过下式(22)表示。

[0252] λcx0＝2×neff×Δ0cx (22)

[0253] 因此，如图10所示，λax0和λcx0的间隔Δλ0acx可唯一地通过式(23)表示。

[0254] Δλ0acx＝λcx0-λax0＝2×neff×(Δ0cx-Δ0ax) (23)

[0255] 而且，在X方向被赋予图9所示的水平应力之后的FBG传感器22A的光栅26x的反射波长λax可与上式(11)同样地表示；另一方面，赋予水平应力之后的FBG传感器22C的光栅26x的反射波长λcx与式(11)同样地可通过下式(24)来表示。

[0256] λcx＝2×neff×(-Δ+Δ0cx)

[0257] ＝2×neff×[-(FcosΦ×sinΦ)/

[0258] {2×E×(N-1)}+Δ0cx] (24)

[0259] 并且，式(24)中，Δ所带的负号意味着通过赋予水平应力而使得FBG传感器22C的光栅26x的光栅间隔缩小。

[0260] 如上，赋予水平应力后的反射波长相对于所赋予的水平应力呈线性变化。 因此，图10所示的λax与λcx的间隔Δλacx也相对于水平应力呈线性变化，可通过下式(25)来表示。

[0261] Δλacx＝λcx-λax

[0262] ＝2×neff×{(-Δ+Δ0cx)-(Δ+Δ0ax)} (25)

[0263] 根据式(25)，赋予给FBG传感器22A、22C的水平应力的值Facx与该水平应力赋予前、后的反射波长的间隔Δλ0acx、Δλacx之差成比例。 另外，该差值的符号表示水平应力的方向。

[0264] 其中，若设水平应力导致的X方向上的形变的比例常数为O，则FBG传感器22A、22C检测出的X方向的水平应力Facx可通过下式(26)来表示。

[0265] Facx＝O(Δλ0acx-Δλacx) (26)

[0266] 其中，在式(26)中，在向+X方向(从FBG传感器22A朝向FBG传感器22C的方向)赋予水平应力的情况下，Facx＞0；另一方面，在向-X方向(从FBG传感器22C朝向FBG传感器22A的方向)赋予水平应力的情况下，Facx＜0。

[0267] 在上述说明中，说明了2个FBG传感器22A、22C间的水平应力的检测，但是对FBG传感器22B、22D间的X方向的水平应力、FBG传感器22A、22B间的Y方向的水平应力以及FBG传感器22C、22D间的Y方向的水平应力，也能同样地进行检测。

[0268] 即，在设FBG传感器22B、22D间的水平应力导致的X方向的形变的比例倍数为P，FBG传感器22A、22B间的水平应力导致的Y方向的形变的比例倍数为Q，FBG传感器22C、22D间的水平应力导致的Y方向的形变的比例倍数为R的情况下，FBG传感器22B、22D检测出的X方向的水平应力Fbdx、FBG传感器22A、22B检测出的Y方向的水平应力Faby以及FBG传感器22C、22D检测出的Y方向的水平应力Fcdy与式(26)同样地，可分别通过式(27)～式(29)来表示。

[0269] Fbdx＝P(Δλ0bdx-Δλbdx) (27)

[0270] Faby＝Q(Δλ0aby-Δλaby) (28)

[0271] Fcdy＝R(Δλ0cdy-Δλcdy) (29)

[0272] 并且，在式(27)～式(29)中，下标bd、ab、cd表示该记号为与各FBG传感器相关的记号，下标x、y表示该记号为与X方向、Y方向相关的记号。 另外，式(27)～式(29)中，当在+X方向或+Y方向上赋予水平应力时，水平应力的大小为正值，而在-X方向或-Y方向上赋予水平应力时，水平应力的大小为负值。

[0273] 接着，说明被赋予水平应力与垂直应力这双者的情况下垂直应力的检测。 这里，说明根据在X方向被赋予的水平应力来检测赋予给FBG传感器22A的垂直应力的方法。

[0274] 图10中，虚线表示赋予应力(水平应力和垂直应力)前的反射波长，实线表示水平应力赋予后的反射波长，此时如果一并被赋予垂直应力的话，反射波长就会由实线所示的特性转变为单点划线所示的特性。

[0275] 即，当向FBG传感器22A、22C赋予应力时，2条单点划线的特性分别图示出考虑到FBG传感器22A的垂直应力的贡献量时的反射波长(左侧的单点划线)和考虑到FBG传感器22C的垂直应力的贡献量时的反射波长(右侧的单点划线)。

[0276] 其中，在被赋予水平应力和垂直应力这双者的情况下，所赋予的所有应力中水平应力的贡献量可使用式(26)并通过下式(30)来表示。

[0277] Δλax-(Δλ0acx-Δλacx) (30)

[0278] 另外，由于FBG传感器22A的光栅26x伸长的长度(伸长量)与FBG传感器22C的光栅26x缩短的长度(缩小量)大致相等，因此对于各FBG传感器22A、22C而言，水平应力的贡献量可使用式(30)并通过下式(31)来表示。

[0279] Δλax-(Δλ0acx-Δλacx)/2 (31)

[0280] 另一方面，在FBG传感器22A的光栅26x中，应力赋予前、后的反射波长之差可作为图10的Δλax求出。

[0281] 而且，从该差值Δλax减去对式(31)所示的水平应力的贡献量后的值成为对赋予给FBG传感器22A的垂直应力的反射波长的贡献量。

[0282] 该贡献量为相对于应力呈线性变化的值，因此，如果设该垂直应力Faz导致的Z方向的形变的比例常数为S，则赋予给FBG传感器22A的垂直应力Faz可通过下式(32)来表示。

[0283] Faz＝S[Δλax-(Δλ0acx-Δλacx)/2] (32)

[0284] 另一方面，与FBG传感器22A对照地，在FBG传感器22C中，使Δλcx加上了水平应力的贡献量后得到的值就是对垂直分量的反射波长的贡献量。

[0285] 因此，如果设垂直应力Fcz导致的Z方向的形变的比例常数为U，则赋予给FBG传感器22C的该垂直应力Fcz可通过下式(33)来表示。

[0286] Fcx＝U[Δλcx+(Δλ0acx-Δλacx)/2] (33)

[0287] 对于赋予给FBG传感器22B、22D的垂直应力Fbz、Fdz而言，可根据在X方向上赋予给FBG传感器22B、22D的水平应力来求出。

[0288] 具体而言，如果设垂直应力Fbz、Fdz导致的Z方向的形变的比例常数为T、V，则该垂直应力Fbz、Fdz可通过下式(34)和式(35)来表示。

[0289] Fbz＝T[Δλbx-(Δλ0bdx-Δλbdx)/2] (34)

[0290] Fdz＝V[Δλdx+(Δλ0dbx-Δλdbx)/2] (35)

[0291] 并且，在式(34)和式(35)中，下标b、d表示该记号为与各FBG传感器相关的记号，下标x表示该记号为与X方向有关的记号。

[0292] 另外，在上述说明中，说明了根据在X方向上赋予的水平应力求出Z方向的垂直应力的情况，但是也可以根据在Y方向上被赋予的水平应力来求出Z方向的垂直应力。

[0293] 这种情况下，关于沿着Y方向的2个FBG传感器22A、22B这一对和2个FBG传感器22C、22D这一对，可与上式(32)～式(35)同样地求出垂直应力。 具体而言，可通过下式(36)～式(39)求出垂直应力Faz、Fbz、Fcz、Fdz。

[0294] Faz＝S[Δλay-(Δλ0aby-Δλaby)/2] (36)

[0295] Fbz＝T[Δλby+(Δλ0aby-Δλaby)/2] (37)

[0296] Fcz＝U[Δλcy-(Δλ0cdy-Δλcdy)/2] (38)

[0297] Fdz＝V[Δλdx+(Δλ0cdy-Δλcdy)/2] (39)

[0298] 下面，参照图11和图12说明附设有第一～第七实施方式所涉及的压力传感器的末端执行器66和机器人系统(传感器信号处理装置)60。

[0299] 该机器人系统60具有：把持物体62进行预定处理的机械手64；配设于机械手64的末端执行器(手柄部(把持部)66a、66b)66，在接触物体62的状态下，检测手柄部
66a、66b对物体62的把持状态的压力传感器16a、16b；控制该压力传感器16a、16b，获得与物体62的把持状态有关的信息即与水平应力和/或垂直应力有关的信号的传感器控制器68；以及根据由传感器控制器68获得的水平应力和/或垂直应力的信号，控制机械手64的机械手控制器70。

[0300] 此时，能够根据把持物体62时压力传感器16a、16b检测到的水平应力的信号，检测物体62相对于手柄部66a、66b的滑动状态。 另外，能够根据把持物体62时压力传感器16a、16b检测到的垂直应力的信号，检测手柄部66a、66b对物体62的把持力。因此，通过按照检测到的水平应力和/或垂直应力来控制手柄部66a、66b，从而可在不使物体62脱落的情况下，通过适当的把持力进行把持，完成将其移动至期望位置等的作业。

[0301] 另外，如图12所示，在机器人系统60中，从光源72输出的光通过光循环器74提供给压力传感器16a、16b的光缆20。

[0302] 从光缆20的一个端部入射的光的一部分被各光栅26x、26y反射，另一方面，剩余的光透射过光栅26x、26y之后被引导至透射光终端器76。

[0303] 被各光栅26x、26y反射的光从光循环器74被引导至传感器控制器68的光检测器78，该光检测器78将反射波长的峰值转换为电信号后输出。如上所述，各光栅26x、26y的光栅间隔和反射波长彼此不同，因此在传感器控制器68中，即便由光检测器78接受了来自多个光栅26x、26y的反射光，也能判别是来自哪个光栅26x、26y的光。

[0304] 传感器控制器68内的运算处理部(信号处理部)80由计算机的CPU构成，其具有水平应力判定部82、水平应力运算部84、垂直应力运算部86。

[0305] 图13是表示在运算处理部80中进行的处理流程的流程图。

[0306] 在步骤S1中，水平应力判定部82根据来自光检测器78的电信号，针对反射波长的峰值变化量判定如下情况，即：式(14)～式(17)是否成立，也就是在配置有各FBG传感器22的部位上，应力的X方向分量与Y方向分量是否相等。

[0307] 在步骤S1中，如果水平应力判定部82判定为式(14)～式(17)成立(步骤S1：是)，则在步骤S2中，水平应力运算部84将各FBG传感器22的水平应力的值作为0输出；另一方面，垂直应力运算部86使用式(18)～式(21)计算各FBG传感器22中的垂直应力的值。

[0308] 另外，在步骤S1中，如果水平应力判定部82判定为式(14)～式(17)不成立(步骤S1：否)，则在步骤S3中，水平应力运算部84使用式(26)～式(29)计算赋予给2个FBG传感器22的水平应力的值。 另外，垂直应力运算部86使用式(32)～式(35)(步骤S4)或式(36)～式(39)(步骤S5)，计算赋予给各FBG传感器22的垂直应力的值。

[0309] 如上，通过计算水平应力的值，从而能够检测物体62在x-y平面上的滑动状态。 另外，通过计算垂直应力的值，从而能够检测Z方向上的物体62的把持力。

[0310] 如上所述，根据第一实施方式涉及的FBG传感器22、22A～22D、压力传感器16、16a、16b、末端执行器(手柄部66a、66b)66和机器人系统60，通过水平应力在光栅26x、26y上产生形变，从而各光栅26x、26y的反射波长会发生变化，因此通过检测各光栅26x、26y的反射波长的偏移量，从而能够将从物体40、50、62赋予给FBG传感器
22、22A～22D的水平应力所涉及的值分别分离为沿着光纤20x、20y长度方向的各分量来进行检测。

[0311] 另外，应力方向转换部29将从物体40、50、62赋予给FBG传感器22、22A～22D的垂直应力转换为沿着X方向和Y方向的应力并传递给各光栅26x、26y，因此，通过转换后的应力，在各光栅26x、26y上产生形变，使得该各光栅26x、26y的反射波长发生变化。因此，通过检测各光纤20x、20y的反射波长的偏移量，将转换后的应力分别分离为沿着各光纤20x、20y的长度方向的各分量来进行检测，从而能检测基于转换后的应力的垂直应力所涉及的值。

[0312] 因此，根据第一实施方式，能通过较为简单的结构将从物体40、50、62赋予的应力(垂直应力、水平应力)分离为多个方向(垂直方向、水平方向)进行检测，能易于提升由物体赋予的应力的检测精度。

[0313] 另外，当把包含FBG传感器22、22A～22D的压力传感器16、16a、16b搭载于机械手64等的末端执行器(手柄部66a、66b)66，由该手柄部66a、66b把持物体62的情况下，各FBG传感器22、22A～22D将从物体62施加给手柄部66a、66b的外力(垂直应力、水平应力)分离为多个方向的分量进行检测，因此能易于把握在手柄部66a、66b的空间坐标内外力如何作用。

[0314] 由此，在末端执行器(手柄部66a、66b)66把持物体62的期间内，能可靠地避免该物体62的滑落。 另外，通过把压力传感器16、16a、16b附设于手柄部66a、66b，从而使得以往较为困难的组装作业那样外力作用于组装部件与被组装部件之间的工序的自动化显著提高。

[0315] 另外，由于使用光纤20x、20y来检测应力，因此FBG传感器22、22A～22D即便暴露于电磁波噪声和各种电涌中也不会受到任何影响。 因此即便在工厂和室外等恶劣环境下使用，也能避免上述各噪声的影响。

[0316] 进而，如果设光纤20x、20y的长度方向分别为X方向和Y方向，设垂直于片体18表面的方向为Z方向，则能够将配置有FBG传感器22、22A～22D的部位处的应力分离为X方向、Y方向和Z方向的各分量而检测出。

[0317] 另外，通过由平坦部28和应力传递部30x、30y构成应力方向转换部，从而能高效地将垂直应力转换为沿着片体18的表面方向的应力并传递给各光栅26x、26y。

[0318] 此时，如果应力方向转换部29是橡胶或树脂等弹性体，则当从物体62向FBG传感器22、22A～22D赋予了垂直应力时，通过弹性体的作用，能容易使各光栅26x、26y的光栅间隔沿着光纤20x、20y的长度方向改变与转换后的应力对应的长度，因此能高精度地检测转换后的应力。

[0319] 进而，通过使用1根光缆20在片体18上配置所有的光栅26x、26y，因此向各光栅26x、26y提供光的光源72的个数为1个，能使得整个装置的成本变得低廉。 另外，由于光栅间隔彼此不同，因此反射波长也彼此不同，其结果是能可靠防止传感器控制器68中的反射波长的错误检测。

[0320] 另外，运算处理部80的水平应力判定部82根据式(14)～式(17)，判定是否存在从物体40、50、62向FBG传感器22、22A～22D赋予的水平应力，因此能易于针对每个FBG传感器22、22A～22D判定当前由物体40、50、62对各FBG传感器22、22A～22D赋予的应力是否为水平应力和/或垂直应力，并且能避免对当前所赋予的应力的错误检测。

[0321] 进而，在垂直应力运算部86中，使用式(18)～式(21)计算各FBG传感器22、22A～22D中的垂直应力的值，或者使用式(32)～式(35)或式(36)～式(39)计算赋予给各FBG传感器22、22A～22D的垂直应力的值。 另外，水平应力运算部84使用式(26)～式(29)计算赋予给2个FBG传感器22、22A～22D的水平应力的值。

[0322] 由此，能够将赋予给2个FBG传感器22、22A～22D的应力分别分离为多个方向的分量(垂直应力、水平应力)而计算出来。

[0323] <第二实施方式所要解决的问题>

[0324] 在第一实施方式的FBG传感器22A～22D以及将它们装入其中的压力传感器16中，有时难以通过相邻的2个FBG传感器22A(22B)、22C(22D)检测施加于被测定区域88整个表面上的水平应力Fh的值。

[0325] 即，如图14～图16所示，当物体90以覆盖整个被测定区域88的方式接触的情况下，如图16所示，当从物体90对被测定区域88赋予了水平应力Fh时，压力传感器16与赋予应力前(图15和图16的双点划线)进行比较，成为整体朝水平应力Fh的赋予方向变形的形状(图16的实线所示的形状)。

[0326] FBG传感器22A～22D的各应力传递部30x通过水平应力Fh而向图15的右侧移动。 这种情况下，水平应力Fh分别传递至各应力传递部30x的接合部34x与光纤20x之间的接合部分。其结果，FBG传感器22A～22D的光栅26x分别被施加水平应力Fh，发生相同的结构变化而进行伸缩。

[0327] 这里，设水平应力Fh的赋予而导致的各光栅26x的光栅间隔的变化量、即各接合部34x的变化量为a、b、c、d。另外，设水平应力Fh赋予前的FBG传感器22A(22B)的光栅26x的光栅间隔为Δ0，FBG传感器22C(22D)的光栅26x的光栅间隔为Δ0’。进而，设各光栅26x的网格数为N，芯24x的有效折射率为neff。

[0328] 这种情况下，在赋予水平应力Fh的前、后，FBG传感器22A(22B)的光栅26x的反射波长的偏移量Δλ可通过下式(40)表示，另一方面，FBG传感器22C(22D)的光栅26x的反射波长的偏移量Δλ可通过下式(41)表示。

[0329] Δλ＝2×neff×{Δ0+(b-a)/N} (40)

[0330] Δλ＝2×neff×{Δ0’+(d-c)/N} (41)

[0331] 如上所述，各光栅26x会由于水平应力Fh的赋予而引起相同的结构变化，因此光栅间隔的变化量(各接合部34x的变化量)a、b、c、d如下式(42)所示，成为彼此相同的量。

[0332] a＝b＝c＝d (42)

[0333] 因此，如果把式(42)代入式(40)和式(41)，则式(40)可变形为式(43)，式(41)可变形为式(44)。

[0334] Δλ＝2×neff×{Δ0+(b-a)/N}

[0335] ＝2×neff×Δ0 (43)

[0336] Δλ＝2×neff×{Δ0’+(d-c)/N}

[0337] ＝2×neff×Δ0’ (44)

[0338] neff、Δ0和Δ0’是预先设定的值，如果各光栅间隔Δ0、Δ0’被设定为彼此接近的值，则无法增大偏移量的差。因此，在FBG传感器22A(22B)、22C(22D)中，难以检测施加于被测定区域88整个表面的水平应力Fh的值。

[0339] <第二实施方式>

[0340] 于是，第二实施方式涉及的压力传感器100构成为，当如上那样上述物体接触到作为与物体之间的接触面的被测定区域整体而被赋予水平应力的情况下，能够检测该水平应力。 下面参照图17～图22说明该压力传感器100。

[0341] 如图17和图18所示，第二实施方式涉及的压力传感器100构成为在具有挠性的片体118内部沿着片体118的表面方向(X-Y方向)埋设有1根光缆120，沿着该光缆120呈矩阵状配置(排列)有多个FBG传感器122并进行地址化。

[0342] 即，光缆120构成为具有：朝Y方向蜿蜒而以长度方向作为X方向的光纤(第一光纤)120x；以及朝X方向蜿蜒而以长度方向作为Y方向的光纤(第二光纤)120y。这种情况下，光纤120x和光纤120y在彼此不同的高度上蜿蜒(参见图17)；另一方面，在俯视观察下，在光纤120x与光纤120y正交的部位设有FBG传感器122(参见图18)。

[0343] 在光纤120x与光纤120y正交的部位，在光缆120的X方向的芯124x处形成有光栅(第一光栅：X方向)126x，而在Y方向的芯124y处形成有光栅(第一光栅：Y方向)126y。 进而，在后述的朝向应力方向转换部116的外侧延伸的光缆120中，在X方向的芯124x处形成有光栅(第二光栅：X方向)127x，而在Y方向的芯124y处形成有光栅(第二光栅：Y方向)127y。这种情况下，所有的光栅(126x、126y、127x、127y)126都具有彼此不同的光栅间隔和反射波长。

[0344] FBG传感器122具有第一～第四应力检测传感器部112x、114x、112y、114y，排列有作为第一应力检测传感器部112x的光栅(第一光栅)126x的光纤120x与排列有作为第二应力检测传感器部114x的光栅(第二光栅)127x的光纤120x彼此呈直线状相连。另外，排列有作为第三应力检测传感器部112y的光栅(第一光栅)126y的光纤120y与排列有作为第四应力检测传感器部114y的光栅(第二光栅)127y的光纤120y彼此呈直线状相连。 进而，FBG传感器122具有将在Z方向上被赋予的应力(垂直应力)转换为沿着X方向和Y方向的方向的应力并传递给光纤120x、120y的应力方向转换部116。

[0345] 这种情况下，应力方向转换部116包括平坦部128、第一、第二应力传递部130x、130x(或130y、130y)等，这些各部分可采取与第一实施方式相同的构成。其中，从X方向观察光纤120x的长度方向时，第一应力传递部130x架设到第一光栅126x的一端部侧，第二应力传递部130x架设到第一光栅126x的另一端部侧。 另外，从y方向观察光纤120y的长度方向时，第一应力传递部130y架设到第一光栅126y的一端部侧，第二应力传递部130y架设到第一光栅126y的另一端部侧。

[0346] 各光栅127x、127y在片体118内配置于与该片体118的侧面相对的各接合部134x、134y附近。另外，在平面视图中，配置于应力方向转换部116外部的光栅127x与配置成被应力方向转换部116包围的光栅126x大致同轴配置，而配置于应力方向转换部
116外部的光栅127y与配置成被应力方向转换部116包围的光栅126y也大致同轴配置。

[0347] 并且，第二实施方式涉及的压力传感器100中，垂直应力Fp的检测原理、以及由俯视观察时小于被测定区域102的物体赋予的水平应力Fh的检测原理与第一实施方式涉及的压力传感器10的情况相同。

[0348] 因此，此时参照图19～图22说明由俯视观察时大于被测定区域102的物体150赋予给该被测定区域102的水平应力Fh的检测。

[0349] 当从物体150沿着X方向对被测定区域102赋予了水平应力Fh时，如在第二实施方式所要解决的问题中所述那样(参照图14～图16)，压力传感器100成为整体朝水平应力Fh的赋予方向(+X方向)变形的形状(从图21的双点划线所示状态向图21的实线所示形状的变形)。

[0350] 即，各应力传递部130x由于水平应力Fh而向图21的右侧移动。 此时，在各应力传递部130x的接合部134x与光纤20x的接合部分分别被传递有水平应力Fh，因此水平应力Fh会分别施加于FBG传感器122A～122D的光栅126x，引起相同的结构变化而进行伸缩。

[0351] 与此相对，对于配置于FBG传感器122A、122B左侧的光栅127x，通过FBG传感器122A、122B左侧的接合部134x与光纤120x的接合部分向右侧的移动，水平应力Fh作为拉伸力而发挥作用。 其结果，光栅127x由于被施加水平应力Fh而以光栅间隔伸长的方式形变。

[0352] 其中，如果设施加水平应力Fh前该光栅127x的光栅间隔为Δ0”，则水平应力Fh赋予前、后的光栅127x的反射波长的偏移量Δλ可通过下式(45)来表示。

[0353] Δλ＝2×neff×(Δ0’+a) (45)

[0354] 如上，式(45)包含光栅127x的光栅间隔的变化量a，因此通过求出光栅127的反射波长的偏移量Δλ与式(43)或式(44)所示光栅126x的反射波长的偏移量Δλ之差，与第一实施方式涉及的压力传感器10相比较，将偏移量Δλ之差充分增大至能检测水平应力Fh程度的差值，其结果是能容易地根据该差值检测出水平应力Fh。

[0355] 并且在上述说明中，如图21所示，已说明了当沿着+X方向对被测定区域102赋予了水平应力Fh时，使用左侧的光栅127x的反射波长的偏移量Δλ来检测水平应力Fh的情况。

[0356] 与此相反，当沿着-X方向(从图21的右侧朝左侧的方向)被赋予了水平应力Fh时，使用右侧的光栅127x的反射波长的偏移量Δλ来检测水平应力Fh即可。 此时，将式(45)中的光栅间隔的变化量由“a”置换为“d”即可。

[0357] 图22是表示水平应力Fh与图21的右侧以及左侧的各光栅127x的反射波长的偏移量Δλ之间的关系的图表。 如果被赋予沿着+X方向的水平应力Fh(正方向的水平应力)，则左侧的光栅127x的反射波长的偏移量Δλ会增加；另一方面，如果被赋予沿着-X方向的水平应力Fh(负方向的水平应力)，则右侧的光栅127x的反射波长的偏移量Δλ会增加，这点是很容易理解的。

[0358] 并且，当对被测定区域102赋予了垂直应力Fp时，则在应力方向转换部116中，左右的应力传递部30x相对于平坦部28产生不同的结构变化，从而光栅126x的光栅间隔会发生变化，但是该结构变化的影响不会波及到配置于应力方向转换部116外部的各光栅127x。 因此，在压力传感器100中，即便对被测定区域102赋予了垂直应力Fp，各光栅127x的光栅间隔也不会变化(不会反应)。

[0359] 另外，在上述说明中已说明了使用沿着X方向配置的光栅127x检测水平应力Fh的情况，而沿着Y方向被赋予了水平应力Fh的情况也与光栅127x同样地，各光栅127y也会产生式(45)所示的反射波长的偏移量Δλ，易于检测水平应力Fh，这是毋庸置疑的。

[0360] 进而，当在沿着被测定区域102的任意方向上赋予了水平应力Fh时，通过使用上述光栅127x、127y分别检测X方向的分量和Y方向的分量，也能将该水平应力Fh分离为每种分量来进行检测。

[0361] 另外，第二实施方式不限于图17～图22的构成，也可以采用图23～图25的构成。

[0362] 图23中，在片体118内部配置有4个光栅127x、127y。 具体而言，2个光栅127x、127y分别配置于片体118的侧面与接合部134x、134y之间。 另外，关于剩余的
2个光栅127x、127y，1个光栅127x沿着X方向配置在2个接合部134x之间的光缆120的弯曲部分中接近片体118侧面的部位，另一个光栅127y沿着Y方向配置在2个接合部
134x之间的光缆120的弯曲部分中接近片体118侧面的部位。

[0363] 由此，当沿着X方向被赋予了水平应力Fh时，可使用2个光栅127x中的至少1个光栅127x的反射波长的偏移量Δλ来检测水平应力Fh的值；另一方面，当沿着Y方向被赋予了水平应力Fh时，可使用2个光栅127y中的至少1个光栅127y的反射波长的偏移量Δλ来检测水平应力Fh的值。 因此，能使用数量更少的光栅127x、127y来高效地检测水平应力Fh的值。

[0364] 另外，在图24中，在片体118内部呈矩阵状配置有9个FBG传感器122A～122I，在与该片体118的各侧面相对的所有接合部34x、34y与上述各侧面之间配置有光栅127x、127y。 由此，能高精度地检测施加给被测定区域102的水平应力Fh的分布。

[0365] 进而，在图25中，在片体118内部呈矩阵状配置有9个FBG传感器122A～122I，2个光栅127x同轴配置，并且2个光栅127y也同轴配置。 此时，也能使用数量更少的光栅127x、127y来高效地检测水平应力Fh的值。

[0366] 如上所述，关于第二实施方式涉及的压力传感器100以及构成该压力传感器100的FBG传感器122A～122I，以被包围在应力方向转换部116的方式配置第一、第三应力检测传感器部112x、112y所具有的光栅(第一光栅)126x、光栅126y，而且在应力方向转换部116外部配置有第二、第四应力检测传感器部114x、114y所具有的光栅(第一光栅)127x、光栅127y。 因此，当从物体150向被测定区域102赋予了作为外部应力的水平应力Fh时，光栅126x、126y在应力方向转换部116处按照水平应力Fh进行伸缩，而光栅127x、127y由于配置于应力方向转换部116的外部，因此示出与光栅126x、126y不同的伸缩。

[0367] 由此，在光栅126x、126与光栅127x、127y之间，光栅126x、126y、127x、127y的形变量和反射波长的偏移量Δλ为彼此不同的大小，因此上述形变量之差和偏移量Δλ之差为能检测水平应力Fh程度的明确的差值。其结果，即便向被测定区域102整体赋予水平应力Fh，也能检测所赋予的水平应力Fh的位置、大小和方向。

[0368] 如上，根据第二实施方式，在被测定区域102，以被包围在应力方向转换部116内的方式配置第一(第三)应力检测传感器部112x(112y)，并且在应力方向转换部116外部配置第二(第四)应力检测传感器部114x(114y)，从而即便该物体150接触作为与物体150之间的接触面的被测定区域102整体而被赋予了水平应力Fh的情况下，也能检测该水平应力Fh。

[0369] 另外，光纤120x、120y是以贯穿应力方向转换部116的方式沿着被测定区域102配置的，因此当向被测定区域102赋予了水平应力Fh时，由于水平应力Fh会导致光栅126x、126y伸缩，同时光栅127x、127y也会伸缩，因此能高效进行水平应力Fh的检测。

[0370] 进而，如果将光栅127x、127y配置于光缆120中的应力传递部130x、130y的接合部134x、134y附近，则可使光栅126x、126y的排列方向与光栅127x、127y的排列方向大致一致，因此，当向被测定区域102赋予了水平应力Fh时，能使光栅126x、126y和光栅127x、127y在同轴上分别形变。 因此，能根据各光栅126x、126y、127x、127y的形变量和反射波长的偏移量Δλ容易地计算出水平应力Fh的值。

[0371] 另外，在应力方向转换部116中，光纤120x、120y在平面视图中正交，在正交的部位配置有光栅126x、126y，并且光栅127x、127y分别配置于应力方向转换部116外部的光纤120x、120y，因此也能将水平应力Fh分离为X方向和Y方向的分量进行检测。

[0372] 如上所述，根据第二实施方式涉及的压力传感器100、FBG传感器122或应用了压力传感器100的末端执行器和机器人系统(传感器信号处理装置)，也能通过较为简单的结构来构成，而且能易于提升对从物体赋予的应力的检测精度。

[0373] <第三实施方式>

[0374] 下面，参照图26～图31说明第三实施方式涉及的压力传感器200和组装入该压力传感器200的FBG传感器222。

[0375] 如图26所示，压力传感器(分布式压力传感器)200如下构成，其在具有挠性的片体218的内部沿着片体218的表面方向(X-Y方向)埋设有1根光缆220，沿着该光缆220配置FBG传感器222。

[0376] 即，光缆220构成为具有：以长度方向为X方向的光纤(第一光纤)220x；以及以长度方向为Y方向的光纤(第二光纤)220y。 这种情况下，光纤220x与光纤220y配置于彼此不同的高度(参见图26和图28)，在平面视图中光纤220x与光纤220y正交(参见图27)，在正交的部位设有FBG传感器222。 而且。 通过塑料等具有挠性的材料模压光缆220和FBG传感器222来形成片体218。

[0377] 并且，片体218形成为将FBG传感器222固定于该片体218内部，且用于保护FBG传感器222不受从外部赋予的过度应力和热等的影响。 另外，图26图示出配置了1个FBG传感器222的情况，而埋设于片体218内的FBG传感器222的个数不限于1个，也可以增加。 进而，图26～图28图示出在光纤220x下方配置了光纤220y的情况，但是当然也可以将光纤220y配置于光纤220x上方。 进而，如图26所示，在片体218中，在与X方向正交的1个侧面处，能入射或射出光的光纤220x的输入输出端242x露出呈到外部，而且在与Y方向正交的另一个侧面处，能入射或射出光的光纤220y的输出输出端242y露出到外部。

[0378] 这里，参照图26～图28详细说明第三实施方式涉及的FBG传感器222。

[0379] 在光纤220x与光纤220y正交的部位配置有应力方向转换部230。另外，在光纤220x的芯224x上以夹着应力方向转换部230的方式分别形成有2个光栅(第一和第二光栅)226x、226x；另一方面，在光纤220y的芯224y上以夹着应力方向转换部230的方式分别形成有2个光栅(第三和第四光栅)226y、226y。由此，在应力方向转换部230周围沿着X方向分别配置有包含光栅226x、226x的2个应力检测传感器部(第一和第二应力检测传感器部)228x、228x，并且沿着Y方向分别配置有包含光栅226y、226y的2个应力检测传感器部(第三和第四应力检测传感器部)228y、228y。并且，所有的光栅(226x、
226y)226都具有彼此不同的光栅间隔和反射波长。

[0380] 如上，FBG传感器222具有4个应力检测传感器部228x、228x、228y、228y和1个应力方向转换部230。

[0381] 作为针对来自外部的应力的受感部件的应力方向转换部230由橡胶或树脂等弹性体构成。这种情况下，应力方向转换部230具有：沿着X-Y方向平行延伸的矩形形状的平坦部232；从该平坦部232的相对的两条边分别架设到2个光栅226x、226x的应力方向转换部230侧的各端部的2个应力传递部234x、234x；以及从平坦部223的相对的另两条边分别架设到2个光栅226y、226y的应力方向转换部230侧的各端部的2个应力传递部234y、234y。

[0382] 如上，在应力方向转换部230中，2个应力传递部234x、234x从平坦部232的两条边沿着X方向延伸，并且2个应力传递部234y、234y从平坦部232的另两条边沿着Y方向延伸，因此成为以平坦部232为中心旋转对称的结构(参见图27)。 另外，如图26和图28所示，平坦部232在片体218内部配置在低于光纤220x、220y的位置。

[0383] 彼此相对而形成的2个应力传递部234x、234x分别具有：与平坦部232相连，并且朝光纤220x倾斜的倾斜部236x；与该倾斜部236x相连，并且包围光纤220x的一部分外周面以支撑和/或固定该光纤220x的接合部238x；以及与接合部238x相连，并以离开光纤220x的方式倾斜的倾斜部240x。

[0384] 另外，彼此相对而形成的2个应力传递部234y、234y具有与2个应力传递部234x、234x相同的结构，它们分别具有：与平坦部232相连，并且朝光纤220y倾斜的倾斜部236y；与该倾斜部236y相连，并且包围光纤220y的一部分外周面以支撑和/或固定该光纤220y的接合部238y；以及与接合部238y相连，以离开光纤220y的方式倾斜的倾斜部240y。

[0385] 即，在片体218内部，光纤220x以架设于2个光栅226x、226x的方式贯穿各接合部238x、238x，并且光纤220y以在低于光纤220x的位置架设于2个光栅226y、226y的方式贯穿各接合部238y、238y。 因此，接合部238x在高于接合部238y的位置支撑和/或固定光纤220x的一部分，而接合部238y在低于光纤220x的位置支撑和/或固定光纤220y的一部分。

[0386] 这种情况下，如图26和图28所示，赋予应力前的倾斜部236x、236x与各接合部238x、238x所形成的角度、以及各接合部238x、238x与各倾斜部240x、240x所形成的角度被设定为彼此相等。 另外，赋予应力前的倾斜部236y、236y与各接合部238y、238y所形成的角度、以及各接合部238y、238y与各倾斜部240y、240y所形成的角度也被设定为彼此相等。

[0387] 接着，参照图29和图30说明未图示的物体接触到FBG传感器222上方的片体218的表面，从该物体向FBG传感器222赋予了作为应力Fc的垂直应力(沿着Z方向的应力)Fp时的该垂直应力Fp的检测。

[0388] 其中，说明使用沿着X方向配置的2个应力检测传感器部(第一和第二应力检测传感器部)228x来检测垂直应力Fp的情况。 并且，在图29和图30中为了简化说明，省略了沿着Y方向配置的光纤220y和2个应力传递部234y的图示。

[0389] 如上所述，赋予应力前的应力方向转换部230的形状是以平坦部232为中心的旋转对称的结构(图29中是以平坦部232为中心的左右对称的结构)，因而当从上述物体向片体218赋予沿着Z方向的垂直应力Fp，应力方向转换部230的平坦部232受到该垂直应力Fp时，各应力传递部234x、234x在理想状况下分别被赋予沿着Z方向的应力Fp/4。即，由于从平坦部232的各边分别延伸出4个倾斜部236x、236x、236y、236y，因此赋予给1个应力传递部234x的应力在理想状况下为垂直应力Fp的1/4大小的Fp/4。

[0390] 由此，赋予应力后的应力方向转换部230的形状相比赋予应力前的形状(图29的形状和图30的单点划线所示的形状)，由于应力Fp/4而整体上成为左右对称地大幅变形的形状(图30的实线所示的形状)。

[0391] 即，受到垂直应力Fp后平坦部232向Z方向下降，并且与应力Fp/4有关的沿着倾斜部236x的方向上的分量(力)分别被传递到各接合部238x，从而在光纤220x与2个接合部238x的各接合部分上分别被赋予基于该应力Fp/4的力F(与沿着倾斜部236x的方向上的力有关的沿着X方向的分量)。 因此，赋予给上述各接合部分的力F分别施加到各光栅226x、226x，从而各光栅226x、226x向X方向形变(伸长)大致相同的量，而且该各光栅226x、226x的光栅间隔也变化(增加)大致相同的量。

[0392] 因此，在没有被赋予垂直应力Fp的图29的状态下，光栅226x对入射光反射反射波长(例如图1C的λA)的反射光，从输入输出端242x或输入输出端242y将该反射光射出到外部。 与此相对，在被赋予了垂直应力Fp的图30的状态下，2个光栅226x、226x的光栅间隔增加相同的量而使反射波长分别偏移，因此该各光栅226x、226x对入射光反射偏移后的波长(例如图1D的λB)的反射光，从输入输出端242x或输入输出端242y将该反射光射出到外部。

[0393] 因此，在FBG传感器222和压力传感器216中，能够根据反射波长的偏移量来检测赋予给片体218的垂直应力Fp的值。

[0394] 其中，如果设赋予垂直应力Fp之前的各光栅226x、226x的反射波长为λP，光栅间隔为ΔP，则与上式(1)同样地可通过下式(46)表示反射波长λP与光栅间隔ΔP之间的关系。

[0395] λP＝2×neff×ΔP (46)

[0396] 另外，如果设赋予垂直应力Fp之后的各光栅226x、226x的反射波长为λS，光栅间隔为ΔS，则与上述式(2)同样地可通过下述式(47)表示反射波长λS与光栅间隔ΔS之间的关系。

[0397] λS＝2×neff×ΔS (47)

[0398] 并且如上所述，各光栅226x、226x、226y、226y的反射波长和光栅间隔彼此不同，而在各光栅226x、226x中上述式(46)和式(47)的关系分别成立。

[0399] 如果设垂直应力Fp赋予前、后的反射波长的偏移量为Δλ，则如上所述，由于赋予了垂直应力Fp，使得各光栅226x、226x向X方向伸长相同的量，而且该各光栅226x、226x的光栅间隔增加相同的量，因此反射波长的偏移量Δλ无论在哪个光栅226x中都能通过下式(48)来表示。

[0400] Δλ＝λS-λP＝2×neff×(ΔS-ΔP) (48)

[0401] 如上，无论在哪个光栅226x中，反射波长的偏移量都为Δλ，因此无论使用2个应力检测传感器部228x、228x所检测出的各偏移量Δλ中的哪个偏移量Δλ，都能计算出垂直应力Fp的值。 即，2个应力检测传感器部228x、228x的输出逻辑“或”为Δλ，而并非“异或”，因此，如果能检测出某1个偏移量Δλ，就能很容易地根据检测到的偏移量Δλ计算出垂直应力Fp的值。

[0402] 接着，参照图29和图31说明未图示的物体接触到FBG传感器222上方的片体218的表面，从该物体对传感器222赋予了应力Fc(具有垂直应力Fp和沿着+X方向的水平应力Fh这2个方向上的分量的应力)时，将该应力Fc分离为垂直应力Fp和水平应力Fh进行检测的情况。

[0403] 这里，说明使用沿着X方向配置的2个应力检测传感器部228x、228x来检测垂直应力Fp和水平应力Fh的情况。

[0404] 当从上述物体对片体218赋予应力Fc，应力方向转换部230的平坦部232受到该应力Fc时，理想状况下各应力传递部234x、234x分别被赋予沿着Z方向的应力Fp/4和水平应力Fh。 其结果，赋予应力后的应力方向转换部230的形状相比赋予应力前的形状(图29的形状和图31的单点划线所示的形状)，成为整体上由于应力Fp/4和水平应力Fh而变形为左右非对称地变形的形状(图31的实线所示的形状)。

[0405] 即，由于受到应力Fc，在片体218的内部，通过垂直应力Fp使平坦部232向Z方向下降，并且通过水平应力Fh使平坦部232向图31的右侧移动。 另外，各应力传递部234x也通过垂直应力Fp/4而向Z方向下降，并且通过水平应力Fh而向右侧移动。

[0406] 图31中左侧的接合部238x被传递来将关于垂直应力Fp/4的沿着左侧倾斜部236x的方向上的分量(力)和水平应力Fh合成后的应力Fc’，光纤220x与左侧的接合部238x之间的接合部分被赋予基于该应力Fc’的力F’(沿着应力Fc’的X方向的分量)。

[0407] 另外，图31中右侧的接合部238x被传递来将关于垂直应力Fp/4的沿着右侧倾斜部236x的方向上的分量(力)和水平应力Fh合成后的应力Fc”，光纤220x与右侧的接合部238x之间的接合部分被赋予基于该应力Fc”的力F”(沿着应力Fc”的X方向的分量)。

[0408] 这种情况下，施加给图31中左侧的光栅226x的水平应力Fh成为用于使该左侧的光栅226x的光栅间隔伸长的应力。 另外，施加给图31中右侧的光栅226x的水平应力Fh成为用于使该右侧的光栅226x的光栅间隔压缩的应力。

[0409] 因此，力F’施加给图31中左侧的光栅226x，并且力F”施加给图31中右侧的光栅226x，从而各光栅226x、226x沿着X方向形变彼此不同的量，而且该各光栅226x、226x的光栅间隔也变化彼此不同的量，其结果是各光栅226x、226x的反射波长的偏移量成为彼此不同的值。

[0410] 如果设赋予应力后的图31中左侧的光栅226x的反射波长为λs’，光栅间隔为Δs’，而赋予应力后的图31中右侧的光栅226x的反射波长为λs”，光栅间隔为Δs”，则与上式(47)同样地，可通过下式(49)和式(50)分别表示反射波长λs’、λs”和光栅间隔Δs’、Δs”之间的关系。

[0411] λs’＝2×neff×Δs’ (49)

[0412] λs”＝2×neff×Δs” (50)

[0413] 如果设赋予应力Fc前、后的图31中左侧的光栅226x的反射波长的偏移量为Δλ’，图31中右侧的光栅226x的反射波长的偏移量为Δλ”，则与上式(48)同样地，可通过下式(51)和式(52)分别表示偏移量Δλ’、Δλ”。

[0414] Δλ’＝λs’-λP＝2×neff×(Δs’-ΔP) (51)

[0415] Δλ”＝λs”-λP＝2×neff×(Δs”-ΔP) (52)

[0416] 如上所述，应力Fc是由垂直应力Fp和水平应力Fh这2个方向上的分量构成的应力，基于垂直应力Fp的反射波长的偏移量是2个应力检测传感器部228x、228x的输出的逻辑“或”。 即，对应力方向转换部230赋予了应力Fc时的2个光栅226x、226x的偏移量Δλ’、Δλ”的逻辑“或”可通过下式(53)表示。

[0417] (Δλ’)OR(Δλ”)＝Δλ”

[0418] ＝2×neff×(Δs”-ΔP) (53)

[0419] 并且，在式(53)中，OR为表示取Δλ’和Δλ”的逻辑“或”的运算符号。另外，由于图31的例子中Δλ’＞Δλ”，因而在式(53)中，将式(52)作为Δλ’和Δλ”的逻辑“或”的结果。

[0420] 因此，在把包含2个方向的分量在内的应力Fc赋予给片体218(内部的FBG传感器222)的情况下，能够以从水平应力Fh分离出的形式根据式(53)的逻辑“或”来计算出垂直应力Fp的值。

[0421] 另一方面，在检测到与水平应力Fh对应的反射波长的偏移量的情况下，需要从2个光栅226x、226x的偏移量Δλ’、Δλ”中排除垂直应力Fp的影响。 于是，按照下式(54)求出作为2个应力检测传感器部228x、228x的输出的、2个光栅226x、226x的偏移量Δλ’、Δλ”的“异或”。

[0422] (Δλ’)XOR(Δλ”)＝|Δλ’-Δλ”|

[0423] ＝|2×neff×(Δs’-ΔP)-2×neff×(Δs”-ΔP)| (54)

[0424] 并且在式(54)中，XOR表示取Δλ’和Δλ”的“异或”的运算符号。

[0425] 通过式(54)获得的“异或”的值虽然排除了垂直应力Fp的影响，然而由于是与水平应力Fh对应的偏移量的绝对值，因而没有考虑方向。 于是，在也考虑方向的情况下，只要去掉式(54)的绝对值符号，通过下式(55)计算与水平应力Fh对应的偏移量即可。

[0426] 2×neff×(Δs’-ΔP)-2×neff×(Δs”-ΔP) (55)

[0427] 因此，在把包含2个方向的分量在内的应力Fc赋予给片体218(内部的FBG传感器222)的情况下，能够以从垂直应力FP分离出的形式根据式(55)的“异或”计算出水平应力Fh的值。

[0428] 如上，在第三实施方式中，即便把包含垂直应力FP和水平应力Fh这2个方向的分量的应力Fc赋予给FBG传感器222，也能通过使用式(53)和式(55)将垂直应力FP和水平应力Fh彼此分离开进行检测。

[0429] 并且在上述说明中，作为一个例子说明了根据由沿着X方向配置的2个应力检测传感器部228x、228x检测出的2个光栅226x、226x的偏移量来计算垂直应力FP和水平应力Fh的值的情况。 此时，水平应力Fh是作为沿着X方向的应力而被检测出来的。

[0430] 第三实施方式中，沿着Y方向也配置有2个应力检测传感器部(第三和第四应力检测传感器部)228y、228y。 于是，与上述应力检测传感器部228x、228x进行的应力检测同样地，2个应力检测传感器部228y、228y也检测沿着Y方向的水平应力Fh，从而可将水平应力Fh作为X方向和Y方向的各分量检测出来。 由此，能高精度地检测水平应力Fh。

[0431] 并且，在第三实施方式涉及的压力传感器200附设于图11和图12所示的机器人系统60上的情况下，传感器控制器68内的水平应力判定部82根据来自光检测器78的电信号，基于反射波长强度的峰值，判定各应力检测传感器部228x、228y的光栅226x、226y的偏移量是否为大致相同的量。

[0432] 在各偏移量为大致相同的量的情况下，水平应力判定部82判定为对压力传感器200a、200b(图11中为压力传感器16a、16b)仅赋予垂直应力FP，将来自光检测器78的电信号输出给垂直应力运算部86。另外，在各偏移量不同的情况下，水平应力判定部82判定为对压力传感器200a、200b仅赋予水平应力Fh，或判定为赋予水平应力Fh和垂直应力FP这两者，将来自光检测器78的电信号输出给垂直应力运算部86和水平应力运算部
84两者。

[0433] 水平应力运算部84使用来自光检测器78的电信号所表示的各光栅226x、226y的偏移量，根据式(55)计算各偏移量的“异或”，通过计算出的“异或”计算赋予给FBG传感器222的水平应力Fh的值。

[0434] 另外，垂直应力运算部86使用来自光检测器78的电信号所表示的各光栅226x、226y的偏移量，根据式(51)～(53)计算各偏移量的逻辑“或”，通过计算出的逻辑“或”计算出赋予给FBG传感器222的垂直应力FP的值。

[0435] 如上，通过计算水平应力Fh的值，从而能检测物体62在X-Y平面上的滑动状态。 另外，通过计算垂直应力FP的值，从而能检测Z方向上物体62的把持力。

[0436] 如上所述，根据第三实施方式涉及的FBG传感器222、压力传感器200、200a、200b和末端执行器(图11所示的手柄部66a、66b)66，由于在应力方向转换部230周围配置有多个应力检测传感器部228x、228y，因此当从物体向FBG传感器222赋予了应力Fc(垂直应力FP和/或水平应力Fh)时，应力方向转换部230将所赋予的应力Fc转换为排列着各应力检测传感器部228x、228y的光栅226x、226y的方向(X方向、Y方向)上的应力，将转换后的应力传递给各应力检测传感器部228x、228y。 由此，通过转换后的应力，各应力检测传感器部228x、228y的光栅226x、226y产生形变，由该各光栅226x、
226y反射的光的波长(反射波长)分别发生变化。因此，通过检测各光栅226x、226y上的反射波长的偏移量，从而能检测赋予给FBG传感器222的应力Fc。

[0437] 即，在沿着与垂直应力FP正交的X-Y方向在应力方向转换部230周围配置有各应力检测传感器部228x、228y的情况下，应力方向转换部230将垂直应力FP转换为各光栅226x、226y的排列方向(X-Y方向)的应力，将转换后的应力传递到各应力检测传感器部228x、228y。 由此，各光栅226x、226y形变大致相同的量，并且如式(48)所示，该各光栅226x、226y上的反射波长的偏移量也变化大致相同的量。

[0438] 因此，如果检测出各应力检测传感器部228x、228y中某1个应力检测传感器部的光栅的偏移量，则能根据检测出的偏移量计算垂直应力FP的值。 即，在向应力方向转换部230赋予了垂直应力FP的情况下，该垂直应力FP可根据各光栅226x、226y的偏移量的逻辑“或”(式(53))计算出来。

[0439] 接着，在沿着平行于水平应力Fh的X-Y方向在应力方向转换部230周围配置有各应力检测传感器部228x、228y的情况下，应力方向转换部230将水平应力Fh原样传递给各应力检测传感器部228x、228y。 这种情况下，根据水平应力Fh对应力方向转换部230的赋予方向和各应力检测传感器部228x、228y的配置位置，各光栅226x、226y会形变彼此不同的量，而且如式(51)和式(52)所示，该各光栅226x、226y处的反射波长的偏移量也为彼此不同的值。

[0440] 于是，如果检测到配置于应力方向转换部230周围的各应力检测传感器部228x、228y中光栅226x、226y的偏移量彼此不同的2个应力检测传感器部的光栅的偏移量，则能根据检测到的2个偏移量之差计算出水平应力Fh的值。 也就是说，当对应力方向转换部230赋予了水平应力Fh时，该水平应力Fh可根据2个光栅的偏移量的“异或”(式(55))计算出来。

[0441] 如上，根据第三实施方式，通过在应力方向转换部230周围配置多个应力检测传感器部228x、228y，从而能通过较为简单的结构将从物体62赋予的应力Fc分离为多个方向的应力(垂直应力FP、水平应力Fh)进行检测。

[0442] 另外，沿着X方向以夹着应力方向转换部230的方式配置2个应力检测传感器部228x、228x，而且沿着与X方向正交的Y方向以夹着应力方向转换部230的方式配置2个应力检测传感器部228y、228y。

[0443] 因此，当向应力方向转换部230赋予垂直应力FP时，各应力检测传感器部228x、228y处的光栅226x、226y的偏移量为彼此相同的量，因此通过检测出某1个光栅的偏移量，就能可靠且高效地计算垂直应力FP的值。

[0444] 另外，如果向应力方向转换部230赋予了水平应力Fh，则2个应力检测传感器部228x、228x处的光栅226x、226x的偏移量为彼此不同的大小，而且2个应力检测传感器部228y、228y处的光栅226y、226y的偏移量也为彼此不同的大小。 因此，通过检测沿着X方向同轴配置的2个应力检测传感器部228x、228x的光栅226x、226x的偏移量，或者检测沿着Y方向同轴配置的2个应力检测传感器部228y、228y的光栅226y、226y的偏移量，计算检测出的2个偏移量的“异或”，从而能可靠且高效地计算水平应力Fh的值。

[0445] 如上，通过在应力方向转换部230周围配置4个应力检测传感器部228x、228x、228y、228y，从而能可靠且高效地计算(检测)垂直应力FP和/或水平应力Fh的值，并且还能以沿着X方向的分量和沿着Y方向的分量的形式检测赋予给应力方向转换部230的应力Fc(水平应力Fh)。

[0446] 另外，2个应力检测传感器部228x、228x通过沿着X方向延伸的光纤220x架设起来，2个应力检测传感器部228y、228y通过沿着Y方向延伸的光纤220y架设起来，因此在光纤220x的芯224x处同轴排列有2个应力检测传感器部228x、228x的光栅226x、226x，并且在光纤220y的芯224y处同轴排列有2个应力检测传感器部228y、228y的光栅226y、226y。 因此，当向应力方向转换部230赋予应力Fc时，该应力方向转换部230将转换后的应力传递到光纤220x、220y，能很容易地使各光栅226x、226y形变。由此，能更为可靠地对各应力检测传感器部228x、228y的应力Fc进行检测。

[0447] 进而，应力方向转换部230具有被赋予应力Fc的平坦部232和从该平坦部232分别被架设到光纤220x、220y的应力传递部234x、234y，因此能够高效地将从物体赋予给平坦部232的应力Fc转换为排列着各光栅226x、226y的方向上的应力，将转换后的应力经由应力传递部234x、234y高效地分别传递给各光纤220x、220y。

[0448] 再有，在平坦部232受到垂直应力FP的情况下，平坦部232的沿着该垂直应力FP的赋予方向(Z方向)的位置为比光纤220x、220y支撑和/或固定于应力传递部234x、234y上的位置(接合部238x、238y的位置)低的位置。 由此，当向平坦部232赋予了应力Fc(垂直应力FP、水平应力Fh)的时候，该应力方向转换部230整体上容易朝向排列着各光栅226x、226y的方向变形，因此能进一步增大各光栅226x、226y的形变和偏移量。
其结果能提升应力Fc的检测灵敏度和检测精度。

[0449] 并且，第三实施方式不限于上述说明，也可以采取图32的实施方式(变形例)。

[0450] 在图32的变形例中，沿着X-Y平面将4个FBG传感器222A～222D配置为2×2的矩阵状。

[0451] 在该变形例中，沿着X-Y平面呈矩阵状配置有多个FBG传感器222A～222D，通过各FBG传感器222A～222D分别检测赋予给片体218的应力Fc(垂直应力FP、水平应力Fh)，从而能易于检测施加在片体218上的应力Fc的分布。

[0452] 并且在图32中，说明了呈2×2的矩阵状配置FBG传感器222A～222D的情况，而该变形例不限于上述说明，即使呈矩阵状配置3×3、4×4等多个FBG传感器222，也能检测赋予给片体218的应力Fc的分布。

[0453] 如上所述，根据第三实施方式涉及的压力传感器200、FBG传感器222或应用了压力传感器200的末端执行器和机器人系统(传感器信号处理装置)，也能通过较为简单的结构构成，而且能易于提升对从物体赋予的应力的检测精度。

[0454] <第四实施方式>

[0455] 接着，参照图33～图36说明第四实施方式涉及的压力传感器300、组装入该压力传感器300的FBG传感器322。 第四实施方式涉及的压力传感器300和FBG传感器322构成为能够简单检测通过具有个数更少的光纤传感器(压力传感器)的末端执行器所把持的物体的把持力(由物体赋予给把持面的垂直应力)。

[0456] 如图33所示，压力传感器300构成为在具有挠性的片体318内部埋设有以Y方向为长度方向的1根光缆320，在该光缆320上形成FBG传感器322。即，使用塑料等具有挠性的材料模压FBG传感器322来形成片体318。 此时，片体318将FBG传感器322固定于该片体318内部，并且形成为保护FBG传感器322不受从外部赋予的过度应力和热等的影响。

[0457] 并且，虽然图33图示出光缆320的长度方向为Y方向的情况，然而不限于Y方向，也可以是X方向。

[0458] 下面参照图33～图36详细说明FBG传感器322。

[0459] FBG传感器322具有：应力检测传感器部326，其配置于片体318内部，包含形成有光栅324的光缆320；以及应力方向转换部328a、328b，其经由片体318受到从外部赋予给该片体318的应力(垂直应力Fp)，将受到的上述应力转换为沿着光缆320的长度方向的方向(平行于上述长度方向的方向)上的应力并传递给光缆320。

[0460] 这种情况下，作为对于来自外部的应力的受感部件的应力方向转换部328a、328b由橡胶和树脂等弹性体构成。一个应力方向转换部328a配置于沿着光缆320的光栅
324的一个端部侧(沿着图33的Y方向的外侧)，另一个应力方向转换部328b配置于沿着光缆320的光栅324的另一个端部侧(沿着图33的Y方向的里侧)。

[0461] 应力方向转换部328a具有：沿着X-Y方向与光栅324(光缆320)大致平行地延伸的矩形形状的平坦部330a；以及从该平坦部330a的沿着Y方向相对的两条边朝光缆320架设的应力传递部332a、334a。 另外，应力方向转换部328b与应力方向转换部328a同样地具有：沿着X-Y方向与光栅324大致平行地延伸的矩形形状的平坦部330b；以及从该平坦部330b的沿着Y方向相对的两条边朝光缆320架设的应力传递部332b、334b。

[0462] 如图35所示，应力方向转换部328a、328b以平坦部330a、330b为中心成为左右对称的结构。 即，应力传递部332a、334a与平坦部330a相连，并且朝光缆320(的芯336处所形成的光栅324的一个端部侧)倾斜，前端部包围光缆320的外周面的一部分。
另外，应力传递部332b、334b也与应力传递部332a、334a同样地，与平坦部330b相连，并且朝光缆320(的芯336处所形成的光栅324的另一个端部侧)倾斜，前端部包围光缆
320的外周面的一部分。

[0463] 这种情况下，平坦部330a与应力传递部332a、334a所形成的角度以及平坦部330b与应力传递部332b、334b所形成的角度被设定为彼此相等。 另外，应力传递部
332a、334a与光缆320所形成的角度以及应力传递部332b、334b与光缆320所形成的角度也被设定为彼此相等。

[0464] 接着，参照图36说明未图示的物体接触到FBG传感器322上方的片体318的表面，从该物体向光栅324赋予了垂直应力(沿着Z方向的应力)Fp时该垂直应力Fp的检测。

[0465] 如上所述，赋予应力前的应力方向转换部328a、328b的形状为以平坦部330a、330b为中心的对称结构(参见图35)，因此当从上述物体向片体318赋予了沿Z方向的垂直应力Fp时，理想状况下向各应力方向转换部328a、328b的各应力传递部332a、332b、
334a、334b分别赋予沿着Z方向的应力Fp/2。

[0466] 而且，各应力传递部332a、332b、334a、334b将应力Fp/2分别分解为沿着该应力传递部332a、332b、334a、334b的分量(应力)F’，在光缆320与各应力传递部332a、332b、334a、334b的接合部分，将应力F’分别分解为沿着光缆320的分量(应力)F”。 因此，光缆320的上述各接合部分分别被赋予(应力)F”。

[0467] 这种情况下，通过应力F”的赋予，应力传递部332a、334a以与平坦部330a之间的连接部位(应力传递部332a、334a的基端部)为支点，以作为与光缆320之间的接合部分的前端部彼此接近的方式进行移位。 另外，通过应力F”的赋予，应力传递部332b、334b以与平坦部330b之间的连接部位(应力传递部332b、334b的基端部)为支点，以作为与光缆320之间的接合部分的前端部彼此接近的方式进行移位。 进而，应力F”通过光缆320还作用于光栅324。

[0468] 其结果，光栅324向Y方向形变(伸长)，该光栅324的光栅间隔发生变化(增加)。

[0469] 因此，在没有被赋予垂直应力Fp的状态下，光栅324对入射光反射反射波长(例如图1C的λA)的反射光，将该反射光射出到外部。 与此相对，在被赋予了垂直应力Fp的情况下，光栅324的光栅间隔增加，反射波长偏移到λB，因此该光栅324对入射光反射波长λB的反射光，将该反射光射出到外部。

[0470] 因此，在FBG传感器322和压力传感器300中，根据从λA到λB的反射波长的偏移量(λB-λA)，能够检测赋予给片体318的垂直应力Fp。

[0471] 并且，如图35和图36所示，在上述说明中说明了由于垂直应力Fp的赋予而使光栅间隔从ΔA变化为ΔB的情况(ΔA＜ΔB)但是在由于赋予了不同于该垂直应力Fp的垂直应力而使光栅间隔小于ΔA的情况下，反射波长也会按照上述光栅间隔的变化而偏移，因此能易于检测该垂直应力。

[0472] 接着，参照图37说明将第四实施方式涉及的压力传感器300附设于图11和图12所示的机器人系统60的末端执行器(手柄部66a、66b)66上的情况。

[0473] 如图37的侧面观察所示，第四实施方式涉及的末端执行器66在U字状的手柄部66a、66b中的物体62的把持面上附设了压力传感器300。 这种情况下，通过沿着手柄部
66a、66b的把持面配置片体318，从而光栅324配置于末端执行器66的基端部侧(+X方向侧)，而且应力方向转换部328a、328b分别配置于实际上与物体62接触的可能性较高的靠近末端执行器66前端部的部位。

[0474] 由此，物体62经由片体318由手柄部66a、66b把持，其结果是，各应力方向转换部328a、328b能将从物体赋予给手柄部66a、66b的垂直应力Fp转换为沿着光缆320的方向的应力F”。

[0475] 因此，在图11的机器人系统60中，根据在末端执行器66把持物体62时由压力传感器300检测到的垂直应力Fp，能够检测到末端执行器66的手柄部66a、66b对物体62的把持力。 因此，通过按照垂直应力Fp控制手柄部66a、66b，从而能在不使物体62脱落的情况下，以适当的把持力进行把持，完成将其移动到期望位置等的作业。

[0476] 如图12所示，传感器控制器58内的运算处理部80由计算机的CPU构成，具有垂直应力运算部86。 垂直应力运算部86根据与来自光检测器78的垂直应力Fp对应的信号，计算赋予给FBG传感器322的垂直应力Fp的值。 另外，通过由垂直应力运算部86计算出垂直应力Fp的值，从而能检测到在Z方向上对物体62的把持力。

[0477] 如上所述，根据第四实施方式涉及的FBG传感器322、压力传感器300和末端执行器66，当从物体62对FBG传感器322(压力传感器300)赋予了垂直应力Fp时，应力方向转换部328a、327b将垂直应力Fp转换为与光缆320的长度方向平行的方向上的应力F”，将转换后的应力F”传递给光栅324。 由此，通过应力F”使得光栅324产生形变，由该光栅324反射的光的波长(反射波长)发生变化。 因此，通过检测光栅324处的反射波长的偏移量，能够检测垂直应力Fp。

[0478] 如上，由于能检测从物体62赋予的垂直应力Fp，因此如果将至少1个压力传感器300(FBG传感器322)附设于末端执行器66(手柄部66a、66b)的物体62的保持面上，则能简易地检测施加在该把持面上的垂直应力Fp(把持力)。其结果，还能降低末端执行器66的成本和与垂直应力Fp的检测有关的运算处理以及运算成本。

[0479] 即，在第四实施方式中，由于可使用1个压力传感器300(FBG传感器322)检测垂直应力Fp，因此相比在把持面配置多个FBG传感器检测垂直应力Fp的构成，在成本方面而言是优选的。另外，通过仅使用1个FBG传感器322，为检测垂直应力Fp而要处理的信号量变少，其结果能降低该信号处理所涉及的负荷和运算成本。

[0480] 另外，只是将1个压力传感器300(FBG传感器322)搭载于末端执行器66上即能简易检测垂直应力Fp，因此即便在把持物体62的期间内外力作用于末端执行器66，也能可靠地避免该物体62滑落。因而使得以往较为困难的组装作业那样外力作用于组装部件与被组装部件之间的工序的自动化显著提高。

[0481] 并且，在末端执行器66具有多个爪，且各爪形成有物体62的把持面的情况下，根据第四实施方式的构成，由于仅在某1个把持面配置有压力传感器300(FBG传感器322)，因此不会单独地检测出施加给各把持面的垂直应力Fp。 然而在第四实施方式中，对于在把持预先确定好的物体62(部件)的单纯的末端执行器66中控制该物体62的把持力而言，能尤其有效地发挥上述效果。

[0482] 如上，根据第四实施方式，通过将个数较少的FBG传感器322(压力传感器316)附设于末端执行器66上，从而能简易检测出该末端执行器66所把持的物体62的把持力(垂直应力Fp)，还能实现末端执行器66的成本降低和与把持力的检测有关的运算处理以及运算成本的降低。

[0483] 进而，应力方向转换部328a、328b分别配置于与光缆320中的光栅324的排列部位不同的部位，而且分别以在光栅324的两个端部侧夹住该光栅324的方式配置。 由此，各应力方向转换部328a、328b将垂直应力Fp转换为与光缆320的长度方向平行的方向的应力F”，通过从两个端部侧作用的应力F”使光栅324延伸。 其结果是当被赋予了垂直应力Fp时，能可靠且高精度地产生光栅324的形变。

[0484] 并且，第四实施方式不限于上述说明，也可以采取图38和图39的实施方式(变形例)。

[0485] 在图38的变形例中，沿着X-Y平面配置了2个FBG传感器322。 而在图39的变形例中，沿着X-Y平面配置了4个FBG传感器322A～322D。

[0486] 在这些变形例中，沿着X-Y平面配置了多个FBG传感器322、322A～322D，由各FBG传感器322、322A～322D分别检测赋予给片体318的垂直应力Fp，从而能平面性检测该垂直应力Fp。

[0487] 如上所述，根据第四实施方式涉及的压力传感器300、FBG传感器322或应用了压力传感器300的末端执行器和机器人系统(传感器信号处理装置)，也能通过较为简单的结构来构成，而且能易于提升对从物体赋予的应力的检测精度。

[0488] <第五实施方式>

[0489] 接着，参照图40～图44说明第五实施方式涉及的压力传感器400和组装入该压力传感器400中的FBG传感器422。

[0490] 第五实施方式涉及的压力传感器400和FBG传感器422如图40～图43所示，应力方向转换部416的第一转换部416x被设置为以平坦部429为基点指向+Z方向(第一垂直方向)，而且第二转换部416y被设置为以平坦部429为基点指向-Z方向(第二垂直方向)，进而光纤(第一光纤)420x配置于沿着+Z方向离开平坦部429的部位，而光纤(第二光纤)420y配置于沿着-Z方向离开平坦部429的部位，这些方面是与第一实施方式涉及的FBG传感器16和压力传感器22(参见图2和图3)的不同之处。

[0491] FBG传感器422在光纤420上形成有多个光栅426。 该FBG传感器422具有：具有排列着光栅426x的光纤420x的第一应力检测传感器部428x；由形成有光栅426y的光纤420y构成的第二应力检测传感器部428y；以及将在Z方向上被赋予的应力(垂直应力)转换为沿着X方向和Y方向的方向的应力(分量)并传递给光纤420x、420y的应力方向转换部416。

[0492] 而且，应力方向转换部416构成为第一转换部416x在以Z方向为中心轴使第二转换部416y旋转90°的状态下上下翻转的结构。

[0493] 即，FBG传感器422的第一、第二转换部416x、416y共有平坦部429，而为了避免产生光纤420x、420y的位置干扰(结构干扰)和第一、第二转换部416x、416y的位置干扰，被设置为分别指向+Z方向和-Z方向。 因此，第一、第二转换部416x、416y能构成为大小相同且形状相同的部件。 因此，压力传感器400中的沿着Z方向的光纤420x、420y的间隔被设定为大于第一实施方式涉及的压力传感器16中的沿着Z方向的光纤20x、20y的间隔。

[0494] 并且，在FBG传感器422中，在平面视图中，光纤420x、420y彼此正交，并且第一、第二转换部416x、416y也彼此正交(参见图41)。另外，在FBG传感器422中，倾斜部432x的长度为c，倾斜部432y的长度为d(参见图42A～图43B)。进而，在FBG传感器422中，赋予应力前的平坦部429与倾斜部432x、432y所成的角度都为角度θ(参见图42A和图43A)。

[0495] 接着，参照图42A～图44说明未图示的物体接触到FBG传感器422上方的片体418的表面，由该物体向FBG传感器422赋予了垂直应力(沿着+Z方向的应力)Fp时的垂直应力Fp的检测和该FBG传感器422所起到的显著效果。

[0496] 在FBG传感器422中，赋予应力前的第一、第二转换部416x、416y的形状是以平坦部429为中心的对称结构，因此当从上述物体向片体418(参见图40)赋予沿着+Z方向的垂直应力Fp，平坦部429受到该垂直应力Fp时，理想状况下，各应力传递部430x、430y分别被赋予沿着+Z方向的应力Fp/4，赋予应力后的第一、第二转换部416x、416y的形状相比赋予应力前的形状(图42A、图43A的形状以及图42B、图43B中双点划线所示形状)相比，整体上成为通过应力Fp/4而左右对称地较大幅度变形的形状(图42B、图
43B中实线所示形状)。

[0497] 由此，应力Fp/4中沿着倾斜部432x、432y的方向的分量(力)分别被传递至各接合部434x、434y，在光纤420x、420y与接合部434x、434y之间的各接合部分分别被赋予基于该应力Fp/4的力。

[0498] 具体而言，图42B中，在光纤420x与-X方向侧的接合部434x之间的接合部分被施加沿着-X方向的分量的力，并且在光纤420y与+X方向侧的接合部434x的接合部分被施加沿着+X方向的分量的力。 另外，在图43B中，在光纤420y与+Y方向侧的接合部434y的接合部分被施加沿着+Y方向的分量的力，而且在光纤420y与-Y方向侧的接合部434y的接合部分被施加沿着-Y方向的分量的力。

[0499] 其结果，应力传递部430x、430y相对于平坦部429而扩张，平坦部429与倾斜部432x、432y所成的角度由θ增加至(θ+Δθ)。 并且Δθ是角度θ的增加量。

[0500] 而且，在图42B中，被赋予给各接合部分的上述各力分别被施加到光栅(第一光栅)426x，从而光栅426x朝+X方向和-X方向形变(伸长)大致相同的量，并且该光栅426x的光栅间隔也变化(增加)大致相同的量。 另外，图43B也与光栅426x的情况相同地，光栅(第二光栅)426y朝+Y方向和-Y方向形变(伸长)大致相同的量，并且该光栅426y的光栅间隔也变化(增加)大致相同的量。

[0501] 其中，如果将对片体418赋予垂直应力Fp时光栅426x的沿着X方向的形变量设为ρc，将光栅426y的沿着Y方向的形变量为ρd，则形变量ρc、ρd可通过下式(56)和式(57)来表示。

[0502] ρc＝c×cos(π-Δθ) (56)

[0503] ρd＝d×cos(π-Δθ) (57)

[0504] 这种情况下，FBG传感器422的第一、第二转换部416x、416y的大小相同且形状相同，因此在c与d之间满足下式(58)的关系，因此在ρc与ρd之间满足式(59)的关系。

[0505] c＝d (58)

[0506] ρc＝ρd (59)

[0507] 其中，如果设形变量ρc导致的光栅426x的光栅间隔的变化量为Δρc，形变量ρd导致的光栅426x的光栅间隔的变化量为Δρd，则在Δρc与Δρd之间满足式(60)的关系。

[0508] Δρc＝Δρd (60)

[0509] 因此，如果设FBG传感器422的光栅426x、426y的波长偏移量为Δλc、Δλd，则各波长偏移量Δλc、Δλd可通过下式(61)和式(62)来表示。

[0510] Δλc＝2×neff×Δρc (61)

[0511] Δλd＝2×neff×Δρd (62)

[0512] 这种情况下，通过式(60)～(62)，在Δλc与Δλd之间满足下式(63)的关系。

[0513] Δλc＝Δλd (63)

[0514] 图44是表示FBG传感器422中垂直应力Fp与波长偏移量Δλc、Δλd的关系的图表。

[0515] 如上所述，在第五实施方式涉及的FBG传感器422中，为了避免产生光纤420x、420y的位置干扰、第一、第二转换部416x、416y的位置干扰，第一、第二转换部
416x、416y具有相同的平坦部429，第一转换部416x以平坦部429作为基点，设置为指向+Z方向，并且第二转换部416y以平坦部429作为基点，设置为指向-Z方向。由此，第一、第二转换部416x、416y在FBG传感器422内不会互相干扰，可构成为大小相同且形状相同的部件。

[0516] 由此，在从外部向FBG传感器422赋予垂直应力Fp的情况下，也能缓和(减小)光栅426x、426y的波长偏移量Δλc、Δλd之差(参见图44)。 其结果是不必对该各波长偏移量Δλc、Δλd进行校正处理，就能计算垂直应力Fp的值。 并且在图44中，为了与第五实施方式进行比较，还用虚线标记出第一实施方式的FBG传感器22的结果，图44中的波长偏移量Δλa、Δλb与图6所示的Δλax、Δλay对应，表示Δλax、Δλay的波长偏移量的误差。

[0517] 而且在第五实施方式涉及的FBG传感器422中，应力检测传感器部428x、428y(光纤420x、420y)也以平坦部429为基点，分别配置于沿着+Z方向离开的部位和沿着-Z方向离开的部位。 由此，易于将第一、第二转换部416x、416y构成为大小相同且形状相同的部件，而且能进一步缓和光栅426x、426y的波长偏移量Δλc、Δλd之差。
另外，通过应力传递部430x、430y将平坦部429与光纤420x、420y之间架设起来，从而能有效地将垂直应力Fp转换为X方向或Y方向的应力并传递给各光栅426x、426y。

[0518] 如上所述，根据第五实施方式涉及的压力传感器400、FBG传感器422或应用了压力传感器400的末端执行器和机器人系统(传感器信号处理装置)，也能通过较为简单的结构来构成，而且能易于提升对从物体赋予的应力的检测精度。

[0519] <第六实施方式>

[0520] 参照图45～图47说明第六实施方式涉及的压力传感器500、组装入该压力传感器500的FBG传感器522。

[0521] 第六实施方式涉及的压力传感器500和FBG传感器522的应力方向转换部530的形状与第一实施方式的压力传感器16和FBG传感器22的应力方向转换部29的形状不同。 并且，应力方向转换部530在配设于片体518的状态下相比第一实施方式的应力方向转换部29翻转了上下方向(Z方向)(参见图45)，而当经由片体518向应力方向转换部530赋予了应力F的情况下，转换该应力F的方向和大小与第一实施方式的应力方向转换部29是相同的，这点毋庸置疑。

[0522] 如图45所示，压力传感器500在具有挠性的片体518内部沿着片体518的表面方向(X-Y方向)埋设有光缆520(第一、第二光纤520x、520y)。此时，光纤520x和光纤520y在彼此不同的高度上沿着X方向和Y方向延伸；另一方面，在平面视图中，在光纤520x与光纤520y正交的部位设有FBG传感器522。 即，片体518是通过塑料等具有挠性的材料对光缆520与FBG传感器522进行模压而形成的。

[0523] 并且，图45图示出在片体518中配置了1个FBG传感器522的情况，而埋设于片体518中的FBG传感器522的个数不限于1个。

[0524] 光缆520的芯524形成有具有彼此不同的光栅间隔和反射波长的多个光栅(526x、526y)526，第六实施方式中，在配置有FBG传感器522的部位以平面视图中1个光栅526x与1个光栅526y交叉的方式，在片体518内部埋设有光缆520。

[0525] FBG传感器522具有：具有排列着光栅526x的光纤520x的第一应力检测传感器部527x；由形成有光栅526y的光纤520y构成的应力检测传感器部527y；以及将在Z方向上被赋予的应力(垂直应力)转换为沿着X方向和Y方向的方向的应力(分量)并传递给光纤520x、520y的应力方向转换部530。

[0526] 应力方向转换部530由橡胶和树脂等弹性体构成，具有：第一平坦部546，其在与光纤520的长度方向(X-Y方向)平行的方向上延伸且在与该光纤520的长度方向不同的方向上被赋予应力；第二平坦部532，其具有高度与第一平坦部546的平面不同的平面；从第一平坦部546架设到第二平坦部532的第一应力传递部548；以及从第二平坦部架设到光纤520的第二应力传递部534。

[0527] 并且，第二平坦部532、第一应力传递部548、第二应力传递部534具有：从第一平坦部546的相对的两条边架设到光栅526x的各端部一侧的第二平坦部532x、第一应力传递部548x、第二应力传递部534x；以及从第一平坦部546的相对的另两条边架设到光栅26y的各端部一侧的第二平坦部532y、第一应力传递部548y、第二应力传递部534y。

[0528] 形成为彼此相对的2个第二应力传递部534x分别具有：与第二平坦部532x相连，并且朝光纤520x倾斜的倾斜部536x；以及与该倾斜部536x相连并包围光纤520x的一部分外周面的接合部538x。此时，如图46所示，各倾斜部536x与各接合部538x所形成的角度被设定为彼此相等。

[0529] 另一方面，形成为彼此相对的2个第二应力传递部534y也与应力传递部534x同样地，分别具有：与第二平坦部532y相连，并且朝光纤520y倾斜的倾斜部536y；以及与该倾斜部536y相连并包围光纤520y的一部分外周面的接合部538y，各倾斜部536y与各接合部538y所形成的角度被设定为彼此相等。

[0530] 接着，参照图46和图47说明未图示的物体接触到FBG传感器522上方的片体518的表面，从该物体向光栅526赋予了垂直应力(沿着Z方向的应力)时的该垂直应力的检测。 并且此后为了便于说明，详细叙述一下对第一光纤520x的光栅526x的垂直应力的赋予。 因而在图46和图47中，省略了对沿着Y方向配置的光纤520y、第二平坦部
532y、第一应力传递部548y、第二应力传递部534y的图示。

[0531] 如图45～图47所示，赋予应力前的应力方向转换部530的形状为以光栅526x或光栅526y为中心呈左右对称的结构，因此当从上述物体向片体518赋予了沿着Z方向的垂直应力Fp时，应力方向转换部530的第一平坦部546和第二平坦部532分别受到垂直应力Fp。

[0532] 由此，由于赋予给第一平坦部546的垂直应力Fp，理想状况下对第一应力传递部548x赋予沿着Z方向的应力Fp/4。 其结果是，赋予应力后的应力方向转换部530的形状相比赋予应力前的形状(图46的形状和图47中单点划线所示形状)，由于应力Fp/4而成为左右对称地变形后的形状(图47中实线所示的形状)。而且，应力Fp/4中沿着第一应力传递部548x的方向的分量(力)分别被传递到第二应力传递部534x的倾斜部536x侧。

[0533] 另外，由于对第二平坦部532x也赋予垂直应力Fp，因此各第二应力传递部534x被分别赋予：由赋予给该第二平坦部532x的垂直应力Fp引起的沿着Z方向的应力Fp/4；以及由沿着第一应力传递部548x的方向的力引起的沿着Z方向的应力Fp/4。亦即，理想状况下，第二应力传递部534x被分别赋予沿着Z方向的应力Fp/2(＝Fp/4+Fp/4)。

[0534] 如上，通过设置第一、第二平坦部546、532，基于由赋予给第二平坦部532的垂直应力Fp引起的应力Fp/4和由赋予给第一平坦部546的垂直应力Fp引起的应力Fp/4的应力F作用于应力方向转换部530，从而赋予应力后的应力方向转换部530的形状相比赋予应力前的形状(图46的形状和图47的单点划线所示的形状)成为左右对称地较大变形的形状(图47的实线所示的形状)。 即，相比第一实施方式的FBG传感器22，理想状况下赋予给第二应力传递部534x的沿着Z方向的应力从Fp/4变为Fp/2而达到2倍，因此能使应力方向转换部530整体产生较大变形。

[0535] 沿着Z方向的应力Fp中沿着倾斜部536x的方向的分量(力)被传递给接合部538x，从而光缆520和接合部538x的各接合部分分别被赋予基于该应力Fp的力F”(沿着倾斜部536x的方向的力中沿着X方向的分量)。 因此，通过将赋予给上述各接合部分的力F”再赋予给光栅526x，从而光栅526x朝X方向较大形变(伸长)，该光栅526x的光栅间隔大幅增加。

[0536] 因此，第六实施方式涉及的压力传感器500和FBG传感器522相比第一实施方式涉及的压力传感器16和FBG传感器22，能可靠地增大光栅526x中λA到λB的反射波长的偏移量。

[0537] 这里，使用数学式具体说明第六实施方式中偏移量的增加。

[0538] 如果设沿着箭头Z方向的直线540与赋予应力前的第一应力传递部548x所构成的角度为Φ。 直线540与赋予应力后的第一应力传递部548x所构成的角度为Φ’，则向第一平坦部546赋予垂直应力Fp导致的角度的增加量ΔΦ可通过下式(64)表示。

[0539] ΔΦ＝Φ’-Φ (64)

[0540] 另外，如果设第一应力传递部546x的长度为1’，则被赋予角度的增加量ΔΦ的FBG传感器522在X方向上的变形量可通过下式(65)表示。

[0541] 2×1’×sinΦ(ΔΦ) (65)

[0542] 进而，如果设光栅526x的网格数量为N，则由角度的增加量ΔΦ导致的从λA到λB的反射波长的偏移量的增加量Δλ’可通过下式(66)表示。

[0543] Δλ’＝λB-λA

[0544] ＝2×neff ×{2×1’×sin(ΔΦ)/N} (66)

[0545] 因此，在第六实施方式中，从λA到λB的反射波长的偏移量可通过下式(67)表示。

[0546] Δλ+Δλ’ (67)

[0547] 即，通过设置第一、第二平坦部546、532x，从而光栅526x的偏移量增加Δλ’，因此能提升对垂直应力Fp的检测灵敏度。

[0548] 如上所述，根据第六实施方式涉及的压力传感器500和FBG传感器522，在从物体向应力方向转换部530赋予了与光纤520x的长度方向(X方向)不同的方向的应力(在Z方向上被赋予的垂直应力Fp)的情况下，该垂直应力Fp分别被赋予给第一、第二平坦部546、532x。 因此，应力方向转换部530x由于赋予给第一平坦部546的垂直应力Fp和被赋予给第二平坦部532x的垂直应力Fp，整体上发生较大幅度变形。

[0549] 另外，分别赋予给第一、第二平坦部546、532x的垂直应力Fp通过应力方向转换部530x被转换为X方向的应力，转换后的应力(力F”)通过第二应力传递部534x被传递给光栅526。

[0550] 由此，在光栅526x上产生较大的形变，由该光栅526x反射的光的波长(反射波长)会较大幅度变化，因此通过检测光栅526x处的反射波长的偏移量，就能容易检测出垂直应力Fp。

[0551] 并且，在上述说明中说明了在架设于光栅526x的各端部的第二平坦部532x、第一应力传递部548x和第二应力传递部534x对垂直应力Fp的检测，但是架设于光栅526y的各端部的第二平坦部532y、第一应力传递部548y、第二应力传递部534y当然也能同样地进行垂直应力Fp的检测。

[0552] 如上，在第六实施方式中，通过在应力方向转换部530形成第一、第二平坦部546、532，从而相比第一实施方式的应力方向转换部29能增大应力方向转换部530的变形量，并且还能增大光栅526处的形变。 其结果是能大幅增加反射波长的偏移量，易于提升垂直应力Fp的检测灵敏度。

[0553] 如上所述，根据第六实施方式涉及的压力传感器500、FBG传感器522或应用了压力传感器500的末端执行器和机器人系统(传感器信号处理装置)，也能以较为简单的结构构成，而且能易于提升对从物体赋予的应力的检测精度。

[0554] <第七实施方式>

[0555] 接着，参照图48～图50说明第七实施方式涉及的压力传感器600和组装入该压力传感器600的FBG传感器622。

[0556] 如图48所示，压力传感器600在具有挠性的片体618内部埋设有以X方向为长度方向的1根光纤620x和以Y方向为长度方向的1根光纤620y。 这种情况下，光纤620(620x、620y)在光纤620x与光纤620y彼此不同的高度上沿X方向和Y方向延伸；
另一方面，进行俯视观察时，在光纤620x与光纤620y正交的部位设有FBG传感器622。
即，通过塑料等具有挠性的材料模压FBG传感器622来形成片体618。

[0557] 并且，图48图示出了在片体618中配置了1个FBG传感器622的情况，但是埋设于片体618的FBG传感器622的个数不限于1个。

[0558] 光纤620x、620y的芯624处形成有多个光栅626(626x、626y)，其具备彼此不同的光栅间隔和反射波长。 第七实施方式中，在配置有FBG传感器622的部位，以1个光栅626x与1个光栅626y在平面视图中交叉的方式，在片体618内部埋设有光纤620x、620y。

[0559] FBG传感器622具有：第一应力检测传感器部627x，其具有排列着光栅626x的光纤620x；由形成有光栅526y的光纤620y构成的应力检测传感器部627y；以及应力方向转换部630，其将在Z方向上赋予的应力

[0560] (垂直应力)转换为沿着X方向和Y方向的应力(分量)并传递给光纤620x、620y。

[0561] 这种情况下，作为对于来自外部的应力的受感部件的应力方向转换部630由橡胶和树脂等弹性体构成，具有：沿着X-Y方向与光栅626x、626y大致平行地延伸的矩形形状的平坦部632；从该平坦部632中沿着X方向相对的两条边架设到光栅626x的各端部的应力传递部634x；以及从该平坦部632中沿着Y方向相对的另两条边架设到光栅626y的各端部的应力传递部634y。

[0562] 平坦部632的上表面形成有半球形状的多个突起644。 各突起644以沿着X方向和Y方向隔开预定间隔的状态配置。

[0563] 并且，图48～图50中，平坦部632形成了4个半球形状的突起644，而不限于该例子，突起644的个数既可以少于4个也可以多于4个。

[0564] 应力方向转换部630在没有被赋予应力的状态下，以光栅626x、626y为中心为呈左右对称的结构。 即，应力传递部634x分别具有：与平坦部632相连且朝光纤620x(中的光栅626x的两端部侧附近)倾斜的倾斜部636x；以及与该倾斜部636x相连且包围光纤620x的一部分外周面的接合部638x。 另一方面，应力传递部634y分别具有：
与平坦部632相连且朝光纤620y(中的光栅626y的两端部侧附近)倾斜的倾斜部636y；
以及与该倾斜部636y相连且包围光纤620y的一部分外周面的接合部638y。

[0565] 另外，如图49和图50所示，平坦部632与各倾斜部636x所成的角度被设定为彼此相等，而且各倾斜部636x与各接合部638x所成的角度也被设定为彼此相等。 同样地，平坦部632与各倾斜部636y所成的角度被设定为彼此相等，而且各倾斜部636y与各接合部638y所成的角度也被设定为彼此相等(并且在图49和图50中，省略了沿着Y方向配置的光纤620y和应力传递部634y的图示)。

[0566] 如图48所示，在片体618中沿着X方向相对的2个侧面，分别朝外部露出能入射或射出光的光纤620x的输入输出端642x。 在沿着Y方向相对的2个侧面，分别朝外部露出能入射或射出光的光纤620y的输入输出端642y。

[0567] 当未图示的物体经由片体618接触上述压力传感器600和FBG传感器622，而从该物体向光栅626赋予了垂直应力(沿着Z方向的应力)时，能够通过与第一实施方式涉及的FGB传感器22的垂直应力的检测相同的方法来检测该垂直应力。 因而省略了对第七实施方式的FBG传感器622的垂直应力的检测的说明。

[0568] 另外，当未图示的物体经由片体618接触压力传感器600和FBG传感器622，而从该物体向2个光栅626赋予了水平应力(沿着X方向的应力)的时候，也能通过与第一实施方式涉及的2个FGB传感器22A、22C对水平应力的检测相同的方法来检测该水平应力。

[0569] 其中，第七实施方式的应力方向转换部630如上所述设有突起644，这点与第一实施方式的应力方向转换部29不同。该突起644能提升水平应力Fh的检测灵敏度。即，在FBG传感器622和压力传感器600检测到从上述物体赋予给片体618的应力的情况下，如果增大对应力的检测面(反应面)的检测面积和变形量，就能提高应力的检测灵敏度。

[0570] 其中，在与垂直应力Fp正交的检测面(应力方向转换部630的平坦部632的上表面等)检测赋予给片体618的该垂直应力Fp时，垂直应力Fp的检测面是沿着片体618的表面方向(X-Y方向)形成的，因此能易于增大该检测面的检测面积和变形量。

[0571] 与此相对，如果在平坦部632上检测赋予给片体618的水平应力Fh，则由于水平应力Fh的检测面(平坦部632的侧表面等)是沿着片体618的厚度方向形成的，因此相比垂直应力Fp的检测面，不易增大检测面积和变形量。因此难以提升水平应力Fh的检测灵敏度。

[0572] 于是在第七实施方式中，在平坦部632的上表面形成半球形状的多个突起644，从而例如图50所示，当向平坦部632赋予了+X方向的水平应力Fh时，不仅平坦部632和倾斜部636的左侧面(与水平应力Fh相对的侧面)能用作对水平应力Fh的检测面646，各突起644的左侧面也能用作对水平应力Fh的检测面646。 其结果是能增大对水平应力Fh的检测面积和变形量，提高检测灵敏度。

[0573] 如上所述，根据第七实施方式涉及的FBG传感器622和压力传感器600，当从物体经由片体618向平坦部632赋予了水平应力Fh时，平坦部632通过水平应力Fh而向沿着该平坦部632的方向(例如排列有光栅626x的X方向)偏移。 应力传递部634x在平坦部632与光纤620x之间架设，因此至少应力传递部634x的平坦部632侧通过对该平坦部632赋予水平应力Fh而与平坦部632一起偏移。

[0574] 而且，通过在被赋予水平应力Fh的平坦部632设置突起644，从而相比没有突起644的情况，能够增大与被赋予水平应力Fh的方向(例如排列有光栅626x的方向)正交的水平应力Fh的检测面(反应面)646处的检测面积和变形量。 其结果是能够提高应力方向转换部630的水平应力Fh的检测灵敏度，还能提高水平应力Fh的检测精度。

[0575] 另外，通过使突起形成为半球形状，从而对片体618而言不会存在锐角部分，因此还能提升FBG传感器622和压力传感器600的耐久性。

[0576] 并且，第七实施方式涉及的FBG传感器622和压力传感器600在平坦部632处不但可设置突起644也可设置半球形状的槽，或者也可以不设置突起644而是仅设置上述槽。

[0577] 另外，第七实施方式不限于图48～图50的构成，例如当能够预先指定被赋予水平应力Fh的方向(例如排列有光栅626x的方向：X方向)时，也能采用图51、图52的构成。

[0578] 图51所示的FBG传感器622A和压力传感器600A在平坦部632的上表面形成有柱状的多个突起680，这点与第七实施方式涉及的FBG传感器622和压力传感器600不同。各突起680以沿着X方向隔开预定间隔的状态配置。 另外，各突起680分别沿着Y方向延伸，从而在该各突起680之间形成有槽682。 各槽628是通过在平坦部632的上表面形成多个突起680而设置的。 或者也可以通过在1个矩形形状的部件上形成多个槽628来设置平坦部632和突起680。

[0579] 这种情况下也与第七实施方式(参见图48～图50)同样，当被赋予了+X方向的水平应力Fh时，各突起680的左侧面也能用作水平应力Fh的检测面646，因此能进一步增大水平应力Fh的检测面积和变形量，能提高水平应力Fh的检测灵敏度和检测精度。

[0580] 另外，图52所示的FBG传感器622B和压力传感器600B在平坦部632上表面配置多个曲线形状(波形)的突起684，在这些突起684之间形成有槽686，这点与第七实施方式涉及的FBG传感器622和压力传感器600不同。

[0581] 这种情况下也与第一实施方式(参见图2～图8)同样，当被赋予了+X方向的水平应力Fh时，图16中各突起684的左侧面也能用作水平应力Fh的检测面646，因此能进一步增大水平应力Fh的检测面积和变形量，能提高水平应力Fh的检测灵敏度和检测精度。

[0582] 上述说明中说明了在+X方向上被赋予了水平应力Fh的情况，而在-X方向上被赋予了水平应力Fh的情况下也能获得上述第七实施方式的各效果，这是毋庸置疑的。 此时，平坦部632和倾斜部636的右侧面和各突起644、680、684的右侧面成为对水平应力Fh的检测面46。

[0583] 如上所述，根据第七实施方式涉及的压力传感器600、FBG传感器622或应用了压力传感器600的末端执行器和机器人系统(传感器信号处理装置)，也能通过较为简单的结构来构成，而且能易于提升对从物体赋予的应力的检测精度。

[0584] 并且，本发明不限于上述实施方式，当然可以在不脱离本发明主旨的范围内采取各种构成。