[0001] 本实用新型涉及微波自动调配技术领域，具体涉及一种电机驱动的微波三销钉。

[0002] 滑动三销钉是一种矩形波导中最基本的可调调谐元件，改变矩形波导管中销钉伸入的长度，可以改变矩形波导腔或整个微波系统的谐振频率，可以与其他微波传输线结构
结合实现各种调谐功能，使系统反射功率达到最小值。

[0003] 由于销钉需要滑动可调，并不能够与矩形波导产生良好的电接触，即使提升加工精度也始终会留有缝隙，在这些缝隙处会产生较高的微波损耗，导致三销钉发热严重，在高
功率微波中甚至会发生打火导致损坏，限制了三销钉可应用的功率范围。

[0004] 由于加工工艺能力问题，每个三销钉的微波反射会有细微差别，针对每个三销钉进行人工调整，不仅耗时长还会导致出错增加。
实用新型内容

[0005] 本实用新型的目的在于提供一种电机驱动的微波三销钉，通过设置传动机构、滑台机构和驱动机构，传动机构和滑台机构相互配合，在驱动机构的控制作用下，自动开启销
钉在波导腔体内的长度改变，解决了现有技术中制作难度大、需要人工进行调整销钉以及
气密性不足的问题。

[0006] 为解决上述技术问题，本实用新型采用了以下方案：

[0007] 一种电机驱动的微波三销钉，包括波导腔体和销钉，所述销钉的底端穿入波导腔体的顶板在波腔体内部上下活动，还包括滑台机构、传动机构、驱动机构和限位座，所述销
钉的顶端位于所述滑台机构的内部，所述传动机构的两端分别与顶板和限位座连接，同时
传动机构贯穿滑台机构，所述驱动机构贯穿所述限位座中，所述驱动机构为所述传动机构
和滑台机构提供上下活动的驱动力。

[0008] 优选地，所述传动机构包括丝杆和光轴导轨，在所述顶板的上方固设有基座，所述基座和顶板设置有与所述光轴导轨底端相适配的孔，所述基座中的孔为台阶孔，所述顶板
中的孔为盲孔。

[0009] 优选地，所述滑台机构包括滑动块和设置在滑动块两侧相互对称的直线轴承，所述光轴导轨贯穿所述直线轴承，所述丝杆穿过所述滑动块的中心。

[0010] 优选地，所述销钉的顶端固定安装于所述滑动块中心的内部，所述销钉带动滑动块沿光轴导辊进行上下运动。

[0011] 优选地，所述销钉内设有与丝杆外周面相适配的螺纹孔，所述丝杆以螺纹旋转方式在销钉内部活动，从而带动所述销钉在所述波导腔体内上下运动。

[0012] 优选地，所述驱动机构包括控制器和与所述丝杆顶端固定连接的电机，所述控制器控制所述电机的开启或关闭，使丝杆进行旋转式向下或向上运动。

[0013] 优选地，在基座的顶部中央设置滑动密封圈，使所述销钉套设于所述滑动密封圈内部。

[0014] 优选地，在所述顶板中，在邻近所述销钉的顶板中设置PTFE介质，使PTFE介质与所述销钉的外周面相互接触。

[0015] 本实用新型具有的有益效果：

[0016] 1、通过带有丝杆的电机驱动镀金销钉控制，实现了从外部信号控制三轴位置的移动，无需人工调整。

[0017] 2、通过在波导接触端面与镀金销钉之间，增加滑动密封圈与PTFE介质，使得短路调配器整体具有良好的气密性，能够用于充气微波传输线系统及需要保持传输线内干燥的
高功率微波。

[0018] 3、使用型材波导外壳成本低，对加工工艺要求不高，可用功率大；滑台机构设计特殊，整体长度短，节约安装空间。

[0024] 下面结合实施例及附图，对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实施方式不限于此。

[0025] 在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖向”、“纵向”、“侧向”、“水平”、“内”、“外”、“前”、“后”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必
须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

[0026] 在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“开有”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体
情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

[0027] 实施例1

[0028] 本实用新型的实施例1为一种电机驱动的微波三销钉，包括波导腔体1和销钉2，所述销钉2的底端穿入波导腔体1的顶板11在波腔体内部上下活动，还包括滑台机构3、传动机
构4、驱动机构5和限位座7，所述销钉2的顶端位于所述滑台机构3的内部，所述传动机构4的
两端分别与顶板11和限位座7连接，同时传动机构4贯穿滑台机构3，所述驱动机构5贯穿所
述限位座7中，所述驱动机构5为所述传动机构4和滑台机构3提供上下活动的驱动力。

[0029] 具体地，如图1～图4所示，销钉2为镀金销钉2，通过设置滑台机构3、传动机构4和驱动机构5，可在驱动机构5的自动化控制系统下，传动机构4从而使销钉2自动改变其在驱
动波导管中伸入的长度，进而自动化改变波导腔体1或者整个微波系统的谐振频率。同时采
用自动化控制销钉2的微波反射胶精确，耗时短避免出错。使用型材作为波导腔体1的外壳，
成本低，对加工工艺要求不高，可用功率范围大(达20kw)特别适合用于微波等离子体气相
化学沉积(MPCVD)、微波等离子火炬、ECR等离子体源，或其他大功率微波装置。

[0030] 进一步地，所述传动机构4包括丝杆41和光轴导轨42，在所述顶板11的上方固设有基座6，所述基座6和顶板11设置有与所述光轴导轨42底端相适配的孔，所述基座6中的孔为
台阶孔，所述顶板11中的孔为盲孔。

[0031] 具体地，如图3所示，基座6中的台阶孔与顶板11中的盲孔同轴，与光轴导轨42底端进行相适配，其台阶孔和盲孔组成的限位空间中内置弹簧垫片，用于固定光轴导轨42的同
时放掉配合平面的公差。同时基座6与顶板11采用螺钉方式进行安装。而且光轴导轨42的顶
部与限位座7中设置的适配孔进行固定连接，确保光轴导轨42在基座6与限位座7之间的稳
固性。

[0032] 进一步地，所述滑台机构3包括滑动块31和设置在滑动块31两侧相互对称的直线轴承32，所述光轴导轨42贯穿所述直线轴承32，所述丝杆41穿过所述滑动块31的中心。

[0033] 具体地，光轴导轨42可用于限位滑动块31的旋转自由度，确保整个滑台机构3在光轴导轨42上进行上下运；同时，由于设置了光轴导轨42，丝杆41在进行旋转运动时，滑动块
31不会因为丝杆41的旋转而使其自身进行旋转滑动。此滑台机构3设计特殊，整体长度短，
可节约安装空间。

[0034] 进一步地，所述销钉2的顶端固定安装于所述滑动块31中心的内部，所述销钉2带动滑动块31沿光轴导辊进行上下运动。具体地，销钉2的顶端为一凸台，此凸台与滑动块31
中设置的孔相适配，则此孔为倒台阶孔(图中未示出)，与销钉2的顶端凸台进行相卡接，进
而确保销钉2在滑动块31内部的稳定作用，在销钉2上下运动的同时带动整个滑动块31通过
直线轴承32沿光轴导轨42进行上下直形运动。

[0035] 进一步地，所述销钉2内设有与丝杆41外周面相适配的螺纹孔，所述丝杆41以螺纹旋转方式在销钉2内部活动，从而带动所述销钉2在所述波导腔体1内上下运动。

[0036] 具体地，丝杆41的行程空间位于空心销钉2的内部，可以减少其占用高度，丝杆41在销钉2内部进行旋转，进而使销钉2的长度发生改变，改变其在波导腔体1内的伸入长度，
实现自动化的微波调整；其次销钉2可使滑动块31沿光轴导轨42进行上下直形运动。

[0037] 本实用新型的工作原理为：在本微波三销钉2内，驱动机构5进行驱动控制丝杆41在销钉2内部进行旋转活动，使销钉2自动化调节伸入长度使其自身在波导腔体1内进行上
下运动，从而带动滑动块31通过直线轴承32沿光轴导轨42进行上下直形运动。滑台机构3一
方面为驱动销钉2上下运动提供一个电动直线运动结构，另一方面，滑台机构3的设计特殊，
在其内部对称设置直线轴承32，整体长度短，节约了安装空间。通过驱动机构5，可实现自动化控制销钉2的伸入长度，无需人工调整。通过带有丝杆41的电机51驱动镀金销钉2控制，实
现了从外部信号控制三轴位置的移动。

[0038] 实施例2

[0039] 本实用新型的实施例2在实施例1中的基础上进行实施，所述驱动机构5包括控制器52和与所述丝杆41顶端固定连接的电机51，所述控制器52控制所述电机51的开启或关
闭，使丝杆41进行旋转式向下或向上运动。具体地，主要通过控制器52进行控制电机51进行
开启或关闭，从而使丝杆41旋转带动销钉2上下运动；同时，控制器52包括PCB装，可将工作
信号传递给电机51中，使电机51选择是否开启工作。

[0040] 实施例3

[0041] 本实用新型的实施例3在实施例2的基础上进行实施，主要包括：在基座6的顶部中央设置滑动密封圈8，使所述销钉2套设于所述滑动密封圈8内部。在所述顶板11中，在邻近
所述销钉2的顶板11中设置PTFE介质9，使PTFE介质9与所述销钉2的外周面相互接触。

[0042] 具体地，增加滑动密封圈8与PTFE介质9，具体位于在波导接触端面与镀金销钉2之间，使得短路调配器整体具有气密性，能够用于充气微波传输线系统中。滑动密封圈8用于
确保销钉2上下活动时波导内腔能够保持气密性；PTFE介质9是微波扼流结构的电介质部
分，用于使销钉2前部与波导内壁绝缘，保持扼流结构中的1/4波长开短路线。

[0043] 以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，依据本实用新型的技术实质，在本实用新型的精神和原则之内，对以上实施例所作
的任何简单的修改、等同替换与改进等，均仍属于本实用新型技术方案的保护范围之内。